专利名称：多路分配装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及具备多个分配装置而向涂敷对象物的多个部位同时涂敷涂敷液的多路分配装置。
背景技术：
具有预定的配线图案的配线基板是在制造各种电子控制装置、电子通信装置或计算机等时成为基础的重要的构件。作为该配线基板的制造方法，一直以来使用通过电镀法或真空蒸镀法、溅射法等而在基板上形成金属薄膜的方法。然而，由于这些现有的方法均具有难点，因此使用喷墨装置或分配装置来描画配线图案的方法不断扩展。喷墨装置具有以下一般特性描画速度快而能够得到较大的产能，但无法使用粘度太大的墨水而在I次的描画中难以得到充分的涂敷厚度。
另一方面，虽然分配装置即使使用粘度大的涂敷液也能够涂敷而容易得到充分的涂敷厚度，但产能通常比喷墨装置小。在分配装置中，通常使具有嘴的分配头在XY平面上移动，间歇地滴下涂敷液而描画点，或连续地涂敷涂敷液而描画线。在这里，在向XY平面上的多个部位涂敷涂敷液时，对每一个部位依次进行涂敷动作，因此无法期待高的产能。分配装置使用在溶剂中混入有金属微粒的金属纳米墨水作为涂敷液，多用于在作为涂敷对象物的基板上描画低电阻的配线图案的用中途，并未限定于此。
近年来，以产能的进一步提高为目的，提出了具备多个喷墨头的喷墨装置。例如， 在专利文献I中公开了一种具备多个喷墨头的复合型喷墨头，其中各喷墨头均具备多个嘴。该装置构成为，具备将多个喷墨头沿着Χ、γ、Θ方向驱动的XY Θ驱动机构，能够使各个嘴在同一平面上移动。由此，能够将具备多个嘴的多个喷墨头分别沿着水平方向驱动而进行对位，从而能够进行高精度的涂敷。
另外，在专利文献2中公开了一种用于具有能够进行独立的横向运动的喷墨头的喷墨头支承体的装置。该装置中，在喷墨头支承体上，第一喷墨头能够相对于第二喷墨头沿着横向独立地移动，系统控制器控制第一及第二喷墨头的横向运动。由此，相对于单一或多个显示体(涂敷对象物)提供独立的喷墨头的阵列。
专利文献
专利文献1:日本特开2006-167559号公报
专利文献2 日本特开2006-136879号公报
然而，为了实现分配装置的高产能化，若要应用专利文献I及2所例示的具备多个头或多个嘴的喷墨装置的结构，会产生如下问题。第一，头或嘴的移动装置的结构变得复杂化，同时控制方法也变得繁杂化。例如，专利文献I的XY Θ驱动机构由于需要对于多个喷墨头分别设置沿着X方向、Y方向、及Θ方向独立地动作的3个驱动源，因此结构变得复杂化,成本增加显著。
第二，向涂敷对象物的多个部位同时涂敷涂敷液而进行描画时，难以进行高分辨率的描画及自由度大的描画。即，在专利文献2的技术例中，预先决定了第一及第二 喷墨头的位置后，使喷墨头支承体相对于显示体(涂敷对象物)移动(扫描)，因此难以进行移动中 途的描画位置的微调整，而且线描画的方向受到限定。发明内容
本发明鉴于上述背景技术的问题而作出，应解决课题在于提供一种多路分配装 置，其能够向涂敷对象物的多个部位同时涂敷涂敷液而实现高产能化，同时实现分辨率高 且自由度大的涂敷，装置结构简单且成本低廉。
解决上述课题的技术方案I的多路分配装置的发明具备扫描构件，能够相对于 涂敷涂敷液的涂敷对象物在水平面内沿着Y轴方向相对移动，通过Y轴扫描移动装置而沿 着所述Y轴方向相对移动；多个分配装置，架设于所述扫描构件，分别具有滴下所述涂敷液 的分配嘴；分配嘴移动装置，使各所述分配嘴的滴下所述涂敷液的下端部在水平面内移动； 及控制装置，对所述Y轴扫描移动装置和所述分配嘴移动装置进行同步控制。
技术方案2的发明根据技术方案I所述的多路分配装置，其中，所述分配嘴移动装 置使各所述分配嘴的下端部至少沿着在水平面内与所述Y轴正交的X轴方向相互独立地移 动，各所述分配嘴的下端部的所述X轴方向的移动范围互补地重叠而遍及所述涂敷对象物 的所述X轴方向的整个范围。
