专利名称：改进的超声波多线切割方法及专用设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于固体材料特别是晶体材料的改进的超声波多线切割方法及实施该方法的专用设备。
背景技术：
现有的专用于固体材料、例如但不限于包括硅、碳化硅、氧化铝、钻石等硬脆晶体材料的线切割及多线切割的方法，通常包括步骤:使用单根或多根切割线通过布线系统排列成包含有至少2条切割线的切割线网，使切割线做切割运动的同时，使待切割固体材料与切割侧切割线网接触，通过切割线本身的切割作用，或由切割线携带的切割或研磨砂浆的切割作用，实现待切割固体材料的切割，包括例如晶体锭的剖方，或切片，等等。其中，切割线的切割运动包括例如单向运动、双向往复运动、旋转运动、振动及其复合运动等等。使用现有的线切割方法切割硬脆材料时，通常切割效率较低、切割精度不高，成本高，并且切割终了时被切割材料易产生出线边缘崩边等损伤。为此，中国专利说明书ZL03133682.5介绍了采用超声波振动装置的超声波线切割锯，利用超声能量辅助金刚石线锯切割，实现了高效率、高精度、低成本的线锯方法。但是，这种线锯需要把超声波变幅杆与金刚石线的一端固定连接，只能适用于往复走线的短线锯切割，无法用于单向走线切割，更无法实现连续双向或单向走线切割。中国专利ZL200610044360.7公开了一种非导电硬脆材料超声振动复合线锯切割方法，通过在固定待切割的非导电硬脆材料的工作台上安装超声换能器，在切割时使工作台产生超声振动，带动固定其上的待切割材料发生附加超声振动，而实现超声振动线锯切害I]，达到高效切割的目的。但是，由于超声换能器所产生的超声波需要先穿透工作台和工作台上固定待切割材料的工件板及其粘结层才能达到待切割材料，在实际切割中，由于需要穿透的厚度较大，和工作台、工件板、粘结层等具有相对于待切割材料的不可调整的声阻抗，超声波到达待切割材料时已极度衰减，其超声切割效果难以达到预期，并且需要较大功率的超声装置。并且，该发明方法仅用于非导电硬脆材料，对于实际线锯切割中占较大份额的导电的硬脆材料，例如半导体、电子、光电工业使用的电性掺杂的硅晶体、碳化硅晶体，从该专利中无法确定是否可使用该方法。中国专利申请CN201010565214公开了一种超声锯切机床，其设置有与超声波发生装置的变幅杆连接的振动头，使振动头与金刚石切割线保持压力接触实现金刚石切割线的超声振动。这种机床虽然实现了金刚石线锯的连续切割，但是，由于振动头与高速运动的金刚石切割线接触会被切割，不仅快速切割消耗振动头，也使金刚石线发生无效切割磨损，降低了线锯的有效利用率，并且，由于硬性接触中难以实现超声波在多根切割线上的同步传递，只能用于单线切割，不能用于多线切割。
发明内容
鉴于以上现有技术存在的缺陷和不足，本发明的目的是提供改进的超声波多线切割方法，以更为有效、节能和经济的方式，实现包括导电和非导电材料的超声波线切割方法；本发明的再一个目的是，提供实施该改进的超声波多线切割方法的专用线切割设备，从而为该方法的工业化提供装备基础。本发明的超声波多线切割方法，同样适用于单线切割。为此，本发明提供了一种固体物体的多线切割方法，包括:
(1)设置多线切割线网和待切割物体，其中，待切割物体以其至少部分表面为装载接触面装载固定于装载固定装置上；
(2)设置包含有超声发射表面的至少一个超声波发生装置，并将超声发射表面安装于所述的待切割物体的其余表面的至少部分表面上；
(3)启动切割线切割待切割物体,启动超声波发生装置,使超声发射表面发射的超声波透过其所安装的待切割物体表面传递到待切割物体；
(4)保持切割线切割待切割物体直至完成切割；任选在切割完成前从所述的待切割物体表面上移开所述的超声发射表面，以避免切割线切割所述的超声发射表面。
其中，所述的超声发射表面安装其上的所述的待切割物体的其余表面是指待切割物体的装载接触面之外的表面；
