专利名称：光罩定位装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种光罩定位装置，尤指使用于光罩盒内的光罩定位装置，是于盖体的容置空间内设定位装置及抵持装置，使光罩可定位于容置空间二侧所设置的定位部之间，以利当打开盖体后该光罩的位置可让机械手臂顺利取出，而不会与座体二侧所设置的固定装置产生摩擦，而导致光罩受损或是因摩擦而从机械手臂掉落损坏。
背景技术：
当进入二十一世纪，人类生活已经进入了数位时代的领域中，现今许多人类生活周遭的物品、用具均以数位化高科技产品取而代之，不仅带给人们许多方便，也同时得以享受高科技的文明进步成果，而在数位化的时代中，大多数电器物品、用具都会与数位科技有关系或以高科技IC芯片进行操控，以达到自动化的迅速、确实的目的，所以人类生活在数位科技领域之中，则必须以更进步的数位知识、技术来控制各种高科技产物，例如电脑、电视、影音设备、大楼中央管理、汽车、飞机等食、衣、住、行的相关产品、用具；其中高科技IC芯片为相当重要的组成元件，所以有人宣称IC芯片为产业之米，因为IC芯片是由极精密的集成电路组成，其制造过程是利用光罩在无尘室的环境中使用高精密度的机台对硅晶圆进行高精密度的积层作业来完成，其机台、厂房等制造成本是非常高昂的，因此在制造晶圆的过程中，产品良率可以决定一间半导体工厂获利与否，因此致力于提高产品的良率是每一间半导体工厂经营者最重要的课题。
在一种由惠普公司所提出的SMIF系统已于美国专利第4,532,970号及第4,534,389号中有所说明。SMIF系统的目的是为了减少半晶体制程的储运过程中所受的微粒通量。可局部达成此一目的的作法包括在储运过程中以机械方式确保晶圆周围的气态介质(例如空气或氮气)基本上相对于晶圆而固定不动、确保周围环境中的微粒不致进入紧邻晶圆的环境中，而SMIF系统可利用一少量、无微粒的气体，为对象提供一干净的环境，该气体的运动、气流方向及外部污染物均受控制。
然而，为了避免破坏晶圆或光罩，都会采用光罩盒来输送晶圆或光罩，且于光罩盒内设置限位装置来限制光罩位置，以防止光罩于运送过程中因晃动或其它因素产生位移，而使光罩磨损，但因晶圆制造过程中皆以机械手臂来取放或移动光罩，所以限位装置不可完全限制光罩于光罩盒内的移动范围，必须预留一定的移动空间使机械手臂于取放光罩时，不会因光罩与限位装置太过于密合而产生摩擦，并防止因摩擦而使光罩于机械手臂取放时产生位移而无法准确的放置于机械手臂上；再请参阅图7、8所示，习用的光罩盒A于盖体B内部一侧设有抵挡构件B1，该抵挡构件B1上设有复数连杆B2，而于复数连杆B2的另一侧连设有活动件B3，活动件B3上固设有抵靠件B4，当盖体B罩覆于底座C上，即利用抵靠件B4抵靠于底座C上的光罩板C1的侧边，而使光罩板C1受到抵持定位，但上述光罩板C1的光罩盒A于使用时仍具有诸多缺失，例如1.该抵挡构件B1是以抵靠件B4摩擦抵靠于光罩板C1侧边，容易在摩擦接触过程产生细屑进而对光罩板C1产生污染毁损。
2.该抵挡构件B1是以复数连杆B2连接活动件B3，而在抵靠件B4移动抵靠于光罩板C1侧边时，连杆B2与活动件B3接触区也容易因摩擦而产生碎屑。
3.该抵挡构件B1利用底座C向盖体B关闭时，活动件B3与底座C接触滑动向上及向右移动达到使抵靠件B4摩擦抵靠于光罩板C的功能，而活动件B3与底座C接触处会因光罩盒A于开闭或搬移过程中产生晃动摩擦，而于接触滑动处因摩擦而产生碎屑。
