一种太阳能硅片生产加工工艺的制作方法

文档序号:19251207发布日期:2019-11-27 20:15阅读:833来源:国知局
一种太阳能硅片生产加工工艺的制作方法

本发明属于硅片生产加工技术领域,具体涉及一种太阳能硅片生产加工工艺。



背景技术:

自由磨粒的多线切割是近年发展起来的一种新型硅片切割技术,它通过一系列钢丝带动碳化硅研磨料进行研磨加工来切割硅片,具有切割效率高成本低、切片品质好等优点,切割过程中硅棒通常是通过胶粘结或真空吸附等方式固定于基板上,而由于机械臂或者人工辅助放置硅棒时存在误差情况,导致硅棒放置位置出现偏心情况,而切割进给工艺是基于硅棒精确定位做出的,显然,上述硅棒位置的偏心是不易于硅片的品质提升。

说明书内容

针对硅棒切割加工过程中可能产生的硅棒位置不准确的问题,本发明提出了一种太阳能硅片生产加工工艺,通过对中装置对放置后的硅棒进行对中校正,解决了硅棒切割过程中的硅棒位置不精确的问题。为了解决以上技术问题,本发明所采用的技术方案如下:

一种太阳能硅片生产加工工艺,其特征在于,该加工工艺包括硅棒的对中步骤,硅棒基板上设置有吸附孔区域,当硅棒与基板表面接触时,硅棒通过抽吸粘附在基板上,当硅棒位于中心位置时,硅棒推动组件不与硅棒接触;当硅棒不在中心位置时,硅棒推动组件推动硅棒的边缘并将硅棒推入中心位置。

进一步地,所述硅棒推动组件包括杠杆,所述杠杆绕水平的回转轴线从后向前或者从前往后运动;所述杠杆的前部设有弯曲的接触部,当硅棒不在中心位置时,杠杆进行回转运动使得接触部与硅棒的边缘相互作用,将硅棒推入中心位置;当硅棒处于中心位置时,杠杆与硅棒的边缘不接触。

进一步地,所述硅棒推动组件为气动操作,硅棒推动组件还包括与所述杠杆连接的驱动机构,所述驱动机构推动杠杆前后转动。

常规的硅片品质提升往往注重于切割工艺的优化,往往忽略掉硅棒的精确定位对提升品质的影响,本技术通过在常规的硅片加工工艺中加入对中步骤,可以显著提升硅片的成形品质;且沿圆周等距均匀设置的硅棒推动组件可以大大提升对准效率和对准精度;调节件可以控制杠杆的运动范围,满足一定范围内不同直径硅棒的快速对中定位;另外,本技术所述的对中并不是绝对意义的对中,而是将硅棒限定在一定的允许位置偏差范围内,防止杠杆接触部因定位需求顶伤硅棒。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1本技术硅棒推动组件工作状态示意图一。

图2本技术硅棒推动组件工作状态示意图二。

图3本技术硅棒推动组件结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。

硅棒切割过程中,硅棒3稳定定位在基板2上,基板2上设置有吸附孔区域,当硅棒3与基板2表面接触时,硅棒3通过基板的抽吸粘附在基板2上,基板2设置于雨燕板4上,雨燕板4安装在线性驱动器上。硅棒推动组件1等间隔地设置在基板2上,所述硅棒推动组件1可以调节推动硅棒并使硅棒保持在吸附孔区域的中心位置。硅棒推动组件1从初始位置开始向着硅棒3的方向进行移动,当硅棒3的位置错位即硅棒3不在中心位置时,硅棒推动组件1移动直至硅棒推动组件1与硅棒3的边缘物理接触,硅棒推动组件1推动硅棒3并使硅棒3处于中心位置,在最初位置硅棒推动组件1并不与硅棒3接触,硅棒推动组件1由驱动机构带回至初始位置。

硅棒推动组件1包括硅棒推动机构11,硅棒推动机构11在硅棒3所在的区域内定幅度的转动。硅棒推动机构11可以是杠杆类的结构包括杠杆13,杠杆可以在其后部和前部之间绕水平的回转轴线转动,前部是指杠杆13转动所能到达的距离吸附孔区域中心线距离最短的位置处,后部是与前部相对应的位置,当硅棒推动机构11不工作时,杠杆13处于正常后部的位置。在硅棒推动机构11工作时,杠杆13朝向前部转动,硅棒3调节好后杠杆13便被释放返回到后部。