技术方案3的发明根据技术方案I或2所述的多路分配装置，其中，所述分配嘴移 动装置使所述分配装置以能够沿着所述Y轴方向及在水平面内与所述Y轴正交的X轴方向 移动的方式架设在所述扫描构件上，并且通过驱动装置使所述分配装置沿着所述X轴方向 及所述Y轴方向移动。
技术方案4的发明根据技术方案I或2所述的多路分配装置，其中，所述分配嘴为 了使所述下端部在水平面内移动而由基端部支承为能够摆动，且沿着与水平面正交的Z轴 方向延伸，所述分配嘴移动装置具有XZ倾动装置，该XZ倾动装置使所述分配嘴至少在包含 所述X轴及所述Z轴的平面内倾动。
技术方案5的发明根据技术方案4所述的多路分配装置，其中，具备间隔维持装 置，该间隔维持装置使所述分配嘴沿着抵消由于所述分配嘴的倾动而产生的所述分配嘴的 下端部在所述Z轴方向上的位移的方向升降。
技术方案6的发明根据技术方案f 5中任一项所述的多路分配装置，其中，所述涂 敷液与所述涂敷对象物的组合是在溶剂中混入有金属微粒的金属纳米墨水与基板的组合、 或熔融的绝缘性树脂与引线框架的组合。
在技术方案I的多路分配装置的发明中，扫描构件相对于涂敷对象物沿着Y轴方 向相对移动，并且与之同步地，多个分配装置在水平面内移动。因此，能够向涂敷对象物的 多个部位同时涂敷涂敷液，实现高产能化。另外，由于移动装置的结构只需包括使扫描构件 沿着Y轴相对移动的一个Y轴扫描移动装置和使各分配嘴的下端部在水平面内移动的分配 嘴移动装置即可，因此与以专利文献I为代表的现有技术相比装置结构被简化，成本变得 低廉。
在技术方案2的发明中，分配嘴移动装置使各分配嘴的下端部至少沿着X轴方向 相互独立地移动，各分配嘴的下端部的X轴方向的移动范围互补地重叠而遍及涂敷对象物 的X轴方向的整个范围。因此，由于能够分别高精度地控制各分配嘴的涂敷位置，因而能够进行分辨率高的涂敷，且由于各分配嘴能够独立地移动，因而能够实现自由度大的涂敷。当然，在涂敷对象物上不会产生无法涂敷的死角范围。
在技术方案3的发明中，分配嘴移动装置使分配装置以能够沿着Y轴方向及X轴方向移动的方式架设，并通过驱动装置使分配装置沿着X轴方向及Y轴方向移动。因此，能够可变地控制各分配嘴的X轴方向及Y轴方向的移动速度，能够进行分辨率高的涂敷，且能够实现自由度大的涂敷。例如，能够使X轴方向及Y轴方向的移动速度恒定而呈斜线状地涂敷，能够通过使X轴方向及Y轴方向的移动速度的一方渐变而呈曲线状地涂敷。另外，例如，使涂敷液的滴下速度恒定并对移动速度进行增减控制从而增减每单位长度的滴下量， 能够调整涂敷对象物上的涂敷液的涂敷宽度或涂敷厚度。
在技术方案4的发明中，分配嘴由基端部支承为能够摆动，且沿着与水平面正交的Z轴方向延伸，分配嘴移动装置具有使分配嘴至少在包含X轴及Z轴的平面内倾动的XZ 倾动装置。由此，由于使分配嘴的滴下涂敷液的下端部沿着X轴方向移动，因此通过与基于 Y轴扫描移动装置的扫描构件的Y轴方向的移动的组合而能够进行分辨率高的涂敷，且能够实现自由度大的涂敷。另外，由于使分配嘴倾动的XZ倾动装置为简易装置即可，因此装置结构被简化，成本变得低廉。
在技术方案5的发明中，除了技术方案4的结构之外，具备间隔维持装置，该间隔维持装置使分配嘴沿着抵消由于分配嘴的倾动而产生的下端部在Z轴方向上的位移的方向升降。由此，能够使分配嘴的滴下涂敷液的下端部与涂敷对象物的间隔维持为恒定，高精度地控制涂敷位置，因此能够进行分辨率高的涂敷。
在技术方案6的发明中，涂敷液与涂敷对象物的组合是在溶剂中混入有金属微粒的金属纳米墨水与基板的组合、或熔融的绝缘性树脂与引线框架的组合。本发明适合于使用金属纳米墨水在基板上描画配线图案的用途、或将熔融的绝缘性树脂向电子元件的引线框架涂敷而形成绝缘保护层的用途，上述的技术方案广5的效果显著。