上述习用光罩定位装置，因结构设计上的缺失而于使用时产生重大的危害及影响，即为本发明人与从事此行业者所急欲改善的方向所在。
发明内容
发明人有鉴于上述的问题与缺失，乃搜集相关资料，经由多方评估及考量，并以从事于此行业累积的多年经验，经由不断试作及修改，终设计出此种光罩定位装置。
本发明的主要目的在于提供一种光罩定位装置，光罩盒具有盖体及底座，而于盖体内部侧边设有抵持装置，该抵持装置具有基座，且基座可利用锁固元件锁固于盖体内，并于基座一侧表面设有连接件，该连接件中枢接有转轴，且转轴并枢接在抵持部一端的连接端，而基座于远离连接端的另一侧则具有位移端，使位移端可产生转动扭折变形、位移，以当盖体覆盖在底座时，藉由抵持部抵靠于光罩板的侧边，而不易晃动或摩擦。
本发明的次要目的在于提供一种光罩定位装置，其抵持部的连接端于位移端间藉中心轴枢接，并于中心轴处设有复数抵持轮。
本发明的再一目的在于提供一种光罩定位装置，利用上盖内容置空间二侧所设置的定位装置，使光罩可有效的固定于座体二侧所设置的固定装置间，并防止光罩于光罩盒内晃动产生摩擦，进而减少光罩的损耗及有效的抑制细屑的产生。
本发明的又一目的在于提供一种光罩定位装置，该定位装置利用橡胶或塑胶一体成形制成，可有效的降低成本。
图1为本发明的外观图。
图2为本发明的分解图。
图3为本发明于使用前的侧视剖面图(A)。
图3A为本发明于使用前的侧视剖面图(B)。
图4为本发明于使用后的侧视剖面图(A)。
图4A为本发明于使用后的侧视剖面图(B)。
图5为本发明的再一较佳实施例的外观图。
图6为本发明的又一较佳实施例的外观图。
图7为习知光罩盒的侧视剖面分解图。
图8为习知光罩盒的侧视剖面图。
元件符号说明1、 座体 11、 固定装置112、限位片111、 抵持件2、 盖体 21、 容置空间211、定位柱3、 定位装置31、 基部 33、 定位部32、 固定部331、 导引面321、定位槽332、 滑轮4、 光罩 5、 抵持装置51、 基座 522、 位移端511、锁固元件 5221、位移轮512、连接件523、 中心轴52、 抵持部5231、抵持轮521、连接端53、 转轴A、 光罩盒B、 盖体B1、 抵挡构件 B3、 活动件
B2、 连杆B4、 抵靠件C、 底座C1、 光罩板具体实施方式
请参阅图1、2所示，本发明包括有座体1、盖体2、复数定位装置3、光罩4及抵持装置5，其中该座体1表面二侧设置有固定装置11，而各固定装置11凸设有可供光罩置放的抵持件111，且抵持件的一侧设置有复数限位片112。
该盖体2内具有可容置光罩4的容置空间21，而容置空间21的底面凸设有复数定位柱211。
该定位装置3设置有一基部31，而基部31的一端设置有固定部32，且固定部32具有定位槽321，该定位槽321固定于盖体2所设置的定位柱211，而远离固定部32的另一端设置有定位部33，且定位部33设置有一导引面331。
该抵持装置5的基座51可利用锁固元件511锁固于盖体2内一侧边表面，且基座51的一侧表面设有连接件512，而该连接件512上枢设有转轴53，并以转轴53枢设于抵持部52的连接端521，且抵持部52于远离连接端521的另一侧设有位移端522，并在连接端521与位移端522间枢设有中心轴523，且中心轴523上并枢设有复数抵持轮5231，使位移端522可利用中心轴523的枢接而产生位移、扭折、变形，而位移端522于远离中心轴523的另一侧则设有复数位移轮5221，而复数位移轮5221则可由软性材质或聚醚醚酮(PEEK)塑胶材质所制成。
