具有等离子处理功能的手套箱的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种手套箱，具体涉及一种具有等离子处理功能的手套箱。
【背景技术】
[0002]手套箱广泛应用于锂电、核能、医学以及化学化工等各种行业。目前所使用的手套箱为了方便连接手套箱的内部和外部，通常会设置过渡仓，现有的过渡仓的功能多是用来传递材料、工具等的，有些还具有烘箱或真空烘箱的功能，而在实际的一些科研或生产过程中涉及到一些需要干法清洗的工艺过程，例如有机发光二极管(OLED)、有机光伏器件(OPV)等就需要使用到这些干法清洗的工艺过程。而目前的清洗都是在手套箱外部进行的，但是如果在表面处理完再通过手套箱过渡舱传递进手套箱进行试验，可能涉及到二次污染或氧化等问题。为了避免这种问题，现有一些工作人员会直接把清洗设备放入到手套箱箱体内，然后通过双手将样品在手套箱箱体内部进行清洗，但是手套箱箱体内的空间本来就较为有限，并且在手套箱箱体内部清洗，操作起来也会不便，要清洗干净也势必会需要花去更多的时间和精力。
【实用新型内容】
[0003]为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种可以避免样品二次污染或氧化、且操作方便又节省手套箱箱体空间的具有等离子处理功能的手套箱。
[0004]为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0005]具有等离子处理功能的手套箱，包括手套箱箱体和过渡仓，该过渡仓的内壁上固定设置有至少一等离子源，该过渡仓上还设置有连通该过渡仓内部的至少一开口或管路，该开口或管路连接工作气气源，用于向过渡仓内输入清洗所需的工作气，该过渡仓还连接真空泵，该真空泵将该过渡仓进行抽真空处理。
[0006]本实用新型的手套箱利用了原先的过渡仓，并对该过渡仓作了改进，主要在于过渡仓上安装了等离子源、设置了连接工作气气源的开口或管路、以及连接了用于抽真空的真空泵等，由于清洗过程中需要保证内部的真空或低压环境，利用新加入的真空泵或者原过渡仓所具备的真空泵，正好可以使得过渡仓变成一个适合清洗的真空环境，然后利用等离子源和工作气的作用，在样品通过过渡仓进入到手套箱箱体内的过程中，直接完成了对样品的清洗过程。
[0007]因此，本实用新型与现有技术相比，其有效地利用了过渡仓的现有空间，并且不需要手伸入箱体内进行清洗作业，在节省手套箱箱体空间的同时还提高了清洗操作的便利性，同时在密闭的过渡仓内完成清洗后直接进入到手套箱箱体内，避免了与外界的接触，也可以有效地避免样品的二次污染或氧化问题。
[0008]在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以作如下改进:
[0009]作为优选的方案，上述的过渡仓内还设置有托盘，其位于等离子源的下方。
[0010]采用上述优选的方案，可以使得样品在清洗过程中具有一个可固定放置的地方，从而可以保证清洗的效果。
[0011]作为优选的方案，上述的开口或管路、以及真空泵设置连接位于托盘下方的过渡仓的外壁上。
[0012]采用上述优选的方案，可以便于配合等离子源完成对样品的清洗，以及对过渡仓的抽真空作业。
[0013]作为优选的方案，上述的过渡仓内设置有腔体，等离子源设置于该腔体内，开口或管路、以及真空泵同时连通该腔体。
[0014]采用上述优选的方案，使得过渡仓可以形成双层式的结构，使得物料的输送和样品的清洗可以各自独立而互不影响，便于一些不需要清洗的物料可以迅速地进入到手套箱箱体内，从而提高过渡仓的工作效率，另一方面也可以进一步地提高清洗环境的真空度。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型的具有等离子处理功能的手套箱在一些实施方式下的结构示意图。
[0016]图2为本实用新型的具有等离子处理功能的手套箱在另一些实施方式下的结构示意图。
[0017]其中，1.手套箱箱体11.控制器2.过渡仓21.外门22.内门3.等离子源4.管路41.工作气气源5.真空泵51.管路6.托盘7.腔体71.门。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。
[0019]为了达到本实用新型的目的，如图1所示，在本实用新型的具有等离子处理功能的手套箱的其中一些实施方式中，该手套箱包括手套箱箱体I和过渡仓2，该手套箱箱体I上还设置用于电控的控制器11，用以对手套箱进行通电等作业，该过渡仓2上还设置有外门21和内门22，对于手套箱的其他部件及结构，都可以从现有技术中获知，在此不再一一赘述；而作为改进，该过渡仓2的内壁上固定设置有一等离子源3，该过渡仓2上还设置有连通该过渡仓2内部的一管路4，该管路4连接工作气气源41，用于向过渡仓2内输入清洗所需的工作气，工作气可以是空气、氧气，或者含有氧气的其他气体，该过渡仓2还连接真空泵5，该真空泵5具体可以通过管路51连通过渡仓2，该真空泵5将该过渡仓2进行抽真空处理。
[0020]上述的实施方式中，等离子源3还可以根据需要设置为多个，该等离子源3具体可以是发射40KHz、13.56MHz,2.45GHz任一频率的等离子源，及相关的电源匹配器，其可以对基材表面进行清洗、蚀刻、涂层去除等表面处理；工作气气源41还可以通过多路管路4向过渡仓2内输入，或者管路4也可以取消，直接设置成过渡仓2上的开口也可；真空泵5可以是独立的真空油泵或干泵，也可以是与手套箱原有真空泵共用。
