液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备的制作方法

液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备，其中方法包括：在基底上形成压力发生部件；在所述基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室；在所述压力腔室和公共腔室远离所述基底的表面上涂覆第一树脂胶，形成喷孔胶层；对所述喷孔胶层进行灰度曝光处理，以在所述喷孔胶层上与所述压力腔室对应的位置处形成锥形的喷孔，沿远离所述压力腔室的方向，所述喷孔的横截面积逐渐减小。本发明提供的液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备能够解决现有的液体喷墨头喷射精度较差的问题，以提高打印速度和打印精度，还能避免采用粘合剂导致的打印质量降低的问题，且能够提高压力腔室的机械强度。
【专利说明】液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备

【技术领域】
[0001]本发明涉及打印机制造技术，尤其涉及一种液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备。

【背景技术】
[0002]打印机是一种常用的办公设备，随着打印机技术的逐渐进步，文件处理速度以及打印速度越来越受到重视。现有技术中，打印机的液体喷墨头结构通常包括基底、粘接在基底第一表面上的喷孔板、以及设置在基底上与第一表面相对的第二表面的振动板和压电元件。液体喷墨头的加工方法通常为:在基底的第二表面上形成振动板和压电元件，在第一表面上采用蚀刻工艺形成多个与压电元件位置相对应的压力腔室，以及与供墨孔相对应的公共腔室，该压力腔室和公共腔室用于存储液体，最后粘接喷孔板。
[0003]但是由于现有的液体喷墨头中喷孔板上的喷孔形成为圆柱形，其喷出的墨滴直径较大，且其喷射精度较差，容易出现墨滴落在打印介质上的非预定位置，会影响打印速度和打印精度。并且，对于现有的液体喷墨头而言，为了提高打印分辨率，需要增加压力腔室的数量，在相同表面面积的硅基底上蚀刻压力腔室，必然要减小压力腔室壁的厚度，因此会导致基底的机械强度下降，在加工过程中会出现基底破损而降低成品率，增加制造成本。另夕卜，现有的液体喷墨头的喷孔板是采用粘合剂粘接在压力腔室表面，对粘接工艺的要求非常高，若一旦有粘合剂流入压力腔室中，会影响打印质量。


【发明内容】

[0004]本发明提供一种液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备，用于解决现有的液体喷墨头喷射精度较差的问题，以提高打印速度和打印精度。还能避免采用粘合剂导致的打印质量降低的问题，且能够提高压力腔室的机械强度。
[0005]本发明实施例提供一种液体喷墨头的制造方法，包括:
[0006]在基底上形成压力发生部件；
[0007]在所述基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室；
[0008]在所述压力腔室和公共腔室远离所述基底的表面上涂覆第一树脂胶，形成喷孔胶层；
[0009]对所述喷孔胶层进行灰度曝光处理，以在所述喷孔胶层上与所述压力腔室对应的位置处形成锥形的喷孔，沿远离所述压力腔室的方向，所述喷孔的横截面积逐渐减小。
[0010]本发明实施例还提供一种液体喷墨头，所述液体喷墨头采用如上所述的液体喷墨头的制造方法制成。
[0011]本发明实施例还提供一种打印设备，包括如上所述的液体喷墨头。
[0012]本发明实施例通过提供了一种形成锥形喷孔的技术方案，能够提高喷射的精度，使墨滴准确滴落在打印介质上的预定位置，进而提高打印速度和打印精度。
[0013]且本发明实施例采用的技术方案依次在基底上形成压力发生部件，在基底上形成压力腔室和梯形状的公共腔室，其中，梯形状的公共腔室靠近基底的表面面积小于远离基底的表面面积，之后分别形成喷孔板和供墨孔，能够解决现有的液体喷墨头容易导致液体墨水从公共腔室回流到供墨孔的问题，提高了打印速度。
[0014]本发明实施例提供的技术方案可形成一体成型的喷墨头，并采用正性光敏树脂形成压力腔室壁，能根据打印分辨率的需要增加压力腔室的数量，而不会产生压力腔室壁和基底机械强度下降的问题。一体成型的结构也避免了使用粘合剂而影响打印效果的问题。

【专利附图】

【附图说明】
[0015]图1为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法的流程图；
