光波导线路组件的制作方法

专利名称：光波导线路组件的制作方法
技术领域：
本发明涉及具有形成于基板上的平面波导线路型的光波导线路的光波导线路组件。
背景技术：
在使用了光纤或光平面波导线路型等的光波导线路的光回路中，有时希望恒定地保持经由各光波导线路的信号光的光强等，并将信号光的光强控制在合适的值上。在这样的情况下，要在光回路中监测信号光的光强，或者进一步地根据监测的结果进行光强控制。
在上述信号光光强的监测中，以往使用的是在光波导线路上设置光耦合器分支出一部分信号光的方法。在该方法中，通过在光波导线路上固定的位置处设置光耦合器分支出百分之几程度的信号光，并用光检测器监测分支出的光的光强，监测经由该光波导线路的信号光的光强。
但是，在这样使用了光耦合器时，由于在增加构成光回路的光学构件的件数的同时，还需要熔接这些光耦合器，所以，存在光回路的构成以及制造工序复杂化之类的问题。
与此相对应，有人提出不使用光耦合器而反射并监测一部分信号光的光强的方法。例如，在特开平6-331837号公开专利中记载的光元件中，相对于光轴在光波导线路的规定部位形成倾斜的端面，在该端面检测作为被反射到不同于光轴的方向上的部分信号光的反射光，监测光强。此外，在特开2000-155235号公开专利上记载的光纤是关于光的分支·合流结构的发明，其在光纤的规定部位形成相对于光轴垂直的端面，使部分信号光出射到外部，再利用相对于光轴倾斜的另一端面反射并取出所出射的光的一部分。
但在这样反射部分信号光用于光强的监测时，倾斜端面的信号光的反射率因所反射的信号光的偏光状态而为不同的值。因此，存在如果没有特别规定经由光波导线路的信号光的偏光状态，将不能准确地监测光强之类的问题。此外，在光波导线路的端面被暴露在外气中时，会因端面的污染而劣化反射率等的长期的稳定性。

发明内容
本发明是为解决上述之问题点而做的发明，目的是提供可以简化光回路的构成，同时又可以不管信号光的偏光状态地、准确地监测光强的光波导线路组件。
为达成这样的目的，根据本发明的光波导线路组件，其特征在于具有以下构成(1)包含基板、以及形成在基板上的平面波导线路型的光波导线路，且具有相对于与光波导线路的光轴正交的垂直轴，以规定的倾斜角度θ(0°＜θ)倾斜地形成以便横切光波导线路的规定部位的槽的光平面波导线路型回路；(2)包含经由光波导线路的信号光通过的部位地设置在光平面波导线路型回路的槽的内侧，同时根据已补偿各正交偏振波间的反射率之差的规定的反射率，反射信号光的一部分的反射滤波器；(3)至少可以封止槽的内侧地填充的填充树脂；(4)具备检测信号光被反射滤波器反射后的反射光的光检测器，且作为光平面波导线路型回路的光波导线路，具有N条(N为复数)光波导线路，作为光检测器，具有分别对应于N条光波导线路的N个光检测器，同时，相对于通过反射滤波器将分别经由上述N条光波导线路的信号光的一部分反射到对应的光检测器的N个反射光路，分别在N个反射光路之间设置了用于隔离反射光路彼此的光隔离件。
在上述的光波导线路组件中，采用的不是利用光耦合器分支光波导线路，而是在设置在光波导线路上的倾斜的槽处让一部分信号光反射，形成可以利用其反射光监测信号光的光强的构成。由此，可以简化光回路的构成以及制造工序。
此外，不是利用槽的端面进行信号光的反射，而是在槽的内侧设置实现了使各偏振波状态间的反射率相等的偏振波补偿的反射滤波器，用该反射滤波器反射部分信号光并将之利用于光强的监测。此时，因为被反射滤波器反射的信号光的反射率不管经由光波导线路的信号光的偏振波状态如何而大致恒定，所以，可以不管信号光的偏振波状态地准确地监测光强。另外，由于用填充树脂封止着包含反射滤波器的槽的内侧，故槽的端面或反射滤波器不与外气接触，可以防止因端面的污染而造成的长期的稳定性的劣化。
再有，光平面波导线路型回路具有N条(N信道)的光波导线路，在监测经由各自的光波导线路的N信道的信号光的光强时，被反射滤波器反射的N信道的信号光分别经由各自的规定的反射光路并被对应的光检测器检测出来。此时，被反射滤波器反射的来自光波导线路的信号光被对应的光检测器检测出来，同时，由于在滤波器或其他部位产生的光散射、反射、传送的光的扩散等，有时会出现其一部分入射到相邻的其他信道的光检测器并被检测出来而出现串光劣化的情况。
与之相对应，通过如上述这样在相邻的反射光路之间设置光隔离件，可以极力防止相邻的信道之间的串光的发生。由此，可以对经由各个光波导线路的N信道的信号光，准确地监测各自信道内的信号光的光强。


图1所示是光波导线路组件第1实施形态的构成的平面图。
图2所示是部分放大沿图1所示的光波导线路组件的光轴的断面构造的断面图。
图3所示是在改变了相对于传送信号光的光轴的反射面的倾斜时的偏振波依存损失变化的图表。
图4A～图4D所示是用于对被反射滤波器反射的反射光所形成的反射光点的形状以及光检测器的感光面形状进行说明的原理图。
图5所示是光波导线路组件第2实施形态的构成的平面图。
图6所示是部分放大沿图5所示的光波导线路组件的光轴的断面构造的断面图。
图7所示是光波导线路组件第3实施形态的构成的平面图。
图8所示是部分放大垂直于图7所示的光波导线路组件的光轴的断面构造的I-I箭头断面图。
图9所示是光波导线路组件第4实施形态的构成的平面图。
图10所示是部分放大垂直于图9所示的光波导线路组件的光轴的断面构造的II-II箭头断面图。
图11所示是光波导线路组件第5实施形态的构成的平面图。
图12所示是部分放大垂直于图11所示的光波导线路组件的光轴的断面构造的III-III箭头断面图。
具体实施例方式
下面，结合附图详细地对根据本发明的光波导线路组件的最佳实施形态进行说明。这里，在附图的说明中，同一构件附加同一符号并略去重复的说明。此外，作为说明图，图面的尺寸比率不一定非要一致。
图1所示是根据本发明的光波导线路组件第1实施形态的构成的平面图。该光波导线路组件具有由基板10、以及形成于基板10上的平面波导线路型的8条(8信道)光波导线路21～28构成的光平面波导线路型回路1。
各个光波导线路21～28沿规定的光传输方向(图1中的箭头方向)从光平面波导线路型回路1的输入端11朝向输出端12，相互平行且等间隔地形成。此外，在对应光平面波导线路型回路1的光传输方向的规定部位上，设置有横切光波导线路21～28的槽3。
该槽3其内侧设置有用于反射各光波导线路21～28的部分信号光的反射滤波器4，同时，由填充树脂5封止住。此外，在较槽3更上流侧的位置，在光平面波导线路型回路1的上方，设置有子装配基板7，同时，在填充树脂5以及子装配基板7的上方，设置着具有分别对应光波导线路21～28的8个光检测器61～68的光检测器阵列6。光平面波导线路型回路1和子装配基板7以及子装配基板7和光检测器阵列6由焊锡固定。