图1是示意性地说明第一实施方式的多路分配装置的结构的俯视图。
图2是示意性地表示一组分配装置及分配嘴移动装置的结构的侧视图。
图3是说明在基板上同时涂敷(描画)不平行的4条直线的涂敷动作的图。
图4是说明在基板上同时涂敷(描画)2条曲线的涂敷动作的图。
图5是说明在基板上同时涂敷(描画)涂敷宽度不同的2条直线的涂敷动作的图。
图6是示意性地说明第二实施方式的多路分配装置的结构的主视剖视图。
标号说明
1:第一实施方式的多路分配 装置
2 :扫描构件21、22 :Y轴导轨25 :Υ轴导轨槽
3Γ35 :第一 第五分配装置
36 :分配嘴37 :下端部
4 :分配嘴移动装置
41 :Υ轴移动构件42 :卡合部43 :Χ轴导轨
45 Χ轴移动构件46 :直线状的滚动轴承部
47 :直线定子48 :直线动子
5 :第二实施方式的多路分配装置
20 :扫描构件27 :缸体空间
61 64:分配装置
65 :主体部66 :分配嘴
67 :下端部68 :基端部
7 XZ倾动装置
8:间隔维持装置
K:基板(涂敷对象物)
VY :扫描构件的Y轴方向的移动速度
νχΓνχ4 :第一 第四分配装置的X轴方向的移动速度
vy2,vy4 :第二及第四分配装置的Y轴方向的移动速度
Θ :分配嘴的倾斜角
G :分配嘴的下端部与基板的间隔具体实施方式
关于本发明的第一实施方式的多路分配装置，参考图f图5进行说明。图1是示意性地说明第一实施方式的多路分配装置I的结构的俯视图。多路分配装置I使用于如下用途使用在溶剂中混入有金属微粒的金属纳米墨水作为涂敷液，将基板K作为涂敷对象物而描画预定的配线图案。金属纳米墨水例如使用以十四烷(C14H3tl)作为溶剂且以nm (纳米)级的银纳米粒子作为金属微粒的银纳米墨水。基板K例如使用由聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)树脂或聚酰亚胺树脂构成的绝缘基板。多路分配装置I由扫描构件2及Y轴扫描移动装置、5个分配装置35及分配嘴移动装置4、控制装置等构成。
扫描构件2是能够相对于基板K在水平面内沿着Y轴方向相对移动且通过Y轴扫描移动装置而沿着Y轴方向相对移动的构件。如图1所示，扫描构件2为比基板K稍大且大致为矩形板状的构件。扫描构件2以能够移动的方式架设在一对Y轴导轨21、22上，这一对Y轴导轨21、22在固定成水平姿势的基板K的上方沿着Y轴方向(图中的上下方向)平行延伸。扫描构件2通过未图示的Y轴扫描移动装置而沿着Y轴方向相对移动，如空心箭头M所示通过基板K的上方。
此外，扫描构件2相对于基板K相对移动即可，因此可以使固定侧与移动侧相反。 即，也可以构成为在固定的扫描构件2的下方配置Y轴导轨，而使基板K在Y轴导轨上移动。
具有相同结构的5个分配装置3广35在扫描构件2的下表面上配置成锯齿状。BP, 第一、第三及第五分配装置31、33、35沿着X轴方向配置成一 排，第二分配装置32配置在第一与第三分配装置31、33之间的斜前方(图中的斜下方)，第四分配装置34配置在第三与第五分配装置33、35之间的斜前方(图中的斜下方)。各分配装置3广35分别具有滴下涂敷液的分配嘴36 (参照图2)。
另外，对各分配装置3广35分别设置有分配嘴移动装置4(参照图2)。各分配嘴移动装置4构成为使分配装置3广35以能够沿着X轴方向及Y轴方向移动的方式架设在扫描构件2上，通过驱动装置使分配装置35沿着X轴方向及Y轴方向移动(图中的虚线的 箭头)。由此，各分配嘴36的下端部37沿着X轴方向及Y轴方向相互独立地移动。另外， 各分配嘴36的下端部37的X轴方向的移动范围mxfmx5在相邻的彼此之间重叠，互补地 重叠而遍及基板K的X轴方向的整个范围。
