光刻蚀设备上的防护门的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种光刻蚀设备上的防护门，其至少包括：门体；与所述门体相连、且用于驱动所述门体打开/闭合的气缸，其中，所述气缸中的活塞将所述气缸的内腔分成第一腔体和第二腔体，在第一腔体充气时，所述活塞驱动所述门体闭合，在所述第二腔体充气时，所述活塞驱动所述门体打开，其中，位于围成所述第一腔体的气缸侧壁上设有通孔；以及一侧堵住所述通孔且另一侧相距所述通孔固定距离的弹性部件。本实用新型通过在所述第一腔体上设置泄气通孔，并在所述通孔处安装弹性部件，能够以极简便的方式来改造现有的防护门，以防止所述防护门在闭合时夹到手臂或者光罩模板等。
【专利说明】光刻蚀设备上的防护门
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种光刻蚀设备上的防护门。
【背景技术】
[0002]光刻蚀设备利用光罩模板在一片平整的硅片上构建半导体MOS管和电路。为了提高工作效率，光刻蚀设备中常存放几百个非常重要的光罩模板，当操作员需要更换光罩模板时，通过相应的指令，让所述光刻蚀设备调取相应的光罩模板，然后由操作员按动开门按钮，所述光刻蚀设备中的气缸驱动防护门打开，以便操作人员取出光罩模板，然后操作员再按动关门按钮，所述气缸再驱动所述防护门关闭。在实际操作时，操作员可能存在错误操作，未拿出光罩模板时就按动了关门按钮，导致出现手臂或光罩模板被夹等问题。现有的防护门没有对此的防护措施，因此，会出现手臂夹伤、光罩模板被夹坏等损失。因此，需要对现有的防护门进行改进。
实用新型内容
[0003]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种光刻蚀设备上的防护门，用于解决现有技术中光刻蚀设备的防护门缺少防御误操作能力的问题。
[0004]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种光刻蚀设备上的防护门，其至少包括:门体；与所述门体相连、且用于驱动所述门体打开/闭合的气缸，其中，所述气缸中的活塞将所述气缸的内腔分成第一腔体和第二腔体，在第一腔体充气时，所述活塞驱动所述门体闭合，在所述第二腔体充气时，所述活塞驱动所述门体打开，其中，位于围成所述第一腔体的气缸侧壁上设有通孔；以及一侧堵住所述通孔且另一侧相距所述通孔固定距离的弹性部件。
[0005]优选地，所述通孔位于所述活塞的行程范围之外。
[0006]优选地，所述气缸还设有分别向所述第一腔体和第二腔体充气/放气的作用管道。
[0007]优选地，所述防护门还包括:控制各所述作用管道分别向所述第一腔体和第二腔体充气/放气的控制按钮。
[0008]优选地，所述气缸的活塞的作用杆穿出所述第二腔体与所述门体相连。
[0009]优选地，所述弹性部件包括:一侧堵住所述通孔的堵塞件、与所述堵塞件相连的弹性件、及将所述堵塞件和弹性件固定在所述气缸侧壁的固定罩，其中，所述弹性件顶在所述固定罩的内壁上。
[0010]优选地，所述弹性件为弹簧。
[0011]优选地，所述固定罩通过螺丝固定在所述气缸侧壁上。
[0012]如上所述，本实用新型的光刻蚀设备上的防护门，具有以下有益效果:通过在第一腔体上设置泄气通孔，并在所述通孔处安装弹性部件，能够以极简便的方式来改造现有的防护门，以防止所述防护门在闭合时夹到手臂或者光罩模板等。【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1显示为本实用新型的光刻蚀设备上的防护门的结构示意图。
[0014]图2显示为本实用新型的光刻蚀设备上的防护门的一种优选方式的结构示意图。
[0015]元件标号说明
[0016]I防护门
[0017]11门体
[0018]12气缸
[0019]121第一腔体
[0020]122第二腔体
[0021]123活塞
[0022]124通孔
[0023]125a、125b作用管道
[0024]13弹性部件
【具体实施方式】
[0025]以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0026]请参阅图1。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。
[0027]如图1所示，本实用新型提供一种光刻蚀设备上的防护门。所述防护门I包括:门体11、气缸12、及弹性部件13。
[0028]所述门体11安装在所述光刻蚀设备的外侧面的轨道上，所述门体11关闭能够防止外界对所述光刻蚀设备工作的干扰，所述门体11打开能够方便操作员拿取/放置光罩模板。
[0029]所述气缸12与所述门体11相连，用于驱动所述门体11打开/闭合。其中，所述气缸12中的活塞123将所述气缸12的内腔分成第一腔体121和第二腔体122，在第一腔体121充气时，所述活塞123驱动所述门体11闭合，在所述第二腔体122充气时，所述活塞123驱动所述门体11打开，位于围成所述第一腔体121的气缸12侧壁上还设有通孔124。
[0030]其中，所述气缸12可以为单作用管道气缸或双作用管道气缸。优选地，如图2所示，所述气缸12的侧壁上设有分别向所述第一腔体121和第二腔体122充气/放气的作用管道125a、125b。优选地，所述防护门还包括:控制各所述作用管道125ba、125b分别向所述第一腔体121和第二腔体122充气/放气的控制按钮。
[0031]所述活塞123通过作用杆与所述门体11固定相连。例如，所述气缸12竖直放置在所述门体11旁边，所述作用杆位于所述活塞123上方，则所述作用杆穿过所述第一腔体121与所述门体11固定相连。优选地，例如，所述气缸12竖直放置在所述门体11旁边，所述作用杆位于所述活塞123下方，则所述作用杆穿过所述第二腔体122与所述门体11固定相连。
