1.一种基于视觉系统的高精密对位装置，其特征在于，包括：减震台(10)、精密对位平台(20)和视觉检测装置(30)；所述精密对位平台(20)包括动平台(2)、定平台(1)和驱动机构；所述动平台(2)设于定平台(1)的上方；动平台(2)与定平台(1)相互平行；所述定平台(1)与动平台(2)之间设置有导向机构；所述视觉检测装置(30)包括工业相机(301)、光源(302)和相机支架(303)；所述相机支架(303)的底部安装于减震台(10)上，相机支架(303)的顶部安装有工业相机(301)和光源(302)；
所述导向机构包括三套导向组件(3)；
所述导向组件(3)包括第一直线运动导向元件(4)、第二直线运动导向元件(5)和回转运动导向元件(6)，第一直线运动导向元件(4)的导向方向与第二直线运动导向元件(5)的导向方向相互垂直，并且第一直线运动导向元件(4)中的固定件(8)与第二直线运动导向元件(5)的活动件(7)相连，第一直线运动导向元件(4)中的活动件(7)通过回转运动导向元件(6)与动平台(2)相连，回转运动导向元件(6)可使动平台(2)相对于第一直线运动导向元件(4)的活动件(7)绕回转运动导向元件(6)的轴心线旋转，回转运动导向元件(6)的轴心线与Z向平行，第二直线运动导向元件(5)的固定件(8)与定平台(1)相连；
其中一套导向组件(3)中的回转运动导向元件(6)与动平台(2)的几何中心相连，并且此导向组件(3)中的第一直线运动导向元件(4)对动平台(2)作X向导向，此导向组件(3)中的第二直线运动导向元件(5)对动平台(2)作Y向导向，驱动机构有三套，其中一套驱动机构驱动此第二直线运动导向元件(5)的活动件(7)沿Y向移动，进而驱动动平台(2)沿Y向移动；
另外两套导向组件(3)中的回转运动导向元件(6)分别与动平台(2)相连，并且此两回转运动导向元件(6)关于动平台(2)的对称中心中心对称，此两套导向组件(3)中的第一直线运动导向元件(4)对动平台(2)作Y向导向，此两套导向组件(3)中的第二直线运动导向元件(5)对动平台(2)作X向导向，并且另外两套驱动机构各自驱动一第二直线运动导向元件(5)的活动件(7)沿X向移动，进而驱动动平台(2)沿X向移动；
所述定平台(1)与视觉检测装置(30)都安装于减震台(10)上，视觉检测装置(30)的视觉检测部分位于动平台(2)上方。
2.根据权利要求1所述的基于视觉系统的高精密对位装置，其特征在于，所述驱动机构包括控制器、伺服电机(92)以及传动机构(93)；控制器通过控制伺服电机(92)驱动传动机构(93)，从而使精密对位平台(20)沿X、Y、θ方向做相应的运动。
3.根据权利要求1所述的基于视觉系统的高精密对位装置，其特征在于，所述视觉检测装置(30)还包括标定板(310)；标定板(310)设于动平台(2)上。
4.根据权利要求1所述的基于视觉系统的高精密对位装置，其特征在于，所述导向机构还包括有两套导向组件(3)，此两套导向组件(3)中的回转运动导向元件(6)分别与动平台(2)相连，并且此两回转运动导向元件(6)关于动平台(2)的对称中心中心对称，此两套导向组件(3)中的第一直线运动导向元件(4)对动平台(2)作Y向导向，此两套导向组件(3)中的第二直线运动导向元件(5)对动平台(2)作X向导向。
5.根据权利要求1或4所述的基于视觉系统的高精密对位装置，其特征在于，所述第一直线运动导向元件(4)与第二直线运动导向元件(5)为滚动直线导轨副，第一直线运动导向元件(4)与第二直线运动导向元件(5)的活动件(7)为滚动直线导轨副中的滑块，第一直线运动导向元件(4)与第二直线运动导向元件(5)的固定件(8)为滚动直线导轨副中的导轨，回转运动导向元件(6)为交叉滚珠轴环，交叉滚珠轴环的外圈与动平台(2)相连，交叉滚珠轴环的内圈与第一直线运动导向元件(4)的活动件(7)相连。
6.根据权利要求2所述的基于视觉系统的高精密对位装置,其特征在于，所述传动机构(93)包括滚珠丝杆副(931)、连接板和两个轴承座(933)；
所述滚珠丝杆副(931)中的丝杠两端各与一轴承座(933)旋转连接；
所述伺服电机(92)通过联轴器与丝杠连接；
所述连接板的一端与滚珠丝杆副(931)中的螺母相连，另一端与第一直线运动导向元件(4)的滑块相连，伺服电机(92)驱动丝杠旋转，进而带动滑块在导轨上直线运动。
7.根据权利要求1所述的基于视觉系统的高精密对位装置,其特征在于，所述定平台(1)上开设多个定位孔，减震台(10)上设有与定位孔相对应数量的定位销，并且定位销插设于相应定位孔内。
8.根据权利要求1所述的基于视觉系统的高精密对位装置，其特征在于，所述相机支架(303)包括两个相机垂直支架组件(3034)和相机横梁(3035)；所述相机横梁(3035)的两端分别安装于两个相机垂直支架组件(3034)的顶部；两个相机垂直支架组件(3034)的底部固定安装于减震台(10)上且分别位于精密对位平台(20)的两侧。
9.根据权利要求8所述的基于视觉系统的高精密对位装置，其特征在于，所述相机支架(303)还包括手动滑台(3031)、连接块(3032)和相机夹具(3033)；所述相机夹具(3033)通过连接块(3032)安装于手动滑台(3031)的一侧部，手动滑台(3031)的另一侧部安装于相机横梁(3035)上；相机夹具(3033)用于安装工业相机(301)并保持工业相机(301)与动平台(2)相垂直；手动滑台(3031)用于调节工业相机(301)的空间位置。
10.根据权利要求8所述的基于视觉系统的高精密对位装置,其特征在于，所述相机垂直支架组件(3034)包括相机支架垂直型材(30211)和相机支架底座(30212)；所述相机支架垂直型材(30211)安装于相机支架底座(30212)上，相机支架底座(30212)固定安装于减震台(10)上。