形成压电驱动器电极的方法与流程

本文中描述的实施例一般涉及打印具体是喷墨打印领域，并且具体地涉及喷墨打印头部件制造的领域。

背景技术：

把图像打印到诸如纸的打印介质上以供消费者和工业使用通常是由激光技术和喷墨技术主导的。随着喷墨打印分辨率和质量的提高，喷墨技术已经变得更加普遍。喷墨打印机通常使用热喷墨技术或者压电技术。即便压电喷墨比热喷墨在制造上费用更高，但由于压电喷墨能够使用更多种类的油墨，所以通常受到青睐。

压电喷墨打印头包括附连到柔性膜的压电转换器阵列。其它打印头结构可以包括一个或多个激光图案化的介电隔开层和与每个转换器电耦连的柔性印刷电路(“柔性电路”)或印刷电路板(“pcb”)。打印头还可以包括本体板、入口/出口板和孔板，其每一个能够由不锈钢制造。孔板包括喷嘴阵列(即一个或多个开口、孔或喷口)，在打印过程中油墨通过这些喷嘴被分配。

打印头的转换器通常位于与压力室相邻。一组信号通常使转换器对隔膜作用。一个信号使转换器在远离孔的方向上移动隔膜，从而用油墨填充压力室。第二信号通常极性与第一信号相反，使隔膜在另一方向上移动，从而把油墨通过孔从压力室推出。换言之，在压电打印头的使用过程中，电压通常通过与电耦连到电压源的柔性电路电极的电连接被施加到压电转换器，这使得压电转换器弯曲或偏转，导致隔膜的折曲。由压电转换器引起的隔膜的折曲增大了油墨室内的压力，使一定量的油墨通过孔板中的特定喷嘴从室中排出。当隔膜返回其松弛(即不折曲)位置时，其降低室内的压力，把油墨从主油墨储藏室通过开口吸入室中，以取代排出的油墨。

图1a和1b图解说明适合用在打印头的喷墨阵列中的单个喷墨喷射器110的一个示例。喷墨喷射器110具有本体122，本体122耦连至油墨歧管112，通过油墨歧管112油墨被传送到多个喷墨本体。本体还包括墨滴形成孔或喷嘴114，油墨通过墨滴形成孔或喷嘴114喷射。通常，喷墨打印头包括紧密间隔开的喷墨喷射器110的阵列，喷墨喷射器110把墨滴喷射到图像接收部件(未示出)上，诸如纸张或中间部件。

油墨在连续的路径中从歧管流向喷嘴。油墨离开歧管112，行进通过端口116、入口118和压力室开口120进入本体122中，本体122有时候也称作油墨压力室。油墨压力室122的一侧以柔性隔膜130为界。压电转换器通过任何适当的技术固定到隔膜130，并覆盖油墨压力室122。金属膜电极层134可以电连接到电子转换驱动器136，金属膜电极层134可以位于压电元件132的任一侧上。金属膜层可以以使得压电转换器能够被单独地或按组(每个组中有许多个元件)寻址的方式被图案化。

墨滴的喷射从激发信号开始。激发信号被施加在金属电极层134上，以激励压电元件132，这使得转换器弯曲。因为转换器被刚性固定到隔膜130，隔膜130变形以促使油墨从油墨压力室122通过出口端口124、出口通道128和喷嘴114。被排出的油墨形成墨滴，其落到图像接收部件上。在墨滴的喷射之后油墨压力室122的重新填充由压电元件132的反向弯曲和隔膜130的伴随运动增强，所述伴随运动从歧管112把油墨吸入到压力室122中。

通常，对于每个孔和压力室存在一个转换器，转换器阵列与压力室阵列对齐。对于高分辨率打印图像的需要已经使得孔阵列的密度越来越大。转换器阵列必须匹配此更高密度。例如，孔的数目对应于体腔的数目，体腔的数目又对应于转换器的数目。这些更高的密度导致在打印头的制造中极紧密的公差。

压电喷墨打印头可以包括压电元件阵列以形成压电转换器。形成该阵列的一个过程可以包括用粘合剂把覆盖压电层可分离地结合到转移载体，并把覆盖压电层切块以形成多个单独的压电元件。多次切割锯通过可以用来去掉相邻的压电元件之间的所有压电材料，以提供每个压电元件之间的适当间隔。

