化学过滤器及其制造方法

专利名称：化学过滤器及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种化学过滤器，所述化学过滤器用于从气体或液体中除去 恶臭物质，或者设置于半导体、液晶、精密电子部件的制造工厂的无尘室
(dean room)中或在无尘室内所使用的装置中，用于除去离子性的气态杂 质。
背景技术：
在半导体制造、液晶制造等尖端产业中，为了确保产品的成品率、质量、 可靠性，控制无尘室内的空气和产品表面的污染很重要。尤其是在半导体产 业领域中，随着产品高集成化的发展，在利用HEPA (High Efficiency Particulate Air:高效空气微粒子过滤)、ULPA (Ultra Low Penetration Air: 超高效空气过滤)等控制粒状污染物质以外，控制离子性气态污染物质(碱 性气体以及酸性气体)也变得不可缺少。其中，例如在半导体制造时的曝光 工序中，作为碱性气体的氨成为使曝光时清晰度恶化，或者使晶片表面模糊 不清的原因。此外，在半导体制造时的热氧化膜形成工序中，作为酸性气体 的SOX成为在基板内产生层叠缺陷而使器件特性和可靠性恶化的原因。
这样，在半导体制造等中，由于离子性气态污染物质引起各种问题，所 以希望在半导体制造等所使用的无尘室内，离子性气态污染物质的浓度在
lppb以下。
此时，使用通过对导入了离子交换基(ion-exchange group)的无纺布 (nonwoven)进行加工而制成的化学过滤器。例如，在JP特开平11-290702 号公报(专利文献1)中公开有使用无纺布，并且通过紫外线接枝聚合(graft polymerization)而赋予了离子交换容量(ion exchange capacity)的化学过滤 器，其中，该无紡布是如下的无纺布通过作为纺粘法(spun-bonding)的 一种的熔喷(melt blow)法制成的由平均纤维直径在10^im以下的聚烯烃纤 维构成的无纺布；通过熔喷法而由平均纤维直径在10pm以下的聚烯烃纤维 形成网，并通过水刺法制成的无纺布；将通过熔喷法而由平均纤维直径在lOMm以下的聚烯烃纤维制成的网，平均纤维直径在5(Him以下的通过纺粘法 制成的网或者短纤维的网中的至少两层以上通过热压接而层叠为一体的无 纺布。
此外，在JP特开平8-199480号公报(专利文献2)中公开有如下得到 的气体吸附材料，即，对使用芯鞘结构的纤维并通过热轧(thermal bond)法 得到的无纺布，进行辐射接枝(radiation graft)，然后在无纺布中导入离子 交换基。
专利文献l: JP特开平11-290702号公报(权利要求书)。 专利文献2: JP特开平8-199480号公报(权利要求书)。 对于设置于无尘室等中的化学过滤器，除了要求离子性气态污染物质的
除去性能高以外，还要求该除去性能长期被维持，即要求寿命长。
但是，在上述专利文献l以及专利文献2的化学过滤器中，存在寿命不
足的问题。

发明内容
本发明的目的在于提供一种能够长期维持离子性气态污染物质的除去 性能的化学过滤器。
为了解决上述现有技术的问题，本申请的发明人经过专心研究的结果， 发现了如下特点而完成本发明，即，在对无纺布进行褶皱(pleats)加工而得 到的化学过滤器中，(1)使该无纺布为通过水剌法使纤维交错而制成的水 剌无纺布，并且，通过辐射接枝聚合来导入离子交换基，由此能够成为离子 交换基均匀分散的化学过滤器，因此能够得到长寿命的化学过滤器，(2) 尤其是，该无纺布是由人造丝纤维、纸浆纤维、棉纤维以及棉短绒纤维中的 一种或两种以上制成的水刺无纺布，并且，通过辐射接枝聚合，导入在阳离 子交换基的情况下为5.0m叫/g以上，在阴离子交换基的情况下为4.0m叫/g 以上的离子交换基，由此能够得到离子交换基量大且均匀地分散的化学过滤 器，因此得到长寿命的化学过滤器。