这里，在图1中，对光检测器61～68用虚线给出了各自的感光面的形状。此外，子装配基板7作为用于载置光检测器阵列6的载置构件(装配构件)，同时在其上面还如图1中原理地示出的那样，形成有用于读出来自光检测器61～68的光检测信号的配线或电极等。
在本实施形态中，相对于分别经由8信道的光波导线路21～28的部分信号光被反射滤波器4反射到对应的光检测器61～68的8个反射光路，分别在8个反射光路之间设置了用于隔离反射光路彼此的光隔离件(没有图示)。
光隔离件是用于抑制相邻的信道之间发生串光的构件。作为光隔离件，例如，可以使用设置在光平面波导线路型回路1内或者填充树脂5内的光屏蔽材料、或设置在光波导线路21～28的波导线路芯线之间的槽等。关于光隔离件的具体构成将在第3～第5实施形态中描述。
图2所示是沿光波导线路2n(n＝1～8)的光轴方向(光平面波导线路型回路1的光传输方向)给出的图1所示的光波导线路组件的断面构造的断面图。这里，在图2中，放大给出了包含槽3、反射滤波器4以及光检测器阵列6的部分。
如图2所示的那样，光平面波导线路型回路1的光波导线路2n通过在基板10上形成下部包层22、芯线20以及上部包层21构成。与之对应，在规定部位，以相当于芯线20并至少包含经由光波导线路2n的信号光通过的部位的深度d，相对于正交(正交于基板10)于光波导线路2n的光轴的垂直轴(图2中用虚线给出)，按规定的倾斜角度θ(0°＜θ)倾斜地形成横切光波导线路2n的槽3。在本实施形态中，大于光波导线路2n的厚度地设定了槽3的深度d。
在槽3的内侧，插入有反射滤波器4。且是以相对于光轴与槽3略为同一的角度θ并至少包含通过经由光波导线路2n的信号光的部位地设置了反射滤波器4。该反射滤波器4最好由电介质多层膜滤光片组成，其构成应能够以一定的反射率反射经由光波导线路2n的规定波长(规定的波长带宽内)的信号光的一部分。
进而，构成该反射滤波器4的电介质多层膜滤光片应能够补偿反射信号光时的各正交偏振波之间的反射率之差，并以各偏振波状态的信号光成分大致相等的反射率进行反射。对应这样的各偏振波状态的信号光成分的反射率的设定，可利用如构成电介质多层膜滤光片的各层的电介质材料或其组合、各层的膜厚等进行。
包含反射滤波器4的槽3的内侧被填充树脂5所封止。这里，本实施形态的填充树脂5由封止槽3的内侧的内部填充树脂部51和封止包含槽3的上侧的、光平面波导线路型回路1的上面的规定范围的上部填充树脂部52组成。这些内部填充树脂部51和上部填充树脂部52使用同一树脂材料整体地形成。
在填充树脂5的上部填充树脂部52以及子装配基板7的上面侧，设置了具有分别对应光波导线路2n的光检测器6n(n＝1～8)的光检测器阵列6。光检测器阵列6配置为可以使被反射滤波器4反射的经由光波导线路2n的信号光的一部分反射光分别入射到对应的光检测器6n的感光面。这里，作为光检测器6n，根据反射光的入射方向，最好使用背面入射型的光电二极管等。
在以上的构成中，如果经由光波导线路2n而来的信号光经由上流侧端面31出射到槽3内的内部填充树脂部51中，则信号光的一部分根据相对于光轴倾斜的反射滤波器4，以对各偏振波状态相等地进行过偏振波补偿的规定的反射率，反射到光平面波导线路型回路1的斜上方。此外，其以外的信号光成分将透过内部填充树脂部51以及反射滤波器4，并经由下流侧端面32再次入射到光波导线路2n。
另一方面，被反射滤波器4反射的反射光经由内部填充树脂部51、光波导线路2n、以及上部填充树脂部52入射到光检测器6n。进而，可以根据由光检测器6n检测出的反射光的光强监测经由光波导线路2n的信号光的光强。
在本实施形态的光波导线路组件中，不是利用光耦合器等光学构件分支光波导线路本身，而是在横切各光波导线路2n地设置的斜槽3使信号光的一部分反射来用于光强的监测。由此，可以简化在可监测光强的光波导线路组件中的光回路的构成。此外，由于不需要多余的光学零件的设置或各光波导线路的熔接等，故同样地也可以简化其制造工序。
此外，不是利用槽3的端面31、32进行信号光的反射，而是利用实现了使各正交偏振波之间的反射率大致相等的偏振波补偿的反射滤波器反射信号光的一部分。此时，由于利用反射滤波器4的信号光的反射率与经由光波导线路2n的信号光的偏振波状态无关地近似为恒定，故可以利用由光检测器6n检测出来的反射光的光强，实现与信号光的偏振波状态无关地准确地监测光强。
此外，利用填充树脂5封止了包含反射滤波器4的槽3的内侧。此时，由于槽3的端面31、32或反射滤波器4等可以不接触外气，故可以防止因它们的污染所造成的长期的动作稳定性的劣化。
另外，相对于从反射滤波器4到光检测器61～68的反射光路，在各自的反射光路之间设置了隔离诸反射光路的光隔离件。由此，可以切实地防止相邻信道之间的串光的发生。
这里，相对于槽3以及反射滤波器4的垂直轴的倾斜角度θ最好在0°＜θ≤40°的角度范围内。
图3所示是改变相对于传送信号光的光轴的反射面的倾斜时的偏振波依存损失(PDLpolarization dependent loss)的变化。如该图表所示的那样，利用通常的反射面的反射特性在相对于垂直轴的倾斜角度θ为0°时(信号光反射到相反方向时)，无偏振波依存性地PDL＝0。进而，随着倾斜角度θ的变大，反射率的偏振波依存性增大，如果θ超过40°，则PDL的值将急剧地增大。
这样，如果θ变大使PDL增大，则由反射滤波器4造成的反射率之差的偏振波补偿将变得困难。即，由于在倾斜角度θ大的构成中，PDL的值大，且因θ而急剧地变化，故在用于补偿反射率之差的电介质多层膜滤光片中，被各层材质的折射率或膜厚等所要求的数值条件将变得非常的严格。因此，实用上，可充分地补偿反射率之差地设计并作成反射滤波器4的电介质多层膜滤光片非常困难。与此相反，如果将倾斜角度θ设置在0°＜θ≤40°的角度范围内，则可以以足够的精度实现反射滤波器4的反射率之差的补偿。
此外，关于填充树脂5，最好使用具有和光波导线路2n大致同一折射率(例如误差在1％以内)的树脂材料。
通过对内部填充树脂部51使用具有和芯线20大致同一折射率的树脂材料，可以抑制从光波导线路2n向内部填充树脂部51出射信号光时(参照图2中的点P1)的多余的反射。此外，还可以抑制被反射滤波器4反射的反射光从内部填充树脂部51入射到光波导线路2n时(参照点P2)的多余的反射。
