干燥系统的制作方法

文档序号:18341613发布日期:2019-08-03 16:17阅读:138来源:国知局
干燥系统的制作方法

本实用新型涉及样品干燥技术领域,特别是涉及一种干燥系统。



背景技术:

喷墨打印(Ink Jet Print,简称IJP)是一种可直接进行图案化薄膜沉积的新型制程技术,普遍应用到发光显示器件的各功能层的制备中,例如:OLED(Organic Light-Emitting Display,有机电致发光显示)器件中的各功能层,如空穴传输层、有机发光层以及电子传输层等通常是采用喷墨打印技术形成特定的图案。

然而,在喷墨打印过程中,传统喷墨打印机的喷头尺寸远小于衬底基板的尺寸,喷墨打印机需要通过多次打印才能将墨滴完全覆盖在整个样品台的衬底基板上。由于墨滴挥发存在前后的时间差以及每次喷出的墨滴氛围差异等原因,会造成衬底基板上不同区域的墨滴挥发量不均匀,即起始端打印墨滴的区域内的溶剂先蒸发,终止端打印墨滴的区域内的溶剂后蒸发,进而造成最终制成的膜薄厚不均。特别是对于大尺寸的基板而言,成膜均匀性更差。



技术实现要素:

基于此,有必要针对在喷墨打印过程中,传统的喷墨打印装置制备的发光显示器件的功能膜层均匀性差的问题,提供一种干燥系统。

一种干燥系统,所述干燥系统包括:

样品台,用于承载待干燥样品;

冷凝模块,所述冷凝模块包括与样品台上起始端打印墨滴的区域对应设置的第一冷凝模块以及与样品台上终止端打印墨滴的区域对应设置的第二冷凝模块,所述第一冷凝模块和所述第二冷凝模块用于在干燥时以不同的温度分别对待干燥样品进行冷却。

上述干燥系统结构简单,制备得到的发光显示器件的功能膜层薄厚均匀,成膜性好。具体而言,在样品台的不同区域(起始端打印墨滴区域和终止端打印墨滴的区域)对应设置温度不同的冷凝模块,即起始端打印墨滴区域对应的第一冷凝模块设定的温度比与终止端打印墨滴区域对应的第二冷凝模块设定的温度高,因样品台的温度远远高于冷凝模块的温度,这样也就使第一冷凝模块与起始端打印墨滴区域之间的温差比第二冷凝模块与终止端打印墨滴区域之间温差小。通过这种温差设置,降低了起始端打印墨滴区域附近的蒸气压,提高了终止端打印墨滴的区域附近的蒸气压,进而使起始端打印墨滴区域内的墨滴挥发速率比终止端打印墨滴区域内的墨滴挥发速率慢,尽可能保证起始端打印墨滴区域与终止端打印墨滴区域的墨滴挥发量持平。从而也就可以解决由于墨滴挥发存在前后时间差的原因造成墨滴成膜的成膜均匀性差的问题。

在其中一个实施例中,所述第一冷凝模块至所述样品台上起始端打印墨滴的区域之间的距离比所述第二冷凝模块至所述样品台上终止端打印墨滴的区域之间的距离短。

在其中一个实施例中,所述第一冷凝模块包括位于所述样品台侧方的第一冷凝子模块和位于所述样品台上方的第一冷凝子模块,所述第二冷凝模块包括位于所述样品台侧方的第二冷凝子模块和位于所述样品台上方的第二冷凝子模块。