[0032]例如，如图2所示，所述气缸12竖直放置在所述门体11旁边，其中，所述作用杆穿过第二腔体122与所述门体11相连，所述气缸12受控制按钮的控制，当按下控制按钮时，位于所述第二腔体122的作用管道125b向所述第二腔体122充气，同时作用管道125a向所述第一腔体121放气，所述活塞123带动所述门体11向上打开；当所述控制按钮抬起时，所述作用管道125a向所述第一腔体121充气，同时所述作用管道125b向所述第二腔体122放气，所述活塞123带动所述门体11向下闭合。
[0033]所述弹性部件13 —侧堵住所述通孔124且另一侧相距所述通孔124固定距离，用于在第一腔体121充气过程中气压过大时，释放所述第一腔体121内的气压。其中，所述弹性部件13可以是贴在所述通孔124上的弹片。优选地，所述弹性部件13包括:一侧堵住所述通孔124的堵塞件、与所述堵塞件相连的弹性件、及将所述堵塞件和弹性件固定在所述气缸12侧壁的固定罩，其中，所述弹性件顶在所述固定罩的内壁上。其中，所述弹性件可以是弹簧，所述固定罩可以通过螺丝固定在所述气缸侧壁上。
[0034]具体地，如图2所示，当所述气缸12驱动门体11闭合过程中，有外部物体阻挡了所述门体11闭合，则通过作用杆与所述门体11联动的活塞123也将停止运动，此时，由于作用管道125a的不断充气，处于充气过程的第一腔体121中的气压越来越大，当所述气压对气缸12侧壁的作用力大于所述弹性部件13中弹性件的形变所产生的反作用力时，所述弹性部件13中的堵塞件被顶起，并所述第一腔体121释放气压，如此，该外部物体受到的压力将会减小，由此来保护所述物体不受损伤。
[0035]所述防护门I的打开过程举例如下:
[0036]如图2所示，所述气缸12在控制按钮的控制下，作用管道125b向所述第二腔体122充气，同时所述作用管道125a将所述第一腔体121内的气体排出，所述气缸12内的活塞123通过作用杆带动所述门体11打开。
[0037]所述防护门I在闭合过程中遇到外部物体干扰时的工作过程举例如下:
[0038]所述气缸12在控制按钮的控制下，所述作用管道125a向所述第一腔体121充气，同时所述作用管道125b将所述第二腔体122内的气体排出，当外部物体阻挡所述门体11闭合时，所述门体11通过作用杆带动活塞123停止移动，所述第一腔体121内的气压会越来越大，同时，围成所述第一腔体121气缸侧壁上的压力也会越来越大，当所述第一腔体121内对堵塞气缸12侧壁上的通孔124的弹性部件的压力大于所述弹性部件13发生形变的初始力时，所述弹性部件13被弹起，使得所述第一腔体121内的气体通过所述通孔124放气，以便所述第一腔体121内的气压减弱，同时还会减少所述第一腔体121对所述活塞123的作用力，同样，所述活塞123通过作用杆将该作用力传递给所述门体11，则所述门体11对相应的物体的作用力也随之减少，由此将不会压坏所述物体。当所述物体被移开，所述活塞123在所述第一腔体121的气压下继续移动，此时，所述第一腔体121对所述通孔124的压力减小，所述弹性部件13恢复并重新堵塞所述通孔124，第一腔体121的气压使得所述活塞123带动所述门体11予以闭合。
[0039]综上所述，本实用新型的光刻蚀设备上的防护门，通过在第一腔体上设置泄气通孔，并在所述通孔处安装弹性部件，能够以极简便的方式来改造现有的防护门，以防止所述防护门在闭合时夹到手臂或者光罩模板等。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0040]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种光刻蚀设备上的防护门，其特征在于，至少包括: 门体； 与所述门体相连、且用于驱动所述门体打开/闭合的气缸，其中，所述气缸中的活塞将所述气缸的内腔分成第一腔体和第二腔体，在第一腔体充气时，所述活塞驱动所述门体闭合，在所述第二腔体充气时，所述活塞驱动所述门体打开，其中，位于围成所述第一腔体的气缸侧壁上设有通孔；以及 一侧堵住所述通孔且另一侧相距所述通孔固定距离的弹性部件。
2.根据权利要求1所述的光刻蚀设备上的防护门，其特征在于，所述通孔位于所述活塞的行程范围之外。
3.根据权利要求1所述的光刻蚀设备上的防护门，其特征在于，所述气缸还设有分别向所述第一腔体和第二腔体充气/放气的作用管道。
4.根据权利要求3所述的光刻蚀设备上的防护门，其特征在于，所述防护门还包括:控制各所述作用管道分别向所述第一腔体和第二腔体充气/放气的控制按钮。
5.根据权利要求1所述的光刻蚀设备上的防护门，其特征在于，所述气缸的活塞的作用杆穿出所述第二腔体与所述门体相连。
6.根据权利要求1所述的光刻蚀设备上的防护门，其特征在于，所述弹性部件包括:一侧堵住所述通孔的堵塞件、与所述堵塞件相连的弹性件、及将所述堵塞件和弹性件固定在所述气缸侧壁的固定罩，其中，所述弹性件顶在所述固定罩的内壁上。
7.根据权利要求6所述的光刻蚀设备上的防护门，其特征在于，所述弹性件为弹簧。
8.根据权利要求6所述的光刻蚀设备上的防护门，其特征在于，所述固定罩通过螺丝固定在所述气缸侧壁上。
【文档编号】E05F15/02GK203441251SQ201320545083
【公开日】2014年2月19日 申请日期:2013年9月3日 优先权日:2013年9月3日
【发明者】胡文祥 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司