图案形成装置和图案形成方法

专利名称：图案形成装置和图案形成方法
技术领域：
本发明涉及例如用于制造平板显示器、布线电路板、IC标签等的图案 形成装置和图案形成方法。
背景技术：
以往，作为在基体材料表面形成微细图案的技术，光刻制版技术一直起 中心作用。然而，此光刻制版技术在日益提高其析像度和性能的反面，需 要巨大且高额的制造设备，制造成本也随析像度不断提高。另一方面，半导体器件当然不断提高图像显示装置等的制造领域中改善 性能并降低成本的要求，上述光刻制板技术一直不能充分满足这种要求。 这样的状况下，正在关注使用数字印刷技术的图案形成技术。另一方面，喷墨技术作为有效利用装置简便性和非接触图案制作的特征 的图案制作技术，开始付诸实用，但不得不说其高析像度化和高生产率有 限。也就是说，在这方面，电子照相技术，特别是使用液体调色剂的电子 照相技术，具有优良的可能性。已提出使用一种电子照相技术形成平板显示器用的正面基片的荧光体 层和黑矩阵、滤色片等的方法(例如参考专利文献1、专利文献2)。平板显示器领域中，高析像度的要求日益提高，要求以进一步高的位置 精度形成高析像度的图案。然而，上述电子照相技术难以解答此课题。其原因在于，写入光学系统的析像度最高也不过1200点/英寸(dpi)，在析像 度和对位方面不充分。而且，还存在不能实现能适应近年大屏幕化的大范 围写入光学系统的课题。针对这点，已提出的技术使用预先在表面形成电阻不同的图案的静电印刷板，以代替感光体，并使液体调色剂作用于该板，对图案进行显像，将 此图案的像复制到玻璃板，从而在显示器用正面玻璃上形成荧光体等的图 案(例如参考专利文献3)。然而，本申请发明人等专心进行实验研究的结果，在此方法中发现如下 实质性问题。首先，液体调色剂造成的图案像的厚度一般小于等于1微米Oim)的情况 不少，不适合形成显示装置的荧光体和滤色片等的厚膜，高清晰厚膜的形 成还需要新思路。而且，将图案像复制到玻璃板时使用电晕带电器，则电晕电荷传到玻璃 表面并泄漏，复制特性容易不稳定。又，玻璃的内部容易积存空间电荷， 电晕复制中难形成战胜此空间电荷的复制电场。复制l色的显像像时，进 一步助长此问题，极难将第2色、第3色的显像像复制到玻璃板。作为其它图案形成装置，己知一种柔版印刷装置，其中采取的组成固定 设置载放玻璃基片的工作台，并将滚筒状的版(版体)在设置在工作台两侧的 直线轨道上一面旋转一面来回移动，从而谋求减小设置空间和移动空间， 并高精度控制版体与玻璃基片的相互移动(例如参考专利文献4)。此装置中， 不使玻璃基片移动，所以能减小装置的设置空间。这种柔版印刷中， 一般将墨供给把橡胶凸版巻绕在滚筒周围的柔版，并 将该柔版压接被复制媒体，从而对墨进行复制，所以即使被复制媒体为玻 璃板的情况下，也能避免版的按压而破损。然而，这种柔版印刷中，版发 生弹性形变，所以复制在基体上图案的析像度以40微米左右为极限，墨层 的厚度也限于0.8微米 2.5微米的程度，其应用范围有限。而且，由于同 样的缘由，形成图案的位置精度也有限，难满足位置精度±5微米的要求。专利文献l:日本国专利特开2004 — 30980号公报专利文献2:日本国专利特开平6 — 265712号公报专利文献3:日本国 专利特开2002 — 527783号公报专利文献4:日本国专利特开平2005—14468号公报发明内容本发明的目的在于，提供一种能以高精度形成厚膜图案的图案形成装置 和图案形成方法。为了达到上述目的，本发明实施方式的图案形成装置，具有在带有导 电性的基体的表面含高电阻层，并含从该高电阻层的表面往所述基体下陷 的凹部造成的图案的凹版；通过与所述高电阻层的表面对置的供给构件， 供给使带电的显像剂粒子散布在绝缘性液体中的液体显像剂，并在此供给 构件与所述基体之间形成第1电位差，从而将所述液体显像剂中的所述显 像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的显像装置；以及在使被复制媒体接 近所述凹部内汇集所述显像剂粒子的所述高电阻层的表面并与其对置的状 态下，此被复制媒体与所述基体之间形成第2电位差，从而将汇集在所述 凹部内的所述显像剂粒子复制到该被复制媒体的复制装置。又，本发明实施方式的图案形成装置，具有在带有导电性的基体的表 面含高电阻层，并含从该高电阻层的表面往所述基体下陷的凹部造成的图 案的凹版；通过与所述高电阻层的表面对置的第1供给构件，供给使带电 的第1显像剂粒子散布在绝缘性液体中的第1液体显像剂，并在此第1供 给构件与所述基体之间产生第1电位差，从而将所述第1液体显像剂中的 所述第1显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第1显像装置；使被复 制媒体接近所述凹部内汇集所述第1显像剂粒子的状态的所述高电阻层的 表面并与其对置的状态下，在该被复制媒体与所述基体之间形成第2电位 差，从而将汇集在所述凹部内的所述第1显像剂粒子复制到该被复制媒体 的第l复制装置；通过与所述高电阻层的表面对置的第2供给构件，供给 使带电的第2显像剂粒子散布在绝缘性液体中的第2液体显像剂，并在此 第2供给构件与所述基体之间产生第3电位差，从而将所述第2液体显像 剂中的所述第2显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第2显像装置； 以及使已复制所述第1显像剂粒子的所述被复制媒体接近所述凹部内汇集所述第2显像剂粒子的状态的所述高电阻层的表面并与其对置的状态下，在该被复制媒体与所述基体之间形成第4电位差，从而将汇集在所述凹部 内的所述第2显像剂粒子复制到该被复制媒体的第2复制装置。又，本发明实施方式的图案形成装置，具有含形成在高电阻层的第l凹部造成的第1图案和第2凹部造成的第2图案，并含分别独立设置在这 些第1和第2图案的所述凹部的底的第1和第2的电极的凹版；通过与所 述高电阻层的表面对置的第1供给构件供给使带电的第1显像剂粒子散布 在绝缘性液体中的第1液体显像剂，并在此第1供给构件与所述第1电极 之间形成第1电位差，从而将所述第1液体显像剂中的所述第1显像剂粒 子汇集在所述第1凹部内进行显像的第1显像装置；通过与所述高电阻层 的表面对置的第2供给构件，供给使带电的第2显像剂粒子散布在绝缘性 液体中的第2液体显像剂，并在此第2供给构件与所述第2电极之间形成 第3电位差，从而将所述第2液体显像剂中的所述第2显像剂粒子汇集在 所述第2凹部内进行显像的第2显像装置；以及使被复制媒体接近所述第1 凹部内汇集所述第1显像剂粒子且所述第2凹部内汇集所述第2显像剂粒 子的状态的所述高电阻层的表面并与其对置的状态下，在该被复制媒体与 所述第1和第2电极之间形成第2电位差，从而将汇集在所述第1和第2 凹部内的所述第1和第2显像剂粒子一起复制到该被复制媒体的复制装置。 又，本发明实施方式的图案形成装置，具有在带有导电性的基体的表 面含高电阻层，并含从该高电阻层的表面往所述基体下陷的凹部造成的图 案的凹版；通过与所述高电阻层的表面对置的第l供给构件，供给使带电 的第1显像剂粒子散布在绝缘性液体中的第1液体显像剂，并在此第1供 给构件与所述基体之间形成第1电位差，从而将所述第1液体显像剂中的 所述第1显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第1显像装置；与所述 凹版的所述高电阻层的表面对置的中间复制体；将所述第1显像装置中显 像的所述第1显像剂粒子从所述凹部复制到所述中间复制体的第1复制装 置；通过与所述凹版的所述高电阻层的表面对置的第2供给构件，供给使带电的第2显像剂粒子散布在绝缘性液体中的第2液体显像剂，并在此第2 供给构件与所述基体之间形成第3电位差，从而将所述第2液体显像剂中 的所述第2显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第2显像装置；将所 述第2显像装置中显像的所述第2显像剂粒子从所述凹部复制到所述中间 复制体的第2复制装置；以及使被复制媒体接近已复制所述第1和第2显 像剂粒子的所述中间复制体并与其对置的状态下，在该被复制媒体与所述 中间复制体之间形成第2电位差，从而将所述第1和第2显像剂粒子一起 复制到该被复制媒体的第3复制装置。而且，本发明实施方式的图案形成方法，具有以下工序准备在带有导电性的基体的表面含高电阻层，并含从该高电阻层的表面往所述基体下陷的凹部造成的图案的凹版的工序；通过与所述高电阻层的表面对置的供给 构件，供给使带电的显像剂粒子散布在绝缘性液体中的液体显像剂，并在 此供给构件与所述基体之间形成第1电位差，从而将所述液体显像剂中的 所述显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的显像工序；以及在使被复制 媒体接近所述凹部内汇集所述显像剂粒子的所述高电阻层的表面并与其对 置的状态下，此被复制媒体与所述基体之间形成第2电位差，从而将汇集 在所述凹部内的所述显像剂粒子复制到该被复制媒体的复制工序。