一种多线切割晶片下料工装的制作方法

文档序号:15532159发布日期:2018-09-25 21:47阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多线切割晶片下料工装,其特征在于:包括一对侧板(10)以及上下位置可调节地连接在两个侧板之间的直条(20),两根直条(20)之间连接有两根随直条(20)同步上下运动的、水平的高度限位杆(30),每根所述高度限位杆(30)的固定位置可沿直条(20)的长度方向调整;

每个所述侧板(10)包括第一竖板(11),第一竖板(11)上横向开有若干条上下对应的长度限位槽(111),长度限位杆(40)可拆卸地设置在两个侧板(10)对应的长度限位槽(111)中,所述长度限位杆(40)为可根据晶棒的大小设置在不同高度的长度限位槽(111)中、且可沿长度限位槽(111)移动的两根;

两个所述第一竖板(11)的顶端向内相向地延伸出横板(12),横板(12)的内端向上延伸出与所述第一竖板(11)平行的第二竖板(13),两个第二竖板(13)之间形成可容纳多线切割设备的料板(9)的间隙(14);两个所述第二竖板(13)对应开有若干个第一固定孔;

固定螺栓(15)、第一螺母(16)可借助所述第一固定孔、以及料板(9)上对应第一固定孔设置的通孔将所述多线切割晶片下料工装固定在多线切割设备的料板(9)上。

2.如权利要求1所述的多线切割晶片下料工装,其特征在于:所述第一竖板(11)的两端向内相向地延伸出与竖板高度相等的直条固定板(17),直条固定板(17)竖向开有直条固定槽(171),直条(20)的两端对应所述直条固定槽(171)开有第二固定孔,蝶形螺栓(18)、第二螺母(19)借助同侧的第二固定孔、直条固定槽(171)将直条(20)高度可调整的固定在直条固定板(17)上。

3.如权利要求2所述的多线切割晶片下料工装,其特征在于:所述直条(20)上沿其长度方向开有高度限位杆槽(21),所述高度限位杆(30)为双头螺柱,双头螺柱的两端分别穿过两个直条(20)的高度限位杆槽(21),双头螺柱的两端分别设有第一蝶形螺母(31)。

4.如权利要求1~3任一项所述的多线切割晶片下料工装,其特征在于:所述长度限位杆(40)水平设置;所述长度限位杆(40)为两端设有第二蝶形螺母(41)的第二双头螺柱。

5.如权利要求1~3任一项所述的多线切割晶片下料工装,其特征在于:所述第一螺母(16)、第二螺母(19)为六角螺母。

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