其中，所述的超声发射表面可以是超声波发生装置的超声换能器的超声发射表面，也可以是超声变幅杆的超声发射表面，或者是超声振板的超声发射表面，或者是超声振子的超声发射表面，或者是聚焦或辐散超声波的超声透镜的超声发射表面；
其中，所述的超声发射表面优选具有和待切割物体的接触表面相贴合的形状，例如平面或圆弧曲面；
其中，所述的超声发射表面安装于所述的待切割物体的其余表面的至少部分表面上，可以采取直接接触的方式安装，即，使超声发射表面直接贴合于待切割物体的部分表面，也可以通过超声耦合剂即超声传递介质连接安装于待切割物体的所述部分表面，此时，所述的超声发射表面和所述的待切割物体的该部分表面之间设置或包含有超声传递介质，以排除两者接触面间的空气和提供良好的超声传递效果。根据本发明的方法，所述的超声传递介质可以是任意的液体、固体、半固体介质，但优选具有和所述的待切割物体具有良好声阻抗匹配的介质。适用于不同的待切割物体，可以用作本发明的超声传递介质的一些材料的例子包括:凝胶、胶体、膏状物、糊状物、液膜、油脂、水玻璃、液态金属、液态合金、木材、橡胶、氟橡胶、硅胶、粘结剂、蜡、尼龙、塑料、氟塑料、金属、合金、树脂、有机玻璃、玻璃、石英、硅(片)、石墨、云母、陶瓷、聚四氟乙烯、纸、薄膜，其可以单独或组合作为本发明的超声传递介质。根据本发明的方法，所述的超声发射表面发射的超声波既可以是纵波，也可以是横波超声波，或包含有横波的复合超声波，或扭转超声波。根据本发明的方法，优选所述的超声发生装置的超声波频率在切割过程中随切割进度而进行持续调整，以使超声波频率等于或接近待切割物体和超声波发生装置所形成的系统的固有频率(或本征频率、谐振频率)，或者使待切割物体的切割前沿处于或接近超声所形成的驻波的最大振幅处即波腹处。根据本发明的方法，优选将一个以上的所述的超声发射表面分别安装在待切割物体的相对的两个表面上，例如，分别安装于待切割物体的切割线单向走线的切入和切出的侧面上。
根据本发明的方法，优选将所述的超声发射表面安装在待切割物体的装载接触面所在的侧面上，这时，使用纵波超声波可在切割前沿形成沿切割方向的超声振动，使用横波超声波可在切割前沿形成垂直于切割方向的超声振动，而使用纵波和横波复合的超声波可在切割前沿同时形成沿切割方向和垂直切割方向的超声振动，这三种情况下都能提高切割效率。根据本发明的方法，优选所述的超声发射表面具有和待切割物体基本相同的至少一个尺寸，例如，所述的超声发射表面沿待切割物体的长径方向覆盖待切割物体的一部分表面，或者具有大于或等于并列的多线切割线在待切割物体上分布的宽度的尺寸，以确保每条切割线对应的切割前沿处获得良好的超声振动效果。根据本发明的方法，所述的切割线的切割方向可以是从待切割物体下方向上方切害I]、也可以是从待切割物体上方向下方切割，或者从待切割物体的左侧向右侧切割、或者从待切割物体的右侧向左侧切割；其中，对于固结磨料切割线的情况，优选从待切割物体的左侧向右侧切割、或者从待切割物体的右侧向左侧切割。根据本发明的方法，所述的切割线，可以是金属切割线例如钢线或镀膜、涂膜钢线、钢绞线，或者非金属切割线例如棉线、尼龙线、碳纤维线、碳纤维多绞线，或者固结磨料切割线，例如金刚石磨料涂覆线、或者立方氮化硼磨料涂覆线、或者碳化硼磨料涂覆线，以及其他任意的适宜切割的切割线。其中，所述的磨料涂覆线，是指在基线表面采用电镀、粘结、热压、钎焊等方式涂覆、埋植、固定一些起磨削作用的磨料颗粒，例如金刚石、立方氮化硼、碳化硼磨料等超硬磨料颗粒。所述的切割线网是指由单根或多根切割线组成的线网。根据本发明的方法，所述的超声波发生装置及其频率和功率的设置，可以选择使其在切割前沿形成任意振幅的超声波，但优选形成振幅为0.1 200微米振动的超声波，并进一步优选形成振幅为I 20微米振动的超声波，例如在待切割物体的切割前沿形成振幅为1.5 5微米的振动，或3 10微米的振动。较小的超声波振幅可以提高超声波线切割的精度，获得更加光滑的切割表面，并更适合硬脆材料的切割；较大的超声波振幅可以提高超声波线切割的能力，更适合低精度要求下的快速切割。