专利名称:一种集成式特气房的制作方法
技术领域:
本实用新型涉及特种气体系统工程设备技术领域,特别涉及一种集成式特气房。
背景技术:
特种气体(以下简称特气)是指用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、夕卜延气体、离子注入气体、刻蚀气体以及工艺设备所使用的气体,大部分的特气泄漏后会对人员的生命健康造成威胁,也对环境造成污染,因此在实际生产中需要对特气设置单独的储存空间,便于对其进行较为妥善的保存。现有技术中,通常根据生产厂房所使用的特气的种类以及使用量决定是单独的区域建造独立的特气间还是在生产厂房内布置特气间。布置在生产厂房内的特气间,一般采用气瓶柜、气瓶架和气瓶集装格等部件向生产线供应特种气体,而当生产厂房内的气体储 量超过规定容量时,必须设计独立的特种气体房,一般采用气瓶集装格、卧式气瓶、槽车、长管拖车等向生产线供应特种气体。根据特种气体的性质一般又需要分为可燃性气体间、毒性/腐蚀性气体间和惰性气体间等。综上可知,不论是在生产厂房内布置特气间还是在单独的区域建造独立的特气房,均为土建结构。而且建设完成后,操作人员需要在建设好的特气房内对气体控制柜、气体监控装置以及配套管路进行布置,即需要操作人员在施工现场进行工作,不利于对特气房的集中生产。此外,由于土建结构的特气间或特气房的建设周期长,建造成本高,工程量大,且特气房内各种气体供应系统的安装调试受用户水、电、气等配套条件的影响,不可避免的会对用户的生产建设周期造成影响。因此,如何提供一种特气房,以便集中生产同时降低建设周期,是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种特气房,以便集中生产同时降低建设周期。为解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案—种集成式特气房,包括特气房主体和设置在所述特气房主体内的气体控制柜、气体监控装置以及配套管道系统,其中,所述特气房主体为具有上盖和下底且能够被运输的箱子。优选地,上述的集成式特气房中,所述特气房主体为金属板构成的箱子。优选地,上述的集成式特气房中,所述特气房主体为集装箱。优选地,上述的集成式特气房中,还包括EHS安全系统。优选地,上述的集成式特气房中,所述特气房主体的下底板上铺设有防静电耐磨PVC地板。优选地,上述的集成式特气房中,所述特气房主体的侧壁均铺设有防火板。优选地,上述的集成式特气房中,所述特气房主体的侧壁设置有门。优选地,上述的集成式特气房中,所述门为推拉式伸缩门或快推式防火门。[0015]从上述的技术方案可以看出,本实用新型提供了一种集成式特气房,包括特气房主体和设置在特气房主体内的气体控制柜、气体监控装置以及配套管道系统,其中,特气房主体为具有上盖和下底且能够被运输的箱子。通过将特气房主体设置为能够被运输的箱子的形式,使得特气房主体内部的设备、装置和管阀等的安装和调试工作均可在制造工厂内完成。使用时,只需要将其运输到用户现场,通过管道的连通即可实现特种气体的供应。通过上述描述可知,该集成式特气房可集中进行建设,因此,与土建房相比建造成本低,生产周期短。
图I为本实用新型实施例提供的集成式特气房的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型核心是提供一种集成式特气房,以便集中生产同时降低建设周期。为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案,
以下结合附图和实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。请参考图1,图I为本实用新型实施例提供的集成式特气房的结构示意图。本实用新型实施例公开的集成式特气房,包括特气房主体I和设置在该特气房主体I内的气体控制柜、气体监控装置以及配套管道系统,其中,特气房主体I为具有上盖和下底且能够被运输的箱子。通过将特气房主体I设置为能够被运输的箱子的形式,使得特气房主体I内部的设备、装置和管阀等的安装和调试工作均可在制造工厂内完成,使用时,只需要将其运输到用户现场,通过管道的连通即可实现特种气体的供应。通过上述描述可知,该集成式特气房可集中进行建设,因此,与土建房相比建造成本低,生产周期短。