一种多线切割晶片下料工装的制作方法

文档序号:15532159发布日期:2018-09-25 21:47阅读:774来源:国知局

本实用新型涉及晶棒加工领域,尤其是一种多线切割晶片下料工装。



背景技术:

在蓝宝石、硅锭等的多线切割中,需将圆柱形或立方形的晶棒粘接在多线切割料板上,然后晶棒在下、料板在上地安装在多线切割设备的机头上,机头带动晶棒一起下降,通过平行的切割线往复运动,将晶棒切成多个薄片,然后将切割后薄片同料板一起从多线切割设备上卸掉后反转,放在水中,高温下使薄片从胶上脱落。切割后的晶片仅通过上部边缘的胶与料板粘接,在下料的过程中会出现如下问题:1、切割后晶片与料板粘接面过小,晶片自重较大,导致晶片直接脱胶掉落、摔碎;2、在反转过程中,产品倾斜,导致产品边缘崩裂;3、高温脱胶后,产品倾斜倒下,互相碰撞导致崩裂。蓝宝石在消费类电子产品上的应用需要产品切割厚度在0.2mm以下,粘接面积更小,切割后产品更容易脱胶掉落。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是提供一种防止多线切割后的晶片在下料过程中掉落、倾斜、倾倒的下料工装。将经多线切割后的晶片限定在工装内,提高多线切割晶片的成品率。

为解决上述技术问题,本实用新型采用以下技术方案:

一种多线切割晶片下料工装,包括一对侧板以及上下位置可调节地连接在两个侧板之间的直条,两根直条之间连接有两根随直条同步上下运动的水平的高度限位杆,每根所述高度限位杆的固定位置可沿直条的长度方向调整;

每个所述侧板包括第一竖板,第一竖板上横向开有若干条上下对应设置的长度限位槽,长度限位杆可拆卸地设置在两个侧板的长度限位槽中,所述长度限位杆为可根据晶棒的大小设置在不同高度的长度限位槽中、且可沿长度限位槽移动的两根;

所述第一竖板的顶端向内相向地延伸出横板,横板的内端向上延伸出与所述第一竖板平行的第二竖板,两个第二竖板之间形成可容纳多线切割设备的料板的间隙;两个所述第二竖板对应开有若干个第一固定孔,固定螺栓、第一螺母可借助所述第一固定孔、料板上对应第一固定孔设置的通孔将所述多线切割晶片下料工装固定在多线切割设备的料板上。

优选地,所述第一竖板的两端向内相向地延伸出与竖板高度相等的直条固定板,直条固定板竖向开有直条固定槽,直条的两端对应所述直条固定槽开有第二固定孔,蝶形螺栓、第二螺母借助同侧的第二固定孔、直条固定槽将直条高度可调整的固定在直条固定板上。

更优选地,所述直条上沿其长度方向开有高度限位杆槽,所述高度限位杆为双头螺柱,双头螺柱的两端分别穿过两个直条的高度限位杆槽,双头螺柱的两端分别设有第一蝶形螺母。

更优选地,所述长度限位杆水平设置;所述长度限位杆为两端设有第二蝶形螺母的第二双头螺柱。

所述第一螺母、第二螺母为六角螺母。

与现有技术相比,本实用新型结构简单、可靠。包括一对侧板、上下位置可调节地连接在两个侧板之间的直条、高度限位杆、长度限位杆;每个侧板包括第一竖板,第一竖板的顶端向内相向地延伸出横板,横板的内端向上延伸出与所述第一竖板平行的第二竖板,两个第二竖板之间形成可容纳多线切割设备机头的间隙。使用过程中,所述长度限位杆固定在经过多线切割的晶棒的两侧,所述高度限位杆支撑在经过多线切割的晶棒的底部,将所有晶片限定在固定的空间内,从根本上避免晶片在下料过程中掉落、倾斜、倾倒,提高成品率。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细地解释。

图1是实施例多线切割晶片下料工装结构示意图;

图2是实施例多线切割晶片下料工装使用状态示意图。

具体实施方式

如图1~2所示,一种多线切割晶片下料工装,包括一对侧板10以及上下位置可调节地连接在两个侧板之间的直条20,两根直条20之间连接有两根水平的高度限位杆30,所述高度限位杆30随直条20同步上下运动,每根所述高度限位杆30的固定位置可沿直条20的长度方向调整。

每个所述侧板10包括第一竖板11,第一竖板11上横向开有若干条上下对应的长度限位槽111,长度限位杆40的两端可拆卸地固定在两个侧板10对应的长度限位槽111中,所述长度限位杆40为两根,可根据晶棒的截面大小设置在不同高度的长度限位槽111中、且可沿长度限位槽111移动。实施例中,所述长度限位杆40为两端设有第二蝶形螺母41的第二双头螺柱;所述长度限位杆40水平设置。

两个第一竖板11的顶端向内相向地延伸出横板12,横板12的内端向上延伸出与所述第一竖板11平行的第二竖板13,两个第二竖板13之间形成可容纳多线切割设备的料板9的间隙14,两个第二竖板13对应开有若干个(实施例中为两个)第一固定孔,固定螺栓15、第一螺母16(优选为六角螺母)可借助第一固定孔、料板9上对应第一固定孔设置的通孔将所述多线切割晶片下料工装固定在多线切割设备的料板上(如图2所示)。

实施例中,所述第一竖板11的两端向内相向地延伸出与竖板高度相等的直条固定板17,直条固定板17竖向开有直条固定槽171,直条20的两端对应所述直条固定槽171开有第二固定孔,蝶形螺栓18、第二螺母19(优选为六角螺母)借助同侧的第二固定孔、直条固定槽171将直条20高度可调整的固定在直条固定板17上。

实施例中,所述直条20上沿其长度方向开有高度限位杆槽21,所述高度限位杆30为第一双头螺柱,第一双头螺柱的两端分别穿过两个直条20的高度限位杆槽21,第一双头螺柱的两端分别设有蝶形螺母31。

所述工装可通过以下步骤使用:

1,料板9的下方设置多线切割垫板81,晶棒8的顶部粘接在垫板81的下表面,多线切割完成后将机头带动料板9上升到合适位置,使切割线与经过多线切割的晶棒8脱离;

2,取下工装的固定螺栓15及长度限位杆40,打开工装两侧的侧板10,将工装的空腔套住经过多线切割的晶棒,将固定螺栓15、螺母16将所述多线切割晶片下料工装固定在多线切割设备的机头上;

3,将2个长度限位杆40安装在高度合适的长度限位槽111中,2个长度限位杆40分别位于经过多线切割的晶棒的两侧,并沿所述长度限位槽111调整到所有晶片不会倾斜;

4,调节两个直条20的高度使得高度限位杆30分别与晶棒接触,确保所有晶片不会径向掉落;

5,将装有晶片、所述工装的料板9整体取下进行后工序加工。

所述长度限位杆40固定在经过多线切割的晶棒8的两侧,所述高度限位杆30支撑在经过多线切割的晶棒8的底部,将所有晶片限定在固定的空间内,从根本上避免晶片在下料过程中掉落、倾斜、倾倒,提高成品率。

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