根据本发明的方法，所述的超声波发生装置及其设置，可以选择形成任意频率的超声波的超声波发生装置及其设置，但优选形成频率10 5000kHz的超声波，并进一步优选形成频率20 IOOkHz的超声波，较高的频率可以获得较好的切割效率，但超声能量传递衰减增加。本发明还提供了实施本发明所述的超声波线切割方法的超声波多线切割设备，包含有切割线网的装载及切割线运动驱动系统、待切割物体的装载系统，以及使切割线网和待切割物体进行相向移动的移动系统，还包含有至少一个超声波发生装置及其超声发射表面，其中，所述的超声发射表面设置在其工作时可安装在待切割物体的至少部分悬空的表面上的位置，即设置在靠近待切割物体的悬空的表面处，并允许超声发射表面设置一个不同于此位置的工作位置，在工作位置所述的超声发射表面直接或透过超声传递介质安装在待切割物体的至少部分悬空的表面上；和任选的超声发射表面的夹具或压紧装置，利用该夹具或压紧装置可将所述的超声发射表面安装在所述的待切割物体的至少部分表面上。本发明的超声波多线切割设备的所述的超声发射表面可以是能发射纵波超声波的平面超声头，也可以是能发射横波超声波的斜面超声头或斜面超声发射表面。其中，安装于待切割物体的平行于切割方向的侧表面的超声发射表面优选米用能发射横波超声波的斜面超声头或超声发射表面。本发明的超声波多线切割设备的所述的超声发射表面可以具有任意的尺寸，但优选具有和待切割物体基本上相同的至少一个尺寸，例如，所述的超声发射表面具有与待切割物体相同的长度。本发明的方法，通过将超声发射表面直接安装于待切割物体的表面，使超声波直接传递到待切割物体，并达到切割前沿，避免了现有技术中超声波需要透过工作台和待切割物体的固定系统例如工件板和粘结剂才能传递到待切割物体的间接传递导致的极度衰减，方便、低成本地实现了高效的超声波线切割，具有适用范围广，操作简便，成本低，效率高的优点。本发明提供的实施本发明所述的超声线切割方法的专用设备，结构简单，造价低，特别适宜在现有任意的线切割设备上直接简单改造来获得，为本发明的超声波线切割方法的迅速工业化提供了良好范例。
附图仅为示意图，并不意味着具体或精确的形状、尺寸大小及其实际比例。
图1为本发明的应用于硅锭的钢线切片的超声波多线切割方法的一种实施方式的示意图。
图2为本发明的超声波多线切割方法的再一种实施方式的示意图。
图3为本发明的超声波多线切割方法的再一种实施方式的示意图。
图4为本发明的超声波多线切割方法的再一种实施方式的示意图。
图5为实施本发明的超声波多线切割方法的专用设备的一种实施方式的示意图。
具体实施例方式以下结合具体实施方式
进一步说明本发明。
本发明的应用于硅锭的钢线悬浮砂浆切片的超声波多线切割方法的一种实施方式，参见图1，包括步骤:
(1)设置多线切割线网2和待切割硅锭1，其中，待切割硅锭设置在切割线网上方，以其上表面为装载接触面倒置装载固定于装载固定装置4上；
(2)设置包含有超声发射表面31的至少一个超声波发生装置3，并将超声发射表面安装于所述的待切割硅锭的侧面上部；
(3)启动切割线切割待切割硅锭,启动超声波发生装置,使超声发射表面发射的超声波传递到待切iiij娃徒；
(4)保持切割线切割待切割物体直至完成切割；在切割完成前从所述的待切割物体表面上移开所述的超声发射表面，以避免切割线切割所述的超声发射表面。
图1中，箭头表不切割时娃淀的运动方向。其中，所述的待切割硅锭，为电性掺杂的P型或N型晶体硅锭，即掺有III族或V族元素杂质的晶体硅，具有导电性；