另外，通过对上部填充树脂部52使用具有和芯线20大致同一折射率的树脂材料，可以抑制被反射滤波器4反射的反射光从光波导线路2n入射到上部填充树脂部52时(参照点P3)的多余的反射。
在这些光波导线路2n、内部填充树脂部51、以及上部填充树脂部52的各界面产生了多余的反射时，它们的反射特性对应各自的反射角度具有偏振波依存性。因此，如果不整合它们的各部分之间的折射率地产生反射，则不管用反射滤波器4进行反射率之差的偏振波补偿如何，被光检测器6n检测出的反射光的光强将依存于信号光的偏振波状态。与之相对应，如果进行折射率整合并对各界面的多余的反射进行抑制，则可以切实地实现与信号光的偏振波状态无关的准确的光强的监测。
因此，如本实施形态这样，在使用内部填充树脂部51的基础上又设置了上部填充树脂部52时，对于这些填充树脂51、52，最好使用具有折射率大致相互同一的树脂材料。由此，在可以抑制内部填充树脂部51的界面的信号光(反射光)的多余的反射的同时，还可以同样地抑制上部填充树脂部52的界面的信号光(反射光)的多余的反射。
进而，也可以使用同一树脂材料整体地形成填充树脂部51、52。由此，可以简化填充树脂的工序。这里，通常的芯线20和上部包层21的折射率之差对于该反射问题而言是可以忽略的大小。
此外，在被反射滤波器4反射的反射光从上部填充树脂部52入射到光检测器6n时(参照点P4)的多余的反射构成问题时，最好在填充树脂5和光检测器6n的界面设置防反射敷层。由此，可以抑制来自反射滤波器4的反射光入射到光检测器6n时产生的多余的反射，可以和上述的光波导线路2n、内部填充树脂部51、以及上部填充树脂部52的各界面的多余的反射同样地，切实地实现与信号光的偏振波状态无关的准确的光强的监测。
另外，关于光检测器6n以及光检测器阵列6的构成，如图1所示的那样，最好将各光检测器6n的感光面形成为以光波导线路2n的光轴方向为长轴、光波导线路2n的排列方向为短轴的近似椭圆形状。
图4A～图4D所示是用于对被反射滤波器4反射的反射光所形成的反射光点的形状以及光检测器6n的感光面形状进行说明的原理图。经由光波导线路2n而来的信号光具有因芯线20的形状等造成的略成圆形的信号光点。因此，该信号光被倾斜的反射滤波器4反射的反射光(参照图4A的侧面图)如在图4B的平面图中用虚线示出的那样，在光检测器6n的感光面形成椭圆形状的反射光点。
与之对应，如图4B用实线所示的那样，如果使光检测器6n的感光面形成为包含该反射光点的沿反射光点的椭圆形状的近似椭圆形状，则可以以足够的感光效率进行反射光的检测。这里，虽然也可以使用透镜等会聚椭圆形状的反射光并使之入射到光检测器，但该情况下，会因光学元件的数量增加而导致高成本。与之相反，如果使光检测器6n的感光面形状重合反射光点并做成近似椭圆形状，则可以简化光波导线路组件的构成，同时还可以实现低成本。
这里，如果如图4C用实线C所示的那样做成圆形状的感光面形状，虽然反射光的感光效率与近似椭圆形状的情况相比没有变化，但与对应图4C中的上下方向的光检测器的排列方向(参照图1的61～68)相对应的感光面的宽度变大。因此，在光检测器阵列中，将不能以小的排列间隙高密度地集积光检测器，使光回路大面积化，且高成本。
与之相反，如果做成近似椭圆形状的感光面形状，则可极力减小光检测器的排列间隙，高效率地构成光回路。
此外，如果如图4D用实线D所示的那样，做成长方形状的感光面形状，则可实现以和近似椭圆形状的情况同样的排列间隙的光检测器的集积。但是，在该构成中，在感光面的对角线方向产生了不能用于反射光的感光的不必要的感光面部分。因为这样的感光面部分对光检测信号成了噪声源，所以，成了劣化S/N比、或减小有效动态范围等降低反射光检测的效率的原因。这样的问题在上述的圆形的感光面形状时也是一样的。
与之相对应，如果做成近似椭圆形状的感光面形状，则可以降低来自不必要的感光面部分的噪声等的产生，提高光强监测的效率。不过，也可以对应每个光波导线路组件所要求的排列间隙或检测效率等，使用圆形或长方形状的感光面形状。
下面对根据上述的实施形态的光波导线路组件的具体实施例进行说明。
首先，对第1实施例进行说明。在该实施例中，以θ＝30°的倾斜角度以及相对于光轴方向的宽度w＝25μm形成了槽3。此外，作为插入在槽3的内侧的反射滤波器4，使用了信号光反射率为10％、厚度11μm的偏振波补偿滤波器。另外，作为填充树脂5，对内部填充树脂部51以及上部填充树脂部52使用了同样的树脂材料。作为所使用的树脂材料的折射率整合粘合剂的折射率，在波长为1.51μm～1.61μm的带宽内为n＝1.47。作为光检测器6n，使用的是具有长轴方向的直径为0.3mm，短轴方向的直径为0.15mm的椭圆形状的感光面形状的InGaAs-PIN型光电二极管。该光电二极管单体的感光灵敏度为1.1A/W。
使用由以上构成组成的光波导线路组件进行了信号光的光强的监测，确认了反射滤波器4的反射率的偏振波依存性为S偏振波10％，P偏振波10.3％，偏振波依存损失PDL为0.1dB，可谓足够地小，可以在充分地降低了对信号光的偏振波状态的依存性的状态下进行光强的监测。
此外，对应入射的信号光的感光灵敏度大约是0.1A/W。这显示出由反射滤波器4以10％的反射率反射的信号光成分的光强被光检测器6n以接近于100％的效率检测了出来。此外，槽3以及反射滤波器4的对光波导线路2n的插入损失，其综合由反射滤波器4造成的信号光的反射、以及由槽3内侧的信号光的衍射等造成的损失后，大约是1.0dB。
下面，对第2实施例进行说明。在该实施例中，以θ＝10°的倾斜角度以及相对光轴方向的宽度w＝25μm形成了槽3。此外，作为插入在槽3的内侧的反射滤波器4，使用了信号光反射率为10％、厚度11μm的偏振波补偿滤波器。作为填充树脂5，对内部填充树脂部51以及上部填充树脂部52使用了同样的树脂材料。作为所使用的树脂材料的折射率整合粘合剂的折射率，在波长为1.51μm～1.61μm的带宽内是n＝1.47。作为光检测器6n，使用的是具有长轴方向的直径为0.3mm，短轴方向的直径为0.15mm的椭圆形状的感光面形状的光电二极管。该光电二极管单体的感光灵敏度为1.1A/W。
此外，在本实施例中，为了防止在反射光入射到光检测器6n时产生的多余的反射，在上部填充树脂部52和光检测器6n的界面设置了防反射敷层。
使用由以上构成组成的光波导线路组件进行了信号光的光强的监测，确认了反射滤波器4的反射率的偏振波依存性为S偏振波9.7％，P偏振波10％，偏振波依存损失PDL为0.1dB，可谓足够地小，可以在充分地降低了对信号光的偏振波状态的依存性的状态下进行光强的监测。