在其中一个实施例中,所述第一冷凝子模块至所述样品台上起始端打印墨滴的区域之间的距离比所述第二冷凝子模块至所述样品台上终止端打印墨滴的区域之间的距离短。

在其中一个实施例中,所述第一冷凝子模块包括第一冷凝板和用于供过冷液体流通的第一冷凝管、所述第二冷凝子模块包括第二冷凝板和用于供过冷液体流通的第二冷凝管。

在其中一个实施例中,所述第一冷凝管均匀布设于所述第一冷凝板远离所述样品台的一侧,所述第二冷凝管均匀布设于所述第二冷凝板远离所述样品台的一侧。

在其中一个实施例中,所述第一冷凝管嵌设在所述第一冷凝板中,所述第二冷凝管嵌设在所述第二冷凝板中。

在其中一个实施例中,所述第一冷凝管和所述第二冷凝管连通,管内的过冷液体依次流经所述第二冷凝管和所述第一冷凝管。

在其中一个实施例中,所述第一冷凝管与所述第二冷凝管通过导流管连通。

在其中一个实施例中,所述干燥系统中还包括密闭的干燥箱,所述冷凝模块和所述样品台位于所述干燥箱内。

附图说明

图1为本实用新型一实施方式的干燥系统的正视图;

图2为本实用新型另一实施方式的干燥系统的俯视图;

图3为本实用新型另一实施方式的干燥系统中冷凝管在冷凝板上的排布图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进,因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

参阅图1和图2,本实用新型一实施例中提供一种干燥系统,其包括冷凝模块以及样品台310。

其中,样品台310用于承载打印墨滴的衬底基板(即待干燥样品),进一步地,样品台310可以为可活动的样品台,便于将待干燥样品与冷凝模块之间设置合适高度,以使墨滴快速挥发。

其中,冷凝模块,所述冷凝模块朝向所述样品台310设置。冷凝模块可以根据需要设置在样品台310的上方也可以设置在样品台310的侧方均可。在干燥过程中,由于样品台310和冷凝模块之间存在温度差,墨滴会快速挥发至冷凝模块的表面,墨滴挥发后,留存的不挥发的物质会形成发光器件功能层。

冷凝模块,主要作用是用于对放置在干燥系统内的样品台310上的打印墨滴区域进行冷却,从而使各功能层成膜干燥的目的。具体地,冷凝模块包括与样品台310上起始端打印墨滴的区域对应设置的第一冷凝模块213以及与样品台310上终止端打印墨滴的区域对应设置的第二冷凝模块215,所述第一冷凝模块213和所述第二冷凝模块215用于在干燥时以不同的温度分别对待干燥样品进行冷却,在干燥过程中,所述第一冷凝模块213的温度比所述第二冷凝模块215的温度高。这样设计的好处是使起始端打印墨滴的区域与第一冷凝模块213之间的温度差比终止端打印墨滴的区域与第二冷凝模块215之间的温度差小,进而使起始端打印墨滴区域内的墨滴挥发速率比终止端打印墨滴区域内的墨滴挥发速率慢,尽可能保证打印墨滴的各个区域的墨滴挥发量持平,成膜均匀。

在一个具体示例中,所述第一冷凝模块213至样品台310上起始端打印墨滴的区域之间的距离比所述第二冷凝模块215至样品台310上终止端打印墨滴的区域之间的距离短。这样可以压缩起始端打印墨滴的区域墨滴挥发的空间,减少空气流动,从而降低起始端打印墨滴的挥发速率。

在一个具体示例中,所述第一冷凝模块213包括位于所述样品台310侧方的第一冷凝子模块(图中A)和位于所述样品台310上方的第一冷凝子模块(图中B),所述第二冷凝模块215包括位于所述样品台310侧方的第二冷凝子模块(图中C)和位于所述样品台310上方的第二冷凝子模块(图中D)。其中,第一冷凝子模块B和第二冷凝子模块D可以为连接成一体设计,也可以为分体设计(如图1所示)。其中,如图2所示,第一冷凝子模块A可以为多个,并设在样品台310上起始端打印墨滴的区域多个侧方,例如:第一冷凝子模块A位于样品台310上起始端打印墨滴的区域的前侧和翼侧。同理,第二冷凝子模块C可以为多个,并设在样品台310上终止端打印墨滴的区域多个侧方,例如:第二冷凝子模块C位于样品台310上终止端打印墨滴的区域的后侧和翼侧。

在一个具体示例中,所述第一冷凝子模块A至所述样品台310上起始端打印墨滴的区域之间的距离比所述第二冷凝子模块C至所述样品台310上终止端打印墨滴的区域之间的距离短。尽可能压缩起始端打印墨滴的区域墨滴挥发的空间,减少空气流动,从而降低起始端打印墨滴的挥发速率。