其中，所述的超声发射表面具有任意选取的适宜的宽度和长度，覆盖所述的硅锭的侧面上部的一部分，优选覆盖所述的硅锭的侧面的例如1/10的高度，和例如95 100%的长度。根据本发明，优选在所述的超声发射表面和所述的待切割硅锭的侧面之间设置超声传递介质，以降低两个表面之间的空气间隙的超声阻抗，提高超声传导效果。可以采用凝胶、胶体、膏状物、糊状物、液膜、油脂、水玻璃、硅胶或胶水或水或聚乙二醇或切割液作为本实施方式的超声传递介质；也可以米用液态金属例如镓、或液态合金例如含秘合金；或米用薄木片、薄聚四氟乙烯片、薄橡胶片作为本实施方式的超声传递介质。所述的超声传递介质构成的介质层，可取任何适宜的厚度，例如0.01 IOmm,优选0.1 Imm,或者液体取例如0.01 0.3mm,固体取例如I 5mm,半固体取例如0.5 2mm,等等。根据本发明方法的该实施方式，优选采用可发射包含有横波超声波的所述的超声发射表面，例如，采用能发射横波超声波的斜面超声头或斜面超声发射表面。根据本发明方法的该实施方式，采用发射纵波超声波的所述的超声发射表面时，纵波超声波沿与接触面垂直的方向在硅锭中传播，这时，为了确保和提高超声切割的效果，优选切割线以倾斜的角度、即与超声传播方向呈非零夹角的角度切割硅锭。根据本发明，本实施方式中的超声发射表面发射的超声波频率，优选在切割过程中随切割进度而进行持续调整，使得所述的超声波频率始终保持在硅锭系统的共振频率或接近共振频率上；或者，使硅锭的切割前沿始终处于硅锭中形成的超声波驻波的最大振幅处，即驻波波腹处。根据本发明，所述的超声波频率的持续调整，可以采用自动频率跟踪的方式自动调整超声波频率，也可以采用根据切割进度按照预先设定的算法(使频率成为切割深度的函数)来持续调整频率的方式自动调整超声波频率。后一种方式操作和实现更加简便，并且可以通过频率在某一频段范围内的周期性重复来实现共振频率或驻波波腹的保持，简化了超声发生装置的电控系统。根据本发明，本实施方式也可以切割其它任意材料的固体物体，例如，晶体材料、非晶体材料，金属或合金材料、陶瓷材料，硬脆材料、强韧材料，导电材料、非导电材料，等等，优选晶体硅和晶体氧化铝(蓝宝石、白宝石、红宝石，等等)、晶体碳化硅。根据本发明，本实施方式中所述的切割线网是由单根或多根切割线通过多线切割装置的布线系统例如布有线槽的导轮排列成的包含有至少2条切割线的线网，切割线、切割线网与待切割固体相接触的一侧为切割侧；切割线通过切割运动，包括沿切割路径的单向走线、双向往复走线、旋转、震动，或这几种运动方式的任意复合运动实现切割；此时，切割液被喷淋到所述的待切割硅锭的切割前沿，起到冷却切割前沿和带走切屑的作用，并在游离磨料线切割的情况下，携带起切割作用的磨料进入切割前沿。根据本发明的方法，本实施方式中所述的超声波发生装置优选具有狭长的超声发射表面，并优选其长度方向与硅锭的侧面的长度一致，这样能使超声波能量均匀地传递到硅锭上。本发明的应用于硅锭的钢线悬浮砂浆切片的超声波多线切割方法的再一种实施方式，参见图2，其中，与图1所示的实施方式的差异是，所述的超声发射表面31有两个或两组，分别设置在硅锭I的相对的两个侧面的上部。本发明的应用于硅锭的钢线悬浮砂浆切片的超声波多线切割方法的再一种实施方式，参见图3(未示出切割线网)，其中，与图1所示的实施方式的差异是，所述的超声发射表面31安装在与硅锭I的装载接触面同一表面的不同部分。
本发明的应用于硅锭的钢线悬浮砂浆剖方的超声波多线切割方法的一种实施方式，参见图4，其中，硅锭I设置在承载台4上，位于切割线网2的下方，在切割线网切割线的间隙设置至少一个超声波发生装置3，使其至少一个超声发射表面31从上方向下安装在硅锭的上表面上11，为提高超声传递效果，降低接触面超声阻抗，将超声传递介质32设置在超声发射表面和其所安装的硅锭的上表面之间。切割时，切割线在水平往复运动的同时，向下切入硅锭。本实施方式中，例如薄层的粘结剂、或橡胶片或聚四氟乙烯片可用作所述的超声传递介质。实施本发明的应用于硅锭的钢线悬浮砂浆切片的超声波多线切割方法的超声波多线切割设备的一种实施方式，参见图5，包含有切割线网2的装载及切割线运动驱动系统5、待切割硅锭I的装载系统4，以及使切割线网和待切割硅锭进行相向移动的移动系统4，还包含有至少一个超声波发生装置3及其超声发射表面31，其中，所述的超声发射表面设置在其工作时可安装在待切割硅锭的至少部分表面11上的位置；和任选的超声发射表面的夹具或压紧装置6，利用该夹具或压紧装置可将所述的超声发射表面31安装在所述的待切割物体的至少部分表面11上。