艮P，本发明(1)提供一种化学过滤器，通过对无纺布进行褶皱加工而 得到，其特征在于，该无纺布是通过水刺法使纤维交错而制成的水刺无纺布， 在该纤维中通过辐射接枝聚合导入有离子交换基。此外，本发明(2)提供一种化学过滤器的制造方法，其特征在于，通
过水剌法使有机纤维交错来制作水刺无纺布，接着，通过辐射接枝聚合而在 所得到的水刺无纺布中的纤维中导入离子交换基，接着，对所得到的导入有 离子交换基的无纺布进行褶皱加工。
此外，本发明(3)提供一种化学过滤器的制造方法，其特征在于，向 有机纤维通过辐射接枝聚合导入离子交换基，接着，通过水剌法使所得到的 纤维交错来制作水剌无纺布，接着，对所得到的导入有离子交换基的无纺布 进行褶皱加工。
根据本发明，能够提供一种能够长期维持离子性气态污染物质的除去性 能的长寿命的化学过滤器。


图1是本发明的化学过滤器的形式例的立体示意图。
具体实施例方式
本发明的化学过滤器是通过对无纺布进行褶铍加工而得到的化学过滤 器，而且，该无纺布是通过水刺(spunlace)法使纤维交错而制作的水刺无 纺布(spunlacenonwoven)，在该纤维中通过辐射接枝聚合导入有离子交换 基。
本发明的化学过滤器是通过对该无纺布进行褶皱加工得到的化学过滤 器。参照图1对本发明的化学过滤器进行说明。图1是表示本发明的化学过 滤器的形式例的立体示意图。在图1中，作为化学过滤器1，将三张无纺布 2重叠，并在山部4进行折叠而形成为褶皱形状，通常，为了使该无纺布2 彼此之间不接触，在该无纺布2的褶皱之间附设隔离物(spacer) 3。而且， 在该化学过滤器1中，使被处理空气沿着在与该无纺布2的山部4垂直的方 向(附图标记5a、 5b的箭头的方向)通过。
本发明的化学过滤器涉及的该无纺布是通过利用高压水流使纤维交错 的水刺法制作的水刺无纺布。
在本发明的化学过滤器涉及的该无纺布中，形成该无纺布的该纤维是有 机纤维，例如列举出人造丝纤维、纸浆纤维(pulp fiber)、棉纤维(cotton fiber)、棉短绒纤维(cotton linter fiber)、尼龙纤维、聚酯纤维、聚乙烯纤维、聚丙 烯纤维、芳族聚酰胺纤维(ammid fibre)等。而且，在形成该无纺布的该有 机纤维中，从离子交换基的导入量多、化学过滤器的除去离子性气态污染物 质的性能变得高且寿命长的方面看，优选人造丝纤维、纸浆纤维、棉纤维以 及棉短绒纤维中的一种或两种以上的组合，尤其优选人造丝纤维。对于人造 丝纤维、纸浆纤维、棉纤维以及棉短绒纤维，尤其是人造丝纤维来说，在辐 射接枝聚合(radiation graft polymerization)时，由于能够提高聚合单体 (polymerizationmonomer)溶液的添入率(添着率)，所以离子交换基的导 入量变多。此外，该有机纤维的纤维直径不特别限制，优选5 20iam。
在本发明的化学过滤器涉及的该无纺布中，利用高压水流使纤维交错制 作水剌无纺布的方法通常被称为水剌法。该水刺法是从喷嘴等向网喷射高压 的水，利用水流使纤维交错的方法。在本发明的化学过滤器涉及的该水刺法 中，水的压力和进行处理的次数等被适当选择。
在形成该无纺布的纤维中，通过辐射接枝聚合导入离子交换基。因此， 该无纺布是导入有离子交换基的无纺布。
在形成该无纺布的纤维中导入的该离子交换基是阳离子交换基或阴离 子交换基中的任意一种。作为该阳离子交换基，可以列举出例如磺酸基、羟 基、磷酸基、膦酸基、磺乙基、亚甲基膦酸基(沐7示乂于，基)、甲基羰 基(力》求乂于小基)等，可以以这些中的单独一种或者两种以上的组合来 作为阳离子交换基。此外，作为该阴离子交换基，可以列举出例如季铵基、 伯氨基、仲氨基、叔氨基、甲氨基等，可以以这些中的单独一种或者两种以 上的组合来作为阴离子交换基。
