液体喷出头和液体喷出头的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及安装于液体喷出装置的液体喷出头和液体喷出头的制造方法，其中液体喷出装置通过喷出诸如墨等的打印液体进行打印操作。
【背景技术】
[0002]日本特开2002-19146号公报公开了一种液体喷出头，其中，接头密封构件被夹在形成有液体供给路径的流路单元和支撑打印元件基板的支撑构件之间，并且通过螺钉使它们彼此受压接触而接合使得液体不会泄漏。打印元件基板由硅晶圆形成，支撑构件的材料使用线膨胀系数与打印元件基板的线膨胀系数相等的氧化铝等。
[0003]通过使打印元件基板的线膨胀系数和支撑构件的线膨胀系数相等，能够缓和由于温度变化而施加于打印元件基板和支撑构件之间的粘合界面的应力，并且能够抑制对打印元件基板从支撑构件剥离的担心。此外，通过将弹性构件夹在用于向支撑构件供给液体的流路单元和支撑构件之间并且螺接固定它们，在便于制造加工并且制造成本降低的同时防止了流路单元和支撑构件之间的墨的泄漏。
[0004]然而，近年来开发了已经克服了过去使用的墨的诸如耐水性或耐标记性(markerresistance)等的弱点的诸如商用改良墨等的墨。伴随这种趋势，墨的粘度变高。为了喷出高粘度墨，通常需要对墨升温以减低粘度，但是在使用了氧化铝的支撑构件的情况下，升温了的墨容易冷却，难以预先使墨的温度在喷出前高度稳定。即，在使用用于支撑构件的氧化铝的传统液体喷出头的情况下，能够选择的墨是有限的。因此，能够想到通过将支撑构件的材料从传统使用的氧化铝改变为树脂，来改善打印元件基板的热保持性能。
[0005]此外，液体喷出头的打印元件基板具有喷出口形成构件，该喷出口形成构件用于在布置有打印元件的基板上形成喷出口和用于将液体导向喷出口的液体流路。喷出口形成构件使用环氧材料作为其主材料，并且喷出口形成构件通过在基板上被图案化的方式形成。在图案化工序中，环氧材料通过高温固化而固化。由于具有大约50ppm/°C的线膨胀系数的环氧材料于高温下被固化在具有大约7ppm/°C的线膨胀系数的硅基板上，所以固化后在常温下，沿环氧材料收缩的方向的应力残留在硅基板中。
[0006]在具有残留应力的硅基板被安装于树脂形成的支撑构件的情况下，存在如下担心。即，由于硅基板的残留应力和在硅基板和支撑构件之间的线膨胀系数之差的基础上硅基板与支撑构件各自的由于在液体喷出头的使用中的温度改变而引起的膨胀和收缩之间的协同作用，硅基板可能破裂，或者喷出口形成构件可能从硅基板剥离。特别地，由于打印元件基板变得细长或在高密度下变窄，产生了对硅基板的破裂或喷出口形成构件的剥离的担心。
【发明内容】
[0007]因此，在具有形成于硅基板的喷出口形成构件的打印元件基板的液体喷出头中，本发明提供抑制硅基板的破裂和喷出口形成构件的剥离并且具有高的环境可靠性的液体喷出头和液体喷出头的制造方法。
[0008]因此，本发明的的液体喷出是一种液体喷出头，所述液体喷出头包括:打印元件单元，所述打印元件单元包括:打印元件基板，其具有形成能够喷出液体的喷出口的喷出口形成构件和支撑所述喷出口形成构件的基板，和板状的支撑构件，其构造成支撑所述打印元件基板并且具有能够将液体供给至所述打印元件基板的供给口 ；和流路单元，所述流路单元中形成有用于将液体导向所述支撑构件的所述供给口的流路，其中，所述支撑构件由树脂形成并且包括施压单元，所述施压单元构造成以使得所述打印元件单元的与安装有所述打印元件基板的表面相反的表面的中央部变凸的方式施压。
