专利名称：光导波路结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及光导波路结构，更详细地说，涉及能够使分波比以及合波比高度地均等化的光导波路结构。
背景技术：
伴随着近年来电脑和互联网的普及，信息传输需求急剧增大，希望有传播速度快光传播损耗小的光导波路。光导波路用作光传播中的光连接器，例如光分束器(分波结合器)那种装置作为光导波路的基本构成要素是必要的。另一方面，使光传播方向反过来的话，光分束器(分波结合器)就起合波光导波路的作用。
分波光导波路有时用于与其它光导波路或光纤连接。该场合，因制造上的偏差入射光与入射光导波路产生轴向偏离。这种场合，由于光强度峰位变动，与输入光导波路连接的分波光导波路的分波比成为起伏不定的结果。光强度峰位的变动被认为是因轴向偏离而在光导波路内激发起基本模式以外的高阶模式，因各模式的干涉而产生的。作为原来的分波光导波路，有利用高阶模式相对于光导波路封闭效果弱的特性的结构。
作为第一种原有的分波光导波路，是利用长的直线输入光导波路使光强度峰位的变动衰减的结构。
作为第二种原有的分波光导波路，是在输入光导波路中设置曲线光导波路的结构(例如，参照专利文献1、图12及其说明)。
作为第三种原有的分波光导波路，是在输入光导波路中设置缩颈部分的结构。例如，可参照日本专利第2809517号公报的图14及其说明。
上述第1、第2、第3分波光导波路由于因高阶模式的辐射而使光强度峰值位置衰减，存在辐射损耗变大的问题。此外，第1分波光导波路由于用长的直线输入光导波路而使高阶模式辐射，从而存在尺寸变长的问题。
第2、第3分波光导波路除在光导波路形状变化之外，由于辐射封闭效果弱的高阶模式但光导波路形状变化，从而还有基本模式也辐射的问题。此外，在使光导波路形状变化时，为了使基本模式不辐射，需要相对于光的传播方向形状变化状况迟缓。上述第1分波光导波路需要长的直线输入光导波路，有尺寸变长的问题。
发明内容
本发明是鉴于原有的分波光导波路的上述问题而提出来的，其目的是提供部件的制作容易并且组装调整简易的稳定的光导波路的光导波路结构。
本发明的目的还在于提供能够充分地进行场分布的峰值的偏差的补偿，并且可重复性高、光量损失小、并且能够使分波比高精度地均等化的光导波路结构。
本发明的目的还在于提供没有缩颈部、制作容易、并且高阶模式的辐射少、辐射损耗小的光导波路结构。
在本说明书中，所谓连接，是光学的连接即可，例如，如图2所示，在连接面上有槽或空隙也可以。此外，所谓第2出入射端部中的轴上是在使第2光导波路和第3光导波路的中心位置为光强度峰值位置的振动中心时，使振动的振幅在一半以下，较好是1/3以下，更好是1/4以下。
此外，所谓折射率差，在芯部的折射率为n1，包层的折射率为n2时，等于n12-n222n12.]]>本发明是一种光导波路结构，具有具有A端部和B端部的第1光导波路，具有C端部和D端部的第2光导波路，具有E端部和F端部的第3光导波路，以及把上述第1光导波路的B端部连接到第1出入射端部、把上述第2光导波路的C端部以及第3光导波路的E端部连接到第2出入射端部的分波合波光导波路，其特征在于决定上述第1光导波路以及分波合波光导波路的长度使得光强度峰在上述第1光导波路的A端部通过离轴位置，在上述分波合波光导波路的第2出入射端部通过轴上。
本发明还具有以下特征决定上述第1光导波路以及分波合波光导波路的长度使得所使用的波长之中波长最短的光强度峰位置在上述第1光导波路的A端部通过离轴位置，在上述分波合波光导波路的第2出入射端部通过轴上。
本发明还具有以下特征在使上述第1光导波路的芯部宽度为Ws、长度为Ls、上述分波合波光导波路的长度为Lt、上述第2出入射端部的芯部宽度为Wt，Lt＝450μmWt＝16μm芯部和包层的折射率差＝0.4％时，Ls＝N(10.6Ws+147)+6.4(N＝1、2、3、...)。
本发明还具有以下特征上述光导波路结构起分波光导波路的作用。
本发明还具有以下特征上述光导波路结构起合波光导波路的作用。