此外，对入射的信号光的感光灵敏度大约是0.1A/W。这显示出由反射滤波器4以10％的反射率反射的信号光成分的光强被光检测器6n以接近于100％的效率检测了出来。另外，槽3以及反射滤波器4的对光波导线路2n的插入损失，其综合由反射滤波器4造成的信号光的反射、以及槽3内侧的信号光的衍射等造成的损失后，大约是1.0dB。
从以上的第1、第2实施例可知，利用具有上述构成的光波导线路组件，实现了可以与信号光的偏振波状态无关地、准确地监测光强的光波导线路组件。
下面对根据本发明的光波导线路组件的实施形态做进一步说明。
图5所示是光波导线路组件第2实施形态的构成的平面图。该光波导线路组件与第1实施形态一样，具有由基板10、以及形成于该基板10上的平面波导线路型的8条(8信道)光波导线路21～28构成的光平面波导线路型回路1。
各个光波导线路21～28沿规定的光传输方向(图5中的箭头方向)从光平面波导线路型回路1的输入端11朝向输出端12，相互平行且等间隔地形成。此外，在对应光平面波导线路型回路1的光传输方向的规定部位上，设置有横切光波导线路21～28的槽3。
该槽3其内侧设置有用于反射经由各光波导线路21～28的一部分信号光的反射滤波器4，同时，被填充树脂5封止住。此外，在较槽3更上流侧的位置，在光平面波导线路型回路1的上方，设置了具有分别对应光波导线路21～28的8个光检测器611～618的光检测器阵列60。此外，在图5中，对光检测器611～618用虚线给出了各自的感光面的形状。
在本实施形态中，相对于分别经由8信道的光波导线路21～28的一部分信号光被反射滤波器4反射到对应的光检测器611～618的8个反射光路，分别在8个反射光路之间设置了用于隔离反射光路彼此的光隔离件(没有图示)。
光隔离件是用于抑制相邻信道之间发生串光的构件。作为该光隔离件，例如，可以使用设置在光平面波导线路型回路1内或者填充树脂5内的光屏蔽材料，或设置在光波导线路21～28的波导路芯线之间的槽等。关于光隔离件的具体构成将在第3～第5实施形态中描述。
图6是沿光波导线路2n(n＝1～8)的光轴方向给出的图5所示的光波导线路组件断面构造的断面图。这里，在该图6中，放大给出了包含槽3、反射滤波器4以及光检测器阵列60的部分。此外，在图6所示的构成中，关于包含由下部包层22、芯线20、上部包层21构成的光波导线路2n的光平面波导线路型回路1、槽3、以及反射滤波器4，与图2所示的构成相同。
包含反射滤波器4的槽3的内侧被填充树脂5封止住。这里，本实施形态中的填充树脂5只由封止槽3的内侧的内部填充树脂部51构成。
在光平面波导线路型回路1的上部包层21的上面侧，设置着具有分别对应光波导线路2n的光检测器61n(n＝1～8)的光检测器阵列60。光检测器阵列60配置为可以使被反射滤波器4反射的经由光波导线路2n的信号光的一部分反射光分别入射到对应的光检测器61n的感光面。这里，作为光检测器61n，根据反射光的入射方向，最好使用背面入射型的光电二极管等。此外，也可以在光检测器61n和光波导线路2n的上部包层21的界面上设置防反射敷层。
在以上的构成中，如果经由光波导线路2n而来的信号光经由上流侧端面31出射到槽3内的内部填充树脂部51，则信号光的一部分根据相对于光轴被倾斜的反射滤波器4，以对各偏振波状态相等地进行过偏振波补偿的规定的反射率，反射到光平面波导线路型回路1的斜上方。此外，其以外的信号光成分将透过内部填充树脂部51以及反射滤波器4，并经由下流侧端面32再次入射到光波导线路2n。
另一方面，被反射滤波器4反射的反射光经由内部填充树脂部51、光波导线路2n入射到光检测器61n。并且，可以根据由光检测器61n检测出的反射光的光强，监测经由光波导线路2n的信号光的光强。
在本实施形态的光波导线路组件中，与第1实施形态同样地，横切各光波导线路2n地设置的倾斜的槽3使信号光的一部分反射并用于光强的监测。由此，可以简化在可监测光强的光波导线路组件的光回路的构成。此外，由于不需要多余的光学零件的设置或各光波导线路的熔接等，故也可以同样地简化其制造工序。
此外，因为利用实现了使各正交偏振波之间的反射率大致相等的偏振波补偿的反射滤波器4来反射信号光的一部分，故可以利用由光检测器61n检测出来的反射光的光强，达成与信号光的偏振波状态无关地准确地监测光强。另外，由于利用填充树脂5封止了包含反射滤波器4的槽3的内侧，故槽3的端面31、32或反射滤波器4等可以不再接触外气，可以防止由它们的污染所造成的长期的动作稳定性的劣化。
再有，相对于从反射滤波器4到光检测器611～618的反射光路，在各自的反射光路之间设置了隔离反射光路彼此的光隔离件。由此，可以切实地防止相邻信道之间的串光的发生。
这里，如上述的第1、第2实施形态那样，光平面波导线路型回路1具有N条(N为复数，在上述实施形态中N＝8)的光波导线路，在监测经由各自的光波导线路的信号光的光强时，对应各个光波导线路地设置了N个光检测器。并且，通过被反射滤波器反射的N信道的信号光经由各自规定的反射光路并由对应的光检测器进行检测，可以监测各自的信号光的光强。
此时，被反射滤波器反射的来自光波导线路的信号光在被对应的光检测器检测出来的同时，因在器件的各处产生的光的散射、反射、被传送的光的扩散等，造成其一部分入射到相邻的其他信道的光检测器并被检测出来的串光的问题。如果这样，在相邻信道之间产生串光，则将不能准确地监测各个信道的信号光的光强。
可以认为产生这样的信道之间的串光的原因有若干个。例如，在图2或图6所示的构成中，可以认为在光平面波导线路型回路1的各部分和填充树脂5的界面的漫反射、或因上部包层21的上面等的缺陷导致的散射、由基板10和下部包层22的界面的漫反射等造成的反射光或散射光是发生串光的主要原因。
此外，经由光波导线路的信号光主要是在芯线内传输，但信号光的一部分也会扩散传输到芯线附近的上部、下部包层内。此时，如果信号光传输到包层的扩散过大，则从反射滤波器到光检测器的反射光路过度地扩散，或在光波导线路内等产生不需要的散射光等都是产生串光的原因。
这样的信号光的向包层的扩散，也会如因连接在光平面波导线路型回路的输入端的信号光输入用光纤的、对光波导线路的不重合等而引起。即，如果光纤连接到偏离了光波导线路芯线的位置，则输入的信号光将在不具备波导构造的包层内等传输。