又，本发明实施方式的图案形成方法，具有以下工序准备在带有导电 性的基体的表面含高电阻层，并含从该高电阻层的表面往所述体下陷的凹 部造成的图案的凹版的工序；通过与所述高电阻层的表面对置的第1供给 构件，供给使带电的第1显像剂粒子散布在绝缘性液体中的第1液体显像 剂，并在此第1供给构件与所述基体之间形成第1电位差，从而将所述第1 液体显像剂中的所述第1显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第1显 像工序；使被复制媒体接近所述凹部内汇集所述第l显像剂粒子的状态的 所述高电阻层的表面并与其对置的状态下，在该被复制媒体与所述基体之 间形成第2电位差，从而将汇集在所述凹部内的所述第1显像剂粒子复制 到该被复制媒体的第1复制工序；通过与所述高电阻层的表面对置的第2供给构件，供给使带电的第2显像剂粒子散布在绝缘性液体中的第2液体显像剂，并在此第2供给构件与所述基体之间形成第3电位差，从而将所 述第2液体显像剂中的所述第2显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第2显像工序；以及使已复制所述第1显像剂粒子的所述被复制媒体接近 所述凹部内汇集所述第2显像剂粒子的状态的所述高电阻层的表面并与其 对置的状态下，在该被复制媒体与所述基体之间形成第4电位差，从而将 汇集在所述凹部内的所述第2显像剂粒子复制到该被复制媒体的第2复制 工序。又，本发明实施方式的图案形成方法，具有以下工序准备含形成在高 电阻层的第1凹部造成的第1图案和第2凹部造成的第2图案，并含分别 独立设置在这些第1和第2图案的所述凹部的底的第1和第2电极的凹版 工序；通过与所述高电阻层的表面对置的第1供给构件，供给使带电的第1 显像剂粒子散布在绝缘性液体中的第1液体显像剂，并在此第1供给构件 与所述第1电极之间形成第1电位差，从而将所述第1液体显像剂中的所 述第1显像剂粒子汇集在所述第1凹部内进行显像的第1显像工序；通过 与所述高电阻层的表面对置的第2供给构件，供给使带电的第2显像剂粒 子散布在绝缘性液体中的第2液体显像剂，并在此第2供给构件与所述第2 电极之间形成第3电位差，从而将所述第2液体显像剂中的所述第2显像 剂粒子汇集在所述第2凹部内进行显像的第2显像工序；以及使被复制媒 体接近所述第1凹部内汇集所述第1显像剂粒子且所述第2凹部内汇集所 述第2显像剂粒子的状态的所述高电阻层的表面并与其对置的状态下，在 该被复制媒体与所述第1和第2电极之间形成第2电位差，从而将汇集在 所述第l和第2凹部内的所述第l和第2显像剂粒子一起复制到该被复制 媒体的复制工序。又，本发明实施方式的图案形成方法，具有以下工序准备在带有导电 性的基体的表面含高电阻层，并含从该高电阻层的表面往所述基体下陷的 凹部造成的图案的凹版工序；通过与所述高电阻层的表面对置的第1供给构件，供给使带电的第1显像剂粒子散布在绝缘性液体中的第1液体显像 剂，并在此第1供给构件与所述基体之间形成第1电位差，从而将所述第1 液体显像剂中的所述第1显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第1显 像工序；将所述第1显像装置中显像的所述第1显像剂粒子从所述凹部复 制到所述中间复制体的第1复制工序；通过与所述凹版的所述高电阻层的 表面对置的第2供给构件，供给使带电的第2显像剂粒子散布在绝缘性液 体中的第2液体显像剂，并在此第2供给构件与所述基体之间形成第3电 位差，从而将所述第2液体显像剂中的所述第2显像剂粒子汇集在所述凹 部内进行显像的第2显像工序；将所述第2显像装置中显像的所述第2显 像剂粒子从所述凹部复制到所述中间复制体的第2复制工序；以及使被复 制媒体接近已复制所述第1和第2显像剂粒子的所述中间复制体并与其对 置的状态下，在该被复制媒体与所述中间复制体之间形成第2电位差，从 而将所述第1和第2显像剂粒子一起复制到该被复制媒体的第3复制工序。 而且，本发明实施方式的图案形成装置，具有保持平板状的被复制媒 体的保持机构；鼓状的像保持体；使该像保持体沿所述保持机构保持的平 板状的被复制媒体转动的转动机构；在所述像保持体的周面上形成带电的 显像剂造成的图案像的显像装置；以及在所述转动的像保持体与所述被复 制媒体之间形成电场，并将所述周面上的图案像复制到所述被复制媒体的 复制装置。又，本发明实施方式的图案形成方法，具有以下工序在鼓状的像保持 体的周面形成带电的显像剂造成的图案像的显像工序；使该显像工序在所 述周面形成图案像的所述像保持体沿保持在固定位置的平板状被复制媒体 转动的转动工序；以及在所述转动的像保持体与所述被复制媒体之间形成 电场，并将所述周面上的图案像复制到所述被复制媒体的复制工序。


图1是示出本发明实施方式1的图案形成装置的概略图。图2A是示出图1的图案形成装置中使用的凹版的俯视图。图2B是示出图2A的凹版的剖视图。图3是局部放大地示出图2A的凹版的关键部的结构的局部放大图。 图4是说明图2A的凹版的1个凹部的结构用的局部放大立体图。 图5是示出内置于图1的图案形成装置的显像装置的概略图。 图6是控制图1的图案形成装置的动作用的控制系统的框图。 图7是与图1一起说明图案形成装置的动作用的动作说明图。 图8是与图1一起说明图案形成装置的动作用的动作说明图。 图9是与图1一起说明图案形成装置的动作用的动作说明图。 图IO是与图l一起说明图案形成装置的动作用的动作说明图。 图11是与图1 一起说明图案形成装置的动作用的动作说明图。 图12是与图1 一起说明图案形成装置的动作用的动作说明图。 图13是说明图1的图案形成装置的显像动作用的动作说明图。 图14是说明图1的图案形成装置的复制动作用的动作说明图。 图15是示出本发明实施方式2的图案形成装置的概略图。 图16是示出将图15的图案形成装置的凹版做成3色用的凹版的例子的 关键部放大剖视图。图17是说明图16的3色用凹版的布线结构用的模式图。图18是示出本发明实施方式3的图案形成装置的概略图。图19是示出本发明实施方式4的图案形成装置的概略图。图20是示出本发明实施方式5的图案形成装置的概略图。图21是示出本发明实施方式6的图案形成装置的概略组成的立体图。图22A是示出图21的图案形成装置中使用的底版的俯视图。图22B是图22A的底版的剖视图。图23是局部放大地示出图22A的底版的放大俯视图。图24是说明图22A的底版的1个凹部的结构用的局部放大图。图25是示出将图22A的底版巻绕在滚筒坯管的状态的概略图。图26是示出使图22A的底版的高电阻层表面带电用的组成的概略图。 图27是示出对图22A的底版供给液体显像剂并形成调色剂粒子造成的图案用的组成的概略图。图28是示出将形成在图22A的底版的图案复制到玻璃板用的组成的概略图。图29是示出使图22A的底版沿玻璃板转动用的转动机构的关键部组成 的概略图。图30是说明将汇集在底版的凹部的调色剂粒子复制到玻璃板用的动作 说明图。图31是示出使底版接触玻璃板的例子的概略图。图32是示出在玻璃板的表面形成结构物后复制调色剂粒子的例子的概 略图。图33是示出使用设置在玻璃板的背面侧的对置电极复制调色剂粒子的 例子的概略图。具体实施方式

下面，参照附图详细说明本发明的实施方式。首先，参照图1至图13说明本发明实施方式1的图案形成装置10。 如图l所示，图案形成装置IO具有往图中箭头号T方向输送的平板状 的凹版l;配置成与此凹版1的输送路径的下方对置并将各色(r:红、g: 绿、b:蓝)的液体显像剂供给凹版1进行显像的多个显像装置2r、2g和2b(下 文有时统称为显像装置2);以及将保持在凹版1的显像剂粒子复制到在图 中左侧等待的平板状被复制媒体M的复制滚筒3(复制装置)。而且，此图案形成装置具有对凹版1的后文阐述的高电阻层13的表面 13a进行消电的交流电晕带电器4;使高电阻层13的表面13a带电例如十 400伏(V)的直流电晕带电器5(带电装置)；以及清理复制后的凹版l以便接 着复制的清理器6。如图2A中俯视图所示，将本实施方式的凹版1形成矩形平板状。如图2B中剖视图所示，利用蒸镀在矩形的玻璃板11的表面形成例如铝等导电 的金属层12(基体)，在其表面形成高电阻层13，从而构成此凹版l。利用 例如聚酰亚胺、丙烯、聚乙烯、(聚)氨酯、环氧树脂、特氟隆(注册商标)、 尼龙等体电阻率大于等于1(T欧厘米(Qcm)的材料(包括绝缘体)形成高电阻 层13，将其厚度形成10微米 40微米，最好20微米±5微米。又，在高电阻层13的表面13a，形成将图3中局部放大地示出的矩形的 凹部14a直线对准配置多个的图案14。本实施方式中，例如作为制造在平 面型图像显示装置的正面基片上形成的荧光屏的凹版，以从高电阻层13的 表面下陷的方式仅形成相当于1色份额的凹部14a，图中虚线所示的其它2 色份额的区域不形成凹部，仅确保空档。图4中示出将1个凹部14a放大 的剖视图。凹部14a的底露出在金属层12的表面12a，其深度实质上相当 于高电阻层13的层厚。图5中以放大方式示出显像装置2的概略结构。所述各色的显像装置 2r、 2g、 2b除使用的液体显像剂不同外，具有相同的结构，所以这里当作 显像装置2进行说明。显像装置2具有沿凹版1的输送方向T排列的2个壳体21、 22。