根据本发明的超声波多线切割设备的上述实施方式中，所述的超声发射表面可以是平面，也可以是曲面，例如具有圆柱体侧面形状的表面，以便其能与待切割硅锭或硅棒的所述的表面紧密贴合，并且优选所述的超声发射表面具有和待切割物体基本上相同的至少一个尺寸，以便其能在至少一个尺度上覆盖所述的待切割硅锭或硅棒的部分表面，以均匀地传递超声波到娃锭或娃棒。根据本发明的超声波多线切割设备的上述实施方式中，适用于所述的超声发射表面安装于硅锭或待切割物体不同位置的表面，所述的超声发射表面可发射纵波超声波、横波复合纵波超声波、横波超声波，纵波复合扭转超声波等等，例如，安装于硅锭或待切割物体与切割方向平行的侧表面的超声发射表面，优选采用可发射包含有横波超声波的超声发射表面，例如，采用能发射横波超声波的斜面超声头或斜面超声发射表面。根据本发明，上述超声波多线切割设备可以是例如钢线或镀膜、涂膜钢线等游离磨料多线切割设备，也可以是例如金刚石磨料涂覆线(即固结磨料金刚石锯线)、或者立方氮化硼磨料涂覆线、或者碳化硼磨料涂覆线等固结磨料多线切割设备。本发明的上述超声波多线切割设备将超声发射表面直接安装于待切割物体的“悬空”的或者说“空闲”的表面，不仅较现有技术中将超声波发生装置安装于待切割物体的固定台上更加灵活方便，使用可靠和便于维护，更重要的是，由于可以灵活自由地选择不同的超声传递介质，同一台设备可以适用手切割各种不同的材料，并且超声能量传递的效率更高，可获得更好的超声切割效果。由于切割过程中被切割物体的质量或形状持续发生改变，被切割物体的固有频率(或本征频率、谐振频率)也随着持续改变:同时，被切割物体的切割前沿到超声发射表面的尺寸也持续改变(降低)，本发明采用超声波频率在切割过程中随切割进度而进行持续调整的方式，可使超声波频率始终等于或接近待切割物体和超声波发生装置所形成的系统的谐振频率，或者使待切割物体的切割前沿始终处于或接近超声波在待切割物体中所形成的驻波的最大振幅处即波腹处，这样大大提高了超声切割的效率。根据本发明，上述硅片切割专用设备，优选利用现有已商业化的普通多线切割专用设备改造获得，例如，利用日产NTC PV800、瑞士产MB264、MB271、HCT/B5等多线切割设备进行改造，只需设置超声波发生装置并将其超声振板或超声发射表面设置在待切割物体的某一悬空或暴露的表面处即可。这样的改造方式极其简单、成本低廉，并可利用已投入使用的晶硅光伏行业和LED晶片行业的大量现有线切割设备，降低投资和成本，提高行业竞争力。本发明的线切割方法及其专用设备，不仅具有较高的切割能力，而且也具有较广的使用范围，并不限于晶体材料的单线或多线切割，例如，还可用于金属、合金、玻璃体合金、陶瓷等固体材料的线切割，或用于其它硬脆材料的单线或多线切割，并且适合于各种类型和材料的切割线的线切割。试验表明，采用了本发明的超声波切割方法，用于金刚石线切割蓝宝石，切割速度较未使用超声波的普通金刚石线切割提高1.5倍以上，最高可提高2.5倍；用于悬浮砂浆线切割硅锭，切割速度可提高60%以上，最高提高1.8倍，极大地提高了生产效率；同时发现，无论是金刚石线切割，还是悬浮砂浆线切割，采用了本发明的超声波线切割方法，切割表面的粗糙度显著下降，表面粗糙度值最多可降低一半以上，从而获得更加光滑和损伤层更浅的切割表面。试验表明，采用本发明的超声波线切割方法，无论是采用固结磨料的线切割例如金刚石线切割，还是悬浮砂浆的线切割例如钢线的悬浮砂浆线切割，切割终了时被切割物体的切缘边缘的崩边、亮边等损伤均较普通线切割方法明显下降，包括用于晶体硅和蓝宝石等硬脆材料的单线或多线切片时，崩边、碎片、缺角明显下降，合格出片率提高。