技术总结
本实用新型公开了一种三轴移动开关密封门机构，该机构包括行车移动组件、竖直移动组件以及抓门移动组件，所述行车移动组件设置在干燥炉中真空腔与密封门配合的竖直平面上，所述竖直移动组件安装在所述行车移动组件上，所述抓门移动组件安装在所述竖直移动组件上，所述行车移动组件和所述竖直移动组件的运动方向相互垂直，所述抓门移动组件的运动方向与所述竖直平面相互垂直；所述抓门移动组件的工作端设置有抓门钩，与所述密封门的卡槽短轴配合。本实用新型能够实现对所有真空腔的密封门进行统一的伺服控制，减少系统布线，提高干燥炉系统的协同控制能力，提升了系统运行稳定性。
技术研发人员：臧世伟;王文明;夏笔文;李晴;郑飞;曾卫春;龙国斌
受保护的技术使用者：深圳市镭煜科技有限公司
技术研发日：2017.08.24
技术公布日：2018.07.10