在一个具体示例中,所述第一冷凝子模块A至样品台310上起始端打印墨滴的区域之间的距离为0.5mm-2.0mm。

在一个具体示例中,所述第二冷凝子模块C至样品台310上终止端打印墨滴的区域之间的距离为1.0mm-5.0mm。

在一个具体示例中,所述第一冷凝子模块B包括第一冷凝板和用于供过冷液体流通的第一冷凝管、所述第二冷凝子模块D包括第二冷凝板和用于供过冷液体流通的第二冷凝管。其中,第一冷凝板与第二冷凝板可以位于同一平面上一体成型,也可以分体设计。第一冷凝管和第二冷凝管为各自的冷凝板提供冷源,挥发的墨滴在第一冷凝板和第二冷凝板的表面上再次凝结成液滴。

在一个具体示例中,所述第一冷凝管嵌设在所述第一冷凝板中,所述第二冷凝管嵌设在所述第二冷凝板中。

参阅图3,以第一冷凝板510与第二冷凝板512位于同一平面上一体成型为例,所述第一冷凝管410均匀布设于所述第一冷凝板510远离样品台310的一侧。均匀布设有利于保证冷凝板各个区域温度一致,利于墨滴迅速蒸发。

在一个具体示例中,所述第二冷凝管412均匀布设于所述第二冷凝板512的远离样品台310一侧。均匀布设有利于保证冷凝板各个区域温度一致,利于墨滴迅速蒸发。

可以理解的是,所述第一冷凝管和所述第二冷凝管在各自的冷凝板上的排布可以是蛇形排布,也可以是其他本领域技术人员认为合适的其他排布方式。

在一个具体示例中,所述第一冷凝管和所述第二冷凝管连通,所述第一冷凝管和所述第二冷凝管均有过冷液体流动,过冷液体的流向依次经过所述第二冷凝管和所述第一冷凝管。这样也就可以保证第二冷凝管中的过冷液体先在终止端打印墨滴区域上吸收热量,然后流至第一冷凝管时,致使第一冷凝管的温度升高,从而进一步缩小第一冷凝模块与与起始端打印墨滴区域之间的温差。优选地,所述第一冷凝管与所述第二冷凝管通过导流管610连通。

在一个具体示例中,所述干燥系统中还包括密闭的干燥箱110,所述冷凝模块和所述样品台310位于所述干燥箱110内。干燥箱110可以防止外界气氛对样品干燥造成的不利影响。进一步地,干燥箱110与抽气管连通,通过抽气以使干燥箱110内形成减压环境,更利于薄膜制品的快速干燥。

在一个具体示例中,远离样品的所述样品台310的一侧设有加热管410。用于对所述样品台310加热,以使样品台310的温度升高,进而使样品台310和冷凝模块之间形成更大的温差,利于墨滴快速挥发。

上述干燥系统结构简单,制备得到的发光显示器件的功能膜层薄厚均匀,成膜性好。具体而言,在样品台的不同区域(起始端打印墨滴区域和终止端打印墨滴的区域)对应设置温度不同的冷凝模块,即起始端打印墨滴区域对应的第一冷凝模块设定的温度比与终止端打印墨滴区域对应的第二冷凝模块设定的温度高,因样品台的温度远远高于冷凝模块的温度,这样也就使第一冷凝模块与起始端打印墨滴区域之间的温差比第二冷凝模块与终止端打印墨滴区域之间温差小。通过这种温差设置,降低了起始端打印墨滴区域附近的蒸气压,提高了终止端打印墨滴的区域附近的蒸气压,进而使起始端打印墨滴区域内的墨滴挥发速率比终止端打印墨滴区域内的墨滴挥发速率慢,尽可能保证起始端打印墨滴区域与终止端打印墨滴区域的墨滴挥发量持平。从而也就可以解决由于墨滴挥发存在前后时间差的原因造成墨滴成膜的成膜均匀性差的问题。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

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