试验表明，采用本发明的超声波线切割方法，无论是采用固结磨料的线切割例如金刚石线切割，还是悬浮砂浆的线切割例如钢线的悬浮砂浆线切割，其切缝宽度均较相应的普通线切割方法明显降低，并且切片的厚度差异也明显降低，获得的切片厚度更均匀，其中，切割硅片时，硅片的TTV(全片的厚度极差)最低可降低到5 8微米，提高了硅片的质量和出片率。本领域的技术人员显而易见，在不偏离本发明的范围或构思的情况下，可以对所披露的方法和设备方案做出各种修改和变化，包括降低和提高切割的某些方面的指标的修改和变化。本发明的说明书和实施方案只是示例性的，考虑到说明书以及实践本文中披露的发明精神，本领域的技术人员可以显而易见本发明的其他实施方案。
权利要求
1.一种超声波多线切割方法,包括: (1)设置多线切割线网和待切割物体，其中，待切割物体以其至少部分表面为装载接触面装载固定于装载固定装置上； (2)设置包含有超声发射表面的至少一个超声波发生装置，并将超声发射表面安装于所述的待切割物体的其余表面的至少部分表面上； (3)启动切割线切割待切割物体，启动超声波发生装置，使超声发射表面产生的超声波传递到待切割物体； (4)保持切割线切割待切割物体直至完成切割；任选在切割完成前从所述的待切割物体表面上移开所述的超声发射表面。
2.根据权利要求1所述的超声波多线切割方法，其中，所述的超声发射表面和其所安装的待切割物体表面之间，还设置有超声传递介质。
3.根据权利要求2所述的超声波多线切割方法，其中，所述的超声传递介质包含有任选自以下一组介质中的至少一种:凝胶、胶体、膏状物、糊状物、液膜、油脂、水玻璃、液态金属、液态合金、木材、橡胶、氟橡胶、硅胶、粘结剂、蜡、尼龙、塑料、氟塑料、金属、合金、树脂、有机玻璃、玻璃、石英、石墨、云母、陶瓷、聚四氟乙烯、纸、薄膜。
4.根据权利要求1 3所述的超声波多线切割方法，其中，所述的超声发射表面产生的超声波包含有横波超声波。
5.根据权利要求1 3所述的超声波多线切割方法，其中，所述的超声发生装置的超声波频率在切割过程中随切割进度而进行持续调整。
6.根据权利要求1 3所述的超声波多线切割方法，其中，所述的超声发射表面分别安装在待切割物体的相对的两个表面上。
7.根据权利要求1 3所述的超声波多线切割方法，其中，所述的超声发射表面安装在待切割物体的装载接触面所在的侧面上。
8.根据权利要求1 3所述的超声波多线切割方法，其中，所述的超声发射表面具有和待切割物体基本相同的至少一个尺寸。
9.超声波多线切割设备，包含有切割线网的装载及切割线运动驱动系统、待切割物体的装载系统，以及使切割线网和待切割物体进行相向移动的移动系统，其特征是，还包含有至少一个超声波发生装置及其超声发射表面，其中，所述的超声发射表面设置在其工作时可安装在待切割物体的至少部分表面上的位置；和任选的超声发射表面的夹具或压紧装置，利用该夹具或压紧装置可将所述的超声发射表面安装在所述的待切割物体的至少部分表面上。
10.根据权利要求9所述的超声波多线切割设备，其特征是，所述的超声发射表面是可以发射横波超声波的斜面超声头。
全文摘要
本发明涉及专用于多线切割的改进的超声波线切割方法及实施该方法的专用设备。现有的超声波线切割方法和设备，虽然可以在切割效率、切割精度、切割质量等方面有极显著的优势，但由于通过固定待切割物体的工作台设置超声换能器，超声传导路径复杂、传递效率低，实际切割效果远远达不到预期，并且安装、调整复杂。本发明提出了改进的超声波多线切割方法和设备，将超声发射表面直接安装在待切割物体表面上，使超声波直接传递到待切割物体，极大地提高了超声传递的效果。本发明用于悬浮砂浆线切割和固结磨料线切割，能大幅提高超声切割的效率，并降低切割面的粗糙度，降低切割损失，提高成品率。
文档编号B28D1/06GK103158204SQ20111043202
公开日2013年6月19日 申请日期2011年12月11日 优先权日2011年12月11日
发明者赵钧永 申请人:赵钧永