将凹 版1以其图案14与配置在下方的显像装置2对置的姿势进行输送。上游侧 的壳体21内，设置显像滚筒23(供给构件)。相对于输送的凹版1的高电阻 层13的表面13a，将显像滚筒23配置在其周面以150微米± 5微米程度的 间隙为中介对置的位置，并以1.2倍的至4倍(1.5倍至2.5倍更好)的速度， 往与凹版1的输送方向相同的方向(图中顺时针方向)进行旋转。将往与显像滚筒23相反的方向旋转的海绵滚筒24配置在显像滚筒23 的离开凹版1的下方并与其接触。此海绵滚筒24清除通过与凹版1对置的 位置的显像滚筒23的周面上附着的液体显像剂。又，在壳体21的内侧面 设置对显像滚筒23的周面供给液体显像剂用的喷嘴25。将液体显像剂收装在未图示的显像剂容器中，利用未图示的泵等通过喷嘴25供给壳体21的内部。将由海绵滚筒回收的剩余液体显像剂通过设置 在壳体21的下端底部的排出口 26回收到显像剂容器。使带电的各色荧光 体粒子(显像剂粒子)散布在绝缘性液体中，从而构成液体显像剂。各色的荧 光体粒子添加金属皂等，使其带正电。沿凹版1的输送方向处在下游侧的壳体22内，设置挤液滚筒27(去除装 置)。将挤液滚筒27配置在其周面比显像滚筒23接近凹版1并与其对置的 位置，也就是说，本实施方式中配置成从高电阻层13的表面13a离开25 微米至75微米(30微米至50微米更好)的距离，而且往与凹版1的输送方 向T相反的方向旋转。控制挤液滚筒27，使其局部去除显像滚筒23供给 凹版1的液体显像剂，并且残留在凹版1的液体显像剂的厚度为1微米 30微米的程度。在挤液滚筒27的周面配置由橡胶片形成的清理叶片28并接触该周面。 将清理叶片28从挤液滚筒27的周面回收的剩余液体显像剂通过设置在壳 体22的底部的排出口 29回收到未图示的显像剂容器。图6示出控制上述图案形成装置IO的动作的控制系统的框图。图案形 成装置10的控制部30连接将凹版1往图1或图5的箭头号T方向输送的 输送装置31。此输送装置31也往相反方向输送凹版1，后文将阐述。而且， 控制部30连接使各色的显像装置2r、 2g、 2b分别在图5所示的动作位置 与从凹版1的输送路径往下方离开的等待位置之间移动的移动机构32。控 制部30又连接使往作为被复制媒体M的玻璃板M在图中的上方输送的凹 版1对玻璃板M接近或离开的拢近分离装置33。后文将阐述，使该拢近分 离装置33以对玻璃板M倾斜的状态接近凹版1 ，而且以对玻璃板M倾斜 的状态离开凹版1。控制部30还连接利用所述拢近分离装置33将与玻璃板 M对置配置的凹版1对玻璃板M定位的定位机构34。而且，控制部30连接对各色的显像装置2的显像滚筒23供电的电源装 置35、对各色显像装置2的挤液滚筒27供电的电源装置36、对复制滚筒3 供电的电源装置37、对交流电晕带电体4供电的电源装置38和对直流电晕带电器5供电的电源装置39。控制部30还连接去除非所需的残留在玻璃板 M的电荷的电荷去除装置40，以便将各色的荧光体层复制到玻璃板M后复 制下一色的荧光体层(后文将阐述)。接着，与图1 一起参照图7至图13说明上述图案形成装置10的动作。 再者，这里以在平面型图像显示装置的正面基片内表面形成各色荧光体层 的情况为例进行说明。首先，控制部30控制输送装置31，如图1所示那样以恒定速度往图中 箭头号T的方向进行输送。这时，交流电晕带电器4对未图示的电晕线施 加交流高压，对凹版1的高电阻层13的表面13a进行消电。其后，直流电 晕带电器5对电晕线施加正极性高压，产生正电晕，使凹版l的高电阻层 13的表面13a带电(例如+400伏)。而且，控制部30如上述那样输送凹版1并使高电阻层13的表面13a带 电，并控制移动机构32，将执行第l色(红色)的显像的显像装置2r配置到 动作位置(图5所示的位置)。然后，控制部30通过显像装置2r将含红色的 荧光体粒子的液体显像剂供给凹版1的高电阻层13的表面13a。这时，利 用图5中往逆时针方向旋转的显像滚筒23的周面将液体显像剂当作厚几百 微米程度的液膜进行输送，将该液膜供给凹版1的高电阻层13的表面13a 并以该表面接触。再者，这时也将液体显像剂供给形成在高电阻层13的表 面13a的图案14的凹部14a。这时，控制部30如图13所示，通过电源装置35对显像滚筒23施加+ 200伏电压，在例如接地凹版1的金属层12与显像滚筒23之间形成第1 电位差。于是，介入在显像滚筒23与凹版1之间并接触它们的液体显像剂 中的带正电的荧光体粒子由于此第1电场，受带电+ 400伏的高电阻层13 的表面13a排斥，并因200伏电位差的作用而受接地电位的金属层露出在 凹部14a的底的表面12a吸引，两者的作用使荧光屏粒子凝集在凹版14a 内。由此，在图案14的各凹部14a面形成所希望厚度(例如15微米)的荧光 体层。这样，红色显像剂的显像结束，则由海绵滚筒24清理显像滚筒23的周 面，通过排出口 26将未供给凹版1的液体显像剂回收到未图示的容器。上述红色显像剂的显像后，凹版1的高电阻层13的表面13a附着厚100 微米程度的液膜，其内部飘浮着未凝集在图案14的凹部14a内的荧光体粒 子。即，此液膜以绝缘性液体几乎占据其全部为理想。这就是说，凹版l 的图案14外飘浮着荧光体粒子，则成为灰雾的原因，所以需要利用挤液滚 筒27挤压此液膜，且同时使飘浮的荧光体粒子附着在挤液滚筒27的表面 并进行回收。这时，通过电源装置31对挤液滚筒27施加200伏± 50伏程度的电压， 利用此电压将液膜内飘浮的荧光体粒子吸引到挤液滚筒27。经过挤液滚筒 27的挤液工序后的凹版1的高电阻层13的表面13a上，这时残留厚1微米 30微米程度的液膜。换句话说，控制挤液滚筒27的液膜去除量，使此程度 的液膜残留在凹版1的表面。S卩，将第1色的显像结束后的凹版1维持浸 湿状态原样不变地输送到下一复制工序。将这样利用输送装置31输送到复制工序的凹版1配置成离开在图1的 左侧等待的玻璃板M并与其上方对置。此状态下，凹版1按玻璃板M不接 触浸湿凹版1的高电阻层13的表面13a的液体显像剂的程度往上方离开玻 璃板M。再者，此状态下，可利用定位机构34使凹版1对玻璃板M实质 上对位。此后，使拢近分离装置33动作，将凹版1倾斜成图7中虚线所示的姿 势，把成为倾斜方向下端的凹版1的图中的左端靠近玻璃板M。这时，附 着在凹版1的液体显像剂中附着在凹版1的图中左端的液体显像剂先接触 玻璃板M。然后，拢近分离装置33使倾斜的凹版1逐渐接近玻璃板M，直 到形成与图中实线所示的玻璃板M平行的姿势。由此，浸湿凹版l的液体 显像剂对玻璃板M的接触区逐渐扩大到图中左侧，最后使玻璃板M与凹版 1以液膜为中介全面接触。图7中用实线示出这时凹版1的姿势。上文那样将保持液体显像剂的凹版1接近玻璃板M时，使介入两者之间的液体显像剂的液膜以逐渐接触的方式接近玻璃板M，从而能防止液膜 产生过度的紊流。由此，能抑制液膜产生过度紊流而使凝集在图案"的凹部14a的荧光体粒子流出的弊病。根据同样的理由，后文所述那样使凹版1 离开玻璃板M时，最好也使凹版1倾斜地逐渐从玻璃板M剥下。此后，在上述那样使凹版1与玻璃板M以液膜为中介接触的状态下， 利用定位机构34进行凹版1与玻璃板M的对位。这时，定位机构34使用 光学手段读取预先刻印在凹版1和玻璃板M双方的对位标记，检测出两者 之间的错位，并使凹版1和玻璃板M相对移动，以校正此错位。最好以缓 慢的速度移动，以免介入两者之间的液体显像剂产生紊流。上文那样将凹版1与玻璃板M高精度对位后，通过配置在玻璃板M的 离开凹版1的背面(图中的下表面)并与其接触的复制滚筒3施加负高压。具 体而言，如图14所示，通过电源装置37对按压并配置在玻璃板M的背面 的导电弹性滚筒3施加例如一7千伏左右的负高压，在玻璃板M与凹版1 的金属层12之间形成电位差，将凝集在凹部14a内的带正电的荧光体粒子 用库仑力复制到玻璃板M的表面。由此，将形状与图案14相同的红色的 荧光体层Tr复制到玻璃板M的表面。本实施方式的装置中，与己有使用电晕复制器的情况相比，通过复制滚 筒3能形成更强的复制电场，从而能使复制特性大幅度提高。而且，在凹 版1至玻璃板M的方向形成复制时的电场，所以凝集在图案14的凹部14a 内的荧光体粒子直接往玻璃板M迁移，将图案14保持其形状不变地原样 复制到玻璃板M。这样，将荧光体粒子复制到玻璃板M后，上文所述那样使拢近分离装 置33动作，使凹版1逐渐倾斜并逐渐离开玻璃板M，从而从玻璃板M的 上方剥离凹版l。即，通过按凹版1与玻璃板M之间浸湿的液膜不产生过 度紊流的方式将两者剥离，能抑制复制在玻璃板M的不稳定(未固定)的荧 光体粒子脱离玻璃板M的弊病，可保护己复制的荧光体层Tr。这样从玻璃板M剥离的凹版1如图8所示，由输送装置31往图中右方输送。这时，未图示的升降机构使清理器6上升到图中所示的工作位置，清除残留在凹版1的高电阻层13的表面13a的液体显像剂。此后，可使配备在下一色的荧光体粒子的复制并包含在已复制的红色荧 光体层Tr树脂成分融化并某种程度固定在玻璃板M。由此，能防止复制 下一色的荧光体粒子时2种色的荧光体粒子混杂的弊病。然而，虽然不使 上一色的荧光体层固定在玻璃板M，但复制下一色时也通过复制滚筒3供 给校强的复制电场，所以复制在玻璃板M的荧光体粒子剥离的方向的电场 不起作用，大体上不担心上述混色的问题。