形成在每个转换器上的上电极提供压电转换器与相应的电压源的电耦连。在当前的制造方法中，上电极可以在电镀过程中形成，在此过程中，电极金属的覆盖涂层沉积在整个压电材料板上方，之后是把板切块，以形成单独的致动器(即通过把涂覆压电材料的电极切出行和列，界定单独的致动器)。这种覆盖涂覆的方法的一个问题是由于与锯的物理接触并暴露于高压力的冷却水，切块步骤对金属电极的粘合施加压力。这种覆盖涂覆的方法的另一个问题涉及薄的压电材料的处理。为了获得更高密度的转换器阵列，压电材料必须更小和更薄。覆盖涂覆非常薄的压电材料(例如.010mm-.030mm)的两面可能是极有挑战性的。覆盖涂覆过程的其它挑战在通过使用厚膜过程制造压电转换器时出现：厚膜过程是这样一个过程，其不从板开始，压电材料被钢印或打印到衬底上，作为单独的贴片。使用厚膜过程，所有单个贴片的覆盖涂层会导致不期望的电路径(例如致动器与致动器，致动器与地等等)。

因此，需要一种用于组装打印头的方法，其最小化或消除压电叠层的覆盖涂层的使用，以便最小化或消除上面的问题。

技术实现要素：

在一个实施例中，提供一种用于形成用于喷墨打印头的压电转换器的方法。所述方法包括：在衬底上形成至少一个压电层；通过在所述至少一个压电层的暴露表面上沉积导电材料，形成至少一个电极图案；以及在所述至少一个电极图案的形成之前或之后，由所述至少一个压电层形成多个单独的压电元件。

在另一实施例中，提供了一种喷墨打印头。所述喷墨打印头包括：至少一个喷墨喷射器，其中，所述喷墨喷射器包括耦连至油墨歧管和墨滴形成喷嘴的本体。所述喷墨打印头还包括在所述歧管和所述喷嘴之间延伸的连续管道，所述管道包括由柔性隔膜界定的压力室。所述喷墨打印头还包括固定到所述隔膜的压电转换器。所述压电转换器包括第一电极、第二电极和设置于所述第一电极和第二电极之间的至少一个压电层。所述压电转换器包括由一种方法形成的多个单独的压电元件中的一个，所述方法包括：在衬底上形成至少一个压电层；以及通过在所述至少一个压电层的暴露表面上沉积导电材料，形成多个图案化电极；其中，所述第一电极包括所述多个图案化电极中的一个；并且其中，所述第二电极包括与所述第一电极相同或不同的材料。

至少一个实施例的至少一个优点提供在具有大约在0.010mm到大约0.030mm厚度的薄的压电板上形成电触点。

至少一个实施例的至少一个优点提供在厚膜压电转换器上形成电触点。

至少一个实施例的至少一个优点提供在转移衬底上形成压电板，并把压电板转移到喷墨打印头的部件上，作为衬底，诸如打印头隔膜。

至少一个实施例的至少一个优点提供在打印头上形成压电板，作为衬底，诸如打印头隔膜。

至少一个实施例的至少一个优点提供最小化或消除在单个转换器上方形成覆盖导电层时可能出现的短路。

至少一个实施例的至少一个优点提供在打印头制造过程中步骤的顺序的选择，诸如关于形成打印头转换器的单独的压电元件，例如，通过在至少一个半导体层上形成图案化电极之前或之后，把该半导体层切块。

实施例的附加优点一部分在下面的描述中陈述，一部分会通过描述得到理解，或者可以通过实践实施例得到学习。通过在所附权利要求中特别指出的元件和组合，会认识到和获得这些优点。

