专利名称：多吸取囊的晶粒吸取工具的制作方法
技术领域：
多吸取囊的晶粒吸取工具技术领域[0001]本实用新型涉及电子加工行业中一种工具，特别是一种吸取晶粒的工具。
技术背景[0002]在半导体的加工行业中，需要频繁的拾取晶粒，晶粒是具有较小的片状物，拾 取比较麻烦，在现有技术中吸取晶粒的工具是下部是一个吸盘，吸盘下面是一个具有小 孔的平面结构，由于其具有一个小孔，上部有一个连通小孔的橡胶吸附囊，这样的工具 有只可以吸附一片晶片、不能吸取多片晶粒的缺点，更不能按照要求分时放下晶片的缺点ο发明内容[0003]本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种一次可以侧吸取多片，还可以 分时放下所吸取的晶片的吸取工具——多吸取囊的晶粒吸取工具。[0004]本使用新型的具体方案是，多吸取囊的晶粒吸取工具，它包括多个橡胶吸取皮 囊和吸盘，其特征是所述的吸盘下面具有多个小孔，上面具有多个吸取腔，每个吸取 腔连通不相同的小孔，每个吸附腔连接各自的橡胶吸取皮囊，在橡胶吸取皮囊和吸附腔 连接处还有开关。[0005]本实用新型的有益效果是这样的吸取晶粒的工具具有使用更方便、灵活、一 次可以侧吸取多片，还可以分时放下所吸取的晶片的优点。
[0006]图1是本实用新型多吸取囊的晶粒吸取工具的结构示意图。[0007]1、橡胶吸取皮囊2、吸盘3、小孔4、吸取腔5、开关具体实施方式
[0008]
以下结合附图对本实用新型作进一步的说明。[0009]如图1所示，多吸取囊的晶粒吸取工具，它包括多个橡胶吸取皮囊1和吸盘2， 其特征是所述的吸盘2下面具有多个小孔3，上面具有多个吸取腔4，每个吸取腔4连 通不相同的小孔3，当然，也就不相通了，每个吸附腔4连接各自的橡胶吸取皮囊1，在 橡胶吸取皮囊1和吸附腔4连接处还有开关5。
权利要求1.多吸取囊的晶粒吸取工具，它包括多个橡胶吸取皮囊和吸盘，其特征是所述的 吸盘下面具有多个小孔，上面具有多个吸取腔，每个吸取腔连通不相同的小孔，每个吸 附腔连接各自的橡胶吸取皮囊，在橡胶吸取皮囊和吸附腔连接处还有开关。
专利摘要本实用新型涉及电子加工行业中一种工具，特别是一种吸取晶粒的工具。多吸取囊的晶粒吸取工具，它包括多个橡胶吸取皮囊和吸盘，其特征是所述的吸盘下面具有多个小孔，上面具有多个吸取腔，每个吸取腔连通不相同的小孔，每个吸附腔连接各自的橡胶吸取皮囊，在橡胶吸取皮囊和吸附腔连接处还有开关。这样的吸取晶粒的工具具有使用更方便、灵活、一次可以侧吸取多片，还可以分时放下所吸取的晶片的优点。
文档编号B25B11/00GK201799952SQ201020548800
公开日2011年4月20日 申请日期2010年9月30日 优先权日2010年9月30日
发明者宋暖, 张志辉, 欧阳进民 申请人:河南久大电子电器有限公司