一种低成本柔顺并联微动平台的制作方法

本实用新型涉及一种低成本柔顺并联微动平台，属于先进制造中的精密技术领域。

背景技术：

随着科学技术的发展，在现阶段精密定位技术的相关研究中,常用到由柔顺机构作为执行器的微动平台。但微动平台虽拥有非常高的定位精度,但是成本较高。通常情况下，为了实现微动平台精密定位的要求，通常需要高性能驱动器及其控制系统。因此，通过设计一种低成本柔顺并联微动平台，由成本较低的微调螺纹副对微动平台进行驱动，既实现了较小位移的精密输出，同时也降低了微动平台的成本。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种既能实现较小位移的精密输出，同时也能降低成本的柔顺并联微动平台。其技术方案为：

一种低成本柔顺并联微动平台，包括固定平台（2）、微动平台（4）和微调螺纹副（1）,其特征在于：三个微调螺纹副（1）安装在固定平台（2）上，连接固定平台（2）与微动平台（4）的三条支链呈120度均匀分布，在每条支链中，连杆a（8）通过直圆柔性铰链a（9）与微动平台（4）相连接，连杆a（8）的另一端与连杆b（6）通过直圆柔性铰链b（7）连接，连杆b（6）的另一端与折叠簧片（5）相联接，连杆b（6）的两侧面通过直线导向机构平行四杆柔铰（3）与固定平台（2）联接为一体，微调螺纹副（1）与固定平台（2）通过螺纹联接相连接，微调螺纹副（1）的安装中心与折叠簧片（5）的受力中心在同一中心轴线上。

在一些实施方式中，微动平台（4）通过低成本的微调螺纹副（1）的驱动作用实现微位移的精密输出，既实现了较小位移的精密输出，同时也降低了微动平台的成本。

其工作原理为：安装在微动平台上受力处的折叠簧片具有位移缩小的作用，通过其位移缩小作用，可以实现宏观的输入获得微观的输出，从而保证微动平台的精度，安装在固定平台上的三个微调螺纹副在控制系统的控制下通过施加不同的作用力实现微位移的精密输出，既实现了较小位移的精密输出，同时也降低了微动平台的成本。

本实用新型与现有技术相比，其优点在于：

通过折叠簧片的位移缩放作用，平行四杆柔铰作为位移导向机构，使用成本较低的微调螺纹副进行驱动的低成本柔顺并联微动平台，在该平台中，通过折叠簧片的位移缩放，将低成本驱动器的宏观输入位移进行比例缩小，实现平台的微观输出，在保证精度的同时，也降低了微动平台的成本。

附图说明

图1是本实用新型实施例的微动平台结构示意图；

图2是本实用新型实施例的微动平台折叠簧片放大示意图；

图中：1、微调螺纹副 2、固定平台 3、平行四杆柔铰 4、微动平台 5、折叠簧片6、连杆b 7、直圆柔性铰链b 8、连杆a 9、直圆柔性铰链a

具体实施方式：

以下结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。

一种低成本柔顺并联微动平台，包括固定平台（2）、微动平台（4）和低成本的微调螺纹副（1）,其特征在于：三个微调螺纹副（1）安装在固定平台（2）上，连接固定平台（2）与微动平台（4）的三条支链呈120度均匀分布，在每条支链中，连杆a（8）通过直圆柔性铰链a（9）与微动平台（4）相连接，连杆a（8）的另一端与连杆b（6）通过直圆柔性铰链b（7）连接，连杆b（6）的另一端与折叠簧片（5）相联接，连杆b（6）的两侧面通过直线导向机构平行四杆柔铰（3）与固定平台（2）联接为一体，所述微调螺纹副（1）与固定平台（2）通过螺纹联接相连接，微调螺纹副（1）的安装中心与折叠簧片（5）的受力中心在同一中心轴线上。

微动平台（4）受到三条相同结构的支链约束，实现平面内x,y两个互相垂直上的平动和绕z轴的转动，由于采用完全相同的运动链，平台具有良好的各向同性。

微动平台（4）通过低成本的微调螺纹副（1）的驱动作用实现微位移的精密输出，既实现了较小位移的精密输出，同时也降低了微动平台的成本。