要理解，前面的概括描述和下面的详细描述只是示例性和解释性的，不是对如声称的实施例的限制。

附图包括于此说明书并构成此说明书的一部分，其图解说明实施例并连同说明一起用来解释实施例的原理。

附图说明

图1a是喷墨器的现有技术的实施例的示意侧截面图。

图1b是图1a的喷墨器的现有技术的实施例的示意图。

图2a-2d是描绘根据各个实施例形成压电转换器的方法的流程图。

图3a-3d图解说明在根据实施例制造压电转换器的方法诸如在图2a的流程图中描述的方法中的各生产阶段的横截面图。

图4a-4c图解说明在根据实施例制造压电转换器的方法诸如在图2b的流程图中描述的方法中的各生产阶段的横截面图。

图5a-5d图解说明在根据实施例制造压电转换器的方法诸如在图2c的流程图中描述的方法中的各生产阶段的横截面图。

图6a-6c图解说明在根据实施例制造压电转换器的方法诸如在图2d的流程图中描述的方法中的各生产阶段的横截面图。

图7a-7d图解说明在根据实施例制造压电转换器的方法中的各生产阶段的横截面图。

图8a-8e图解说明在根据实施例制造压电转换器的方法中的各生产阶段的横截面图。

具体实施方式

现在详细陈述目前的实施例，其示例在附图中图示。在可能的情况下，在图中会使用相同的附图标记来指示相同或相似的零件。

尽管陈述实施例的宽泛范围的数值范围和参数是近似值，但在具体示例中陈述的数值被尽可能精确地报告。不过，任一数值内在地包含在其各自的测试测量值中发现的由标准偏差必然地产生的某些误差。而且，本文中公开的所有范围要理解为包括包含于其中的任何和所有子范围。例如，“小于10”的范围可以包括在最小值零和最大值10之间(并包括零、10)的任何和所有子范围，即具有等于或大于零的最小值和等于或小于10的最大值的任何和所有子范围，例如1到5。在某些情况下，针对参数陈述的数值可以采用负值。在此情况下，陈述为“小于10”的范围的示例值可以采用负值，例如，-1、-2、-3、-10、-20、-30等。

参照附图只出于示意性目的描述下面的实施例。本领域技术人员会认识到以下描述本质上是示例性的，对本文中陈述的参数的各种修改可以在不偏离目前的实施例的范围下进行。想要使说明书和示例被认为只是示例。各个实施例不一定是相互排斥的，因为一些实施例可以与一个或多个其它实施例结合以形成新的实施例。

本文中公开的实施例涉及但不限于形成用于喷墨打印头中的压电转换器，具体地，通过以预定图案沉积导电材料形成转换器的电极。在一个示例中，本文描述的方法能够提供喷墨打印头，其具有图1a-1b中描绘的特征，还具有设置于其中的根据本文中描述的方法形成的至少一个压电转换器。

本教导的实施例可以包括用于形成用于喷墨打印头的喷墨喷射器的压电转换器的方法。图2a-2d是图解说明根据各个实施例形成压电转换器的方法300、400、500和600的流程图，诸如分别图示为图3a-3d、图4a-4c、图5a-5d和图6a-6c中的各个制造阶段。在每种方法中，导电材料，诸如如下文描述的导电油墨或其它材料用于形成压电电极。在一些实施例中，诸如方法300和400并分别描绘为图3a-3d和图4a-4c的各个制造阶段，通过图案掩膜的开口沉积导电材料。在一些实施例中，诸如方法500和600并描绘为图5a-5d和图6a-6c的各个制造阶段，使用能够喷射导电油墨的打印头沉积导电材料。在任何实施例中，获得打印图案，使得导电材料沉积在预先选择的位置，并形成压电致动器/转换器的图案化电极。

在一些实施例中，诸如可以描绘为图3a-3d和图5a-5d的各个制造阶段的方法300和500，导电材料沉积在由压电板形成的单独的压电元件上，压电板可以是一个或多个压电层。可以在通过例如把压电板切块形成单独的压电元件(即单独的致动器)之前或之后，沉积导电材料。这允许在切块的或厚膜的压电元件上形成上电极。在一些实施例中，诸如可以描绘为图4a-4c和图6a-6c的各个制造阶段的方法400和600，可以在形成单独的压电元件之前或之后，即在把压电板切块成单独的致动器之前或之后，沉积导电材料。抑制区可以被预先选择在指定的位置，在此不沉积导电材料。这避免把电极材料涂抹到不期望的电路径(例如，致动器与致动器，致动器与地等等)中的可能性。尽管不局限于任何具体的方法或实施例，但通过由根据预定图案沉积的导电油墨形成压电电极，可以在构造过程的下游执行电极沉积。