又，红色荧光体层的复制结束后，使电荷去除装置40动作，去除残留 在玻璃板M的非所需电荷。这时，有利用电晕带电或X射线去除残留在玻 璃板M表面的电荷的方法、将玻璃板M以10(TC 20(TC程度的高温加热3 分钟至30分钟左右从而去除残留在玻璃板M的内部的电荷的方法等。由 此，能防止将下一色荧光体层复制到玻璃板M时，残留电荷作用于抵消复 制电场的方向，可防止使第2色及其后的复制特性劣化。利用上述处理动 作，结束红色的显像动作。此后，又将与上述红色显像同样地进行清理并初始化后的凹版1往图中 左方输送，使凹版1的表面13a带+ 400伏的正电，并且如图9所示，将绿 色显像装置2g上升到动作位置，利用包含绿色荧光体粒子的液体显像剂对 图案14进行显像。这时，授给显像滚筒23与金属层12之间的电位差未必 限于设定成与上述红色显像时的电位差相同，能依据各色显像剂的特性适 当设定。然后，又将这样完成绿色荧光体粒子的显像后的凹版1输送到在图中左 方进行导电的玻璃板M的上方，通过液体显像剂接触玻璃板M后，将绿色 荧光体层Tg与红色荧光体层Tr并排地复制到玻璃板M的表面。这时，如图IO所示，由定位机构34将凹版1定位并配置成对玻璃板M 错开1像素份额后，将绿色荧光体粒子Tg以高精度定位于与红色荧光体粒 子Tr的图案相邻的状态复制在玻璃板M的表面上。同样，将蓝色荧光体层Tb复制到与绿色荧光体层Tg相邻的位置(图11、 图12)后，完成平板显示器用正面板的3色荧光体图案的复制。此后，可在 例如10(TC的高温中对3色荧光体层Tr、 Tg、 Tb进行加热，将其树脂成 分融化，从而固定在玻璃板N的表面，也可用30(TC至60(TC左右的温度进 行加热，使树脂成分蒸发。综上所述，根据本实施方式，复制各色荧光体粒子时，在以液膜为中介 将凹版1和玻璃板M对置配置的状态下，由定位机构34将两者高精度对 位，所以各色荧光体图案的对位精度极高，例如能保持土5微米程度的位 置精度。而且，从深度20微米左右的凹部14a内复制各色荧光体层Tr、 Tg、 Tb。所以与以往那样从平坦的板进行复制时相比，能形成形状散乱显著减 小的高质量厚膜图案。又，根据本实施方式，对玻璃板M复制1色荧光体层结束后，利用电 荷去除装置40去除残留在玻璃板M的电荷，所以能防止复制下一色荧光 体层时复制特性劣化，可在实质上相同的条件下将各色荧光体层Tr、 Tg、 Tb稳定地复制到玻璃板M。再者，上述实施方式中，说明了将3色的荧光体层Tr、 Tg、 Tb有规则 地排在玻璃板M的表面进行制图的情况，但也能用本实施方式的图案形成 装置10将3色的滤色片形成在玻璃板M的表面上，并将各色的荧光体层 Tr、 Tg、 Tb复制得叠在该表面上。又，上述实施方式中，说明了用平板状的凹版1和平板状的玻璃板M 形成图案的情况，但不限于此，也能将凹版1或玻璃板M(被复制媒体)的至 少一方做成圆筒状。此情况下，不必上述实施方式1那样利用拢近分离装 置22使凹版1 一面倾斜一面对玻璃板M接近或离开，不担心介入两者之 间的液膜产生过度紊流。接着，参照图15说明本发明实施方式2的图案形成装置50。再者，下 面的说明中，对所起作用与上述实施方式1相同的组成单元标注相同的标 号，省略其详细说明。如图15所示，图案形成装置50具有形成圆筒形鼓状的凹版51。此凹 版51未在这里示出，但在例如厚3毫米的铝圆筒(相当于金属层12)的周面 设置厚20微米的高电阻层13，并且在此高电阻层13利用激光刻蚀设置并 形成凹部14a。用此凹版51在玻璃板M形成3色荧光体层时，首先，利用交流电晕带 电器4对凹版51的周面消电，利用直流电晕带电器5使凹版51的高电阻 层13的表面13a带正电。然后，用显像装置2r使红色的荧光体粒子凝集在 凹版51的凹部14a，对红色的图案14进行显像。另一方面，由输送装置31以恒定速度从图中右方往左方输送玻璃板M， 使其进入复制滚筒3与凹版51之间。利用例如橡胶硬度40度的带电橡胶 滚筒形成复制滚筒3，并通过电源装置37对其施加一7千伏的电压。而且， 对进入复制滚筒3与凹版51之间的玻璃板M施加例如复制滚筒3的长度 方向平均l千克/厘米(Kg/cm)的负载。在此条件下，将红色荧光体层Tr 复制到玻璃板M。复制时，由定位机构34探测出刻印在玻璃板M和凹版 51的对位标记， 一面高精度控制两者的相对移动、 一面进行复制。此后，用清理器6清理凹版51的高电阻层13的表面13a后，进行下一 色荧光体层的显像和复制用的消电和带电。而且，由输送装置31将玻璃板 M往逆向输送，使其返回初始位置，并由电荷去除装置40消除非所需的残 留电荷。此后，重复上述显像工序和复制工序，在玻璃板M上复制3色的荧光 体层Tr、 Tg、 Tb。最后，将复制后的3色荧光体层融化并固定于玻璃板M。综上所述，根据本实施方式，由于将凹版51做成圆筒状，能将装置组 成小型化。而且，本实施方式中，通过将凹版51形成圆筒形，能使凹版51 对平板状的玻璃板M逐渐接近或离开，可抑制介入两者之间的液膜产生紊 流，从而能防止复制在玻璃板M的荧光体层剥离的弊病。而且，通过安排装置组成，也可用本实施方式的图案形成装置50首先 在玻璃板M上复制黑矩阵，接着复制滤色片，最后复制荧光体层。再者，上述实施方式1和2中，说明了使用具有1色份额的凹部14a的 图案14的凹版1、 51在玻璃板M的表面复制3次各色的荧光体层Tr、 Tg、 Tb的情况，但不限于此，也可以使用具有3色份额的凹部14a的单一凹版 将3色的荧光体层Tr、 Tg、 Tb—起复制到玻璃板M。此情况下，可以除图 3中说明的1色份额的凹部14a外，还在虚线所示的空档14b也形成凹部 14a，并设置分别独立连接各色用的凹部14a的示于图16和图17的电极， 以代替金属层12。例如，改进上述实施方式2的圆筒形凹版51的情况下，如图16所示， 在铝的滚筒坯管52的表面形成例如厚30微米的绝缘层53，在该层上设置 作为像素电极的铜电极54和作为保护层的镍电极55(下文统称为像素电极 56)，又在该电极上设置高电阻层13，最后用蚀刻等去除与像素电极56对 置的位置的高电阻层13，形成凹部14a。如图17所示，各色的像素电极56连接同色的像素电极56，并与不同 色的像素电极56电分离，能每色施加不同的电压。例如将2个红色的像素 电极56r通过电源线57r和58r连接到未图示的红用电源。同样，将绿色的 像素电极56g通过电源线57g和58g连接到未图示的绿用电源，将蓝色的 像素电极56b通过电源线57b和58b连接到未图示的蓝用电源。通过这样对各色的像素电极56独立布线，能用单一的凹版对3色的荧 光体图案进行显像。例如，对红色的荧光体图案进行显像时，仅使红色的 像素电极56r为接地电位，并使绿色和蓝色的像素电极56g、 56b为+400 伏，从而仅将带正电的红色荧光体粒子吸引到红色的像素电极56r，进行显 像。同样，对绿色的荧光体图案进行显像时，仅使绿色的像素电极56g为 接地电位，并使红色和蓝色的像素电极56r、 56b为+400伏，从而仅将绿 色荧光体粒子吸引到绿色的像素电极56g，进行显像。又，对蓝色的荧光体 图案进行显像时，仅使蓝色的像素电极56b为接地电位，并使红色和绿色 的像素电极56r、 56g为+400伏，从而仅将蓝色荧光体粒子吸引到蓝色的 像素电极56b，进行显像。这样，就在单一的凹版对3色的荧光体图案进行显像。此后，将3色的荧光体图案一起复制到玻璃板M。 g卩，通过使用可同时保持3色的荧光体图案的凹版，能一起实施对玻璃板M的复制，从而能避 免玻璃板M的内部电荷造成的第2次及其后的复制欠佳，而且仅1次高精 度对位就可以。接着，参照图18说明本发明实施方式3的图案形成装置60。此图案形 成装置60除在凹版1与玻璃板M之间配置中间复制体61夕卜，具有与上述 实施方式l相同的结构。再者，下文说明的各实施方式的中间复制体有时 作为本发明的被复制媒体起作用。用此图案形成装置60在玻璃板M的表面形成3色的荧光体层Tr、 Tg、 Tb时，暂且在中间复制体61的周面上复制各色的荧光体层Tr、 Tg、 Tb后， 将这些3色的荧光体层Tr、 Tg、 Tb—起复制到玻璃板M。艮P，对凹版l通过显像装置2r将红色荧光体粒子显像，并以电场的作 用将凝集在凹版1的凹部14a的红色荧光体图案复制到具有导电性的中间 复制体61的周面。这时，与例如上述实施方式1那样从玻璃板M的背面 侧施加高压不同，由于中间复制体61在表面或表面附近存在导电性电极， 用一200伏程度的复制电压也能高效率复制形状极为良好的荧光体层。同样，将绿色荧光体图案和蓝色荧光体图案并排地复制在中间复制体 61的周面上。这样重复将3色的荧光体图案复制到中间复制体61时，没有 例如上述实施方式1的玻璃板M时那样复制特性劣化。又，在中间复制体61上复制第2色及其后的荧光体图案时，也考虑先 前已复制的荧光体图案压坏的可能性。因此，可在中间复制体61的周面设 置未图示的间隔件，在此周面与凹版1之间确保物理上的间隙。利用中间复制体61的旋转，输送上文所述那样复制在中间复制体61的 周面的3色的荧光体层Tr、 Tg、 Tb，将它们一起复制到玻璃板M。