在本发明的化学过滤器中，可以列举出例如如下的方法作为得到导入了 该离子交换基的无纺布的方法，即(1)首先，通过该水刺法，使该有机 纤维、优选人造丝纤维、纸浆纤维、棉纤维或棉短绒纤维交错来制作水刺无 纺布，接着，使聚合单体辐射接枝聚合在所得到的水剌无纺布中的纤维中， 由此通过辐射接枝聚合，在形成该无纺布的纤维中导入该离子交换基，从而 得到导入有该离子交换基的无纺布；(2)首先，使聚合单体辐射接枝聚合 在该有机纤维、优选人造丝纤维、纸桨纤维、棉纤维或棉短绒纤维中，由此 通过辐射接枝聚合在该纤维中导入该离子交换基，接着，通过水刺法使所得到的纤维交错来制作水刺无纺布，从而得到导入有该离子交换基的无纺布。
作为该辐射接枝聚合例如可以列举出如下的辐射接枝聚合，即(i)首 先，对被聚合体照射射线，接着，向照射射线后的该被聚合体注入
(impregnation )聚合单体溶液或在照射射线后的该被聚合体上涂敷聚合单体
溶液，使聚合单体接枝聚合在该被聚合体上，(ii)首先，向被聚合体注入 聚合单体溶液或在被聚合体上涂敷聚合单体溶液，从而得到注入或涂敷有聚
合单体溶液的被聚合体，接着，对该被聚合体照射射线，使该聚合单体接枝 聚合在该被聚合体上。在该(i)以及该(ii)的辐射接枝聚合中，在照射射 线前，将气体环境置换为氮气等非活性气体，在非活性气体环境下进行辐射 接枝聚合。另外，在本发明中，该被聚合体是指进行该辐射接枝聚合的对象， 并且是指导入有该聚合单体的聚合链的被聚合体。而且，作为该辐射接枝聚 合，由于该(ii)的辐射接枝聚合仅使注入或者涂敷有聚合单体溶液的被聚 合体的部分处于氮气等非活性气体环境中即可，所以成本低，从而优选该(ii) 的辐射接枝聚合。
该辐射接枝聚合涉及的该聚合单体是具有阳离子交换基的聚合单体，具 有阳离子交换基的盐的基的聚合单体，具有阴离子交换基的聚合单体或具有 阴离子交换基的盐的基的聚合单体，或者是在该离子交换基上具有通过适当 的方法能够进行官能团转换的置换基的聚合单体。
在导入该无纺布中的该离子交换基是阳离子交换基的情况下，作为该聚 合单体可以列举出例如苯乙烯磺酸钠(sodium styrenesulfonate) 、 2-丙烯酰 胺基-2-甲基丙磺酸钠、丙烯酸、甲基丙烯酸、烯丙基磺酸钠(sodium allyl sulfonate)。也可以是它们中的单独一种或者两种以上的组合。另外，在该 聚合单体是具有该阳离子交换基的盐的基的聚合单体的情况下，在进行完辐
射接枝聚合之后的工序中，能够通过进行酸处理，使该阳离子交换基的盐的 基变换为该阳离子交换基。此外，该阳离子交换基的盐的基是指例如苯乙烯 磺酸钠的磺酸钠基(-S03Na)那样的，中和了阳离子交换基的基。
此外，例如，在该有机纤维是如人造丝纤维、纸浆纤维、棉纤维以及棉 短绒纤维等那样具有羟基的纤维的情况下，向由这些纤维构成的被聚合体注 入或涂敷亚硫酸钠或者亚硫酸氢钠的水溶液，接着，若照射射线，则能够向 这些纤维导入磺酸基的盐的基(化学式-S03Na)。这样，在本发明中，如亚硫酸钠或亚硫酸氢钠那样的，通过照射射线而能够向纤维导入离子交换基 的化合物也包含在该聚合单体中。
此外，在向该无纺布导入的该离子交换基是阴离子交换基的情况下，作 为该聚合单体可以列举出例如乙烯基苄基三甲基铵
(vinylbenzyltrimethylammonium)盐、甲基丙烯酸二乙氨基乙酉旨(diethylamino ethyl methacrylate)、丙烯酸二甲月安基乙酉旨(dimethylamino ethyl acrylate)、 二甲基氨基乙基丙烯酸甲酯(dimethylamino ethyl methacrylate)等。也可以
是它们中的单独一种或者两种以上的组合。另外，在该聚合单体是具有该阴 离子交换基的盐的基的聚合单体的情况下，在进行完辐射接枝聚合之后的工 序中，能够通过进行碱处理，使该阴离子交换基的盐的基变换为该阴离子交 换基。