对于这样的信道间的串光问题，在不设置子装配基板等而在光平面波导线路型回路1的上面侧直接设置了光检测器阵列60的第2实施形态中，如图6所示的那样，从反射滤波器4到光检测器61n的反射光路变短，可以降低反射光的扩散。此外，也可以降低填充树脂5或光波导线路2n的内部或者界面的漫反射或散射的影响。因此，可以抑制信道间的串光的发生。
此外，在第1、第2实施形态的任意一种实施形态中，相对于经由光波导线路2n的信号光，在防止发生串光方面加大对芯线20内的信号光的光封闭效果比较理想。具体地讲，就是最好加大芯线20和包层21、22的折射率差Δn。由此，可以减小传输在芯线20内的信号光的向包层21、22的扩散。此外，对于因光纤的不重合等渗透到包层的信号光成分，因芯线的高折射率，而也可以得到将光封闭到芯线内部的效果。
作为例子，在图6所示的构成中，对芯线20和包层21、22的折射率之差Δn＝0.3％，芯线尺寸为8.5μm的光波导线路，在自芯线偏移2μm的位置以不重合的状态连接了光纤，使串光劣化到了-22dB。与之对应，将折射率之差Δn从0.3％加大到0.45％，结果使串光改善到＜-25dB的水平。
在此，对这样地加大芯线、包层间的折射率之差Δn时的光平面波导线路型回路的制造方法进行说明。例如，通过火炎堆积法(FHD法Flame Hydrolysis Deposition Method)堆积、烧结分别添加了规定添加物的SiO2(石英)玻璃细粉末而形成芯线以及上部包层(外包层)。
具体地讲，例如，芯线使用添加Ge的SiO2玻璃，上部包层使用添加B/P的SiO2玻璃。Ge、B、P以及SiO2通过分别在氢氧燃烧室中加水分解GeCl4、BCl3、POCl3、以及SiCl4可得到烟灰状细粉末。并且，可以通过调整对芯线的Ge的添加量、对上部包层的B、P的添加量来调整折射率差Δn。
例如，在对芯线的Ge的添加量典型值，在Δn＝0.3％时，Ge浓度＝3.2wt％的程度，在Δn＝0.45％时，则Ge浓度＝4.6wt％的程度。此外，虽然对上部包层的B、P的添加量由其施加烟灰条件等确定，但可以平衡使折射率增加的P的添加量和使折射率下降的B的添加量地进行调整，以使之恰好达到与纯SiO2玻璃等同的折射率。利用以上方法，可以得到芯线和上部包层的折射率差Δn为0.3％、0.45％的光波导线路。
对于上述的信道间的串光问题，除了加大对芯线的光封闭效果外，如在第1、第2实施形态中概略地叙述过的那样，在光路间设置光隔离件也很有效果。即，通过在相邻的反射光路间设置光隔离件，可以极力防止相邻信道间的串光的发生。由此，可以对经由各自的光波导线路的N信道的信号光，更准确地监测各个信道的信号光的光强。
图7所示是光波导线路组件第3实施形态的构成的平面图。与第1实施形态同样地，该光波导线路组件具有由基板10、以及形成于该基板10上的平面波导线路型的8条(8信道)的光波导线路21～28构成的光平面波导线路型回路1。
各个光波导线路21～28沿规定的光传输方向(图7中的箭头方向)从光平面波导线路型回路1的输入端11朝向输出端12，相互平行且等间隔地形成。此外，在对应光平面波导线路型回路1的光传输方向的规定部位上，设置有横切光波导线路21～28的槽3。
该槽3其内侧设置有用于反射各光波导线路21～28的一部分信号光的反射滤波器4，同时，通过填充树脂5封止住。此外，在较槽3更上流侧的位置，在光平面波导线路型回路1的上方，设置了具有分别对应光波导线路21～28的8个光检测器631～638的光检测器阵列62。
此外，在图7中，在除去了光检测器阵列62的状态下给出光平面波导线路型回路1等的同时，为了示出与各部分的光检测器阵列62的位置关系，还用单点划线图示出光检测器阵列62以及光检测器631～638。
在本实施形态中，相对于分别经由8信道的光波导线路21～28的一部分信号光被反射滤波器4反射到对应的光检测器631～638的8个反射光路，在8个反射光路各自之间形成的光平面波导线路型回路1内设置了用于隔离反射光路彼此的光隔离件。该光隔离件是用于抑制相邻信道之间发生串光的构件。
具体地，在本实施形态中，在光平面波导线路型回路1内，分别在8条光波导线路21～28之间设置了光遮蔽层25，以遮蔽反射光路通过向相邻的反射光路的光。
即在光波导线路21和22之间、光波导线路22和23之间、光波导线路23和24之间、光波导线路24和25之间、光波导线路25和26之间、光波导线路26和27之间以及光波导线路27和28之间，分别设置了光遮蔽层251、252、253、254、255、256以及257。
这里，该第3实施形态的光波导线路组件的构成除了设置在光平面波导线路型回路1上的上述光遮蔽层251～257之外，其他与图5以及图6所示的第2实施形态相同。
图8所示是沿垂直于光波导线路2n(n＝1～8)的光轴的方向给出的图7所示的光波导线路组件断面构造的I-I箭头断面图。这里，在该图8中，在放大了包含光波导线路23～25、光遮蔽层252～255以及光检测器633～635的部分的同时，还分别示出光检测器633～635的各自中心位置的断面(参照图6用虚线示出的断面位置B)。
如图8所示的那样，光平面波导线路型回路1由形成于基板10上的下部包层22、对应于相互平行且等间隔地形成于下部包层22上的光波导线路21～28的8条芯线20、和覆盖8条芯线20(光波导线路21～28)整体地形成的上部包层21构成。此外，在上部包层21的上方设置有包含光检测器631～638的光检测器阵列62。
并且，在本实施形态中，分别以规定的宽度x1除去位于光波导线路21～28间的上部包层21，同时，在除去了上部包层21的部位设置了遮蔽光的光遮蔽层251～257。如图7所示的那样，这些光遮蔽层251～257横跨槽3并遍及规定的长度L1的范围形成。
在以上的构成中，如果注意经由光波导线路24的第4信道的信号光的话，可以看到，如果经由光波导线路24而来的信号光经由上流侧端面31出射到槽3内的内部填充树脂部51内(参照图6)，则相对于光轴，信号光的一部分通过被倾斜的反射滤波器4，以对各偏振波状态相等地进行了偏振波补偿的规定的反射率，反射到光平面波导型回路1的斜上方。此外，其以外的信号光成分透过内部填充树脂部51以及反射滤波器4，经由下流侧端面32再次入射到光波导线路24。
另一方面，被反射滤波器4反射的反射光经由内部填充树脂部51以及光波导线路24入射到光检测器634。并且，可根据由光检测器634检测出反射光的光强，监测经由光波导线路24的第4信道的信号光的光强。
此外，从光波导线路24看，在光波导线路23以及光检测器633侧的上部包层21内，设置有光遮蔽层253。利用该光遮蔽层253可以遮蔽经由光波导线路24的信号光中因光的散射、反射、所传送的光的扩散等而传输到相邻的光检测器633的光，防止第3、第4信道间的串光的发生。