再者， 这样用中间复制体61将3色的荧光体层Tr、 Tg、 Tb复制到玻璃板M时， 最好用绝缘性液体浸湿荧光体层。综上所述，根据本实施方式，在中间复制体61上复制3色的荧光体层Tr、 Tg、 Tb后，将这些3色的荧光体层Tr、 Tg、 Tb—起复制到玻璃板M， 所以能使对玻璃板M的复制1次就结束。由此，不产生上述实施方式l说 明的在玻璃板M内部积存电荷的问题。接着，参照图19说明本发明实施方式4的图案形成装置70。此图案形 成装置70具有各色用的凹版lr、 lg、 lb，并具有平板状的中间复制体71。 在这2点上与上述实施方式不同。即，此图案形成装置70采用打算用平板 状的多个凹版的"级联"方式。使用此图案形成装置70将3色的荧光体层Tr、 Tg、 Tb复制到玻璃板M 时，首先，在离开中间复制体71的输送路径的位置通过显像装置2r将红 色荧光体粒子供给红色用的凹版lr，对红色荧光体图案进行显像。将这样 已把红色荧光体图案显像的凹版lr移动到中间复制体71的输送路径，配 置成与中间复制体71对置，将保持的红色荧光体图案复制到中间复制体 71。同样，将绿色荧光体图案复制到中间复制体71且与红色荧光体图案并 排，将蓝色荧光体图案复制到中间复制体71且与红色和绿色荧光体图案并 排。然后，配置保持3色荧光体图案的中间复制体71，使其与在中间复制 体71的输送路径终点等待的玻璃板M对置后，将3色的荧光体层Tr、 Tg、 Tb—起复制到玻璃板M。综上所述，本实施方式中，也与上述实施方式3相同，能使对玻璃板M 的复制为1次，而且由于平板复制，能实现高对位精度。接着，参照图20说明本发明实施方式5的图案形成装置80。此图案形 成装置80，其特征为组合上述实施方式2说明的圆筒状的凹版51和上述 实施方式3说明的圆筒状中间复制体61。用此图案形成装置80将3色的荧光体层Tr、 Tg、 Tb复制到玻璃板M 时，首先，通过显像装置2r将红色荧光体粒子供给凹版51，对红色荧光体图案进行显像后，将此荧光体图案复制到中间复制体61。同样将绿色荧光 体图案和蓝色荧光体图案依次复制到中间复制体61，最后将3色的荧光体图案一起从中间复制体61复制到玻璃板M。综上所述，根据本实施方式，分别将凹版51和中间复制体61做成圆筒 形，所以能使装置小型化，可谋求节省空间。而且，将荧光体图案从圆筒 形的凹版51复制到中间复制体61时，大体上不产生介入两者之间的液体 显像剂的紊流，无荧光体粒子散逸。将荧光体图案从中间复制体61复制到 玻璃板M时，也能取得同样的效果。而且，本实施方式这样使平板状的玻璃板M以几乎接触的状态与圆筒 形的中间复制体61对置的情况下，能利用玻璃板M的挠性使中间复制体 61的周面与玻璃板M之间的间隙保持适当的值。图21示出本发明实施方式6的图案形成装置100的概略立体图。此图案形成装置100具有巻绕在往图中顺时针方向(箭头号R方向)旋 转的滚筒坯管(后文阐述)的周面的底版101(像保持体)；将电荷供给此底版 101的后文阐述的高电阻层并使其带电的带电器102;将各色(r:红、g:绿、 b:蓝)液体显像剂供给底版101进行显像的多个显像装置103r、 103g和 103b(下文有时统称为显像装置103);利用鼓风使因显像而附着在底版101 的液体显像剂的溶媒成分汽化并干燥的干燥器104(干燥装置)；在一定位置 上保持成为复制附着在底版101的显像剂粒子并形成图案的被复制媒体的 玻璃板105的工作台106(保持机构)106;复制前在玻璃板105的表面涂覆 固定在或绝缘的溶媒的涂覆装置107(浸湿装置)；清理结束复制的底版101 的清理器108和去除底版101的电荷的除电器109。收装在各色显像装置103r、 103g、 103b的液体显像剂，是在碳化氢类 或硅类等绝缘溶媒中散布带电的微粒子(显像剂粒子)的显像剂，通过此微粒 子在电场下的电泳进行显像。作为微粒子，可实施例如平均粒径小于4微 米左右的树脂粒子包围平均粒径4微米左右的各色荧光体粒子且树脂粒子 具有离子性带电区并在电场中进行离子分离从而带电的组成、在树脂粒子内部包含各色颜料微粒子的组成或在树脂粒子的表面承载各色颜料微粒子 的组成。如图22A所示俯视图那样，将底版101形成矩形薄板状。如图22B所 示剖视图那样在厚0.05毫米(mm)至0.4毫米(厚0.1毫米至0.2毫米更好)的 矩形金属膜112的表面形成高电阻层113，从而构成此底版101。可由具有 挠性的铝、不锈钢、钛、殷钢等原材料构成金属膜112，还可在聚酰亚胺或 PET等的表面蒸镀金属，但为了高精度形成复制图案，最好用难产生热膨 胀或应力造成的伸展的原材料构成。而且，利用例如聚酰亚胺、丙烯、聚 乙烯、(聚)氨酯、环氧树脂、特氟隆(注册商标)、尼龙等体电阻率大于等于 1(T欧厘米(Qcm)的材料(包括绝缘体)形成高电阻层13，将其厚度形成10 微米 40微米，形成20微米±5微米更好。又，在高电阻层113的表面113a，形成将图23中局部放大地示出的矩 形的凹部114a直线对准配置多个的图案114。本实施方式中，例如作为制 造在平面型图像显示装置的正面基片上形成的荧光屏的凹版，以从高电阻 层113的表面下陷的方式仅形成相当于1色份额的凹部114a，图中虚线所 示的其它2色份额的区域不形成凹部，仅确保空档。图24中示出将l个凹部114a放大的底版101的剖视图。本实施方式中， 凹部114a的底露出在金属膜112的表面112a，此金属膜112的露出的表面 112a作为本发明的图案状电极层起作用。凹部114a的深度实质上相当于高 电阻层113的层厚。包含在凹部114a的底露出的金属膜112的表面112a 和高电阻层113的表面113a的底版101的整个表面镀覆厚0.5微米至3微 米程度的表面脱模层，则得到复制特性进一步提高的较佳特性。图25示出描绘将上述结构的膜状底版101巻绕在滚筒坯管131的状况 的概略剖视图。在滚筒坯管131的图中上部的切口部131a设置将底版101 的一端固定的夹板132和将另一端固定的夹板133。将底版101巻绕在滚筒 坯管131的周面上时，首先，将底版101的一端固定在夹板132;其后，一 面铺开底版101 —面将其另一端134用夹板133固定。由此，能将底版101不松弛地巻绕在滚筒坯管131周面的规定位置。图26是说明利用带电器104使这样巻绕在滚筒坯管131的底版101的 高电阻层113的表面113a带电的工序用的局部组成图。带电器104是熟知 的电晕带电器，基本上由电晕线142和防护盒143构成，通过设置网状栅 极144，能提高带电的均匀性。例如，将底版101的金属模112和防护盒 143接地，利用未图示的电源装置对电晕线142施加+ 5.5千伏的电压，又 对栅极144施加+ 500伏的电压，并使底版101往图中箭头号R方向移动， 则使高电阻层113的表面113a均匀地带电实质上+ 500伏。该图所示的除电器109，其结构与带电器104实质上相同，但连接未图 示的交流电源，以便对电晕线146施加有效电压6千伏、频率50赫(Hz)的 交流电压，并且设置防护盒147和栅极148，则可在带电器104造成的带电 前，进行消电，使底版101的高电阻层113的表面113a为实质上0伏，从 而能使高电阻层113的重复带电特性稳定。图27示出说明对上文所述那样带电的底版101的显像动作用的图。显 像时，使进行显像的色的显像器103与底版101对置，并使其显像滚筒 151(供给构件)和挤液滚筒152接近底版101，将上述液体显像剂供给底版 101。将显像滚筒151配置在其周面对输送的底版101的高电阻层113的表 面113a以100微米 150微米程度的间隙为中介相互对置的位置，并以1.5 倍至4倍程度的速度往与底版101的旋转方向相同的方向(图中逆时针方向) 进行旋转。使作为显像剂粒子的带电的调色剂粒子155散布在作为绝缘性液体的 溶媒154中，从而构成由未图示的供给系统供给显像滚筒151的周面的液 体显像剂153，并将其随着显像滚筒151的旋转供给底版101的周面。这里， 由未图示的电源装置对显像滚筒151施加例如+250伏的电压，则带正电的 调色剂粒子155在溶媒154中往接地电位的金属膜112迁移，汇集在底版 101的凹部114a内。这时，高电阻层113的表面113a带电+ 500伏左右， 所以带正电的调色剂粒子155受表面113a排斥，不附着在该表面。这样，在底版101的凹部114a内汇集调色剂粒子155后，接着调色剂 粒子155的浓度变稀的液体显像剂153介入挤液滚筒152与底版101对置 的间隙。这里，将间隙(绝缘层113的表面113a与挤液滚筒152的表面之间 的距离)设定为30微米至50微米，并且挤液滚筒152的电位为+250伏， 挤液滚筒152往与底版101相反的方向以底版101的速度的3倍至5倍程 度的速度进行旋转，所以取得一面进一步促进显像且同时一面挤掉部分附 着在底版101的溶媒156的效果。这样进行动作，从而在底版101的凹部 114a形成调色剂的图案157。可是，在玻璃板105上形成3色荧光体图案的情况下，如图28所示， 首先，收装含蓝色荧光体粒子的液体显像剂的显像器103b移动到底版101 的下方，由这里未图示的升降机构使显像器103b上升并接近底版101。