[0016]图2为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中压力发生部件形成方法的流程图；
[0017]图3八为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中在基底上蚀刻形成凹槽的结构不意图；
[0018]图38为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中在基底上形成压电元件的结构不意图；
[0019]图3(:为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中在压电元件上形成振动板的结构示意图；
[0020]图4八为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中在基底上形成第一胶层的结构不意图；
[0021]图48为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中对第一胶层的第一区域进行曝光处理的结构示意图；
[0022]图扣为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中对第一胶层进行显影处理形成公共腔室的结构示意图；
[0023]图40为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中对第一胶层的第二区域进行曝光处理的结构示意图；
[0024]图42为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中对第一胶层进行显影处理形成压力腔室的结构示意图；
[0025]图4？为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成喷孔的结构示意图；
[0026]图5为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成供墨孔的结构示意图；
[0027]图6为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成液体喷墨头的结构示意图；
[0028]图7为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成盖板的结构示意图；
[0029]图8为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成阶梯锥形喷孔的结构示意图一；
[0030]图9为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成阶梯锥形喷孔的结构不意图~-；
[0031]图10为本发明实施例二提供的液体喷墨头的制造方法中在基底表面形成振动板的结构不意图；
[0032]图11为本发明实施例二提供的液体喷墨头的制造方法中在振动板表面形成压电元件的结构示意图；
[0033]图12为本发明实施例二提供的液体喷墨头的制造方法形成的液体喷墨头的结构示意图；
[0034]图13为本发明实施例三提供的液体喷墨头的制造方法中在基底上形成薄膜电阻层的结构示意图；
[0035]图14为本发明实施例三提供的液体喷墨头的制造方法形成液体喷墨头的结构示意图。
[0036]附图标记:
[0037]1-基底；2-凹槽；3-压电元件；
[0038]4-振动板；5-第一胶层；6-第一掩膜；
[0039]7-公共腔室；8-公共腔室壁； 9-第二掩膜；
[0040]10-压力腔室；11-压力腔室壁； 12-喷孔胶层；
[0041]13-第二掩膜；14-喷孔；15-供墨孔；
[0042]16-盖板；17-振动空间；18-缝隙；
[0043]19-薄膜电阻层。

【具体实施方式】
[0044]实施例一
[0045]图1为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法的流程图。如图1所示，该液体喷墨头的制造方法可以包括:
[0046]步骤10、在基底上形成压力发生部件。
[0047]步骤20、在基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室。
[0048]步骤30、在压力腔室和公共腔室远离基底的表面上涂覆第一树脂胶，形成喷孔胶层。
[0049]步骤40、对喷孔胶层进行灰度曝光处理，以在喷孔胶层上与压力腔室对于的位置处形成锥形的喷孔，沿远离压力腔室的方向，喷孔的横截面积逐渐减小。