在该辐射接枝聚合中，照射的射线是紫外线、电子射线、X射线、a射 线、卩射线或者y射线等，优选电子射线以及y射线。在该辐射接枝聚合中， 该射线的照射剂量可以根据接枝聚合的聚合程度来适当选择，通常，在电子 射线的情况下优选30~200kGy，在y射线的情况下优选100 800kGy。
在该辐射接枝聚合中，作为该聚合单体溶液的溶媒可以列举出水、醇等 亲水性溶媒。在该聚合单体溶液中，该聚合单体的浓度可以适当选择，但是 优选40-70质量％。
导入有该离子交换基的无纺布的离子交换容量，在阳离子交换基的情况 下为5.0m叫/g以上，优选5.5 6.0m叫/g，在阴离子交换基的情况下为4.0meq/g 以上，优选4.5 5.0m叫/g。由于该无纺布的离子交换容量在上述范围内，所 以化学过滤器的吸附容量大且寿命长。
导入有该离子交换基的无纺布的面密度优选50 200g/m2，尤其优选 100~160g/m2。此外，导入有该离子交换基的无纺布的厚度优选0.3 1.5mm， 尤其优选0.6 1.0rnm。
本发明的化学过滤器只要是将导入有该离子交换基的无纺布加工为褶 皱状而成即可，形状、大小、皱褶的数量等，没有特别地限制。此外，在图 l中示出了重叠3张该无纺布且加工为褶皱状而得到的化学过滤器的形式例， 但是在本发明的化学过滤器中，重叠该无纺布的张数没有特别限制，通常是 1 4张，优选2 3张。本发明的化学过滤器优选用于设置在半导体、液晶、精密电子部件制造 工厂的无尘室内以及在该无尘室内使用的装置中。
此外，在本发明的化学过滤器中，在得到导入有该离子交换基的无纺布 的方法是该(1)的方法，即，首先，通过该水刺法，使该有机纤维、优选 人造丝纤维、纸浆纤维、棉纤维或棉短绒纤维交错来制作水刺无纺布，接着， 使聚合单体辐射接枝聚合在所得到的水刺无纺布中的纤维中，由此通过辐射 接枝聚合，在形成该无紡布的纤维中导入该离子交换基，从而得到导入有该 离子交换基的无纺布，在此情况下，导入该离子交换基之前的该水刺无纺布
的吸水率优选为50-300质量％，尤其优选为150-200质量％。由于导入该离 子交换基之前的该水刺无纺布的吸水率在上述范围内，所以离子交换基的导 入量多，从而化学过滤器的离子性气态污染物质的除去性能变高且寿命长。
另外，在本发明中，无纺布的吸水率通过以下操作顺序来求得。首先， 使测量对象的无纺布以相对于水面大致平行的方式浸渍在水中，使无纺布吸 水。接着，将吸了水的无纺布在相对于水面大致平行的状态下，从水中拉起， 在水面之上的位置上，放置无纺布直到不滴水为止。而且，吸水之前的无纺 布的质量设为A (g)，不滴水时的无纺布的质量设为B (g)，通过下述的 式子(1)来求出无纺布的吸水率。
无纺布的吸水率(％) =[ (B-A) /A]X100 (1)
此外，在本发明的化学过滤器中，得到导入有该离子交换基的无纺布的 方法为该(1)的方法，并且，该辐射接枝聚合为该(ii)的方法，即，首先， 向水刺无纺布(被聚合体)注入或涂敷聚合单体溶液，从而得到注入或涂敷 有聚合单体溶液中的水刺无纺布，接着，对该水刺无纺布照射射线，使该聚 合单体接枝聚合于该水刺无纺布中，在该情况下，该聚合单体溶液向该水刺 无纺布添入的添入率优选为50 300质量％，尤其优选为150 200质量％。由 于该聚合单体溶液对该水刺无纺布的添入率在上述范围内，所以离子交换基 的导入量多，从而化学过滤器的离子性气态污染物质的除去性能变高且寿命 长。另外，在本发明中，注入或涂敷该聚合单体溶液之前的该水剌无纺布的 质量设为C (g)，在注入或涂敷该聚合单体溶液之后的该水刺无纺布的质 量设为D (g)，该聚合单体溶液对该水刺无纺布的添入率通过下述式子(2) 来求出，艮口该聚合单体溶液向该水刺无纺布的添入率(M)4(D-C)/C)]X100 (2)。 另外，在注入或涂敷了该水剌无纺布能够吸收的量以上的该聚合单体溶液的 情况下，若将注入或涂敷了该聚合单体溶液之后的该水刺无纺布大致水平放 置，则从该水剌无纺布滴下液滴，因此，将此时不产生液滴时的该水刺无纺 布的质量设为注入或涂敷了该聚合单体溶液之后的该水刺无纺布的质量D (g)。
