导向机构及可移动平台的制作方法

本申请涉及半导体设备领域，尤其是涉及一种导向机构及可移动平台。

背景技术：

1、在高集成度的半导体设备当中，工件台工作时位于狭小空间，为实现对工件台的维护维修，需要将工件台移出至开阔空间，以便进行进一步的维修操作，维护维修结束后，需要将工件台重新移入至狭小空间的工作位。

2、然而，现有对工件台移入移出的方案，不仅复杂，且设计难度大，具体来说，现有一般采用电机或者摆缸以及连杆的配合实现对工件台的移入或移出，然而想达到上述目的，需要很多的精密机构，例如，需要使用高的精度的旋转电机或者摆缸，且对精密机构的转角精度，以及连杆的转动精度要求很高，因此，现有方案不仅结构复杂，设计难度大，且设备成本较高。

技术实现思路

1、本申请的目的是在于提供一种导向机构及可移动平台，从而解决了现有对工件台移入移出的方案，不仅结构复杂，设计难度大，且设备成本较高的问题。

2、根据本申请第一方面提供了一种导向机构，所述导向机构设置在工件台的顶部或底部，用于将所述工件台移出预定空间或将所述工件台移入预定空间，所述导向机构包括多个滑动件以及彼此相连的第一滑轨和第二滑轨，所述第一滑轨与所述第二滑轨交叉设置，每一所述滑动件能够连接所述工件台和所述第一滑轨或第二滑轨，所述工件台移出预定空间时，多个所述滑动件中的至少部分滑动件能够由所述第一滑轨滑动至所述第二滑轨，所述工件台移入预定空间时，多个所述滑动件中的所述至少部分滑动件能够由所述第二滑轨滑动至所述第一滑轨。

3、在上述任意技术方案中，进一步地，所述第一滑轨与所述第二滑轨的夹角为钝角。

4、在上述任意技术方案中，进一步地，所述第一滑轨和所述第二滑轨首尾相连，多个所述滑动件包括第一滑动件、第二滑动件以及第三滑动件，所述工件台的一侧部连接有所述第一滑动件，与所述工件台的一侧部相邻的侧部依次连接有所述第二滑动件和所述第三滑动件，在所述工件台移入状态下，所述第一滑动件与所述第二滑动件均连接所述第一滑轨，所述第三滑动件处于脱离状态，在所述工件台移出预定空间过程中，当所述第二滑动件滑动至所述第一滑轨的尾端时，所述第三滑动件从所述第二滑轨进入，当所述第三滑动件滑动至所述第二滑轨的尾端时，所述第一滑动件脱离所述第一滑轨。

5、在上述任意技术方案中，进一步地，所述导向机构还包括第一分轨和第二分轨，所述第一分轨连接在所述第一滑轨的中部，并与所述第二滑轨平行，在所述工件台移出预定空间过程中，所述第一滑动件由所述第一分轨脱离所述第一滑轨，所述第二分轨连接在所述第二滑轨的中部，并与所述第一滑轨平行，在所述工件台移出预定空间过程中，所述第三滑动件由所述第二分轨进入所述第二滑轨。

6、在上述任意技术方案中，进一步地，所述第一滑轨为两个，两个所述第一滑轨平行设置，两个所述第一滑轨中的第一者的尾端连接所述第二滑轨的首端，两个所述第一滑轨中的第二者的尾端连接所述第二滑轨的中部，多个所述滑动件包括第一滑动件以及第二滑动件，所述工件台的一侧部依次连接有所述第一滑动件和所述第二滑动件，在所述工件台移入状态下，所述第一滑动件连接所述第一者，所述第二滑动件连接所述第二者，在所述工件台移出预定空间过程中，所述第一滑动件滑动至所述第一者的尾端，并滑动至所述第二滑轨的中部，所述第二滑动件滑动至所述第二者的尾端，并滑动至所述第二滑轨的尾端。

7、在上述任意技术方案中，进一步地，所述第二滑轨包括缺口，所述导向机构还包括换向器，所述换向器包括第一格挡部和第二格挡部，在所述工件台移入状态下，所述第一格挡部闭合所述缺口，所述第二格挡部封堵所述第二滑轨，并与所述第二者平行，在所述工件台移出预定空间过程中，所述第一滑动件能够触碰所述第二格挡部，以使得所述第二格挡部封堵所述第二者的尾端，在所述工件台移入预定空间过程中，所述第一滑动件能够触碰所述第一格挡部，以使得所述第一格挡部闭合所述缺口。