此 状态下，底版101往箭头号R的方向旋转，对凹部114a造成的图案进行显 像。蓝色图案的显像结束时，显像器103b下降，离开底版IOI。此蓝色显像工序的期间，涂覆装置107沿未图示的输送装置预先输送并 保持在工作台106上的玻璃板105的离开工作台106的表面，往图中虚线 箭头号T1的方向移动，在玻璃板105的表面涂覆溶媒(绝缘性液体)。后文 阐述此溶媒的作用和材料组成。此后，周面承载蓝色图案的底版IOI—面旋转、 一面沿图中的虚线箭头 号T2移动(将此动作称为转动)，把蓝色图案像复制到玻璃板105的表面。 后文阐述复制的详况。结束蓝图案的复制的底版往图中左方平行移动，返 回显像时的初始位置。这时，保持玻璃板105的工作台106下降，避免与 返回初始位置的底版101接触。接着，3色的显像器103r、 103g、 103b往图中左方移动，绿色显像器 103g在位于底版101下方的地方停止，与绿色显像时同样地进行显像器 103g的上升、显像、下降。接着，用与上述相同的操作将绿图案从底版101 复制到玻璃板105的表面。这时，当然将绿色图案在玻璃板105表面上的 复制位置从所述蓝色图案错开1色份额。然后，对红色显像重复上述动作，从而在玻璃板105的表面上并排地复制3色图案，将3色的图案像形成在玻璃板105的表面。这样，将玻璃板 105保持并固定在一定位置，并使底版101对玻璃板105移动，从而玻璃板 105不需要来回移动，能抑制确保移动空间大和装置大型化。图29示出使上述底版101沿玻璃板105转动用的转动机构的关键部结 构。在周面上巻绕底版101的滚筒坯管131的轴向两端安装称为小齿轮的 齿轮Hl。底版101利用此齿轮171与电动机172的驱动齿轮173的咬合进 行旋转，并利用设置在工作台106两端的直线轨道的齿条174与小齿轮(齿 轮171)的咬合往图中左方平移。设计转动机构各部的结构，使这时保持在 工作台106上的玻璃板105的表面与底版101的表面之间不产生相对偏移。 权利要求书中，将这样一面旋转、 一面沿玻璃板105平行移动的动作称为 转动。根据这种齿条加小齿轮机构，没有传递驱动用的空转，所以能实现无间 隙的高精度旋转平移驱动，从而能在玻璃板105上复制例如土5微米的高 位置精度的高清晰图案。另一方面，将玻璃板105(图29中未图示)配置在工作台106上，使其背 面105b(离开底版101反的面)的实质上整个面对接工作台106的平坦的接 触面106a，如图28所示。而且，从连接管道175经主管道177将未图示的 真空泵连接到贯穿工作台106并延伸至接触面106a的吸气口 176，从而通 过开在吸气口 176的接触面106a的未图示的吸附孔对玻璃板105作用负压， 将其吸附在工作台106的接触面106a上。利用此吸附机构，使玻璃板105 的背面105b的实质上整个面按压并紧贴在具有高平面度的接触面106a,以 平面性高的状态保持在工作台106上。通过这样将玻璃板105压紧在平坦 的接触面106a，也能校正玻璃板105的畸变等，能高精度维持与后文阐述 的底版101之间的复制间隙。图30是说明将调色剂粒子从底版101复制到玻璃板105时的状态的关 键部剖视图。在玻璃板105的表面105a涂覆由例如导电性高分子等组成的导电层181，将该导电层181的表面181a和底版101的高电阻层113的表 面113a以间隙d2为中介，设置成非接触状态，将d2设置为例如10微米 至40微米范围的值。高电阻层131的厚度为例如20微米时，金属膜112 与导电层181的表面181a之间的距离为30微米至60微米。此状态下，通过电源装置182(复制装置)对导电层181施加例如一500 伏的电压时，与接地电位的金属膜112之间形成500伏的电位差，调色剂 粒子155因其电场而在溶媒154中电泳，被复制到导电层181的表面181a。 这样，调色剂粒子155在非接触状态下也能复制，所以不需要胶版印刷和 柔版印刷时那样介入橡皮布或柔版的弹性体，能实现总为位置精度高的复 制。通过复制调色剂粒子155后，将玻璃板105投入未图示的烘烤炉进行 烧结，使导电层181消失。再者，上述那样用电场将调色剂粒子复制到玻璃板105的情况下，必要 条件为复制间隙中存在溶媒并将玻璃板105侧的导电层181与底版101之 间浸湿，所以有效的是复制前预先用溶媒将玻璃板105的表面105a预湿。 作为预湿溶媒，只要绝缘或电阻高就可以，但与用于液体显像剂的溶媒或 其中添加带电控制剂的溶媒则更好。将预湿溶媒如用图28说明的那样利用 涂覆装置107按适当的定时以适当的涂覆的量涂敷在玻璃板105的表面 105a。综上所述，根据上述实施方式，使底版101对配置在一定位置的玻璃板 105转动，将已显像的调色剂粒子155复制到玻璃板105的表面105a，所 以能将使底版101转动的转动机构的组成小型化，可减小装置的设置空间。 而且，根据上述实施方式，用电场将调色剂粒子155从以非接触状态对置 配置的底版101复制到玻璃板105，所以与以往那样用柔版的复制方式相 比，能提高复制像的析像度，可形成高清晰的图案。又，上述实施方式中，利用来自干燥器104的送风使汇集在底版101的 凹部114a的调色剂粒子155(已显像)适当干燥一下后，由溶媒浸湿(预湿) 玻璃板105的表面105a，对调色剂粒子155进行复制，所以能使复制在玻璃板105的表面105a的调色剂像形状稳定，显明地形成图案的轮廓。这里，参照图31至图33说明上述实施方式6的若干变换例。再者，这 里对作用与上述实施方式6的图案形成装置100相同的组成单元标注同一 标号，省略其详细说明，并省略用图示出与说明无关的组成。图31示出使底版101的高电阻层113的表面113a接触设置在玻璃板105 的表面105a上的导电层181的表面181a的状态下复制调色剂粒子155的 例子。施加的玻璃板105因位置而有厚度波动，存在波动的大小达30微米 的情况，所以也考虑图30那样将与底版101之间的间隙d2设定为20微米 的情况下，有些位置上导电层181的表面也如图31所示那样接触高电阻层 113的表面113a。总之，汇集在底版101的凹部114a内的调色剂粒子155 对导电层181非接触或轻接触，所以能利用电泳作良好的复制。然而，在工作台106的接触面106a上原样载放玻璃板105并使底版10 接触导电层181时，玻璃板105的厚度波动等两者之间的间隙变动的情况 下，在该部位应力集中，产生弊病。因此，使底版101与玻璃板105接触 的情况下，有效的是实施图31所示那样在工作台106的接触面106a上设 置高精度控制厚度的板状的弹性构件191(例如硬度为61度且厚1毫米的聚 胺酯橡胶等)并在其上设置玻璃板105等措施。由此，即使玻璃板105存在 厚度波动，弹性构件191也能吸收该波动，从而能维持良好的复制特性。 再者，不必高精度控制底版101与玻璃板105之间的间隙，所以能简化装 置组成，可价廉地进行制造。弹性构件191未必需要为板状，其组成也可 例如在工作台106上设置多个橡胶制的吸盘状的弹性构件，用此吸盘保持 玻璃板105。此情况下，能利用橡胶制吸盘的应力形变控制接触状态。图32示出的例子在玻璃板105的表面105a上形成黑矩阵或电阻层的结 构物201后，将已在底版101显像的调色剂粒子155复制在玻璃板155的 表面105上。此例中，使用高电阻层113中没有凹部114a的底版101，。此 情况下，通过使电场作用于底版101的调色剂粒子155，也能将调色剂粒子 155良好地复制到玻璃板105。艮P，此情况下，底版101未必需要是凹版，也可以是金属膜112的表面和高电阻层133的表面存在于同一表面的所谓平版。例如，底版101与玻 璃板105之间设置一定间隙的情况下，汇集在无高电阻层113的金属膜112 露出的表面的调色剂粒子155对导电层181为非接触状态，所以进行良好 的电场复制。而且，此情况下，玻璃板105上的结构物201作为区分调色 剂粒子155的隔板起作用，所以能使复制的图案的轮廓清晰。图33示出的例子将用于形成在底版101的金属膜112与玻璃板105之 间复制用的电场的导电层211(对置电极)设置在玻璃板105面对工作台106 的接触面106a的背面105b侧。此情况下，设定通过电源装置212施加在 导电层211的电压，使底版101的金属膜112与玻璃板105的表面105a之 间得到足够的电场强度，则也能进行良好的复制。例如，玻璃板105的厚度为1.8毫米的情况下，对导电层211施加一5 千伏至一7千伏程度的高压，则得到足够的电场强度。此结构，则不必事先 在玻璃板105的表面105a涂覆导电层181，可为预先在工作台106的接触 面106a上设置导电层211的简单组成。而且，不需要复制后使不需要的表 面侧的导电层181消失的工序。再者，本发明不受上述实施方式原样限定，实施阶段可在不脱离其要旨的范围变换组成单元并付诸实施。而且，利用适当组合上述实施方式揭示 的多个组成单元，能形成各种发明。例如，可从上述实施方式所示全部组 成单元删除若干组成单元。还可适当组合涉及不同实施方式的组成单元。