另外，从光波导线路24看，在光波导线路25以及光检测器635侧的上部包层21内，设置有光遮蔽层254。利用该光遮蔽层254可以遮蔽经由光波导线路24的信号光中因光的散射、反射、所传送的光的扩散等而传输到相邻的光检测器635的光，防止第4、第5信道间的串光的发生。
在本实施形态中，相对于从反射滤波器4到光检测器631～638的反射光路，在光平面波导型回路1内，作为隔离反射光路彼此的光隔离件设置有光遮蔽层251～257。由此，可如上述这样，切实地防止相邻信道间的串光的发生。
作为设置在光平面波导型回路1内的光遮蔽层251～257，最好使用具有通过吸收、反射、或者散射信号光波长的光等从而遮蔽光的这样效果的光遮蔽材料。具体地，例如可以使用高浓度地添加了Ge(锗)等具有光吸收效果的添加物的玻璃等作为光遮蔽材料。
此外，作为光遮蔽层251～257的形成方法，例如，有如图7以及图8所示那样，在8条光波导线路21～28间横跨槽3，与光波导线路大致平行地分别形成宽度为x1、长度为l1的7条槽并用光遮蔽材料填充该槽的内侧的方法。另外，关于各光遮蔽层251～257的宽度x1、长度l1，其设定最好不使反射滤波器4到光检测器63n的反射光路过度狭窄，且又可充分地确保相邻的信道间的光的遮蔽效果。或者，也可以采用对从光平面波导型回路1的输入端11到输出端12的整体都设置光遮蔽层的构成。
作为例子，对串光劣化到-22dB的状态，通过如上述这样地在光平面波导型回路的上部包层内设置光遮蔽层，串光被改善到＜-30dB的水平。此外，由于在光遮蔽层的内部没有填充物质时也能够某种程度地抑制散射光的波导，故也可以获得改善串光的效果，如可以从-22dB改善到-28dB。
图9所示是光波导线路组件第4实施形态的构成的平面图。与第1实施形态同样地，该光波导线路组件具有由基板10、以及形成于该基板10上的平面波导线路型的8条(8信道)光波导线路21～28构成的光平面波导线路型回路1。
各个光波导线路21～28沿规定的光传输方向(图9中的箭头方向)从光平面波导线路型回路1的输入端11朝向输出端12，相互平行且等间隔地形成。此外，在对应光平面波导线路型回路1的光传输方向的规定部位上，设置有横切光波导线路21～28的槽3。
该槽3其内侧设置有用于反射各光波导线路21～28的一部分信号光的反射滤波器4，同时，由填充树脂5封止住。此外，在较槽3更上流侧的位置，在光平面波导线路型回路1的上方，在设置了子装配基板70的同时，还在填充树脂5以及子装配基板70的上方设置了具有分别对应光波导线路21～28的8个光检测器651～658的光检测器阵列64。
这里，在图9中，在除去了光检测器阵列64的状态下给出光平面波导线路型回路1以及子装配基板70的同时，为了示出与各部分的光检测器阵列64的位置关系，还用单点划线图示出光检测器阵列64以及光检测器651～658。此外，子装配基板70作为用于载置光检测器阵列64的载置构件(装配构件)，同时在其上面还如图9中原理地示出的那样，形成有用于读出来自光检测器651～658光检测信号的配线或电极等。
在本实施形态中，相对于分别经由8信道的光波导线路21～28的一部分信号光被反射滤波器4反射到对应的光检测器651～658的8个反射光路，在8个反射光路各自之间的填充树脂5内设置了用于隔离反射光路彼此的光隔离件。该光隔离件是用于抑制相邻信道之间发生串光的构件。
具体地，在本实施形态中，填充树脂5加在槽3的内侧，填充成可以封止包含槽的上侧的光平面波导线路型回路1上面的规定范围。并且，相对于封止光平面波导线路型回路1上面的上部填充树脂部，在位于其上流侧的子装配基板70上，梳状地突出到上部填充树脂部内地设置了光遮蔽部711～717。
即，如果对应位于光平面波导线路型回路1内的光波导线路21～28来看，在光波导线路21和22之间、光波导线路22和23之间、光波导线路23和24之间、光波导线路24和25之间、光波导线路25和26之间、光波导线路26和27之间以及光波导线路27和28之间，分别设置了光遮蔽部711、712、713、714、715、716以及717。
这里，该第3实施形态的光波导线路组件的构成除了设置在子装配基板70上的上述光遮蔽部711～717之外，其他与图1以及图2所示的第1实施形态相同。
图10所示是沿垂直于光波导线路2n(n＝1～8)的光轴的方向给出图9所示的光波导线路组件断面构造的II-II箭头断面图。这里，在该图10中，在放大了包含光波导线路23～25、光遮蔽部层712～715以及光检测器653～655的部分的同时，还分别示出光检测器653～655的各自中心位置的断面(参照图2用虚线示出的断面位置A)。
如图10所示的那样，光平面波导线路型回路1由形成于基板10上的下部包层22、对应相互平行且等间隔地形成于下部包层22上的光波导线路21～28的8条芯线20、和覆盖8条芯线20(光波导线路21～28)全体地形成的上部包层21构成。
在上部包层21的上面侧，设置有在填充树脂5中作为封止光平面波导线路型回路1的上面的规定范围的部分的上部填充树脂部52(参照图2)。该上部填充树脂部52为与子装配基板70大致同一的高度。此外，在上部填充树脂部52以及子装配基板70的上方，设置了包含光检测器651～658的光检测器阵列64。但光检测器阵列64中光检测器651～658的下方部分为可通过来自反射滤波器4的光的上部填充树脂部52。
并且，在本实施形态中，相对于相当于光波导线路21～28之间(光检测器651～658之间)的位置的上部填充树脂部52，在连接子装配基板70的上部填充树脂部52的端面上，设置了分别以规定的宽度x2形成的梳状的光遮蔽部711～717。光遮蔽部711～717为分别突出到位于子装配基板70的下流测的上部填充树脂部52内的构造。此外，如图9所示那样地，这些光遮蔽部711～717遍及规定的长度l2的范围形成。
在以上的构成中，如果注意经由光波导线路24的第4信道的信号光的话，可以看到，如果经由光波导线路24而来的信号光经由上流侧端面31出射到槽3内的内部填充树脂部51内(参照图2)，则相对于光轴，信号光的一部分通过被倾斜的反射滤波器4，以对各偏振波状态相等地进行过偏振波补偿的规定的反射率，反射到光平面波导型回路1的斜上方。此外，其以外的信号光成分将透过内部填充树脂部51以及反射滤波器4，经由下流侧端面32再次入射到光波导线路24。