在根据实施例形成用于喷墨打印头的压电转换器时，方法300图示为图2a中的流程图和图3a-3d中的各个制造阶段。方法300包括：在衬底上形成至少一个压电层，这可以是可以包括粘合层或者可以是打印头隔膜的转移载体；把叠层切块(如果需要)以形成多个单独的压电元件；以及通过在至少一个压电层的暴露表面上沉积导电材料，形成至少一个电极图案，例如多个图案化电极。而且，图案掩膜可以设置在衬底上方，使得通过图案掩膜的各部分之间的开口沉积导电材料并沉积到至少一个压电层的暴露表面上，由此形成至少一个电极图案。图案掩膜可以覆盖下面的压电层，以便形成“抑制区”，其防止切割刀片与沉积的电极材料接触。

图3a-3d图解说明基于方法300的各个制造阶段的横截面“过程中”视图。在图3a，在衬底22上形成至少一个压电层20。衬底可以是转移载体或打印头隔膜。至少一个压电层可以通过粘合剂24与衬底结合。在一个实施例中，由至少一个压电元件层20，例如通过把压电层20切块，形成多个单独的压电元件20’。相应地，可以在形成图3a的结构之后，获得图3b的结构。替代性地，图3a中的步骤可以省略，而是可以直接通过提供预定图案的至少一个压电层，形成图3b中示出的多个单独的压电元件20’。

在形成单独的压电元件20’之后，可以在至少一个压电材料的暴露表面上形成至少一个电极图案34。例如，如图3c中所示，一些导电材料33沉积在每个单独的压电元件20’的顶表面上，以形成如图3d中所示的电极图案34。即，导电材料33可以以预定布局(例如，由图案掩膜30的各部分之间的开口限定的预定图案)沉积。注意，图案掩膜30可以阻止导电材料形成于抑制区35中，抑制区35可以沿着多个压电元件20’的一个或多个的外周。抑制区35在抑制距离(即由图3d中37的水平箭头限定的距离)上延伸，其可以提供防止电极之间的短路的附加缓冲。

在根据另一实施例形成用于喷墨打印头的压电转换器时，方法400图示为图2b中的流程图和图4a-4c中的各个制造阶段。方法400包括在衬底上形成至少一个压电层，衬底可以是可以包括粘合层的转移载体或者可以是打印头隔膜；形成至少一个电极图案，例如多个图案化电极；以及形成多个单独的压电元件。可以通过在至少一个压电层的暴露表面上沉积导电材料，形成多个图案化电极。而且，图案掩膜可以设置在衬底上方，使得通过在图案掩膜的各部分之间的开口沉积导电材料并沉积到至少一个压电层的暴露表面上，由此形成至少一个电极图案。图案掩膜可以覆盖下面的压电叠层，以便形成防止电极之间的短路的“抑制”区。可以通过把至少一个压电层切块，或者通过按照单独的元件的图案形成至少一个压电层，执行多个单独的压电元件的形成。

图4a-4c图解说明基于图2b的方法400的各个制造阶段的横截面“过程中”视图。在图4a，在衬底22上形成至少一个压电层20。衬底可以是转移载体或者打印头隔膜。至少一个压电层可以通过粘合剂24与衬底结合。在形成图4a的结构之后，图案掩膜30设置在压电元件层20上方，并沉积31导电材料30，以便在压电元件层20的暴露表面上形成上电极34的图案。例如，如图4b-4c所示，一些导电材料33沉积在压电元件层20的顶表面上，并形成电极图案34，其可以用作打印头中的转换器的上电极。即，如图4b所示，导电材料33可以以预定布局(例如，由图案掩膜30的各部分之间的开口限定的预定图案)沉积，以形成电极。可以把压电元件层20切块以形成如图4c中描绘的多个单独的压电元件20’。注意，图案掩膜30可以阻止导电材料形成于抑制区35中，抑制区35可以沿着多个压电元件20’的一个或多个的外周。抑制区35在抑制距离(即由图4c中的37的水平箭头限定的距离)上延伸，其提供防止电极之间的短路的附加缓冲。