图2是示意性地表示一组分配装置31及分配嘴移动装置4的结构的侧视图。在 图2中，以第一分配装置31为例进行说明，由于第二分配装置以后的分配装置32 35为相 同结构，因此省略说明。如图所示，在扫描构件2的下表面刻设有沿着Y轴方向延伸的Y轴 导轨槽25。
另一方面，分配嘴移动装置4主要由Y轴移动构件41及X轴移动构件45构成。 在Y轴移动构件41的上部设置有卡入Y轴导轨槽25而能够进行Y轴方向的移动的卡合部 42。Y轴移动构件41的下部将Y轴方向的宽度缩窄，成为沿着X轴方向(图2的纸面正反面 方向)延伸的X轴导轨43。X轴移动构件45从下侧与X轴导轨43卡合，由一对直线状的滚 动轴承部46支承为能够沿着X轴导轨43移动。另外，在X轴导轨43的X轴方向上排列设 置有多个直线定子47，在X轴移动构件45设置有一对直线动子48。直线定子47与直线动 子48相对配置，构成能够进行X轴方向的移动的直线电动机。
而且，向X轴移动构件45的内部装入第一分配装置31，分配嘴36向下地突出设置 在X轴移动构件45的下表面的中央。分配嘴36从下端部37滴下涂敷液。
此外，在扫描构件2与Y轴移动构件41之间也可以适用上述的基于直线状的滚动 轴承部的支承结构及基于直线电动机的移动方式。另外，并未限定于此，也可以适用其他的 支承结构及移动方式。
未图示的控制装置对Y轴扫描移动装置和5个分配嘴移动装置4进行同步控制。 控制装置例如可以使用内置计算机而通过软件进行动作的电子控制装置。另外，描画在基 板K上的配线图案的坐标位置或描画顺序等描画动作所需的信息被预先输入设定在控制 装置内部的存储部。由此，控制装置能够独立地控制扫描构件2的Y轴方向的移动速度VY、 以及第一 第五分配装置31 35的X轴方向及Y轴方向的移动速度vxI"vx5、vyl"vy5。而 且，控制装置能够参照扫描构件2及第一 第五分配装置3广35的坐标位置，同时自如地控 制第一 第五分配装置3广35的涂敷液的滴下的实施和停止的切换。
接下来，对第一实施方式的多路分配装置I的涂敷动作及其作用进行说明。如图1所例示的那样，多路分配装置I能够在基板K上同时涂敷(描画)平行的4条斜线Lf L4。 为了执行这项操作，控制装置将扫描构件2的Y轴方向的移动速度VY设定为恒定，将第一 第四分配装置3广34的X轴方向的移动速度以VXfVX4=VX的方式设定为相同且恒定，将 Y轴方向的移动速度设定为vyfvy4=0，使第五分配装置35停止。并且，控制装置对扫描构 件2及第一 第四分配装置3广34进行同步控制，使第一 第四分配装置3广34的分配嘴 36的下端部37只于在基板K上的所希望的坐标范围内移动的时间带内滴下涂敷液。
另外，如图3所例示的那样，多路分配装置I能够在基板K上同时涂敷(描画)不平 行的4条直线L5气8。图3是说明在基板K上同时涂敷(描画)不平行的4条直线L5 L8的 涂敷动作的图。在该涂敷动作中，控制装置将扫描构件2的Y轴方向的移动速度VY设定为 恒定，将第一 第四分配装置3广34的X轴方向的移动速度vxf VX4设定为不同的值，且将 Y轴方向的移动速度设定为vyfvy4=0，使第五分配装置35停止。并且，控制装置对扫描构件2及第一 第四分配装置3广34进行同步控制，使第一 第四分配装置3广34的分配嘴 36的下端部37只于在基板K上的所希望的坐标范围内移动的时间带内滴下涂敷液。
在图3的例子中，第一分配装置的X轴方向的移动速度vxl朝向图的右方，由此描 画的曲线L5成为图示的斜向右下的直线L5。另外，第二分配装置的X轴方向的移动速度 vx2=0,由此描画的曲线L6成为沿着Y轴方向延伸的直线L6。而且，第三分配装置的X轴方 向的移动速度vx3朝向图的左方，由此描画的曲线L7成为图示的斜向左下的直线L7。另 外，第四分配装置的X轴方向的移动速度vx4朝向图的左方且比移动速度vx3大，由此描画 的曲线L8成为与曲线L7的斜率不同的斜向左下的直线L8。