[0050]上述基底可以为硅基底或玻璃基底，本实施例采用硅基底。压力发生部件的作用是驱使压力腔室中的墨水从喷孔喷出，印在打印介质上，可以为多种形式的器件，例如压电元件、薄膜电阻等。本实施例以压电元件为例来具体说明压力发生部件的形成方法。
[0051]具体的，可参照图2，图2为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中压力发生部件形成方法的流程图。在基底上形成压力发生部件，可以包括如下步骤:
[0052]步骤101、在基底的第一表面上蚀刻形成凹槽。
[0053]如图3八所示，图3八为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中在基底上蚀刻形成凹槽的结构示意图，具体可以通过干法蚀刻或湿法蚀刻的方式在基底1的第一表面上形成凹槽2，从图3的视图角度来看，第一表面即基底1的上表面，在第一表面的下方形成凹槽2，该凹槽2用于容纳压电元件，因此凹槽2的尺寸可根据压电元件的尺寸设定。
[0054]步骤102、在凹槽内形成压电元件，包括采用溅射法依次形成下电极层、压电体层和上电极层。
[0055]如图38所示，图38为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中在基底上形成压电元件的结构示意图。采用溅射法依次形成下电极层、压电体层和上电极层，构成压电元件3。其中，下电极层可以为钛(11)层、钼金层、或者为多个钛层叠加层；压电体层可以为锆钛酸铅(291)层；上电极层可以为钼金层或黄金(如)层。
[0056]步骤103、在上电极层的表面沉积形成振动板。
[0057]如图3(:所示，图3(:为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中在压电元件上形成振动板的结构示意图。具体可采用低压化学气相沉积法或等离子体增强化学气相沉积法形成振动板4，该振动板4的材料可以为3102、313队或3102413队的叠层。在压电元件3产生形变时，振动板4随之产生振动，挤压压力腔室中的墨水从喷孔喷出。
[0058]由于现有的液体喷墨头的公共腔室侧壁为垂直于基底表面，因此不利于液体墨水的填充，当喷墨头产生振动时，容易导致液体墨水回流到供墨孔而影响打印速度。
[0059]为了解决上述技术问题，对于上述步骤20的实现方式，本实施例提出了一种形成梯形状公共腔室的优选方案，可参考如下步骤:
[0060]在基底的第一表面上涂覆第二树脂胶，形成第一胶层。
[0061]如图4八所示，图4八为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中在基底上形成第一胶层的结构示意图。该第二树脂胶可以为正性光敏树脂或负性光敏树脂，正性光敏树脂的特性为受光照而发生变性，从而易溶于氢氧化钾1(0?等溶剂，负性光敏树脂的特性为受光照而固化。
[0062]本实施例采用正性光敏树脂涂覆在基底上，并形成梯形状的公共腔室和压力腔室，具体可参照如下步骤:
[0063]首先，在基底1的第一表面上涂覆正性光敏树脂，具体可以采用聚甲基丙烯酸甲酯？丽八，该材料形成的压力腔室壁可以很薄，但其机械强度较高，便于提高液体喷墨头的分辨率。将聚甲基丙烯酸甲酯？―旋涂在基底1的第一表面上，形成第一胶层5，该第一胶层5的尺寸可根据公共腔室和压力腔室的体积设定。
[0064]其次，对第一胶层5进行曝光处理，以确定压力腔室和公共腔室的大小和形状。
[0065]然后，对第一胶层5进行显影处理，以去除第一胶层中被曝光而发生变性的部分，形成压力腔室和公共腔室。
[0066]上述曝光和显影的方法可以采用多种方式，其一是在基底1的表面形成第一胶层5，同时采用不同的掩膜对第一胶层5中将要形成公共腔室和压力腔室对应的区域进行曝光处理，然后采用显影液进行显影。其二是按照先后顺序，依次形成公共腔室和压力腔室，但形成公共腔室和压力腔室的顺序可互换。本实施例以先形成公共腔室，再形成压力腔室为例，可参照如下详细的说明:
[0067]对第一胶层中的第一区域进行灰度曝光处理，形成梯形状的公共腔室，该梯形状的公共腔室中靠近基底的表面面积小于远离基底的表面面积。
[0068]如图48所示，图48为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中对第一胶层的第一区域进行曝光处理的结构示意图。上述步骤30中，对第一区域进行灰度曝光处理的过程具体可以为:
[0069]采用第一掩膜6对第一区域进行曝光处理。其中，第一掩膜6为灰度掩膜，该第一掩膜6的透光率从中间至两侧逐渐减小，以使第一区域中受光照的部分发生变性。具体的，在第一区域对应于第一掩膜6中间的部分受到的光照强度较强，而向第一掩膜6两侧方向上受到的光照强度逐渐减弱，以使第一区域中受光照变性的区域形成倒梯形形状。