本发明的第一形式的化学过滤器的制造方法是，通过水刺法，使有机纤 维、优选人造丝纤维、纸浆纤维、棉纤维以及棉短绒纤维中的一种或两种以 上交错来制作水刺无纺布，接着，通过辐射接枝聚合，在得到的水刺无纺布 中的纤维中导入离子交换基，从而得到导入有离子交换基的无纺布，接着， 对导入有该离子交换基的无纺布进行褶皱加工。
此外，本发明的第二形式的化学过滤器的制造方法是，通过辐射接枝聚 合，在有机纤维、优选人造丝纤维、纸浆纤维、棉纤维以及棉短绒纤维中的 一种或两种以上的纤维中导入离子交换基，接着，通过水刺法使得到的纤维 交错来制作水刺无纺布，从而得到导入有离子交换基的无纺布，接着，对导 入有该离子交换基的无纺布进行褶皱加工。
在本发明的第一形式的化学过滤器的制造方法以及本发明的第二形式 的化学过滤器的制造方法中得到导入有该离子交换基的无纺布的方法，与在 本发明的化学过滤器中得到导入有该离子交换基的无纺布的方法相同，此 外，本发明的第一形式的化学过滤器的制造方法以及本发明的第二形式的化 学过滤器的制造方法涉及的该水刺法以及该辐射接枝聚合，与本发明的化学 过滤器涉及的该水刺法以及该辐射接枝聚合相同。
在本发明的化学过滤器中，构成化学过滤器的无纺布是通过水刺法制成 的水刺无纺布，因此纤维的分布均匀，并且，在该无纺布中，通过使用辐射 接枝聚合导入有离子交换基。因此，在本发明的化学过滤器中，在构成化学 过滤器的无纺布中能够均匀地导入离子交换基，由此本发明的化学过滤器的 除去性能高且寿命长。
进一步，在本发明的化学过滤器中，作为被聚合体使用人造丝纤维、纸 桨纤维、棉纤维以及棉短绒纤维，并且，作为离子交换基的导入方法使用辐 射接枝聚合，由此在构成化学过滤器的无纺布中，能够大量且均匀地导入离子交换基。因此，本发明的化学过滤器的除去性能高且寿命长。
接着，列举实施例进一步对本发明进行具体说明，但这仅为示例，并不
限制本发明。 [实施例] (实施例1)
(导入有离子交换基的无纺布的制作)
通过水刺法，制作面密度为160g/m2、厚度为0.9mm、纤维直径约20pm 的人造丝制水刺无纺布。接着，在得到的人造丝制水刺无纺布中，以300g/m2 的比例涂敷含有20质量％的苯乙烯磺酸钠和40质量％的丙烯酸的聚合单体 水溶液。此时，该聚合单体溶液对该人造丝制水刺无纺布的添入率为187.5%。
接着，在氮气环境下，向涂敷有聚合单体水溶液的无纺布照射Y射线。 此时的照射剂量为400kGy。
接着，使照射后的无纺布与硫酸水溶液接触，将该无纺布中的钠置换为 质子型(H"型)，从而得到导入有离子交换基的无纺布。
导入有该离子交换基的无纺布的离子交换容量为5.8meq/g。 (化学过滤器的制造)
通过以下方法，对如上得到的导入有离子交换基的无纺布进行褶皱加 工，从而制造化学过滤器。
<方法>
'化学过滤器的尺寸厚度150mmX宽度130mmX高度130mm (厚度 图1中附图标记6，宽度图1中附图标记7，高度图1中附图标记8)
'折叠间距79山/m (化学过滤器的寿命测试)
对于如上得到的化学过滤器，设除去对象气体为氨，并在下述的测试条 件下进行寿命测试。将除去率降低至卯％的时刻作为化学过滤器的寿命。其 结果是，化学过滤器的寿命为400小时。
另外，在实际的无尘室等中成为问题的氨的浓度是数个体积ppb，但是 作为加速测试，在2000体积ppb的浓度条件下进行测试。
<测试条件>
-对象气体氨2000体积ppb'通过风速0.5m/秒