相应地，在一些实施例中，诸如被分别描绘为图3a-3d和4a-4c中的各个制造阶段的方法300和400，图案化掩膜30可以与导电材料33的沉积31结合使用，以提供至少一个电极图案34。

在一些实施例中，诸如被分别描绘为图5a-5d和6a-6c中的各个制造阶段的方法500和600，为了沉积导电材料，可以不需要图案化掩膜。例如，通过经由打印头沉积导电材料，可以执行电极的形成，打印头可以根据例如由打印软件限定的预定图案喷射可喷射导电材料的小滴。

例如，图5a-5d图解说明基于图2c的方法500的各个制造阶段的横截面“过程中”视图。在图5a，方法500包括在衬底上形成至少一个压电层，衬底可以是可以包括粘合层的转移载体或者可以是打印头隔膜；形成多个单独的压电元件；以及通过把导电材料的小滴喷射到每个单独的压电元件的表面上，形成多个电极。可以通过把至少一个压电层切块或者通过按照单独的元件的图案形成至少一个压电层，执行多个单独的压电元件的形成。多个电极可以以预定图案形成，其上没有导电材料的区域可以形成防止电极之间的短路的“抑制”区。

图5a-5d图解说明基于方法500的各个制造阶段的横截面“过程中”视图。在图5a，在衬底22上形成至少一个压电层20。衬底可以是转移载体或打印头隔膜。至少一个压电层可以通过粘合剂24与衬底结合。在一个实施例中，多个单独的压电元件20’由至少一个压电元件层20例如通过把压电层20切块形成。相应地，在形成图5a的结构之后，可以获得图5b的结构。替代性地，图5a中的步骤可以省略，而是可以直接通过以单独的压电元件的预定图案提供至少一个压电层，形成图5b中所示的多个单独的压电元件20’。

在形成单独的压电元件20’之后，可以在至少一个压电材料的暴露表面上形成至少一个电极图案34。例如，如图5c所示，一些导电材料33沉积在每个压电元件20’的顶表面上，形成如图5d中所示的至少一个电极图案34。即，导电材料33可以以预定布局例如作为从喷墨打印头(未示出)喷射的小滴沉积。

图6a-6c图解说明基于图2d的方法600的各个制造阶段的横截面“过程中”视图。方法600包括在衬底上形成至少一个压电层，衬底可以是可以包括粘合层的转移载体或者可以是喷墨打印头的打印头隔膜部分；形成至少一个电极图案，例如多个图案化电极；以及形成多个单独的压电元件。可以通过在至少一个压电层的暴露表面上沉积导电材料，例如通过把导电材料的小滴以预定图案喷射到单独的压电元件的表面上，形成多个图案化电极。不在其上沉积导电材料的表面部分可以形成防止电极之间的短路的“抑制”区。可以通过把至少一个压电层切块或者通过按照单独的元件的图案形成至少一个压电层，执行多个单独的压电元件的形成。

在图6a，在衬底22上形成至少一个压电层20。衬底可以是转移载体或打印头隔膜。至少一个压电层可以通过粘合剂24与衬底结合。在形成图6a的结构之后，沉积导电材料33以便在压电元件层20的暴露表面上形成至少一个电极图案34。例如，如图6b-6c中所示，一些导电材料33沉积在压电元件层20的顶表面上，以形成至少一个电极图案34，其可以用作喷墨打印头中的转换器的上电极。即，如图6b中所示，导电材料33可以以预定布局(例如通过从压电喷墨打印头喷射导电材料的小滴限定的预定图案)沉积。在形成至少一个电极图案34之后，可以把压电元件层20切块以形成如图6c中描绘的多个单独的压电元件20’。注意，打印头可以以图案沉积导电材料，使得不沉积导电材料的区域形成抑制区35，其可以防止单独的压电元件20’之间的电极的短路。即，导电材料33可以被沉积以覆盖少于单独的压电元件的所有暴露表面，以形成由图6c中37的水平箭头限定的抑制区。

