专利名称：一种三银低辐射镀膜玻璃的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种镀膜玻璃，主要涉及一种十一层膜结构的三银低辐 射镀膜玻璃。
背景技术：
低辐射镀膜玻璃是指在玻璃表面沉积一层高红外线反射材料(金属银)， 使玻璃吸收太阳光光谱中的红外线和其它物体发出的红外线非常少，玻璃自 身又不存储能量，因此镀膜玻璃向外辐射的红外线也非常少，称为低辐射镀 膜玻璃。该玻璃用于窗户上，可有效地阻挡太阳光中的红外线进入室内，降 低夏天室内温度，节约空调制冷费用，冬天可以阻挡室内物体发出的红外线 被玻璃吸收，散发到室外，提高室内温度，节约取暖费用。
现在市场上已经有很多种低辐射镀膜玻璃产品，第一层膜有用氧化锡 的，也有用氧化锌的，第二层膜都是银膜，也有前面加一层镍铬膜的结构， 第三层都用镍铬层，第四层主要为保护膜。 发明内容
本实用新型目的是提供一种十一层膜结构的三银低辐射镀膜玻璃，使其 具有辐射率低的优点。
本实用新型的目的可采用如下技术方案来实现其具有玻璃基片，在玻 璃基片表面上从底层向上依次镀有氧化锡膜层、银膜层、镍铬膜层、氧化锡 膜层、银膜层、镍铬膜层、氧化锡膜层、银膜层、镍铬膜层、氧化锡膜层、 氮化硅膜层，从而构成十一层膜结构的三银低辐射镀膜玻璃。
该产品具有生产效率高，辐射率非常低，小于0.04，耐磨性能和耐氧 化、耐腐蚀性能好的优点。
附图1为本实用新型的具体结构示意图。
图中1、玻璃基片，2、氧化锡膜层，3、银膜层，4、镍铬膜层，5、 氧化锡膜层，6、银膜层7、镍铬膜层，8、氧化锡膜层，9、银膜层，10、 镍铬膜层，11、氧化锡膜层，12、氮化硅膜层。
具体实施方式
结合附图，说明本实用新型的具体实施例。
如附图l所示其具有玻璃基片l，在玻璃基片表面从底层向上依次
镀有氧化锡膜层2、银膜层3、镍铬膜层4、氧化锡膜层5、银膜层6、镍络膜层7、氧化锡膜层8、银膜层9、镍铬膜层IO、氧化锡膜层ll、氮化硅膜 层12，从而构成十一层膜结构的三银低辐射镀膜玻璃。
本实用新型是在真空环境下，通过磁控溅射在玻璃表面沉积十一层膜的 方法，生产一种红外线辐射率很低的，包含有三个银层的低辐射镀膜玻璃。 所述的低辐射镀膜玻璃是在镀膜室抽真空至1. 1X10—4Pa以下，充入工 艺气体(氧气或氮气或氩气)，使镀膜室压力稳定在0.3Pa左右，将溅射源 送电，靶材开始溅射，送入玻璃将靶材原子或其化合物沉积到玻璃表面。第 一个镀膜室充入氧气，靶材为锡靶，将氧化锡膜沉积到玻璃表面为第一层膜， 厚度20至60纳米，第二个镀膜室充入氩气，靶材为银靶，在氧化锡上面沉 积第二层银膜，厚度1至10纳米；第三个镀膜室充入氩气，靶材为镍铬靶， 在银膜上沉积第三层镍铬膜，厚度3至10纳米；第四个镀膜室充入氧气， 靶材为锡靶，在镍铬膜上沉积第四层氧化锡膜，厚度15至60纳米；第五个 镀膜室充入氩气，靶材为银靶，在氧化锡上面沉积第五层银膜，厚度1至
10纳米；第六个镀膜室充入氩气，靶材为镍铬靶，在银膜上沉积第六层镍 铬膜，厚度3至10纳米；第七个镀膜室充入氧气，靶材为锡靶，在镍铬膜
上沉积第七层氧化锡膜，厚度15至30纳米；第八个镀膜室充入氩气，靶材 为银靶，在氧化锡上面沉积第八层银膜，厚度1至10纳米；第九个镀膜室 充入氩气，靶材为镍铬靶，在银膜上沉积第九层镍络膜，厚度3至10纳米; 第十个镀膜室充入氧气，靶材为锡靶，在镍铬膜上沉积第十层氧化锡膜，厚 度15至60纳米；第十一个镀膜室充入氮气，靶材为硅靶，在氧化锡膜上沉
积第十一层氮化硅膜，厚度15 30纳米。
第二层、第五层和第八层的银膜起到降低镀膜玻璃辐射率的作用，三层 不相邻的银膜，可以产生比一层、两层银膜性能好很多，即辐射率低很多的 性能。第一层、第十层氧化锡膜和第十一层氮化硅膜都起保护银膜和镍铬膜 的作用，提高膜层的耐磨性能和耐氧化、耐腐蚀性能。
权利要求1、一种三银低辐射镀膜玻璃，其具有玻璃基片(1)，其特征是在玻璃基片(1)表面上从底层向上依次镀有氧化锡膜层(2)、银膜层(3)、镍铬膜层(4)，氧化锡膜层(5)，银膜层(6)，镍铬膜层(7)，氧化锡膜层(8)，银膜层(9)、镍铬膜层(10)，氧化锡膜层(11)，氮化硅膜层(12)，从而构成十一层膜结构的三银低辐射镀膜玻璃。
专利摘要本实用新型公开了一种三银低辐射镀膜玻璃，其具有玻璃基片(1)，在玻璃基片(1)表面上从底层向上依次镀有氧化锡膜层(2)、银膜层(3)、镍铬膜层(4)，氧化锡膜层(5)，银膜层(6)，镍铬膜层(7)，氧化锡膜层(8)，银膜层(9)、镍铬膜层(10)，氧化锡膜层(11)，氮化硅膜层(12)，从而构成十一层膜结构的三银低辐射镀膜玻璃。该产品具有生产效率高，辐射率非常低，小于0.04，耐磨性能和耐氧化、耐腐蚀性能好的优点。
文档编号C03C17/36GK201250183SQ20082014844
公开日2009年6月3日 申请日期2008年8月11日 优先权日2008年8月11日
发明者孟怡敏, 王秀丽, 明 郭 申请人:洛阳新晶润工程玻璃有限公司