由于杠杆13围绕回转轴线在硅棒3所在的区域内从后部到前部或从前部到后部的转动运动是限定幅度的,这种限制可以通过安装调节螺钉来实现。当硅棒3在中心位置上时,硅棒3的边缘在杠杆的运动范围之外,杠杆从后部移动时并不会与硅棒3接触。

所述杠杆13的前部设有接触部12,硅棒3错位时接触部12与硅棒3的边缘接触并相互作用向内推动硅棒3。接触部12为弯曲的不规则的曲面,包括偏心部分,该偏心部分具有凸起轮廓,所述凸起轮廓在杠杆运动时推动硅棒3。

所述硅棒推动组件1均匀等距地设置在以吸附孔区域为圆心的圆周线上,以便于推动时接触部12与硅棒3的边缘接触。

如图3所示,硅棒推动组件1包括杠杆13,所述杠杆13的前部设有接触部12,且杠杆13围绕回转轴线向靠近或远离硅棒3的方向旋转。回转轴线穿过杠杆13的中间部分处的回转点14,杠杆13的推动范围通过旋转调节件16调节杠杆13旋转的角度来改变。

所述硅棒推动组件1和调节件16与底座15活动连接,底座15起到支撑硅棒推动组件1的作用,杠杆13的回转轴线由杠杆13和底座15上部的连接架连接的枢轴点确定,即回转轴线穿过杠杆13和连接架的连接点;所述调节件16位于回转轴线的下部;所述调节件16与杠杆13后侧的底部相配合,调节件16为调节螺钉,螺钉安装在底座15的支撑架上,以便于螺钉的螺纹调节轴线垂直于回转轴线;通过旋转螺钉在螺纹调节轴线上的位置限定杠杆13底部的运动范围,进而限定杠杆13顶部的最大运动范围,即硅棒推动组件1的运动范围。调节件16的相对位置设置有驱动机构,驱动机构17与杠杆13连接,驱动机构17驱动杠杆13围绕回转轴线回转,所述驱动机构17为气缸17,气缸17驱动杠杆13绕回转轴线从后部回转到前部。

为防止杠杆13的接触部12损伤硅棒3,杠杆13前部位置的设定允许硅棒3存在一定的对中偏差,即杠杆前部位置到吸附孔区域中心线的距离大于硅棒3的允许偏差的半径,即只用将硅棒3限定在一定的允许偏差范围内即可,防止接触部12顶伤硅棒13。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。



技术特征:

1.一种太阳能硅片生产加工工艺,其特征在于,该加工工艺包括硅棒的对中步骤,硅棒基板上设置有吸附孔区域,当硅棒与基板表面接触时,硅棒能通过抽吸粘附在基板上,当硅棒位于中心位置时,硅棒推动组件不与硅棒接触;当硅棒不在中心位置时,硅棒推动组件推动硅棒的边缘并将硅棒推入中心位置。

2.如权利要求1所述的一种太阳能硅片生产加工工艺,其特征在于,所述硅棒推动组件包括杠杆,所述杠杆绕水平的枢转轴线从后向前或者从前往后运动;所述杠杆的上部设有弯曲的接触部,当硅棒不在中心位置时,杠杆进行枢转运动使得接触部与硅棒的边缘相互作用,将硅棒推入中心位置;当硅棒处于中心位置时,杠杆与硅棒的边缘不接触。

3.如权利要求2所述的一种太阳能硅片生产加工工艺,其特征在于,所述硅棒推动组件为气动操作,硅棒推动组件还包括与所述杠杆连接的驱动机构,所述驱动机构推动杠杆前后转动。


技术总结
本申请涉及一种太阳能硅片生产加工工艺,通过在加工工艺中引入对中步骤,可以显著提升硅片的成形品质,且沿圆周等距均匀设置的硅棒推动组件可以大大提升对准效率和对准精度,调节件可以控制杠杆的运动范围,满足一定范围内不同直径硅棒的快速对中定位,本技术方案通过简单的工艺改进,可以显著提升硅片的成形质量。

技术研发人员:余江湖;刘君;郑松
受保护的技术使用者:安徽晶天新能源科技有限责任公司
技术研发日:2019.08.13
技术公布日:2019.11.26
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