请参阅图3、3A、4、4A所示，本发明于使用时是先将光罩4置于座体1表面二侧所设置的固定装置11间，并利用抵持件111使光罩4与座体1保持一定距离，以利往后机械手臂插入取出，再将盖体2覆盖于座体1，此时，该定位装置3所设置的导引面331会导引光罩4移动至定位，且当盖体2完全盖合时，该光罩4会定位于二侧定位装置3所设置的定位部33之间，而定位部33与抵持件111呈上下夹挤光罩4，使光罩4可稳固的固定于光罩盒内，且不会与座体1二侧的限位片112产生接触，同时，该抵持装置5以位移端522的位移轮5221抵持于座体1，且使位移轮5221于座体1上位移，并因位移轮5231的软性材质而在位移时，不致产生摩擦的细屑，以保持光罩盒1内的无尘状态.而位移端522另一侧以中心轴523枢接的连接端521则受到位移端522位移的带动，即往一侧偏斜，致使连接端521与位移端522形成く形状的扭折变形，并使连接端521与位移端522枢接位置的中心轴523上的复数抵持轮5231凸出于く形的尖端位置，而使抵持轮5231凸伸抵持于光罩4的侧边，而达到光罩4抵持定位而不致晃动的功效。
而当抵持装置5扭折变形成く形状时，其连接端521连接在盖体2内部，而位移端522则抵持在座体1上，且连接端521与位移端522枢接的中心轴523则以抵持轮5231抵持于光罩4侧边，致使抵持装置5形成稳固的抵持、支撑定位，不会产生偏移或晃动，同时会使光罩4的侧边受到抵持装置5的抵持限位，在光罩盒位移的过程中可保持光罩4的稳定；又，抵持装置5在中心轴523上设置有复数抵持轮5231，该抵持轮5231由软性材质所制成，因此抵持轮5231于抵持于光罩4侧边时，不致与光罩4产生摩擦，而不会产生细屑，可保持光罩盒内的真空无尘状态。且当打开盖体2时，光罩4会位于定位装置3及抵持装置5所设定的正确位置，以利机械手臂取出使用。
请参阅图5所示，为本发明的再一较佳实施例的外观图，由图中可清楚看出，本发明所设置的定位装置3可呈一长形状，使其增加与光罩4的接触面积，而可更加的将光罩4稳定于光罩盒内。
参阅图6所示，为本发明的又一较佳实施例的外观图，由图中可清楚看出，该定位装置3的导引面331上，可枢接一滑轮332，以防止细屑产生。
再者，本发明所使用的定位装置3可使用橡胶或塑胶一体成形制成。
由此，本发明光罩盒的定位装置可改善习用技术的关键在于(一)、本发明利用定位装置3设置于盖体2二侧，使盖体2覆盖于座体1时，该座体1所置放的光罩4可固定于定位装置3所设置的定位部33之间，以利当打开盖体2后该光罩4的位置可让机械手臂顺利取出，而不会与座体1二侧所设置的固定装置11产生摩擦，而导致光罩4受损或是因摩擦而从机械手臂掉落损坏。
(二)、本发明利用橡胶或塑胶将定位装置3一体成形所制成，而有效的降低成本，且组装时可直接利用硬力推挤将定位装置所设置的定位槽321嵌入盖体2所设置的定位柱211，进而有效的降低组装工时，加快生产速度。
(三)、本发明利用定位装置3所设置的定位部33来限制光罩4不会左右移动，并与座体1所设置的抵持件111产生上下夹挤，使光罩4于光罩盒内得到稳定的定位。
(四)、本发明利用抵持装置5所设的中心轴523处的复数抵持轮5231抵持于光罩4侧边，而抵持轮5231不致与光罩4侧边形成摩擦，即不会产生细屑。