本发明还具有以下特征上述光导波路结构是树脂制光导波路。
本发明还具有以下特征上述光导波路结构包含带V形槽的光导波路基板。
本发明还具有以下特征决定上述第1光导波路以及分波合波光导波路的长度使得上述光强度峰对于第1波长以及第2波长在上述第1光导波路的A端部通过离轴位置，在上述分波合波光导波路的第2出入射端部通过轴上。
本发明还具有以下特征上述第1光导波路的芯部宽度比上述第2以及第3光导波路的芯部宽度更宽。
本发明还具有以下特征在使上述第1光导波路的芯部宽度为Ws、长度为Ls、上述分波合波光导波路的长度为Lt、上述第2出入射端部的芯部宽度为Wt，Lt＝450μm芯部和包层的折射率差＝0.4％时，Ls＝N(10.6Ws+147)-12.6Wt+208(N＝1、2、3、...)。
本发明还具有以下特征在使上述第1光导波路的芯部宽度为Ws、长度为Ls、上述分波合波光导波路的长度为Lt、上述第2出入射端部的芯部宽度为Wt，
芯部和包层的折射率差＝0.4％时，L＝N(10.6Ws+147)-12.6Wt+658(N＝1、2、3、...)，其中，L＝Ls+Lt。
本发明还具有以下特征在使上述第1光导波路的芯部宽度为Ws、长度为Lt、上述分波合波光导波路的长度为Lt、上述第2出入射端部的芯部宽度为Wt，Lt＝450μmWt＝16μm芯部和包层的折射率差＝0.4％时，Ls＝N(32.5Ws2-415Ws+1540)+6.4(N＝1、2、3、...)。
本发明还具有以下特征在使上述第1光导波路的芯部宽度为Ws、长度为Ls、上述分波合波光导波路的长度为Lt、上述第2出入射端部的芯部宽度为Wt，Lt＝450μm芯部和包层的折射率差＝0.4％时，Ls＝N(32.5Ws2-415Ws+1540)-12.6Wt+208(N＝1、2、3、...)。
本发明还具有以下特征在使上述第1光导波路的芯部宽度为Ws、长度为Ls、上述分波合波光导波路的长度为Lt、上述第2出入射端部的芯部宽度为Wt，芯部和包层的折射率差＝0.4％时，L＝N(32.5Ws2-415Ws+1540)-12.6Wt+658(N＝1、2、3、...)，其中，L＝Ls+Lt。
本发明还具有以下特征，具有具有A端部和B端部的非直线第1光导波路，具有C端部和D端部的非直线第2光导波路，具有E端部和F端部的非直线第3光导波路，以及把上述第1光导波路的B端部连接到第1出入射端部、把上述第2光导波路的C端部以及第3光导波路的E端部连接到第2出入射端部的分波合波光导波路，决定上述分波合波光导波路的长度使得光强度峰通过上述第1出入射端部的离轴位置，并且光强度峰通过上述第2出入射端部的轴上位置。
作为本发明的曲线光导波路的芯部、包层材料可列举出玻璃或半导体材料等无机材料、树脂等有机材料等各种材料，但树脂等聚合物因通过干刻蚀等易于以短时间加工，因而优选。
此外，树脂等材料由于与玻璃、半导体材料等无机材料相比富有柔软性，从而具有不易割破、强韧的长处。再有，能够降低成膜所要的温度，刻蚀速度快，由于能够缩短光导波路结构的制造所需的时间，从而提高量产性。
另一方面，对树脂等材料来说，与石英玻璃相比材料固有的传播损耗大。材料固有的传播损耗由于与光导波路的长度成正比，构成具有相同功能的光导波路时优选缩短光导波路的长度。在这一点上，在树脂光导波路的场合，与以往的例子相比，本发明的短尺寸化效果相对变大，可说是有效的选择。
作为这种聚合物可以使用任何的材料，作为具体例子，可列举出聚酰亚胺系树脂(例如，聚酰亚胺树脂、聚(酰亚胺·异吲哚喹唑啉二酮酰亚胺)树脂、聚醚酰亚胺树脂、聚醚酮树脂、聚酯酰亚胺树脂等)、硅酮系树脂、丙烯酸系树脂、聚苯乙烯系树脂、聚碳酸酯系树脂、聚酰胺系树脂、聚酯系树脂、酚系树脂、聚喹啉系树脂、聚喹喔啉系树脂、聚苯并噁唑系树脂、聚苯并噻唑系树脂、聚苯并咪唑系树脂、以及光漂白用树脂(例如，特开2001-296438号公报记载的具有聚硅烷、硝酸灵化合物的硅酮树脂、含有DMAPN{(4-N，N-二甲基氨基苯基)-N-苯基硝酸灵}的聚甲基丙烯酸甲酯、含有染色聚合物、硝酸灵化合物的聚酰亚胺树脂或者环氧树脂、特开2000-66051号公报记载的水解性硅烷化合物等)。上述树脂可以是具有氟原子的树脂。作为聚合物的优选的例子，从玻璃转化温度(Tg)高、耐热性优越的角度考虑，可列举出聚酰亚胺树脂；从透过率、折射率特性考虑，尤其优选含氟的聚酰亚胺系树脂。