而且，如图4例示那样，多路分配装置I能够在基板K上同时涂敷(描画)2条曲线 L9、L10。图4是说明在基板K上同时涂敷(描画)2条曲线L9、LlO的涂敷动作的图。在该 涂敷动作中，控制装置将扫描构件2的Y轴方向的移动速度VY设定为恒定，将第一及第三 分配装置31、33的X轴方向的移动速度vxl、vx3设定为伴随着扫描构件2的移动而逐渐变 化，且将Y轴方向的移动速度设定为vyl、vy3=0，使第二、第四及第五分配装置32、34、35停 止。并且，控制装置对扫描构件2及第一、第三分配装置31、33进行同步控制，使第一及第 三分配装置31、33的分配嘴36的下端部37只于在基板K上的所希望的坐标范围内移动的 时间带内滴下涂敷液。
在图4的例子中，第一分配装置的X轴方向的移动速度vxl朝向图的右方，并且其 大小刚开始为O且逐渐增加。由此描画的曲线L9的起点L9s朝向Y轴方向，在中途逐渐向 X轴方向弯曲，终点L9e朝向倾斜的方向。另一方面，第三分配装置的X轴方向的移动速度 vx3朝向图的左方，并且其大小逐渐减少且最后成为O。由此描画的曲线LlO的起点LlOs 朝向倾斜的方向，在中途逐渐向Y轴方向弯曲，终点LlOe朝向Y轴方向。
此外，将第一及第三分配装置的X轴方向的移动速度VX1、VX3设为恒定，即使使扫 描构件2的Y轴方向的移动速度VY变化，也能够同时涂敷(描画)2条曲线。另外，也能够 同时涂敷(描画)3条以上的形状不同的曲线。而且，通过使扫描构件2的Y轴方向的移动 速度VY、及各分配装置35的X轴方向的移动速度vxf VX5进行各种变化，能够描画多种 多样的曲线。
而且，如图5所例示的那样，多路分配装置I能够在基板K上同时涂敷(描画)涂敷 宽度不同的2条直线L11、L12。图5是说明在基板K上同时涂敷(描画)涂敷宽度不同的2 条直线LU、L12的涂敷动作的图。在该涂敷动作中，控制装置将扫描构件2的Y轴方向的 移动速度VY设定为恒定，将第二及第四分配装置32、34的X轴方向的移动速度设定为νχ2、 νχ4=0,将Y轴方向的移动速度vy2、vy4设定为不同的值,使第一、第三及第五分配装置31、 33,35停止。并且，控制装置对扫描构件2及第二、第四分配装置32、34进行同步控制，使第 二及第四分配装置32、34的分配嘴36的下端部37只于在基板K上的所希望的坐标范围内 移动的时间带内滴下涂敷液。
在图5的例子中，第二分配装置的Y轴方向的移动速度vy2与扫描构件2的Y轴 方向的移动速度VY为相同方向，相对于基板K的移动速度增加。因此，每单位长度的涂敷 液的滴下量减少，能够涂敷(描画)涂敷宽度小的直线LU。另一方面，第四分配装置的Y轴 方向的移动速度vy4与扫描构件2的Y轴方向的移动速度VY为相反的方向，相对于基板K 的移动速度减少。因此，每单位长度的涂敷液的滴下量增加，能够涂敷(描画)涂敷宽度大的直线L12。S卩，依赖于分配嘴36相对于基板K的相对移动速度的大小，使每单位长度的涂敷液的滴下量减少或增加，来调整涂敷宽度。
另外，虽然省略附图，但多路分配装置I也可以涂敷(描画)X轴方向的直线。为了执行这项操作，控制装置首先使扫描构件2移动到Y轴方向的所希望的坐标位置后停止，接着使分配装置35沿着X轴方向移动并同时滴下涂敷液。
此外，通过前述的涂敷动作的例子可知，对应于涂敷(描画)涂敷液的坐标范围而适当取舍选择使用的分配装置3广34。另外，如第五分配装置35所例示那样，根据基板K的大小和固定的坐标位置，能够产生始终停止的分配装置。