在衬底22是转移衬底的情况下，任何产生的图3d、4c、5d或6c的结构可以被进一步处理，以便在至少一个压电层的相对侧上向如图7a-7c中图示的电极图案34增加一个下电极。例如，包括单独的压电元件20’(其上形成电极图案34)的结构可以在衬底22(例如载体衬底，单独的压电元件由粘合层24附连于其上)上传送，并通过第二粘合层74翻转结合到第二衬底72上，诸如多个上电极34接触粘合层74。衬底22和粘合剂24可以去掉，由此使压电元件20’的释放表面暴露于图案化电极34。多个电极36可以通过与上文在方法300或500中描述的电极34相似的方法沉积到压电元件20’的释放表面上。尽管方法300、400、500和600以及图3a-3d、4a-4c、5a-5d和6a-6c中的相应图示分别把至少一个压电层描绘为形成为单独的压电元件，但本发明并不受此限制。例如，电极图案34可以形成于至少一个连续的压电层上，其不被切块或形成为单独的压电元件的图案。相应地，可以通过把至少一个连续层的压电层(其上形成至少一个电极图案34)从转移衬底转移到另一衬底(诸如喷墨打印头叠层的部件，例如隔膜)上，执行相对电极的加入，诸如图7a-7d中的步骤描绘的。

在替代性实施例中，可以在压电喷墨的部件上诸如在具有形成于其上的隔膜的本体板上直接形成至少一个转换器。可以在隔膜上形成至少一个压电层，作为单独的压电元件或作为连续的压电层，连续的压电层然后被切块以形成单独的压电元件，例如通过直接在打印头的隔膜上而不是在转移衬底上切块，如在美国专利9,139,004中描述的。

因此，在图8a-8e中所示的横截面视图中图示的方法中，导电材料33沉积31在包括本体板的隔膜72的衬底上，以便形成至少一个图案化电极34(使用图8b中图示的步骤，以至少部分地使导电材料固化或干燥)。如图8c所示，然后可以在至少一个图案化电极34上形成至少一个压电层20。如图8d中所示，导电材料38可以沉积32在压电层20上，以便形成至少一个电极图案36。所述方法通过由至少一个压电层20形成多个单独的压电元件20’继续。多个单独的压电元件20’可以通过切块形成。相应地，为了避免、最小化或消除与由于覆盖沉积过程造成的短路关联的问题，不在其上沉积导电材料33的压电层部分可以限定抑制区37。注意，尽管图8a-8e示出在沉积导电材料38之后，由包括至少一个半导体层的板形成多个单独的压电元件20’，但实施例并不受此限制。例如，可以在电极34上形成至少一个压电层之后但在沉积导电材料38之前，把至少一个压电层切块，(即切块会在图8c-8d之间执行，而不是如所示的在图8e执行)。

各个实施例的切块可以使用机械技术，诸如使用锯(诸如晶片切割锯)，使用干燥蚀刻过程，使用激光消融过程等执行。为了确保完整地分开每个相邻的压电元件20’，切块过程可以在去掉粘合剂24的一部分之后终止。

实施例的至少一个压电层20可以包括多层的相同或不同压电材料，包括陶瓷压电元件，诸如软pzt(锆酸钛酸铅)和硬pzt，或者其它功能陶瓷材料，诸如反铁电材料、电致伸缩材料和磁致伸缩材料。压电陶瓷元件的组成还可以变化，包括掺杂或未掺杂的，例如锆酸钛酸铅(pzt)、钛酸铅、锆酸铅、钛酸铅镁和其与钛酸铅、铌酸锂和钛酸锂的固体溶液或者任何无铅压电材料。压电元件层20可以具有在从大约0.010mm到大约0.150mm的范围内的厚度，例如从大约0.010mm到大约0.03mm，以充当例如转换器的内介电质。