作为含氟的聚酰亚胺系树脂，可列举出含氟的聚酰亚胺树脂、含氟的聚(酰亚胺·异吲哚喹唑啉二酮酰亚胺)树脂、含氟的聚醚酰亚胺树脂、含氟的聚酰胺酰亚胺树脂等。
上述含氟的聚酰亚胺系树脂的前驱体溶液通过在N-甲基-2-吡咯烷酮、N，N-二甲基乙酰胺、γ-丁内酯、二甲基亚砜等极性溶剂中使四羧酸二酐和二胺反应而得到。氟可以被包含在四羧酸二酐和二胺两者中，也可以被包含在任何一者中。
另外，上述不含氟的聚酰亚胺系树脂的前驱体溶液通过在N-甲基-2-吡咯烷酮、N，N-二甲基乙酰胺、γ-丁内酯、二甲基亚砜等极性溶剂中使不含氟的四羧酸二酐和不含氟的二胺反应而得到。
作为含有氟的酸二酐的例子，可举出(三氟甲基)苯均四酸二酐、二(三氟甲基)苯均四酸二酐、二(七氟丙基)苯均四酸二酐、五氟乙基苯均四酸二酐、二{3，5-二(三氟甲基)苯氧基}苯均四酸二酐、2，2-二(3，4-二羧基苯基)六氟丙烷二酐、5，5’-二(三氟甲基)-3，3’，4，4’-四羧基联苯二酐、2，2’，5，5’-四(三氟甲基)-3，3’，4，4’-四羧基联苯二酐、5，5’-二(三氟甲基)-3，3’，4，4’-四羧基二苯醚二酐、5，5’-二(三氟甲基)-3，3’，4，4’-四羧基苯酮二酐、二{(三氟甲基)二羧基苯氧基}苯二酐、二{(三氟甲基)二羧基苯氧基}(三氟甲基)苯二酐、二(二羧基苯氧基)(三氟甲基)苯二酐、二(二羧基苯氧基)二(三氟甲基)苯二酐、二(二羧基苯氧基)四(三氟甲基)苯二酐、2，2-二{4-(3，4-二羧基苯氧基)苯基}六氟丙烷二酐、二{(三氟甲基)二羧基苯氧基}联苯二酐、二{(三氟甲基)二羧基苯氧基}二(三氟甲基)联苯二酐、二{(三氟甲基)二羧基苯氧基}二苯醚二酐、二(二羧基苯氧基)二(三氟甲基)联苯二酐等。
作为含有氟的二胺，可举出例如4-(1H，1H，11H-二十氟十一烷氧基)-1，3-二氨基苯、4-(1H，1H-全氟-1-丁烷氧基)-1，3-二氨基苯、4-(1H，1H-全氟-1-庚烷氧基)-1，3-二氨基苯、4-(1H，1H-全氟-1-辛烷氧基)-1，3-二氨基苯、4-五氟苯氧基-1，3-二氨基苯、4-(2，3，5，6-四氟苯氧基)-1，3-二氨基苯、4-(4-氟苯氧基)-1，3-二氨基苯、4-(1H，1H，2H，2H-全氟-1-己烷氧基)-1，3-二氨基苯、4-(1H，1H，2H，2H-全氟-1-十二烷氧基)-1，3-二氨基苯、2，5-二氨基苯并三氟化物、二(三氟甲基)苯二胺、二氨基四(三氟甲基)苯、二氨基(五氟乙基)苯、2，5-二氨基(全氟己基)苯、2，5-二氨基(全氟丁基)苯、2，2’-二(三氟甲基)-4，4’-二氨基联苯、3，3’-二(三氟甲基)-4，4’-二氨基联苯、八氟联苯胺、4，4’-二氨基二苯醚、2，2-二(对氨基苯基)六氟丙烷、1，3-二(苯胺基)六氟丙烷、1，4-二(苯胺基)八氟丁烷、1，5-二(苯胺基)十氟戊烷、1，7-二(苯胺基)十四氟庚烷、2，2’-二(三氟甲基)-4，4’-二氨基二苯醚、3，3’-二(三氟甲基)-4，4’-二氨基二苯醚、3，3’，5，5’-四(三氟甲基)-4，4’-二氨基二苯醚、3，3’-二(三氟甲基)-4，4’-二氨基苯酮、4，4’-二氨基对三联苯、1，4-二(对氨基苯基)苯、对二(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)苯、二(氨基苯氧基)二(三氟甲基)苯、二(氨基苯氧基)四(三氟甲基)苯、2，2-二{4-(4-氨基苯氧基)苯基}六氟丙烷、2，2-二{4-(3-氨基苯氧基)苯基}六氟丙烷、2，2-二{4-(2-氨基苯氧基)苯基}六氟丙烷、2，2-二{4-(4-氨基苯氧基)-3，5-二甲基苯基}六氟丙烷、2，2-二{4