[0021]本手套箱利用了原先的过渡仓，并对该过渡仓作了改进，主要在于过渡仓上安装了等离子源、设置了连接工作气气源的开口或管路、以及连接了用于抽真空的真空泵等，由于清洗过程中需要保证内部的真空环境，利用新加入的真空泵或者原过渡仓所具备的真空泵，正好可以使得过渡仓变成一个适合清洗的真空环境，然后利用等离子源和工作气的作用，在样品通过过渡仓进入到手套箱箱体内的过程中，直接完成了对样品的清洗过程。因此，本手套箱与现有技术相比，其有效地利用了过渡仓的现有空间，并且不需要手伸入箱体内进行清洗作业，在节省手套箱箱体空间的同时还提高了清洗操作的便利性，同时在密闭的过渡仓内完成清洗后直接进入到手套箱箱体内，避免了与外界的接触，也可以有效地避免样品的二次污染或氧化问题。
[0022]为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1所示，在本实用新型的具有等离子处理功能的手套箱的另一些实施方式中，在前述内容的基础上，上述的过渡仓2内还设置有托盘6，其位于等离子源3的下方。采用该实施方式的方案，可以使得样品在清洗过程中具有一个可固定放置的地方，从而可以保证清洗的效果。该托盘6还可以通过滑轨等部件设置为可移动的，用以调整位置和高度等，方便样品不同位置的清洗，同时进行加热作业。
[0023]为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1所示，在本实用新型的具有等离子处理功能的手套箱的另一些实施方式中，在前述内容的基础上，上述的管路4以及真空泵5的管路51设置连接位于托盘6下方的过渡仓2的外壁上。采用该实施方式的方案，可以便于配合等离子源完成对样品的清洗，以及对过渡仓的抽真空作业。
[0024]为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图2所示，在本实用新型的具有等离子处理功能的手套箱的另一些实施方式中，在前述内容的基础上，上述的过渡仓2内设置有腔体7，等离子源3设置于该腔体7内，管路4以及真空泵5的管路51同时连通该腔体7ο采用该实施方式的方案，使得过渡仓可以形成双层式的结构，使得物料的输送和样品的清洗可以各自独立而互不影响，便于一些不需要清洗的物料可以迅速地进入到手套箱箱体内，从而提高过渡仓的工作效率，另一方面也可以进一步地提高清洗环境的真空度。该腔体7还可以设置两端的门71，方便样品的进出。
[0025]下面介绍本实用新型的工作过程:结合图1-2所示，打开过渡仓2的外门21，样品进入到过渡仓2，样品放置到托盘6上，启动等离子源3，开始对样品进行清洗，其间，真空泵5先对过渡仓2进行抽真空处理，工作气气源41通过管路4向过渡仓2内补充工作气，完成清洗后，样品从过渡仓2直接进入到手套箱箱体I内，继续下一步的操作。
[0026]以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.具有等离子处理功能的手套箱，包括手套箱箱体和过渡仓，其特征在于，所述过渡仓的内壁上固定设置有至少一等离子源，所述过渡仓上还设置有连通所述过渡仓内部的至少一开口或管路，所述开口或管路连接工作气气源，用于向所述过渡仓内输入清洗所需的工作气，所述过渡仓还连接真空泵，所述真空泵将所述过渡仓进行抽真空处理。
2.根据权利要求1所述的具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述过渡仓内还设置有托盘，其位于所述等离子源的下方。
3.根据权利要求2所述的具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述开口或管路、以及所述真空泵设置连接位于所述托盘下方的所述过渡仓的外壁上。
4.根据权利要求1-3任一所述的具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述过渡仓内设置有腔体，所述等离子源设置于所述腔体内，所述开口或管路、以及所述真空泵同时连通所述腔体。
【专利摘要】本实用新型公开了一种具有等离子处理功能的手套箱，包括手套箱箱体和过渡仓，该过渡仓的内壁上固定设置有至少一等离子源，该过渡仓上还设置有连通该过渡仓内部的至少一开口或管路，该开口或管路连接工作气气源，用于向过渡仓内输入清洗所需的工作气，该过渡仓还连接真空泵，该真空泵将该过渡仓进行抽真空处理。本实用新型与现有技术相比，其有效地利用了过渡仓的现有空间，并且不需要手伸入箱体内进行清洗作业，在节省手套箱箱体空间的同时还提高了清洗操作的便利性，同时在密闭的过渡仓内完成清洗后直接进入到手套箱箱体内，避免了与外界的接触，也可以有效地避免样品的二次污染或氧化问题。
【IPC分类】H01J9-00, B25J21-02
【公开号】CN204382305
【申请号】CN201520025194
【发明人】李春风
【申请人】威格气体纯化科技（苏州）股份有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2015年1月14日