在第一实施方式的多路分配装置I中，扫描构件2相对于作为涂敷对象物的基板K 沿着Y轴方向相对移动，并与之同步地使多个分配装置35沿着水平面内的X轴方向及 Y轴方向移动。因此，能够向基板K上的多个部位同时涂敷涂敷液，与现有的单一的分配装置相比，能够实现高产能化。另外，由于移动装置的结构包括使扫描构件2沿着Y轴相对移动的I个Y轴扫描移动装置和使各分配嘴36的下端部37在水平面内移动的分配嘴移动装置4即可，因此与以专利文献I为代表的现有技术相比，装置结构被简化，成本变得低廉。
而且，分配嘴移动装置4能够使各分配嘴36的下端部37沿着X轴方向及Y轴方向相互独立地移动。而且，各分配嘴36的下端部37的X轴方向的移动范围互补地重叠而遍及基板K的X轴方向的整个范围。因此，能够分别高精度地控制各分配嘴36的涂敷位置， 能够进行分辨率高的涂敷。并且，由于各分配嘴36能够独立地移动，并且能够可变地控制各分配嘴36的X轴方向及Y轴方向的移动速度，因此如图3至图5中所例示说明的那样， 能够实现自由度大的涂敷。当然，在基板K上不会产生无法涂敷的死角范围。
接下来，关于第二实施方式的多路分配装置的结构，参考图6，主要说明与第一实施方式不同的点。图6是示意性地说明第二实施方式的多路分配装置5的结构的主视剖视图。第二实施方式的多路分配装置5包括扫描构件20及Y轴扫描移动装置、4个分配装置 6Γ64,由XZ倾动装置7及间隔维持装置8构成的分配嘴移动装置、控制装置等。
扫描构件20及Y轴扫描移动装置与第一实施方式类似，扫描构件20沿着Y轴方向通过被固定的基板K的上方。具有相同结构的4个分配装置61飞4在扫描构件20的下表面上沿着X轴方向配置成一排。各分配装置61飞4分别具有主体部65及滴下涂敷液的分配嘴66。分配嘴66经由XZ倾动装置7而安装在主体部65的下方，沿着与水平面正交的 Z轴方向(上下方向)延伸。
XZ倾动装置7为了使分配嘴66的下端部67在水平面内移动而将基端部68支承为能够摆动。而且，XZ倾动装置7使分配嘴66摆动且在包括X轴及Z轴的平面内的倾斜角Θ的范围内倾动。
另外，各分配装置64分别具备间隔维持装置8，该间隔维持装置8使分配嘴66 沿着抵消由于分配嘴66的倾动而产生的下端部67在Z轴方向上的位移的方向升降。即， 间隔维持装置8具有将分配嘴66的下端部67与基板K的间隔G保持为恒定的功能。在本第二实施方式中，适用液压操作方式的间隔维持装置8。详细而言，在扫描构件2的下表面形成有向下方开口的筒状的缸体空间27。并且，分配装置61飞4的主体部65从下方相对于缸体空间27维持油密封并卡入。主体部65起到活塞的作用，通过工作油向缸体空间27的上部的出入而被驱动升降。通过由XZ倾动装置7和间隔维持装置8构成的分配嘴移动装置，各分配嘴66的下端部67沿着X轴方向相互独立地移动。此外，间隔维持装置8也可以使用通过电动机对进给丝杠进行旋转驱动的方式的装置。
未图示的控制装置对Y轴扫描移动装置和4个分配嘴移动装置进行同步控制。控制装置可以将扫描构件2的Y轴方向的移动速度VY、第一 第四分配装置64的各分配嘴66的倾斜角Θ、与基板K的间隔G、以及第一 第四分配装置64的涂敷的实施和停止的切换自如地组合而进行控制。
在第二实施方式的多路分配装置5中，能够使各分配嘴66的下端部67沿着X轴方向相互独立地移动。因此,能够同时涂敷(描画)图1中所例示的4条平行的斜线Lf L4、 图3中所例示的4条不平行的直线L5 L8、及图4中所例示的2条曲线L9、L10。但是，由于无法使各分配嘴66的下端部67沿着Y轴方向移动，因此无法同时涂敷(描画)图5中所例示的涂敷宽度不同的2条直线LU、L12。