[0009]—种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括:打印元件单元，所述打印元件单元包括:打印元件基板，其具有构造成形成能够喷出液体的喷出口的喷出口形成构件和支撑所述喷出口形成构件的基板，和支撑构件，其构造成支撑所述打印元件基板并且具有能够将液体供给至所述打印元件基板的供给口 ；和流路单元，所述流路单元中形成有用于将液体导向所述支撑构件的所述供给口的流路，所述方法包括如下步骤:通过树脂形成所述支撑构件；和对所述打印元件单元的与安装有所述打印元件基板的表面相反的表面施压。
[0010]—种液体喷出头，其包括:打印元件基板，其包括喷出液体的喷出口 ；由树脂形成的板状的第一支撑构件，所述第一支撑构件构造成支撑所述打印元件基板并且包括用于将液体供给至所述打印元件基板的供给口 ；和第二支撑构件，其构造成支撑所述第一支撑构件并且形成有用于将液体供给至所述第一支撑构件的流路，所述第一支撑构件和所述第二支撑构件通过螺钉接合，并且在所述第一支撑构件中的布置有所述螺钉的部分和布置有所述打印元件基板的部分之间设置薄部，该薄部具有比所述第一支撑构件的布置有所述打印元件基板的部分的厚度小的厚度。
[0011]根据本发明，能够实现抑制硅基板的破裂和喷出口形成构件的剥离并且具有高的环境可靠性的液体喷出头。
[0012]从以下对示例性实施方式的说明(参照附图)，本发明的其他特征将变得明显。
【附图说明】
[0013]图1是示出第一实施方式的液体喷出头的示意图；
[0014]图2是液体喷出头的分解图；
[0015]图3是液体喷出头的分解图；
[0016]图4A是用于说明打印元件单元的图；
[0017]图4B是用于说明打印元件单元的图；
[0018]图5是用于说明第一实施方式的打印元件基板的图；
[0019]图6A是用于说明第一实施方式的打印元件基板的图；
[0020]图6B是用于说明第一实施方式的打印元件基板的图；
[0021]图7A是用于说明打印兀件基板的残留应力的状态的图；
[0022]图7B是用于说明打印兀件基板的残留应力的状态的图；
[0023]图8是用于说明第一实施方式的液体喷出头的截面图；
[0024]图9是用于说明第一实施方式的液体喷出头的图；
[0025]图10是用于说明第二实施方式的打印元件单元的图；
[0026]图11是示出第二实施方式的打印元件单元的图；
[0027]图12是用于说明其他实施方式的打印元件单元的图；以及
[0028]图13是用于说明其他实施方式的打印元件单元的图。
【具体实施方式】
[0029](第一实施方式)
[0030]下面将参照【附图说明】本发明的第一实施方式。
[0031]图1是示出第一实施方式的液体喷出头的示意图，图2和图3是液体喷出头的分解图。液体喷出头100具有打印元件单元10、流路单元40、弹性构件50、电基板60和螺钉70。打印元件单元10具有打印元件基板11和12、板状的支撑构件(第一支撑构件)13和电配线基板14，流路单元40 (第二支撑构件)具有壳体41和流路板42。
[0032]流路单元40使流路板42通过超声焊接接合固定于壳体41，以形成用于将液体从贮存用的墨盒(未示出)导向液体导入口的液体供给路径。考虑到超声焊接的加工性，壳体41和流路板42由诸如改性聚苯醚树脂等的树脂形成。在需要部件强度的情况下，必要时可以含有玻璃填料。
[0033]图4A和图4B是用于说明第一实施方式的打印元件单元10的图，其中，图4A是主视图，图4B是截面图。打印元件基板11和12设有多个能够喷出液体的喷出口，用于BK (黑色)墨的打印元件基板11具有一个通孔15，而用于CL(彩色)墨的打印元件基板12具有六个通孔15。用于BK墨的打印元件基板11具有延长至1.1英寸的喷出口列以改善打印速度。此外，对于用于BK墨的打印元件基