实际生产中,可根据设置的特种气体的种类和数量将该特气房主体I内部设置为多个小模块,即将该集成式特气房内部隔成多个小空间,以便对多种气体同时存放,还可将操作空间隔离出来,以保证操作人员的安全。具体的包括多个气瓶间3、气柜操作间4和配电间5,通过隔断的设计使各个区域模块化,便于管理;也可将多个特气房主体I组成整套特气系统,以便存放较大的特气钢瓶,同时,还可将气柜操作间4,配电间5集中放置,便于管理。在具体实施例中,由于金属板的机械强度大,生产成本低,可以将特气房主体I设置为由金属板构成的箱子。本领域技术人员还可以将其设置为金属复合板,由于金属复合板还具有防腐蚀性和防爆性,因此可进一步保证该特气房的使用长久性和安全性。在上述方案的技术上,为了进一步节省生产成本,本实施例中将特气房主体I设置为集装箱或进行简单改装的集装箱。由于同种型号的集装箱尺寸相同,因此,便于对同种型号的集装箱内的设备、装置和管阀等统一设置,即实现了批量生产,即进一步缩短生产周期。同时在生产过程中使用的集装箱可以为再次利用的集装箱,即可进一步节省生产成本。为了进一步保证该集成式特气房的安全性能,还包括EHS安全系统。EHS (环境Environment、健康Health、安全Safety的缩写)管理体系是环境管理体系和职业健康管理体系两体系的整合。[0026]为了进一步优化上述技术方案,本实施例中在特气房主体I的下底板上铺设防静电耐磨PVC地板。PVC地板是指采用聚氯乙烯材料生产的地板,具有安装施工快捷、维护方便,无毒,无辐射;同时还具有耐磨、耐刮擦,化学性能优良,耐腐蚀性强;表面平整光亮,抗静电效果持久的特性。因此,进一步延长了该集成式特气房的使用寿命。优选地,可将特气房主体I的侧壁均铺设有防火板。具体实施例中,在特气房主体I的侧壁上设置有供人进出和供用于运输气瓶的设备进出的门2,优选地,本实施例中提供的门2为推拉式伸缩门或快推式防火门,以方便操作人员进出该特气房。本实施例中,在特气房主体I 一边的侧壁上设置了供人员进出的普通式双开门,在相对边侧壁上开设了供运输气瓶的叉车进出的推拉式伸缩门或快推式防火门,本领域技术人员可以理解的是,开设的门2的大小和数量可根据不同的需要进行相应的调整,且均在保护范围内。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其他 实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种集成式特气房,包括特气房主体(I)和设置在所述特气房主体(I)内的气体控制柜、气体监控装置以及配套管道系统,其特征在于,所述特气房主体(I)为具有上盖和下底且能够被运输的箱子。
2.根据权利要求I所述的集成式特气房,其特征在于,所述特气房主体(I)为金属板构成的箱子。
3.根据权利要求I所述的集成式特气房,其特征在于,所述特气房主体(I)为集装箱。
4.根据权利要求I所述的集成式特气房,其特征在于,还包括EHS安全系统。
5.根据权利要求1-4任一项所述的集成式特气房,其特征在于,所述特气房主体(I)的下底板上铺设有防静电耐磨PVC地板。
6.根据权利要求5所述的集成式特气房,其特征在于,所述特气房主体(I)的侧壁均铺设有防火板。
7.根据权利要求5所述的集成式特气房,其特征在于,所述特气房主体(I)的侧壁设置有门(2)。
8.根据权利要求7所述的集成式特气房,其特征在于,所述门(2)为推拉式伸缩门或快推式防火门。
专利摘要本实用新型公开了一种集成式特气房,包括特气房主体和设置在所述特气房主体内的气体控制柜、气体监控装置以及配套管道系统,其中,所述特气房主体为具有上盖和下底且能够被运输的箱子。通过将特气房主体设置为能够被运输的箱子的形式,使得特气房主体内部的设备、装置和管阀等的安装和调试工作均可在制造工厂内完成。使用时,只需要将其运输到用户现场,通过管道的连通即可实现特种气体的供应。通过上述描述可知,该集成式特气房可集中进行建设,因此,与土建房相比建造成本低,生产周期短。
文档编号E04H7/04GK202658937SQ20122024795
公开日2013年1月9日 申请日期2012年5月29日 优先权日2012年5月29日
发明者连海洲, 吴海华, 薛元 申请人:上海至纯洁净系统科技股份有限公司