根据第二实施方式的多路分配装置5，通过分配嘴66的倾动引起的下端部67的X 轴方向的移动与Y轴扫描移动装置引起的扫描构件20的Y轴方向的移动的组合而能够高精度地控制涂敷位置，而且，通过间隔维持装置8能够将间隔G保持为恒定。由此，能够进行分辨率高的涂敷且能够实现自由度大的涂敷。另外，与专利文献I中所例示的三方向的驱动源相比，使分配嘴66倾动的XZ倾动装置7或保持间隔G的间隔维持装置8能够更简易，因此装置结构被简化，成本变得低廉。
此外，在第二实施方式中，在倾斜角Θ的范围小，从而分配嘴66的下端部67与基板K的间隔G的变化小，而不对涂敷性能产生影响的情况下，可以省略间隔维持装置8。
而且，也可以构成为不仅使分配嘴66倾动还使其转动。即，可以构成为将分配嘴 66的基端部68支承为能够摆动且能够转动，下端部67在水平面内的圆周上移动。根据该方式，虽然坐标位置的控制稍复杂化，但不仅能够使下端部67沿着X轴方向移动，也能够使其沿着Y轴方向移动，从而能够实现自由度更大的涂敷。
另外，第一及第二实施方式的多路分配装置1、5并未限定于使用金属纳米墨水在基板上描画配线图案的用途，也可以适用于将熔融的绝缘性树脂向电子元件的引线框架涂敷而形成绝缘保护层的用途或其他的用途。而且，分配嘴移动装置的结构也并未限定于实施方式， 可以适用各种方式的移动装置。此外，本发明可以进行各种应用或变形。
权利要求
1.一种多路分配装置，具备 扫描构件，能够相对于涂敷涂敷液的涂敷对象物在水平面内沿着Y轴方向相对移动，通过Y轴扫描移动装置而沿着所述Y轴方向相对移动； 多个分配装置，架设于所述扫描构件，分别具有滴下所述涂敷液的分配嘴； 分配嘴移动装置，使各所述分配嘴的滴下所述涂敷液的下端部在水平面内移动；及 控制装置，对所述Y轴扫描移动装置和所述分配嘴移动装置进行同步控制。
2.根据权利要求1所述的多路分配装置，其中， 所述分配嘴移动装置使各所述分配嘴的下端部至少沿着在水平面内与所述Y轴正交的X轴方向相互独立地移动， 各所述分配嘴的下端部的所述X轴方向的移动范围互补地重叠而遍及所述涂敷对象物的所述X轴方向的整个范围。
3.根据权利要求1或2所述的多路分配装置，其中， 所述分配嘴移动装置使所述分配装置以能够沿着所述Y轴方向及在水平面内与所述Y轴正交的X轴方向移动的方式架设在所述扫描构件上，并且通过驱动装置使所述分配装置沿着所述X轴方向及所述Y轴方向移动。
4.根据权利要求1或2所述的多路分配装置，其中， 所述分配嘴为了使所述下端部在水平面内移动而由基端部支承为能够摆动，且沿着与水平面正交的Z轴方向延伸，所述分配嘴移动装置具有XZ倾动装置，该XZ倾动装置使所述分配嘴至少在包含所述X轴及所述Z轴的平面内倾动。
5.根据权利要求4所述的多路分配装置，其中， 具备间隔维持装置，该间隔维持装置使所述分配嘴沿着抵消由于所述分配嘴的倾动而产生的所述分配嘴的下端部在所述Z轴方向上的位移的方向升降。
6.根据权利要求1飞中任一项所述的多路分配装置，其中， 所述涂敷液与所述涂敷对象物的组合是在溶剂中混入有金属微粒的金属纳米墨水与基板的组合、或熔融的绝缘性树脂与引线框架的组合。
全文摘要
本发明提供一种多路分配装置，其能够向涂敷对象物的多个部位同时涂敷涂敷液而实现高产能化，并且能够实现分辨率高且自由度大的涂敷，装置结构简单，成本低廉。具备扫描构件(2)，能够相对于涂敷涂敷液的涂敷对象物(基板K)在水平面内沿着Y轴方向相对移动，通过Y轴扫描移动装置而沿着Y轴方向相对移动(空心箭头M)；多个分配装置(31~35)，架设于扫描构件(2)，分别具有滴下涂敷液的分配嘴；分配嘴移动装置，使各分配嘴的滴下涂敷液的下端部在水平面内移动；及控制装置，对Y轴扫描移动装置和分配嘴移动装置进行同步控制。
文档编号B41J3/407GK103029439SQ20121037680
公开日2013年4月10日 申请日期2012年9月29日 优先权日2011年9月30日
发明者藤田政利, 儿玉诚吾, 川尻明宏 申请人:富士机械制造株式会社