例如，上述实施方式1至5中说明了仅使凹版、中间复制体和玻璃板中 的任一方对其它方移动的情况，但不限于此，也可使对置的2个根据相对移动。又，上述实施方式中，说明了以使荧光体粒子带正电的方式使图案形成 装置进行工作的情况，但不限于此，也可使全部组成以带相反极性的方式 进行工作。又，上述实施方式中，说明了本发明用于在平面型图像显示装置的正面基片形成荧光体层或滤色片的装置的情况，但本发明也能当作其它技术领 域的制造装置广泛利用。例如，改变液体显像剂的组分，则本发明也能用于电路板或ic标签等形成导电图案的装置。此情况下，由例如平均粒径0.3微米的树脂粒子、附着在其表面的平均粒径0.02微米的金属粒子(例如铜、铂、银等)和金属皂那样的电荷控制剂构成液体显像剂，则利用与上述实施方式相同的方法， 也能在例如硅片上形成显像剂造成的布线图案。仅用这种显像剂一般不容 易形成具有足够导电性的电路图案，因此最好形成图案后以上述金属微粒 子为核，实施电镀。这样处理，也能进行导电电路、电容器、电阻等的图 案制作。又，上述实施方式中，说明了使用形成凹部造成的图案的版的装置，但 不限于此，例如本发明也能用于利用熟知的电子照相法在感光体表面形成 潜像并且用液体显像剂将其显像后进行复制的装置。工业上的实用性本发明的图案形成装置具有上述组成和作用，因此能高析像度且高精度 地形成厚膜的图案。
权利要求
1、一种图案形成装置，其特征在于，具有在带有导电性的基体的表面含高电阻层，并含从该高电阻层的表面往所述基体下陷的凹部造成的图案的凹版；通过与所述高电阻层的表面对置的供给构件，供给使带电的显像剂粒子散布在绝缘性液体中的液体显像剂，并在此供给构件与所述基体之间形成第1电位差，从而将所述液体显像剂中的所述显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的显像装置；以及复制装置，该复制装置在使被复制媒体接近所述凹部内汇集所述显像剂粒子的所述高电阻层的表面并与其对置的状态下，此被复制媒体与所述基体之间形成第2电位差，从而将汇集在所述凹部内的所述显像剂粒子复制到该被复制媒体。
2、 如权利要求1中所述的图案形成装置，其特征在于， 所述凹部的底露出在所述基体的表面。
3、 如权利要求2中所述的图案形成装置，其特征在于， 还具有通过所述供给构件将所述液体显像剂供给所述高电阻层的表面前，使该表面带电成所述显像剂粒子不附着的电位的带电装置。
4、 如权利要求3中所述的图案形成装置，其特征在于， 还具有局部去除包含通过所述供给构件供给所述高电阻层的表面的所述液体显像剂中未汇集在所述凹部内的所述显像剂粒子的绝缘性液体，并 将液体显像剂的量控制为适当的量的去除装置。
5、 如权利要求4中所述的图案形成装置，其特征在于， 所述去除装置在使所述被复制媒体接近所述高电阻层的表面并与其对置的状态下，按所述液体显像剂接触该被复制媒体的程度，去除所述绝缘 性液体。
6、 如权利要求1中所述的图案形成装置，其特征在于，还具有使该高电阻层的表面与该被复制媒体接近到通过所述供给机构 供给所述高电阻层的所述表面的所述液体显像剂接触所述被复制媒体的程 度并对置，并且复制后使该被复制媒体与该高电阻层的表面分开的拢近分 离装置。
7、 如权利要求6中所述的图案形成装置，其特征在于，所述拢近分离装置将所述被复制媒体以逐渐接触的方式接近供给所述 高电阻层的表面的所述液体显像剂，以免供给所述高电阻层的表面的所述 液体显像剂产生紊流，并且在复制后使所述液体显像剂与所述被复制媒体 逐渐分开，以免在所述高电阻层的表面与所述被复制媒体之间介入并进行 接触的所述液体显像剂产生紊流。
8、 如权利要求1中所述的图案形成装置，其特征在于， 将所述凹版的基体形成圆筒形的鼓状。
9、 如权利要求1中所述的图案形成装置，其特征在于， 将所述被复制媒体形成圆筒形。
10、 一种图案形成装置，其特征在于，具有在带有导电性的基体的表面含高电阻层，并含从该高电阻层的表面往所述基体下陷的凹部造成的图案的凹版；通过与所述高电阻层的表面对置的第1供给构件，供给使带电的第1显 像剂粒子散布在绝缘性液体中的第1液体显像剂，并在此第1供给构件与 所述基体之间产生第1电位差，从而将所述第1液体显像剂中的所述第1显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第1显像装置；使被复制媒体接近所述凹部内汇集所述第1显像剂粒子的状态的所述高电阻层的表面并与其对置的状态下，在该被复制媒体与所述基体之间形成第2电位差，从而将汇集在所述凹部内的所述第1显像剂粒子复制到该被复制媒体的第1复制装置；通过与所述高电阻层的表面对置的第2供给构件，供给使带电的第2显像剂粒子散布在绝缘性液体中的第2液体显像剂，并在此第2供给构件与所述基体之间产生第3电位差，从而将所述第2液体显像剂中的所述第2显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第2显像装置；以及使已复制所述第1显像剂粒子的所述被复制媒体接近所述凹部内汇集所述第2显像剂粒子的状态的所述高电阻层的表面并与其对置的状态下， 在该被复制媒体与所述基体之间形成第4电位差，从而将汇集在所述凹部 内的所述第2显像剂粒子复制到该被复制媒体的第2复制装置。
11、 如权利要求IO中所述的图案形成装置，其特征在于， 还具有将所述凹版和所述被复制媒体相对地对准位置，以便在与将所述第1显像剂粒子复制到所述被复制媒体的位置重叠的位置上复制所述第2 显像剂粒子的定位机构。
12、 如权利要求IO中所述的图案形成装置，其特征在于， 还具有将所述凹版和所述被复制媒体相对地对准位置，以便与在将所述第1显像剂粒子复制到所述被复制媒体的位置不同的位置上复制所述第2 显像剂粒子的定位机构。
13、 如权利要求IO中所述的图案形成装置，其特征在于， 还具有将所述第1显像剂粒子复制到所述被复制媒体后且在该被复制媒体上复制所述第2显像剂粒子前，至少局部去除该被复制媒体中残留的 电荷的电荷去除装置。
14、 一种图案形成装置，其特征在于，具有含形成在高电阻层的第1凹部造成的第1图案和第2凹部造成的第2图 案，并含分别独立设置在这些第l和第2图案的所述凹部的底的第l和第2 的电极的凹版；通过与所述高电阻层的表面对置的第1供给构件，供给使带电的第1显 像剂粒子散布在绝缘性液体中的第1液体显像剂，并在此第1供给构件与 所述第1电极之间形成第1电位差，从而将所述第1液体显像剂中的所述 第1显像剂粒子汇集在所述第1凹部内进行显像的第1显像装置；通过与所述高电阻层的表面对置的第2供给构件，供给使带电的第2显像剂粒子散布在绝缘性液体中的第2液体显像剂，并在此第2供给构件与 所述第2电极之间形成第3电位差，从而将所述第2液体显像剂中的所述 第2显像剂粒子汇集在所述第2凹部内进行显像的第2显像装置；以及使被复制媒体接近所述第1凹部内汇集所述第1显像剂粒子且所述第2 凹部内汇集所述第2显像剂粒子的状态的所述高电阻层的表面并与其对置 的状态下，在该被复制媒体与所述第1和第2电极之间形成第2电位差， 从而将汇集在所述第1和第2凹部内的所述第1和第2显像剂粒子一起复 制到该被复制媒体的复制装置。
15、 一种图案形成装置，其特征在于，具有在带有导电性的基体的表面含高电阻层，并含从该高电阻层的表面往所 述基体下陷的凹部造成的图案的凹版；通过与所述高电阻层的表面对置的第1供给构件，供给使带电的第1显 像剂粒子散布在绝缘性液体中的第1液体显像剂，并在此第1供给构件与 所述基体之间形成第1电位差，从而将所述第1液体显像剂中的所述第1 显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第1显像装置；与所述凹版的所述高电阻层的表面对置的中间复制体；将所述第1显像装置中显像的所述第1显像剂粒子从所述凹部复制到所 述中间复制体的第1复制装置；通过与所述凹版的所述高电阻层的表面对置的第2供给构件，供给使带 电的第2显像剂粒子散布在绝缘性液体中的第2液体显像剂，并在此第2 供给构件与所述基体之间形成第3电位差，从而将所述第2液体显像剂中 的所述第2显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第2显像装置；将所述第2显像装置中显像的所述第2显像剂粒子从所述凹部复制到所 述中间复制体的第2复制装置；以及使被复制媒体接近已复制所述第l和第2显像剂粒子的所述中间复制体 并与其对置的状态下，在该被复制媒体与所述中间复制体之间形成第2电 位差，从而将所述第1和第2显像剂粒子一起复制到该被复制媒体的第3复制装置。
16、 一种图案形成方法，其特征在于，具有以下工序准备在带有导电性的基体的表面含高电阻层，并含从该高电阻层的表面 往所述基体下陷的凹部造成的图案的凹版的工序；通过与所述高电阻层的表面对置的供给构件，供给使带电的显像剂粒子 散布在绝缘性液体中的液体显像剂，并在此供给构件与所述基体之间形成 第1电位差，从而将所述液体显像剂中的所述显像剂粒子汇集在所述凹部 内进行显像的显像工序；以及在使被复制媒体接近所述凹部内汇集所述显像剂粒子的所述高电阻层 的表面并与其对置的状态下，在被复制媒体与所述基体之间形成第2电位差，从而将汇集在所述凹部内的所述显像剂粒子复制到该被复制媒体的复 制工序。