[0070]然后，采用第一显影液对第一胶层进行显影处理，去除受光照变性的部分，形成梯形状的公共腔室。
[0071]如图扣所示，图扣为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中对第一胶层进行显影处理形成公共腔室的结构示意图。可采用氢氧化钾(1(0?)作为第一显影液对曝光处理后的第一胶层5进行显影处理，其中受光照射的部分被溶解掉，形成梯形的公共腔室7，未被光照射的部分保留下来形成公共腔室壁8。形成的公共腔室靠近基底的表面面积小于远离基底的表面面积，也即靠近基底区域的容积小于远离基底区域的容积，能够减少液体墨水回流供墨孔的现象发生。
[0072]在形成梯形状的公共腔室后，可以继续对所述第一胶层中的第二区域进行曝光处理，形成压力腔室。
[0073]首先，采用第二掩膜9对第二区域进行曝光处理，第二掩膜9可以为普通掩膜，第二掩膜9的中间完全透光，两侧不透光，以使第一区域中受光照的部分发生变性。
[0074]如图40所示，图40为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中对第一胶层的第二区域进行曝光处理的结构示意图。曝光处理方式可采用现有技术中常用的方式。第二掩膜9为现有技术中常用的普通掩膜，其中与压力腔室壁对应的两侧部分的透光率较低，近似不透光，与压力腔室对应的中间部分的透光率较高，可通过大部分光线。第二区域的中间部分，第一胶层受光照而发生变性，其变性的部分可形成矩形的压力腔室。
[0075]然后，采用第一显影液对所述第一胶层进行显影处理，去除受光照变性的部分，形成压力腔室。
[0076]如图42所示，图42为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中对第一胶层进行显影处理形成压力腔室的结构示意图。颗采用氢氧化钾(1(0?)作为第一显影液对曝光处理后的第一胶层5进行显影处理，其中受光照射而变性的部分被溶解掉，形成压力腔室10，未被光照射的部分保留下来形成压力腔室壁11。
[0077]上述形成公共腔室和压力腔室的步骤可以互换，也可以先形成压力腔室，再形成公共腔室。
[0078]鉴于现有的液体喷墨头的喷孔板是利用粘合剂粘接在压力腔室的表面，对粘接处理的要求很高。一旦粘合剂流入压力腔室中，则会影响打印质量。因此，在上述技术方案的基础上，在形成公共腔室和压力腔室之后，可执行上述步骤30和步骤40，即将喷孔板与公共腔室和压力腔室形成为一体结构，解决了在粘接过程中粘合剂进入压力腔室而影响打印质量的问题。
[0079]上述第一树脂胶可以为负性光敏树脂，对于上述步骤30，具体可采用如下方式:
[0080]在压力腔室10和梯形状的公共腔室7远离基底1的表面上涂覆负性光敏树脂，形成喷孔胶层12。负性光敏树脂的材料可以是別8，其特性是受到光照后发生固化。
[0081]如图4？所示，图4？为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成喷孔的结构示意图。上述步骤40可采用如下方式实现:
[0082]采用第三掩膜13对喷孔胶层12进行曝光处理，以使喷孔壁固化，第三掩膜13为灰度掩膜，该第三掩膜13的透光率从中间至两侧逐渐增大。具体的，在喷孔壁对应的位置处透光，在喷孔处的透光率为渐变形式，在喷孔中心轴处的透光率较低，近似不透光，从中心轴向四周逐渐增大透光率。
[0083]采用第二显影液对喷孔胶层12进行显影处理，以去除喷孔胶层12中未固化的部分，形成锥形的喷孔。具体的，采用1-甲基醚醋酸丙二醇酯作为第二显影液进行显影操作，则喷孔胶层12中被大面积光线照射的部分固化形成喷孔壁，而受到第三掩膜13透光率的影响，未受到光照的部分形成锥形的喷孔，也即形成了带有锥形喷孔的喷孔板。锥形喷孔的好处在于能够提高喷射的精度，使墨滴准确滴落在打印介质上的预定位置，进而提高打印速度和打印精度。
[0084]图5为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成供墨孔的结构示意图。如图5所示，本实施例将供墨孔设置在基底1的下方。
[0085]在基底中与第一表面相对的第二表面上与公共腔室对应的位置处形成通透的供暴孑丨10
[0086]具体可采用1(0?或四甲基氢氧化铵1嫩！1通过蚀刻液湿法在基底1上蚀刻，形成供墨孔15，与公共腔室贯通，以通过供墨孔15的墨水流入公共腔室中，且进入公共腔室中的液体不容易回流至供墨孔。
[0087]上述形成喷孔板的步骤与形成供墨孔的步骤的顺序可以互换，即可以先形成喷孔板，后形成供墨孔，或者先形成供墨孔，在形成喷孔板。
