专利名称：一种pecvd玻璃承载盘高温传动轮组的制作方法
技术领域：
本发明关于一种PECVD玻璃承载盘高温传动轮组，特别是指一种用于真空镀膜的传动轮组。
背景技术：
当前，PECVD玻璃承载盘传动轮组皆采用陪林组直接传动滚轮候带动承载盘，此结构简单，但对于需要加温的真空腔就会有一定的缺点，因在高温环境下金属会有热胀冷缩的效应，陪林组在此环境下使用一段时间后，内部陪林滚珠会发生卡死的现象，进而江轮轴轴心脚死，使其无法转动，从而滚轮也停止转动，承载盘因而停止移动。若此故障发生在镀 膜腔内将会导致膜层厚度不均匀现象，因此开发一种适用于高温环近下使用的轮轴组，为相关业者研发重点之一。
发明内容
本发明在于提供一种PECVD玻璃承载盘高温传动轮组，利用简单结构达到热阻效应，同时后续保养为后也相当简单，为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是1. 一种PECVD承载盘高温传动轮组，其包括一种PECVD承载盘高温传动轮组，其包括外部传动齿轮、市售磁流体密封传动轴、配接器、轮轴轴心、陪林组、间隔环、阻热片、滚轮卡片、滚轮及滚轮固定片组成。利用金属导热系数不同且增加之间的间隙使真空中热能传递达到最小的效果，进而延长陪林组使用寿命。本发明有益效果为1.本发明利用间隔环达到热阻效果，结构简单，不需要额外安装冷却水路于腔体内，2.本发明利用金属片达到热阻效果，结构简单，不需要额外安装冷却水路于腔体内。
图1系为本发明之一种PECVD玻璃承载盘高温传动轮组主要元件符号说明1...滚轮固定片2...滚轮3...滚轮卡片4...阻热片5...间隔环6...陪林组7...轮轴轴心8...配接器9...市售磁流体密封传动轴10...外部传动齿轮。
具体实施例方式下面結合附图对本发明做进一步说明。请参阅图1所示，一种PECVD玻璃承载盘高温传动轮组，其包括外部传动齿轮10、市售磁流体密封传动轴9、配接器8、轮轴轴心7、陪林组6、间隔环5、阻热片4、滚轮卡片3、滚轮2及滚轮固定片I组成，该阻热片4材质为不锈钢，厚度2_，以焊接方式将其连接，且中间留有间隙，以增加阻热效果，该间隔环5装置在陪林组及阻热片之间唯一中空金属结构，进而更增加热阻间隙，使热隔绝有更近一不的效果，该滚轮2为不锈钢一体成型，同时表面经过渗碳硬化处理。综上所述，本发明的优点如下1. 本发明利用阻热片4及间隔环5达到热阻效果，结构简单，不需要额外安装冷却水路于腔体内。2.滚轮2为不锈钢一体成型，表面渗碳处理增加硬度，与承载盘之间摩擦力加大，不会产生空转现象。·
权利要求
1.一种PECVD玻璃承载盘高温传动轮组，其包括外部传动齿轮、市售磁流体密封传动轴、配接器、轮轴轴心、陪林组、间隔环、阻热片、滚轮卡片、滚轮及滚轮固定片组成。
2.根据权利要求1所述之滚轮，其特征在于不锈钢一体成型，同时表面经过渗碳硬化处理。
3.根据权利要求1所述之阻热片，其特征在于材质为不锈钢，厚度2mm，已焊接方式将其连接，且中间留有间隙，以增加阻热效果。
4.根据权利要求1所述之间隔环，其特征在于圆筒中空状，以增加热阻。
全文摘要
本发明系提供一种PECVD承载盘高温传动轮组，通过设置的阻热片及间隔环隔绝腔室内因加热器动作而产生得高温，同时负责传动承载盘的滚轮使用一体成形金属加工滚轮再经过表面硬化处理，使其能承受高温环近下工作，有效减少传动系统因高温长期使用下使得内部传动陪林卡死的故障，大幅减少PECVD维护成本及停机时间。
文档编号C03C17/00GK103011613SQ201110282380
公开日2013年4月3日 申请日期2011年9月22日 优先权日2011年9月22日
发明者周文彬, 刘幼海, 刘吉人 申请人:吉富新能源科技(上海)有限公司