17、 一种图案形成方法，其特征在于，具有以下工序准备在带有导电性的基体的表面含高电阻层，并含从该高电阻层的表面 往所述基体下陷的凹部造成的图案的凹版的工序；通过与所述高电阻层的表面对置的第1供给构件，供给使带电的第1显 像剂粒子散布在绝缘性液体中的第1液体显像剂，并在此第1供给构件与 所述基体之间形成第1电位差，从而将所述第1液体显像剂中的所述第1 显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第1显像工序；使被复制媒体接近所述凹部内汇集所述第1显像剂粒子的状态的所述 高电阻层的表面并与其对置的状态下，在该被复制媒体与所述基体之间形 成第2电位差，从而将汇集在所述凹部内的所述第1显像剂粒子复制到该 被复制媒体的第1复制工序；通过与所述高电阻层的表面对置的第2供给构件，供给使带电的第2显 像剂粒子散布在绝缘性液体中的第2液体显像剂，并在此第2供给构件与 所述基体之间形成第3电位差，从而将所述第2液体显像剂中的所述第2 显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第2显像工序；以及使已复制所述第1显像剂粒子的所述被复制媒体接近所述凹部内汇集 所述第2显像剂粒子的状态的所述高电阻层的表面并与其对置的状态下， 在该被复制媒体与所述基体之间形成第4电位差，从而将汇集在所述凹部内的所述第2显像剂粒子复制到该被复制媒体的第2复制工序。
18、 一种图案形成方法，其特征在于，具有以下工序准备含形成在高电阻层的第1凹部造成的第1图案和第2凹部造成的第 2图案，并含分别独立设置在这些第1和第2图案的所述凹部的底的第1和第2电极的凹版工序；通过与所述高电阻层的表面对置的第1供给构件，供给使带电的第1显 像剂粒子散布在绝缘性液体中的第1液体显像剂，并在此第1供给构件与 所述第1电极之间形成第1电位差，从而将所述第1液体显像剂中的所述第1显像剂粒子汇集在所述第1凹部内进行显像的第1显像工序；通过与所述高电阻层的表面对置的第2供给构件，供给使带电的第2显 像剂粒子散布在绝缘性液体中的第2液体显像剂，并在此第2供给构件与 所述第2电极之间形成第3电位差，从而将所述第2液体显像剂中的所述 第2显像剂粒子汇集在所述第2凹部内进行显像的第2显像工序；以及使被复制媒体接近所述第1凹部内汇集所述第1显像剂粒子且所述第2 凹部内汇集所述第2显像剂粒子的状态的所述高电阻层的表面并与其对置 的状态下，在该被复制媒体与所述第1和第2电极之间形成第2电位差， 从而将汇集在所述第1和第2凹部内的所述第1和第2显像剂粒子一起复 制到该被复制媒体的复制工序。
19、 一种图案形成方法，其特征在于，具有以下工序 准备在带有导电性的基体的表面含高电阻层，并含从该高电阻层的表面往所述基体下陷的凹部造成的图案的凹版工序；通过与所述高电阻层的表面对置的第1供给构件，供给使带电的第1显 像剂粒子散布在绝缘性液体中的第1液体显像剂，并在此第1供给构件与 所述基体之间形成第1电位差，从而将所述第1液体显像剂中的所述第1显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第1显像工序；将所述第1显像装置中显像的所述第1显像剂粒子从所述凹部复制到所述中间复制体的第1复制工序；通过与所述凹版的所述高电阻层的表面对置的第2供给构件，供给使带 电的第2显像剂粒子散布在绝缘性液体中的第2液体显像剂，并在此第2 供给构件与所述基体之间形成第3电位差，从而将所述第2液体显像剂中 的所述第2显像剂粒子汇集在所述凹部内进行显像的第2显像工序；将所述第2显像装置中显像的所述第2显像剂粒子从所述凹部复制到所 述中间复制体的第2复制工序；以及使被复制媒体接近已复制所述第l和第2显像剂粒子的所述中间复制体 并与其对置的状态下，在该被复制媒体与所述中间复制体之间形成第2电 位差，从而将所述第1和第2显像剂粒子一起复制到该被复制媒体的第3 复制工序。
20、 一种图案形成装置，其特征在于，具有 保持平板状的被复制媒体的保持机构； 鼓状的像保持体；使该像保持体沿所述保持机构保持的平板状的被复制媒体转动的转动 机构；在所述像保持体的周面上形成带电的显像剂造成的图案像的显像装置； 以及在所述转动的像保持体与所述被复制媒体之间形成电场，并将所述周面 上的图案像复制到所述被复制媒体的复制装置。
21、 如权利要求20中所述的图案形成装置，其特征在于， 所述转动机构一面在所述像保持体的周面与所述被复制媒体之间保持一定的间隙， 一面使所述像保持体转动。
22、 如权利要求20中所述的图案形成装置，其特征在于， 所述保持机构具有接触所述被复制媒体的离开所述像保持体的背面的接触面。
23、 如权利要求22中所述的图案形成装置，其特征在于， 所述保持机构具有通过在所述接触面开口的吸孔对所述被复制媒体的背面作用负压，从而使所述被复制媒体吸附的吸附机构。
24、 如权利要求22中所述的图案形成装置，其特征在于， 在所述保持机构的接触面与所述被复制媒体的背面之间具有弹性构件。
25、 如权利要求20中所述的图案形成装置，其特征在于， 还具有利用绝缘性液体，将所述转动的像保持体的周面与所述保持机构保持的被复制媒体的表面之间浸湿的浸湿机构。
26、 如权利要求20中所述的图案形成装置，其特征在于， 所述像保持体具有在其周面形成所述图案像用的图案状的电极层， 所述显像装置通过供给部，将使带电的显像剂粒子散布在绝缘性液体中的液体显像剂供给所述像保持体的周面，并且在所述供给构件与所述电极 层之间形成电场，将使所述供给构件与周面之间浸湿的液体显像剂中的显 像剂粒子汇集在所述电极层，形成所述图案像。
27、 如权利要求26中所述的图案形成装置，其特征在于， 所述复制装置在所述电极层与所述被复制媒体之间形成电场，将汇集在所述电极层的显像剂粒子复制到所述被复制媒体。
28、 如权利要求27中所述的图案形成装置，其特征在于， 所述复制装置在所述被复制媒体的离开所述像保持体背面侧配置的对置电极与所述电极层之间施加复制偏压，将所述图案像复制到所述被复制 媒体的表面。
29、 如权利要求28中所述的图案形成装置，其特征在于， 所述保持机构具有与所述被复制媒体的所述表面接触的接触面，并且 将所述对置电极设置在所述接触面。
30、 如权利要求26中所述的图案形成装置，其特征在于， 还具有由所述复制装置将所述显像装置形成在所述像保持体的周面的图案像复制到所述被复制媒体前，使该图案像干燥一下的干燥装置。
31、 如权利要求30中所述的图案形成装置，其特征在于，还具有复制所述图案像前利用绝缘性液体将通过所述干燥装置的所述 保持体的周面与所述保持机构保持的被复制媒体之间浸湿的浸湿装置。
32、 如权利要求31中所述的图案形成装置，其特征在于， 所述浸湿装置在所述驱动机构使所述像保持体沿所述被复制媒体转动前，使涂覆装置沿所述被复制媒体移动，并将绝缘性液体供给所述被复制 媒体。
33、 如权利要求27中所述的图案形成装置，其特征在于， 所述保持媒体是具有将显像剂粒子汇集在其周面用的图案状凹部，并在此凹部的底具有所述电极层的凹版。
34、 一种图案形成方法，其特征在于，具有以下工序 在鼓状的像保持体的周面形成带电的显像剂造成的图案像的显像工序； 使该显像工序在所述周面形成图案像的所述像保持体沿保持在固定位置的平板状被复制媒体转动的转动工序；以及在所述转动的像保持体与所述被复制媒体之间形成电场，并将所述周面 上的图案像复制到所述被复制媒体的复制工序。
35、 如权利要求34中所述的图案形成方法，其特征在于， 所述转动工序中，使所述像保持体对保持在所述固定位置的被复制媒体接近并转动。
36、 如权利要求34中所述的图案形成方法，其特征在于， 所述显像工序中，通过供给构件对所述保持体的周面供给使带电的显像剂粒子分散在绝缘性液体中的液体显像剂，并在所述供给构件与像保持体 之间形成电场，从而在所述周面形成所述图案像。
37、 如权利要求36中所述的图案形成方法，其特征在于， 还具有使所述显像工序中在所述周面形成的所述图案像干燥一下的干燥工序。
38、如权利要求37中所述的图案形成方法，其特征在于，还具有所述复制工序将所述周面上的图案像复制到所述被复制媒体前 利用绝缘性液体浸湿该被复制媒体的表面的浸湿工序。
全文摘要
图案形成装置(10)具有含凹部造成的图案的凹版(1)；将含荧光体粒子的液体显像剂供给凹版的图案并形成第1电位差，从而使荧光体粒子凝集在凹部进行显像的显像装置(2a、2g、2b)；以及使显像后的凹版与玻璃板(M)对置的状态下形成第2电位差，并将由各显像装置汇集在凹版的凹部的荧光体粒子依次复制到玻璃板(M)的复制滚筒(3)。
文档编号B41M1/10GK101336169SQ2006800520
公开日2008年12月31日 申请日期2006年12月12日 优先权日2005年12月26日
发明者八木均, 田岛义浩, 真常泰, 石井浩一, 细矢雅弘, 高桥健, 齐藤三长 申请人:株式会社东芝