一种单晶硅棒双向去头尾截断机的制作方法

文档序号:32080034发布日期:2022-11-05 07:18阅读:489来源:国知局
一种单晶硅棒双向去头尾截断机的制作方法

1.本实用新型涉及截断机设备技术领域,尤其涉及一种单晶硅棒使用的双向去头尾截断机。


背景技术:

2.多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢线上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦,从而达到切割目的。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高,产能高,精度高等优点。
3.在单晶硅棒的生产中,需要对单晶硅棒的头尾两端的尾料进行截断用来提高单晶硅棒的产品品质。在现有生产技术中,需要使用截断机先将单晶硅棒需要保留的尺寸进行切割。在切割的过程中,先将待加工的单晶硅棒测量长度后固定在架子上,再使用截断机将一端截断,然后再将单晶硅棒进行一次翻转,在固定到架子上,再测量长度,进而将单晶硅棒的另一端切割掉,进而完整一次完整的单晶硅棒的切割去头尾的工作。由于单晶硅棒具有较大的质量,在固定到架子上及在架子上翻转的过程中,十分的笨重,操作非常不便,并且还占用了大量的生产时间,严重影响生产速率。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于克服现有技术中单晶硅棒在两端头尾进行切割时劳动强度大,需要人工进行翻转的影响生产效率的不足,提供一种单晶硅棒双向去头尾截断机。
5.本实用新型是通过以下技术方案实现的:一种单晶硅棒双向去头尾截断机,包括安装平台,所述安装平台中间位置设置有用于固定待加工件的固定台,所述安装平台在固定台的左右两侧均滑动设置有截断机,所述截断机的底部设置有移动平台,所述移动平台的底部设置有驱动移动平台沿安装平台长度方向移动的驱动装置,所述安装平台的一侧壁上设置有控制面板。
6.进一步地,所述驱动装置包括设置在安装平台上且相互平行的两个第一导轨,所述第一导轨上设置有第一滑块,所述移动平台设置在第一滑块上,所述截断机栓接在移动平台上,所述移动平台的下部连接有第一驱动丝杆,所述第一驱动丝杆远离安装平台一端设置有第一驱动电机。
7.进一步地,所述安装平台上设置有用于安装移动平台的第一设备坑,所述移动平台的上表面与安装平台的上表面平齐,所述第一导轨及第一驱动丝杆设置在第一设备坑内。
8.进一步地,所述固定台沿安装平台的宽度方向滑动设置,所述固定台的底部设置有两个支架,所述支架的底部设置有第二滑块,所述第二滑块与设置在安装平台上的第二导轨连接。
9.进一步地,所述第二导轨沿安装平台的宽度方向设置,两所述支架之间设置连接
板,所述连接板的中间位置设置有用于横向驱动固定台的第二驱动丝杆,所述第二驱动丝杆的一端设置有第二驱动电机。
10.进一步地,所述固定台为l型,所述固定台上设置有用于锁紧待加工件的可调节的伸缩杆。
11.进一步地,所述截断机上设置有用于测量截断机到固定台之间距离的激光测距仪。
12.本实用新型的有益效果在于:安装平台中间位置安装有用于固定待加工件的固定台,在固定台上安装有用于锁紧待加工件的可调节的伸缩杆,在使用时不同直径的单晶硅棒放置到固定台上后,旋转手轮使得伸缩杆向前移动进而带动前方的挡板与单晶硅棒抵接,使得单晶硅棒固定,使得在切断时保持稳定,提高稳定性。安装平台在固定台的左右两侧均滑动安装有截断机,截断机滑动安装,使得两台截断机之间的距离能够根据需要进行改变,进而能够适应不同长度的单晶硅棒,适用面广,调整方便。在截断机的底部安装有移动平台,安装平台在固定台的左右两侧均滑动安装有截断机,截断机滑动安装,使得两台截断机之间的距离能够根据需要进行改变,进而能够适应不同长度的单晶硅棒,适用面广,调整方便。
附图说明
13.图1为本实用新型的整体结构示意图;
14.图2为本实用新型的另一角度结构示意图;
