专利名称：一种金属气囊的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及气动机械技术领域，特别涉及一种适用于真空腔室的金属气囊。
背景技术：
目前市场上在狭窄缝隙中工作的气动产品十分稀少。有一种用于狭窄缝隙中夹紧模块，由于它的行程只有5_，使用范围非常有限，并且它通入压缩空气后发现有微量泄露，不适合在真空腔室中应用。另外一种橡胶类气囊漏气量更大，更不适用于真空腔室中。
实用新型内容为了解决现有的夹紧模块行程范围小，通入压缩空气后有泄漏，不适合在真空腔室中使用的问题，现提供了一种金属气囊。具体技术方案如下:一种金属气囊，包括上法兰和下法兰，所述上法兰和所述下法兰之间连接有波纹管，所述上法兰和所述下法兰的端部分别设有限位机构和回位机构。优选的，所述波纹管的中心轴线和所述上下法兰的中心轴线重合。优选的，所述限位机构为伸缩套筒，所述伸缩套筒安装在所述上法兰和所述下法兰之间。优选的，所述回位机构为回位弹簧，所述回位弹簧的两端分别连接所述上法兰和所述下法兰。优选的，所述波纹管为焊接波纹管。与现有技术相比·，上述技术方案提供的金属气囊具有以下优点:通过在上下法兰间连接波纹管，并在上下法兰端部设有限位机构和回位机构，向气囊中充入压缩空气，波纹管伸长，利用限位机构限位，回位机构回复，保证了金属气囊动作快速，密封性较好，适用于
真空腔室中。
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本实用新型实施例中提供的金属气囊示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。如图1所示，本实用新型实施例提供了一种金属气囊，包括上法兰5和下法兰1，上法兰5和下法兰I之间连接有波纹管2，上法兰5和下法兰I的端部分别设有限位机构3和回位机构4。其中，波纹管2的中心轴线和上下法兰的中心轴线重合。限位机构3为伸缩套筒，伸缩套筒安装在上法兰5和下法兰I之间。回位机构4为回位弹簧，回位弹簧的两端分别连接上法兰5和下法兰I。波纹管2为焊接波纹管。在作过程中，在金属气囊内通入压缩空气，由于波纹管2径向有一定刚度，波纹管2向两端端伸长,如果环境在一个大气压下。伸缩套筒3的气缸执行完伸长动作,卸掉压缩空气，能够在回位弹簧4的作用下自动回位。如果在真空环境内，气缸内卸掉压缩空气后还残留有一个大气压力的气体。需要将金属气囊内部抽成真空，让内外压力基本一至，在回位弹簧4的作用下，金属气囊可以回位。由于采用高密封性焊接波纹管，可使金属气囊工作于高真空中。因此金属气囊从结构、运行机制和性能完全达到了可工作于真空腔室中。不仅动作快速，而且密封性良好。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之 内。
权利要求1.一种金属气囊，其特征在于，包括上法兰和下法兰，所述上法兰和所述下法兰之间连接有波纹管，所述上法兰和所述下法兰的端部分别设有限位机构和回位机构。
2.根据权利要求1所述的金属气囊，其特征在于，所述波纹管的中心轴线和所述上下法兰的中心轴线重合。
3.根据权利要求1所述的金属气囊，其特征在于，所述限位机构为伸缩套筒，所述伸缩套筒安装在所述上法兰和所述下法兰之间。
4.根据权利要求1所述的金属气囊，其特征在于，所述回位机构为回位弹簧，所述回位弹簧的两端分别连接所述上法兰和所述下法兰。
5.根据权利要求2所 述的金属气囊，其特征在于，所述波纹管为焊接波纹管。
专利摘要本实用新型公开了一种金属气囊，属于气动机械技术领域。该金属气囊，包括上法兰和下法兰，所述上法兰和所述下法兰之间连接有波纹管，所述上法兰和所述下法兰的两端分别设有限位机构和回位机构。本实用新型通过在上下法兰间连接波纹管，并在上下法兰端部设有限位机构和回位机构，向气囊中充入压缩空气，波纹管伸长，利用限位机构限位，回位机构回复，保证了金属气囊动作快速，密封性较好，安全耐用，适用于真空腔室中。
文档编号C03C17/00GK203112696SQ20132004978
公开日2013年8月7日 申请日期2013年1月29日 优先权日2013年1月29日
发明者沈双宇 申请人:上海北玻镀膜技术工业有限公司, 上海北玻玻璃技术工业有限公司, 洛阳北方玻璃技术股份有限公司