(比较例1)
(导入有离子交换基的无纺布的制作)
通过热轧法，制作面密度为160g/m2、厚度为0.9mm、纤维直径约20|am 的芯鞘结构的纤维(芯部聚对苯二甲酸乙二酯(polyethylene terephthalate)， 鞘部聚乙烯)制热轧无纺布(thermal bond nonwoven)。
接着，对所得到的热轧无纺布，以3008/1112的比例涂敷了含有20质量％ 的苯乙烯磺酸钠和40%质量的丙烯酸的聚合单体水溶液，但是由于产生液 滴，所以仅能涂敷180g/m2。此时，该聚合单体溶液对该热轧无纺布的添入 率为112.5°/。。
接着，在氮气环境下，对涂敷有该聚合单体的热轧无纺布照射Y射线。 此时的照射剂量为400kGy。
接着，使照射后的无纺布与硫酸水溶液接触，将该无纺布中的钠置换为 质子型(H"型)，从而得到导入有离子交换基的无纺布。
导入有该离子交换基的无纺布的离子交换容量为4.4meq/g。 (化学过滤器的制造)
使用如上得到的导入有离子交换基的无纺布，并以与实施例1相同的方 法来进行，而制造出化学过滤器。 (化学过滤器的寿命测试)
使用如上得到的化学过滤器，并以与实施例l相同的方法，对化学过滤 器进行寿命测试。其结果是，化学过滤器的寿命是240小时。
根据本发明，能够制造离子性气态污染物质的除去性能高并且寿命长的 化学过滤器。
权利要求
1. 一种化学过滤器，是对无纺布进行褶皱加工而得到的化学过滤器，其特征在于，该无纺布是通过水刺法使纤维交错而制成的水刺无纺布，在该纤维中通过辐射接枝聚合而导入有离子交换基。
2. 根据权利要求1所述的化学过滤器，其特征在于，形成所述水剌无纺布的纤维是人造丝纤维、纸浆纤维、棉纤维以及棉短绒纤维中的一种或两种以上。
3. 根据权利要求1或2所述的化学过滤器，其特征在于，所述无纺布的离子交换容量，在所述离子交换基为阳离子交换基的情况下在5.0meq/g以上，在所述离子交换基为阴离子交换基的情况下在4.0meq/g以上。
4. 根据权利要求1~3中任一项所述的化学过滤器，其特征在于，在所述辐射接枝聚合中，聚合单体溶液对导入离子交换基之前的水刺无纺布的添入率是50~300质量％。
5. 根据权利要求1~4中任一项所述的化学过滤器，其特征在于，所述辐射接枝聚合是首先向被聚合体涂敷或注入聚合单体溶液，接着向该被聚合体照射射线的辐射接枝聚合。
6. —种化学过滤器的制造方法，其特征在于，通过水刺法使有机纤维交错来制作水刺无纺布，接着，通过辐射接枝聚合，向所得到的水刺无纺布中的纤维导入离子交换基，从而得到导入有离子交换基的无纺布，接着，对导入有该离子交换基的无纺布进行褶皱加工。
7. —种化学过滤器的制造方法，其特征在于，通过辐射接枝聚合，向有机纤维导入离子交换基，接着，通过水刺法使所得到的纤维交错来制作水刺无纺布，从而得到导入有离子交换基的无纺布，接着，对导入有该离子交换基的无纺布进行褶皱加工。
8. 根据权利要求6或7所述的化学过滤器，其特征在于，所述有机纤维是人造丝纤维、纸浆纤维、棉纤维以及棉短绒纤维中的一种或两种以上。
9. 根据权利要求6所述的化学过滤器，其特征在于，在所述辐射接枝聚合中，聚合单体溶液对导入离子交换基之前的水刺无纺布的添入率是50 300质量％。
全文摘要
本发明提供一种能够长期维持离子性气态污染物质的除去性能的化学过滤器。该化学过滤器是对无纺布进行褶皱加工而得到的化学过滤器，其特征在于，该无纺布是通过水刺法使纤维交错而制成的水刺无纺布，在该纤维中通过辐射接枝聚合导入有离子交换基。
文档编号D04H1/425GK101543714SQ20091000256
公开日2009年9月30日 申请日期2009年1月16日 优先权日2008年3月25日
发明者下津太年, 中野寿朗, 今井章博, 棚桥隆司 申请人:霓佳斯株式会社