[0088]采用上述技术方案能够得到由公共腔室、多个压力腔室和多个喷孔一体成型的结构，如图6所示，图6为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成液体喷墨头的结构示意图。图6为图5的俯视图，多个压力腔室通过压力腔室壁分隔开，公共腔室为梯形，且贯通于各压力腔室的右侧。
[0089]图7为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成盖板的结构示意图，如图7所示，最后在基底1的第二表面上粘结盖板16，盖板16上蚀刻有与供墨孔15连通的通孔，用于填充墨水。或者也可以采用旋涂树脂胶，采用曝光显影的方式形成一体结构的盖板16。
[0090]本实施例通过依次在基底上形成压力发生部件，在基底上形成压力腔室和梯形状的公共腔室，其中，梯形状的公共腔室靠近基底的表面面积小于远离基底的表面面积，之后分别形成喷孔板和供墨孔，能够解决现有的液体喷墨头容易导致液体墨水从公共腔室回流到供墨孔，提闻了打印速度。
[0091]上述技术方案可形成一体成型的喷墨头，并采用正性光敏树脂形成压力腔室壁，能根据打印分辨率的需要增加压力腔室的数量，而不会产生压力腔室壁和基底机械强度下降的问题。一体成型的结构也避免了使用粘合剂而影响打印效果的问题。
[0092]另外，上述技术方案中还提供了一种形成锥形喷孔的技术方案，能够提高喷射的精度，使墨滴准确滴落在打印介质上的预定位置，进而提高打印速度和打印精度。
[0093]在上述技术方案的基础上，为了优化墨水的喷射效果，可以在压电元件的周围设置一圈活动空间，例如:在形成盖板之前，在基底1的第二表面上与压力腔室10对应的位置处形成压电元件的振动空间17，以提供压电元件3振动变形所需的空间。具体可采用1(0?或I'嫩!I蚀刻液湿法在基底1上进行蚀刻，形成振动空间17。
[0094]还可以在压电元件3的两侧蚀刻形成缝隙18，以提供压电元件3振动变形所需的空间。具体可在形成压电元件振动空间17之后，采用干法蚀刻，形成缝隙18，以保证压电元件3在振动时不会受到基底1的束缚。
[0095]在上述技术方案的基础上，为了进一步提高墨水喷射的精度，还可以将喷孔设置为分层的锥形结构，如图8和图9所示，图8为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成阶梯锥形喷孔的结构示意图一，图9为本发明实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成阶梯锥形喷孔的结构示意图二。锥形喷孔可分为两层，两层的圆锥内径不同，图8所示的锥形喷孔为由较大内径的圆锥急速过度到较小内径的圆锥，而图9所示的锥形喷孔为由较大内径的圆锥平缓过度到较小内径的圆锥。具体可由技术人员分别采用负性光敏树脂和对应透光率的灰度掩膜，经过曝光显影过程实现，能够实现快速精准地喷出墨滴。
[0096]实施例二
[0097]本实施例是在上述实施例的基础上，提供另一种形成压力发生部件的方法，具体可以包括:
[0098]在基底1的第一表面上沉积形成振动板4。
[0099]具体可采用低压化学气相沉积法或等离子体增强化学气相沉积法形成，振动板4的材料可以为3102、313队或3102-313队的叠层。该步骤可参照图10，图10为本发明实施例二提供的液体喷墨头的制造方法中在基底表面形成振动板的结构示意图。
[0100]在振动板4中远离基底1的表面上形成压电元件3。
[0101]具体可采用溅射法形成下电极层，采用溶胶凝胶法形成压电体层，采用溅射法形成上电极层，以使压力发生部件位于压力腔室10内。其中，下电极层可以为钛(11)层、钼金层、或者为多个钛层叠加层；压电体层可以为锆钛酸铅(291)层；上电极层可以为钼金层或黄金(如)层。该步骤可参照图11，图11为本发明实施例二提供的液体喷墨头的制造方法中在振动板表面形成压电元件的结构示意图。
[0102]对于液体喷墨头中其它部件的形成方法可参照上述实施例提供的技术方案，此处不再赘述。形成的液体喷墨头结构可参照图12，图12为本发明实施例二提供的液体喷墨头的制造方法形成的液体喷墨头的结构示意图。
[0103]实施例三
[0104]本实施例是在上述实施例的基础上，提供又一种形成压力发生部件的方法，具体包括:
[0105]在基底1的第一表面上沉积形成薄膜电阻层19。
[0106]具体可在基底1上沉积形成薄膜电阻层19，该薄膜电阻层19的材料可以是钽铝合金、镍镉合金、钨硅氮化物以及氮化钛中的一种。可参照图13，图13为本发明实施例三提供的液体喷墨头的制造方法中在基底上形成薄膜电阻层的结构示意图。