8、在上述任意技术方案中，进一步地，所述滑动件为凸轮导向器，所述凸轮导向器的轴承部与所述第一滑轨或所述第二滑轨滑动连接，所述凸轮导向器的螺纹部与所述工件台连接。

9、根据本申请第二方面提供了一种可移动平台，所述可移动平台包括如上所述的导向机构。

10、在上述任意技术方案中，进一步地，所述可移动平台还包括工件台，所述第一滑轨与所述第二滑轨在同一平面上，所述工件台平行所述第二滑轨。

11、在上述任意技术方案中，进一步地，所述可移动平台还包括滚轮组件，所述滚轮组件和所述导向机构均设置在所述工件台的底部。

12、根据本申请的导向机构，导向机构设置在工件台的顶部或底部，用于将工件台移出预定空间或将工件台移入预定空间(预定空间例如可以是工件台工作时位于的狭小空间)，其中，导向机构包括多个滑动件以及彼此相连的第一滑轨和第二滑轨，第一滑轨与第二滑轨交叉设置，每一滑动件能够连接工件台和第一滑轨或第二滑轨，当工件台移出预定空间时，多个滑动件中的至少部分滑动件能够由第一滑轨滑动至第二滑轨(通过滑动件的滑动带动工件台的运动)，当工件台移入预定空间时，多个滑动件中的所述至少部分滑动件能够由第二滑轨滑动至第一滑轨(通过滑动件的滑动带动工件台的运动)。

13、本申请的导向机构只需通过滑轨和多个滑动件的配合，即可将工件台导向至预定位置(预定位置即工件台工作时位于的狭小空间或狭小空间外的维修空间)，具体操作时，只需人工施力推动工件台，滑动件的滑动即可带动工件台到达预定位置，而滑动过程中，滑动件会在第一滑轨与第二滑轨的拐角处(转向处)能够自动完成转向，相对于现有的技术方案，设备结构简单，易操控，效率高，且成本较低，移动过程安全可靠。

14、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种导向机构，其特征在于，所述导向机构设置在工件台的顶部或底部，用于将所述工件台移出预定空间或将所述工件台移入预定空间，

2.根据权利要求1所述的导向机构，其特征在于，所述第一滑轨与所述第二滑轨的夹角为钝角。

3.根据权利要求2所述的导向机构，其特征在于，所述第一滑轨和所述第二滑轨首尾相连，多个所述滑动件包括第一滑动件、第二滑动件以及第三滑动件，所述工件台的一侧部连接有所述第一滑动件，与所述工件台的一侧部相邻的侧部依次连接有所述第二滑动件和所述第三滑动件，

4.根据权利要求3所述的导向机构，其特征在于，所述导向机构还包括第一分轨和第二分轨，

5.根据权利要求2所述的导向机构，其特征在于，所述第一滑轨为两个，两个所述第一滑轨平行设置，两个所述第一滑轨中的第一者的尾端连接所述第二滑轨的首端，两个所述第一滑轨中的第二者的尾端连接所述第二滑轨的中部，

6.根据权利要求5所述的导向机构，其特征在于，所述第二滑轨包括缺口，所述导向机构还包括换向器，所述换向器包括第一格挡部和第二格挡部，

7.根据权利要求1-6中任一项所述的导向机构，其特征在于，所述滑动件为凸轮导向器，

8.一种可移动平台，其特征在于，所述可移动平台包括如权利要求1-7中任一项所述的导向机构。

9.根据权利要求8所述的可移动平台，其特征在于，所述可移动平台还包括工件台，

10.根据权利要求9所述的可移动平台，其特征在于，所述可移动平台还包括滚轮组件，

技术总结
本申请涉及半导体设备领域，尤其是涉及一种导向机构及可移动平台。导向机构设置在工件台的顶部或底部，用于将工件台移出预定空间或将工件台移入预定空间，导向机构包括多个滑动件以及彼此相连的第一滑轨和第二滑轨，第一滑轨与第二滑轨交叉设置，每一滑动件能够连接工件台和第一滑轨或第二滑轨，工件台移出预定空间时，多个滑动件中的至少部分滑动件能够由第一滑轨滑动至第二滑轨，工件台移入预定空间时，多个滑动件中的至少部分滑动件能够由第二滑轨滑动至第一滑轨。根据本申请的导向机构及可移动平台，从而解决了现有对工件台移入移出的方案，不仅结构复杂，设计难度大，且设备成本较高的问题。

技术研发人员：侯得锋,杨师,李龙飞,梅阳
受保护的技术使用者：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12