另一方面，被反射滤波器4反射的反射光经由内部填充树脂部51、光波导线路24以及上部填充树脂部52入射到光检测器654。进而，可根据由光检测器654检测出反射光的光强，监测经由光波导线路24的第4信道的信号光的光强。
此外，从光波导线路24看，在光波导线路23以及光检测器653侧的上部填充树脂部52内，设置有光遮蔽部713。利用该光遮蔽部713可以遮蔽经由光波导线路24的信号光中因光的散射、反射、所传送的光的扩散等而传输到相邻的光检测器653的光，防止第3、第4信道间的串光的发生。
另外，从光波导线路24看，在光波导线路25以及光检测器655侧的上部填充树脂部52内，设置有光遮蔽部714。利用该光遮蔽部714可以遮蔽经由光波导线路24的信号光中因光的散射、反射、所传送的光的扩散等而传输到相邻的光检测器655的光，防止第4、第5信道间的串光的发生。
在本实施形态中，相对于反射滤波器4到光检测器651～658的反射光路，在填充树脂5的上部填充树脂部52内，作为隔离反射光路彼此的光隔离件设置有光遮蔽部711～717。由此，可如上述这样，切实地防止相邻信道间的串光的发生。
作为突出到填充树脂5内地设置在子装配基板70上的光遮蔽部711～717，最好使用具有通过吸收、反射、或者散射信号光波长的光从而遮蔽的光的这样效果的光遮蔽材料。具体地，如可以使用氧化铝等来作为光遮蔽材料。
在如上述这样与子装配基板70整体地形成光遮蔽部711～717时，例如，可用光遮蔽材料形成子装配基板70本身。此外，关于光遮蔽部711～717各自的宽度x2、长度l2，其设定最好不使反射滤波器4到光检测器65n的反射光路过度狭窄，且又可充分地确保相邻的信道间的光的遮蔽效果。
作为例子，对串光劣化到-22dB的状态，通过如上述这样在填充树脂的上部填充树脂部内设置光遮蔽部，可使串光改善到＜-23dB的水平。
图11所示是光波导线路组件第5实施形态的构成的平面图。与第1实施形态同样地，该光波导线路组件具有由基板10、以及形成于该基板10上的平面波导线路型的8条(8信道)光波导线路21～28构成的光平面波导线路型回路1。
各个光波导线路21～28沿规定的光传输方向(图11中的箭头方向)从光平面波导线路型回路1的输入端11朝向输出端12，相互平行且等间隔地形成。此外，在对应光平面波导线路型回路1的光传输方向的规定部位上，设置有横切光波导线路21～28的槽3。
该槽3其内侧设置有用于反射经由各光波导线路21～28的一部分信号光的反射滤波器4，同时，由填充树脂5封止住。此外，在较槽3更上流侧的位置，在光平面波导线路型回路1的上方，在设置了子装配基板72的同时，还在填充树脂5以及子装配基板72的上方设置了具有分别对应光波导线路21～28的8个光检测器671～678的光检测器阵列66。
这里，在图11中，在除去了光检测器阵列66的状态下给出光平面波导线路型回路1以及子装配基板72的同时，为了示出与各部分的光检测器阵列66的位置关系，还用单点划线图示出光检测器阵列66以及光检测器671～678。此外，子装配基板72作为用于载置光检测器阵列66的载置构件(装配构件)，同时在其上面还如图11中原理地示出的那样，形成有用于读出来自光检测器671～678的光检测信号的配线或电极等。
在本实施形态中，相对于分别经由8信道的光波导线路21～28的一部分信号光被反射滤波器4反射到对应的光检测器671～678的8个反射光路，在8个反射光路各自之间的光平面波导线路型回路1内设置了用于隔离反射光路彼此的光隔离件。该光隔离件是用于抑制相邻信道之间发生串光的构件。
具体地，在本实施形态中，在光平面波导线路型回路1内，分别在8条光波导线路21～28之间设置了光遮蔽层26，以遮蔽反射光路通向相邻的反射光路的光。
即，在光波导线路21和22之间、光波导线路22和23之间、光波导线路23和24之间、光波导线路24和25之间、光波导线路25和26之间、光波导线路26和27之间以及光波导线路27和28之间，分别设置了光遮蔽层261、262、263、264、265、266以及267。
这里，该第5实施形态的光波导线路组件的构成除了设置在光平面波导线路型回路1上的上述光遮蔽层261～267之外，其他与图1以及图2所示的第1实施形态相同。
图12所示是沿垂直于光波导线路2n(n＝1～8)的光轴的方向给出图11所示的光波导线路组件断面构造的III-III箭头断面图。这里，在该图12中，在放大了包含光波导线路23～25、光遮蔽层262～265以及光检测器673～675的部分的同时，还分别示出光检测器673～675的各自中心位置的断面(参照图2用虚线示出的断面位置A)。
如图12所示的那样，光平面波导线路型回路1由形成于基板10上的下部包层22、对应于相互平行且等间隔地形成于下部包层22上的光波导线路21～28的8条芯线20、和覆盖8条芯线20(光波导线路21～28)整体地形成的上部包层21构成。
在上部包层21的上面侧，设置有在填充树脂5中作为封止光平面波导线路型回路1的上面的规定范围的部分的上部填充树脂部52(参照图2)。该上部填充树脂部52为与子装配基板72大致同一的高度。此外，在上部填充树脂部52以及子装配基板72的上方，设置有包含光检测器671～678的光检测器阵列66。但光检测器阵列66中光检测器671～678的下方部分为可通过来自反射滤波器4的光的上部填充树脂部52。
并且，在本实施形态中，在分别以规定的宽度x3去除了位于光波导线路21～28之间的上部包层21的同时，还在去除了上部包层21的部位设置了光遮蔽层261～267。如图11所示那样，这些光遮蔽层261～267横跨槽3并遍及规定的长度13的范围形成。
在以上的构成中，如果注意经由光波导线路24的第4信道的信号光的话，则可以看到，如果经由光波导线路24而来的信号光经由上流侧端面31出射到槽3内的内部填充树脂部51内(参照图2)，则相对于光轴，信号光的一部分通过被倾斜的反射滤波器4，以对各偏振波状态相等地进行过偏振波补偿的规定的反射率，反射到光平面波导型回路1的斜上方。此外，其以外的信号光成分透过内部填充树脂部51以及反射滤波器4，经由下流侧端面32再次入射到光波导线路24。
另一方面，被反射滤波器4反射的反射光经由内部填充树脂部51、光波导线路24以及上部填充树脂部52入射到光检测器674。进而，可根据光检测器674检测出的反射光的光强，监测经由光波导线路24的第4信道的信号光的光强。
此外，从光波导线路24看，在光波导线路23以及光检测器673侧的上部包层21内，设置有光遮蔽层263。利用该光遮蔽层263可以遮蔽经由光波导线路24的信号光中因光的散射、反射、所传送的光的扩散等而传输到相邻的光检测器673的光，防止第3、第4信道间的串光的发生。