显示为导电材料33或导电材料38用于形成电极(诸如如上文描述的电极34或电极36)的实施例的导电材料可以是导电油墨、导电环氧树脂、导电胶或者可以使用喷墨打印头沉积的任何导电材料。导电材料可以是可处理或可打印的银基导电材料的溶液。在一个示例中，导电材料33和导电材料38可以包括相同的材料。替代性地，导电材料33和导电材料38可以包括不同的材料。在一个示例中，导电材料33、导电材料36或两者可以是银纳米粒子油墨或银纳米粒子胶。银纳米粒子油墨可以包括包括银纳米粒子、烃溶剂和醇共溶剂的组合物，其中银纳米粒子以油墨组合物的至少35重量百分比的量出现；并且其中，烃溶剂与醇共溶剂的重量比从大约2:1到大约1:1。银纳米粒子油墨组合物可以具有从大约2到大约15厘泊的粘度，和/或从大约22到大约35毫牛顿/米的表面张力。在实施例中，银纳米粒子具有从大约0.5nm到大约1000nm、从大约1nm到大约500nm、从大约1nm到大约100nm、并且具体从大约1nm到大约20nm的粒子大小。粒子大小在本文中定义为银纳米粒子的平均直径，如由tem(透射电子显微镜检查)确定的。银纳米粒子可以具有从大约1nm到大约50nm的粒子大小。银纳米粒子还可以具有低的极性表面。烃溶剂可以是具有至少5个碳原子到大约20个碳原子的脂肪族烃，诸如戊烷、己烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、十一烷、十二烷、十三烷、十四烷、十五烷、十六烷、十七烷、十二烯、十四烯、十六烯、十七烯、十八烯、萜品烯、异链烷烃(isoparaffinic)溶剂和其异构体。替代性地，烃溶剂可以是具有从大约7个碳原子到大约18个碳原子的芳香烃，诸如甲苯、二甲苯、乙基甲苯、均三甲苯、三甲基苯、二乙苯、四氢萘和乙苯。醇共溶剂具有至少6个碳原子，并且例如可以是己醇、庚醇、辛醇、壬醇、癸醇、十一醇、十二醇、十四醇和十六醇；二醇，诸如己二醇、庚二醇、辛二醇、壬二醇和癸二醇；包括不饱和双键的醇，诸如法呢醇、十二碳-二烯醇(dedecadienol)、里那醇、香叶醇、橙花醇、庚二烯醇(heptadienol)、十四烯醇、十六烯醇、植醇、油醇、十二烯醇(dedecenol)、癸烯醇、十一烯醇、壬烯醇、香茅醇、八烯醇和庚烯醇；具有或不具有不饱和双键的脂环族醇，诸如甲基环己醇、薄荷醇、二甲基环己醇、甲基环己醇、萜品醇、二氢香芹醇、异蒲勒醇、三甲基环己醇等等。具体地，醇共溶剂可以是按重量计包括大部分α-萜品醇的萜品醇溶剂。

导电材料33可以通过任何适当方法，诸如通过丝网印刷、点滴施加(dropapplication)、喷射或油墨喷射而不是通过溅射或蒸汽沉积沉积在压电元件上。在一些实施例中，图案化掩膜(未描绘)可以与导电材料33的沉积方法结合使用，以提供图案化的上电极34。

尽管已经参照一个或多个实施方式图解说明了实施例，但在不偏离所附权利要求的精神和范围下，可以对图示的示例进行改变和/或修改。此外，尽管可能已经关于几种实施方式中的仅一种公开了一个实施例的具体特征，但此特征可以与对于任何给定或具体功能可能期望和有利的其它实施方式的一个或多个其它特征结合。例如，本文中描绘的一个或多个动作可以在一个或多个分开的动作和/或阶段执行。

而且，术语“至少一个”用来表示可以选择所列项目的一个或多个。而且，在本文中的讨论和权利要求中，关于两种材料使用的术语“在…上(on)”，一个在另一个“上”，表示材料之间至少有一定接触，而“在…上方(over)”表示材料是紧邻的，但可能有一个或多个另外的中间材料，使得接触是可能的但不是要求的。在本文中使用的“在…上”或“在…上方”都不暗示任何方向性。

而且，就术语“包括(including)”、“包括(includes)”、“具有(having)”、“具有(has)”、“借助(with)”或其变形用于详细描述和权利要求来说，这些术语旨在是在类似于术语“包含(comprising)”的意义上的包括。如本文中使用的短语例如a、b和c的“一个或多个”表示以下的任何一个：单独的a、b或c；或者两个的组合，诸如a和b，b和c，以及a和c；或三个的组合，a、b和c。