15.其中:1、安装平台;2、固定台;201、伸缩杆;3、移动平台;301、第一驱动丝杆;302、第一驱动电机;303、第一导轨;4、截断机;401、金刚线;5、控制面板;6、第二驱动丝杆;601、第二驱动电机;602、第二导轨。
具体实施方式
16.在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
17.下面将结合实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
18.实施例1
19.如图1-2所示:一种单晶硅棒双向去头尾截断机,包括安装平台1,安装平台1中间位置安装有用于固定待加工件的固定台2,在使用时单晶硅棒放置到固定台2上,其中固定台2为l型,在固定台2上安装有用于锁紧待加工件的可调节的伸缩杆201,在使用时不同直径的单晶硅棒放置到固定台2上后,旋转手轮使得伸缩杆201向前移动进而带动前方的挡板与单晶硅棒抵接,使得单晶硅棒固定,使得在切断时保持稳定,提高稳定性。
20.安装平台1在固定台2的左右两侧均滑动安装有截断机4,截断机4滑动安装,使得两台截断机4之间的距离能够根据需要进行改变,进而能够适应不同长度的单晶硅棒,适用面广,调整方便。在截断机4上安装有用于测量截断机4 到固定台2之间距离的激光测距仪,在使用时固定台2的长度一定,使用激光测距仪能够随时得知每台截断机4到固定台2处的距离,通过设备计算进而得出两截断机4之间的需要保留的单晶硅棒的长度,方便实用,简单明了。在截断机4的底部安装有移动平台3,在安装平台1上开设有用于安装移动平台3的第一设备坑,移动平台3的上表面与安装平台1的上表面平齐,在第一设备坑上安装风琴罩,不但防止回程和杂质进入内部还保证切割时随着移动平台3随动,保证使用效果。在移动平台3的底部安装有驱动移动平台3沿安装平台1 长度方向移动的驱动装置,使得截断机4能够在直线上进行移动,增强使用及控制效果。
21.其中驱动装置包括安装在安装平台1上且相互平行的两个第一导轨303,第一导轨303上安装有第一滑块,移动平台3设置在第一滑块上,截断机4使用地脚螺栓栓接在移动平台3上,在移动平台3的下部连接有第一驱动丝杆301,第一驱动丝杆301远离安装平台1一端安装有第一驱动电机302,其中第一导轨 303及第一驱动丝杆301设置在第一设备坑内,在安装平台1的一侧壁上设置有控制面板5,其中第一驱动电机302为伺服电机,在使用时控制面板5将数字信号通过伺服控制器转变成脉冲信号进而控制第一驱动电机302带动第一驱动丝杆301转动进而控制截断机4移动,进而控制截断机4的金刚线401与单晶硅棒的切割位置,使得截断位置和距离能够进行调整,也能够实现精准控制,控制技术成熟,使用稳定。
22.固定台2沿安装平台1的宽度方向滑动设置,在固定台2的底部焊接有两个支架,在支架的底部安装有第二滑块,第二滑块与设置在安装平台1上的第二导轨602连接,并且第二导轨602沿安装平台1的宽度方向设置,两支架之间设置连接板,连接板的中间位置设置有用于横向驱动固定台2的第二驱动丝杆6,第二驱动丝杆6的一端设置有第二驱动电机601,在使用时固定台2可以前后方向移动,使得在加工不同直径的单晶硅棒时能够调整固定台2的整体位置,使得单晶硅棒与截断机4能够保证合适的加工角度,提高切割截断效率,保证切割效果,能够适应不同直径的单晶硅棒,适用广泛,操作简单。并且第二导轨602、第二丝杆及滑块都安装在安装平台1平面以下,并在其上安装防尘罩,使得运动部件保持洁净,增强使用安全,延长使用寿命。
23.工作原理:固定台将不同直径的单晶硅棒横向固定,伸缩杆可以调整夹紧位置,进而适应不同直径的单晶硅棒,第二驱动电机带动第二驱动丝杆进而控制单晶硅棒能够前后水平移动,选择合适的切割位置。截断机在第一驱动电机与第一驱动丝杆的作用下使得截断机能够横向移动进而改变截断位置,即使单晶硅棒在固定台两端的长度不同也能控制两侧的截断机进行截断,使用伺服电机准确控制截断距离,精准定位截断位置,保证截断效果。
24.最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1