另外，从光波导线路24看，在光波导线路25以及光检测器675侧的上部包层21内，设置有光遮蔽层264。利用该光遮蔽层264可以遮蔽经由光波导线路24的信号光中因光的散射、反射、所传送的光的扩散等而传输到相邻的光检测器675的光，防止第4、第5信道间的串光的发生。
在本实施形态中，与图7以及图8所示的第3实施形态的光遮蔽层251～257同样地，相对于反射滤波器4到光检测器671～678的反射光路，在光平面波导型回路1内，作为隔离反射光路彼此的光隔离件设置有光遮蔽层261～267。由此，可如上述这样，切实地防止相邻信道间的串光的发生。
此外，如果这样采用在光波导线路21～28的上部包层21和光检测器阵列66之间填充树脂并设置上部填充树脂部52的构成，则即使是在上部包层21的表面存在有凹凸等时，也可以抑制由此引起的光的漫反射或散射。
作为例子，对串光劣化到-20dB的状态，通过如上述这样在光平面波导线路型回路的上部包层内设置光遮蔽层，可使串光改善到＜-28dB的水平。
根据本发明的光波导线路组件并非仅限于上述的实施形态以及实施例，可以有种种的变形。例如，对于反射滤波器4的反射率之差的偏振波补偿，虽然是补偿反射滤波器4自身的反射率之差，但在事先知道光波导线路2n、填充树脂5、以及光检测器6n的界面的反射等造成的偏振光依存性的产生时，也可以通过补偿它们的反射率构成反射滤波器4。
此外，关于用于防止相邻信道间的发生串光的光隔离件，也不是只限于上述的构成，可以使用各种构成的光隔离件。例如，在填充树脂内设置有光遮蔽构件时，既可以与子装配基板相区别地使用其他的构件，也可以在内部填充树脂部内设置光遮蔽构件。或者，还可以采取并用设置在上部包层内的光遮蔽构件以及设置在填充树脂内的光遮蔽构件进一步改善串光的构成。
如以上详细说明过的那样，利用本发明的光波导线路组件可以得到下面这样的效果。即，如果采用在横切光波导线路地形成倾斜的槽的同时，利用设置在槽的内侧的反射滤波器反射信号光的一部分并将之用于光强的监测的构成的光波导线路组件，则可以简化光回路的构成以及制造工序。此外，通过使用实现了各正交偏振波之间的反射率相等的偏振波补偿的反射滤波器，可以与信号光的偏振波状态无关地准确地监测光强。另外，由于利用填充树脂封止了包含反射滤波器的槽的内侧，所以，可以防止由它们的污染造成的长期的动作稳定性的劣化。
再有，通过相对于反射滤波器将分别经由上述N条光波导线路的信号光的一部分反射到对应的上述光检测器的N个反射光路，在相邻的反射光路间设置光隔离件，可以极力防止相邻信道间的串光的发生。由此，可以对经由各个光波导线路的N信道的信号光，准确地监测各个信道的信号光的光强。
这样的光波导线路组件可适用于作为插入到由光纤或光平面波导线路构成的光回路中的信号光强监测装置。或者，通过在光波合波器、光波分波器、光衰减器等光平面波导线路型回路的规定部位进行设定，也可以做成监测光回路中的信号光强的构成。
权利要求
1.一种光波导线路组件，其特征在于具有光平面波导线路型回路，其包含基板、以及形成于基板上的平面波导线路型的光波导线路，并具有相对于与上述光波导线路的光轴正交的垂直轴，以规定的倾斜角度θ倾斜地形成以便横切上述光波导线路的规定部位的槽，其中0°＜θ；反射滤波器，其被设置在上述光平面波导线路型回路的上述槽的内侧，并包含经由上述光波导线路的信号光所通过的部位，同时，根据已补偿各正交偏振波间的反射率之差的规定的反射率，反射上述信号光的一部分；填充树脂，其被填充时至少可封止上述槽的内侧；光检测器，其检测利用上述反射滤波器反射的上述信号光的反射光，且作为上述光平面波导线路型回路的上述光波导线路，具有N条的光波导线路，作为上述光检测器，具有分别与上述N条光波导线路对应的N个光检测器，其中N条为复数，同时，相对于利用反射滤波器将分别经由上述N条光波导线路的信号光的一部分反射到对应的上述光检测器的N个反射光路，分别在上述的N个反射光路之间设置了用于隔离上述反射光路彼此的光隔离件。
2.根据权利要求1所述的光波导线路组件，其特征在于形成于上述光平面波导线路型回路上的上述槽的上述倾斜角度在0°＜θ≤40°的角度范围内。
3.根据权利要求1所述的光波导线路组件，其特征在于作为上述填充树脂，使用具有和上述光波导线路的芯线大致同一折射率的树脂材料。
4.根据权利要求1所述的光波导线路组件，其特征在于上述填充树脂被加在上述槽的内侧，以便被填充成封止包含上述槽的上侧的、上述光平面波导线路型回路的上面的规定范围的同时，作为封止上述槽的内侧的内部填充树脂、以及封止上述光平面波导线路型回路的上面的上部填充树脂，使用的是相互具有大致同一折射率的树脂材料。
5.根据权利要求1所述的光波导线路组件，其特征在于在上述光平面波导线路型回路和上述光检测器的界面、或上述填充树脂和上述光检测器的界面设置有防止所使用的信号光波长带宽的反射的敷层膜。
6.根据权利要求1所述的光波导线路组件，其特征在于上述光检测器的感光面构成为包含被上述反射滤波器反射的上述反射光所形成的椭圆形状的反射光点的、近似椭圆形状。
7.根据权利要求1所述的光波导线路组件，其特征在于上述光隔离件是设置在上述N条光波导线路各个之间的光遮蔽构件，其在上述光平面波导线路型回路内可以遮蔽从上述反射光路通往相邻的反射光路的光。
8.根据权利要求1所述的光波导线路组件，其特征在于上述光隔离件是在上述填充树脂内设置的、可以遮蔽从上述反射光路通往相邻的反射光路的光的光遮蔽构件。
9.根据权利要求8所述的光波导线路组件，其特征在于上述填充树脂被加在上述槽的内侧，以便被填充成封止包含上述槽的上侧的、上述光平面波导线路型回路的上面的规定范围的同时，在上述光平面波导线路型回路的上面侧，设置有用于载置上述N个光检测器的载置构件，上述光遮蔽构件由设置在上述载置构件上的光遮蔽部组成，且上述光遮蔽部突出到封止上述光平面波导线路型回路的上面的上部填充树脂内。
全文摘要
在光平面波导线路型回路(1)内，横切光波导线路(2n)地形成相对垂直轴的以倾斜角度θ倾斜的槽(3)。并且，在槽(3)的内侧，设置可补偿对应信号光的各正交偏振波之间的反射率之差地构成的反射滤波器，用光检测器(文档编号G02B6/36GK1402025SQ02107488
公开日2003年3月12日 申请日期2002年3月20日 优先权日2001年8月28日
发明者佐佐木隆, 小宫健雄, 藤村康, 斋藤真秀 申请人:住友电气工业株式会社