[0107]对于液体喷墨头中其它部件的形成方法可参照上述实施例提供的技术方案，此处不再赘述。形成的液体喷墨头结构可参照图14，图14为本发明实施例三提供的液体喷墨头的制造方法形成液体喷墨头的结构示意图。
[0108]采用薄膜电阻层19的喷墨过程为:液体墨水通过供墨孔15进入公共腔室7。薄膜电阻层19在施加脉冲信号之后，以10001 / ^ 8的速度加热墨水，当墨水的温度到达3401左右时，墨水中的易挥发组分气化而形成气泡，气泡将位于喷孔14处的墨滴挤出喷孔14。由于形成气泡的过程是可逆的，当解除对薄膜电阻层19的脉冲信号后，气泡瞬间冷却而破灭，破灭时产生的力量促使墨滴从喷孔14中完全喷出。
[0109]本发明又一实施例提供一种液体喷墨头,该液体喷墨头米用如上任一实施例所述的方法制成。
[0110]本发明又一实施例提供一种打印设备，该打印设备包括实施例四提供的液体喷墨头。
[0111]上述技术方案通过依次在基底上形成压力发生部件，在基底上形成压力腔室和梯形状的公共腔室，其中，梯形状的公共腔室靠近基底的表面面积小于远离基底的表面面积，之后分别形成喷孔板和供墨孔，能够解决现有的液体喷墨头容易导致液体墨水从公共腔室回流到供墨孔，提高了打印速度。
[0112]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
【权利要求】
1.一种液体喷墨头的制造方法，其特征在于，包括: 在基底上形成压力发生部件； 在所述基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室； 在所述压力腔室和公共腔室远离所述基底的表面上涂覆第一树脂胶，形成喷孔胶层；对所述喷孔胶层进行灰度曝光处理，以在所述喷孔胶层上与所述压力腔室对应的位置处形成锥形的喷孔，沿远离所述压力腔室的方向，所述喷孔的横截面积逐渐减小。
2.根据权利要求1所述的液体喷墨头的制造方法，其特征在于，所述在所述基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室，包括: 在所述基底的第一表面上涂覆第二树脂胶，形成第一胶层； 采用第一掩膜对所述第一胶层的第一区域进行曝光处理，形成公共腔室； 采用第二掩膜对所述第一胶层的第二区域进行曝光处理，形成压力腔室。
3.根据权利要求2所述的液体喷墨头的制造方法，其特征在于，所述第一树脂胶为负性光敏树脂； 所述对所述喷孔胶层进行灰度曝光处理包括: 采用第三掩膜对所述喷孔胶层进行曝光处理，所述第三掩膜为灰度掩膜，所述第三掩膜的透光率从中间至两侧逐渐增大，以使喷孔壁固化； 对所述喷孔胶层进行显影处理，以去除所述喷孔胶层中未固化的部分，形成锥形的喷孔。
4.根据权利要求3所述的液体喷墨头的制造方法，其特征在于，所述在基底上形成压力发生部件，包括: 在所述基底上蚀刻形成凹槽； 在所述凹槽内形成压电元件，包括采用溅射法依次形成下电极层、压电体层和上电极层； 在所述上电极层的表面形成振动板。
5.根据权利要求3所述的液体喷墨头的制造方法，其特征在于，所述在基底上形成压力发生部件，包括: 在所述基底的第一表面上沉积形成振动板； 在所述振动板中远离所述基底的表面上形成压电元件，包括采用溅射法形成下电极层，溶胶凝胶法形成压电体层，溅射法形成上电极层，以使所述压力发生部件位于所述压力腔室内。
6.根据权利要求3所述的液体喷墨头的制造方法，其特征在于，所述在基底上形成压力发生部件，包括: 在所述基底的第一表面上沉积形成薄膜电阻层。
7.根据权利要求3所述的液体喷墨头的制造方法，其特征在于，还包括: 在所述基底中与所述第一表面相对的第二表面上，与所述公共腔室对应的位置处形成通透的供墨孔。
8.根据权利要求4所述的液体喷墨头的制造方法，其特征在于，还包括: 在所述基底中与所述第一表面相对的第二表面上与所述压力腔室对应的位置处形成压电元件振动空间，以提供所述压电元件振动变形所需的空间。
9.根据权利要求8所述的液体喷墨头的制造方法，其特征在于，还包括: 在所述压电元件两侧蚀刻形成缝隙，以提供所述压电元件振动变形所需的空间。
10.根据权利要求3-9任一项所述的液体喷墨头的制造方法，其特征在于，所述负性光敏树脂为负性光敏胶SU8。
11.一种液体喷墨头，其特征在于，所述液体喷墨头采用权利要求1-10任一项所述的液体喷墨头的制造方法制成。
12.—种打印设备，其特征在于，包括权利要求11所述的液体喷墨头。
【文档编号】B41J2/16GK104441996SQ201310432877
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2013年9月22日 优先权日:2013年9月22日
【发明者】李越 申请人:珠海纳思达企业管理有限公司