(五)、本发明利用抵持装置5所设的位移端522的位移轮5221抵持于座体1上，位移轮5221也不会与座体1形成摩擦，也不致产生细屑。
(六)、本发明利用抵持装置5所设置的抵持轮5231抵持在光罩4侧边时，并以连接端521固设于盖体2内，而位移端522抵持于座体1上，形成稳固的定位支撑，使光罩4不会晃动或偏移而损毁。
以上所述为针对本发明较佳的可行实施例说明而已，但该实施例并非用以限定本发明的范围，凡其它未脱离本发明所揭示的技艺精神下所完成的均等变化与修饰变更，均应包含于本发明所涵盖的专利范围中。
权利要求
1.一种光罩定位装置，尤指使用于光罩盒内的光罩定位装置，该光罩盒设置有座体，并于座体表面二侧设置有固定装置，而各固定装置凸设有可供光罩置放的抵持件，且抵持件的一侧设置有复数限位片，而座体上方覆盖有盖体，且盖体内具有可容置光罩的容置空间，其特征在于该容置空间的底面二侧分别设置有定位装置，而定位装置设置有一基部，且基部一端弯折有与容置空间的底面相连接的固定部，并于远离固定部的另一端弯折有定位部，使光罩可定位于容置空间二侧所设置的定位部之间。
2.如权利要求1所述的光罩定位装置，其特征在于该定位装置所设置的固定部进一步设置定位槽，且定位槽可嵌入容置空间底面所凸设的定位柱。
3.如权利要求1所述的光罩定位装置，其特征在于该定位装置所设置的定位部具有一导引面。
4.如权利要求3所述的光罩定位装置，其特征在于该导引面进一步装设有滑轮。
5.如权利要求1所述的光罩定位装置，其特征在于该容置空间二侧所设置的定位装置可为一个或一个以上，且定位装置可为橡胶或塑胶一体成形所制成。
6.一种光罩定位装置，尤指使用于光罩盒内的光罩定位装置，该光罩盒设置有座体，并于座体表面二侧设置有固定装置，而各固定装置凸设有可供光罩置放的抵持件，且抵持件的一侧设置有复数限位片，而座体上方覆盖有盖体，且盖体内具有可容置光罩的容置空间，其特征在于该容置空间的一侧设置有抵持装置，且抵持装置包括基座、抵持部所构成，而基座固设于容置空间内，并于其一侧表面设有连接件，且连接件连设有转轴，而转轴活动连设于抵持部的连接端，且抵持部于远离连接端的一侧设有位移端，并于位移端与连接端之间利用中心轴连接，使抵持部可依中心轴做转动、位移以达到抵持的功效。
7.如权利要求6所述的光罩定位装置，其特征在于该抵持部的连接端与位移端间连接的中心轴处设有复数抵持轮，且抵持轮可以软性材质或聚醚醚酮塑胶材质所制成。
8.如权利要求6所述的光罩定位装置，其特征在于该抵持部的位移端于远离中心轴的另一侧则设有位移轮，且位移轮可为软性材质或聚醚醚酮塑胶材质所制成。
全文摘要
本发明有关一种光罩定位装置，尤指使用于光罩盒内的光罩定位装置，该光罩盒设置有座体，并于座体表面二侧设置有固定装置，而各固定装置凸设有可供光罩置放的抵持件，且抵持件的一侧设置有复数限位片，而座体上方覆盖有盖体，且盖体内具有可容置光罩的容置空间，而容置空间的底面二侧分别设置有定位装置，且容置空间的一侧设置有抵持装置，而使光罩可依定位装置及抵持装置而定位于容置空间内，以利当打开盖体后该光罩的位置可让机械手臂顺利取出，而不会与座体二侧所设置的固定装置产生摩擦，而导致光罩受损或是因摩擦而从机械手臂掉落损坏。
文档编号G03F1/08GK1704844SQ200410046209
公开日2005年12月7日 申请日期2004年5月31日 优先权日2004年5月31日
发明者邱铭乾 申请人:家登精密工业股份有限公司