-(4-氨基苯氧基)-3，5-二(三氟甲基)苯基}六氟丙烷、4，4’-二(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)联苯、4，4’-二(4-氨基-3-三氟甲基苯氧基)联苯、4，4’-二(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)二苯基砜、4，4’-二(3-氨基-5-三氟甲基苯氧基)二苯基砜、2，2-二{4-(4-氨基-3-三氟甲基苯氧基)苯基}六氟丙烷、二{(三氟甲基)氨基苯氧基}联苯、二[{(三氟甲基)氨基苯氧基}苯基]六氟丙烷、二{2-[(氨基苯氧基)苯基]六氟异丙基}苯等。
上述的四羧酸二酐及二胺可以并用2种或者2种以上。作为聚酰亚胺系树脂的前驱体溶液也可以使用具有感光性的前驱体溶液。
聚酰亚胺系树脂的前驱体溶液通过旋涂或者印刷等方法涂布在基板表面上，在最终温度为200～400℃进行热处理而固化，形成聚酰亚胺系树脂覆膜。
在连接为了向第1光导波路的A端部入射光信号而接有的其他光导波路或者光纤维时，一边向一个光导波路传输光，一边经过连接部监测向另一光导波路传输的光强度，同时高精度地微调整两个光导波路的位置关系以得到最适宜的连接，并连接固定。
使用本发明的光导波路结构时，可以缓和上述调芯要求精度，可以大幅缩短组装所需的时间，可以低成本且高合格率地制造光部件。
另外，本发明的光导波路结构除了通过如上所述的有源调芯法组装的光导波路以外，还可以适用于例如在第1光导波路的A端部具有V形槽等无源实装光纤维用的构件的光导波路部件。对于无源实装用光导波路的情况，由于可以容许V形槽等和第1光导波路的准线偏移，因而可以进行制造偏差允许范围大的高合格率的制造。
根据本发明的光导波路结构，具有部件的制作容易，并且可以构成组装调整简易、稳定的光导波路结构的效果。
根据本发明的光导波路结构，还具有可以构成能够充分地进行场分布的峰值的偏差的补偿、且可重复性高、光量损失小、进而能够使分波比及合波比高精度地均等化的光导波路结构的效果。
进而，本发明还具有可以构成没有缩颈部、制作容易、并且高阶模式的辐射少、辐射损耗小的光导波路结构的效果。
图1是本发明实施方式的光导波路结构的说明图。
图2是本发明实施方式的光导波路结构，是在光导波路之间有空隙的例子的说明图。
图3是使用了本发明的分波光导波路的带V形槽1×4光分束器光导波路结构的俯视图。
图4是使用了本发明的分波光导波路的马赫-增德尔干涉仪型光导波路的俯视图。
图5是本发明的其它实施方式的光导波路结构的说明图。
具体实施例方式
以下基于附图对把本发明的一个实施方式的光导波路结构用作分波光导波路结构进行说明。
如图1所示，分波光导波路结构10具有具有A端部12和B端部14的第1光导波路16，具有C端部22和D端部24的第2光导波路26，具有E端部32和F端部34的第3光导波路36，以及把上述第1光导波路16的B端部14连接到第1出入射端部42、把上述第2光导波路26的C端部22以及第3光导波路36的E端部32连接到第2出入射端部44的分波合波导波路48。
第1光导波路16的长度以及分波合波光导波路48的长度之和由在第1光导波路的A端部通过离轴位置、在分波合波光导波路的第2出入射端部通过轴上来决定。
在使第1光导波路16的芯部宽度为Ws、长度为Ls，分波合波光导波路48的长度为Lt、第2出入射端部44的芯部宽度为Wt，Lt＝450μmWt＝16μm芯部和包层的折射率差＝0.4％时，决定第1光导波路16以及分波合波光导波路48的长度以满足
Ls＝N(10.6Ws+147)+6.4(N＝1、2、3、...)。
进行使用了本发明的分波光导波路的1×8光分束器和原有的1×8光分束器的模拟。使用了本发明的分波光导波路的1×8光分束器是从1个频道输入在最初的分波段设置本发明的光导波路来进行模拟。原有的1×8光分束器是在1个频道侧输入光导波路设置缩颈部来进行模拟。
本发明的分波光导波路的形状是使输入直线光导波路为第1光导波路，设定芯部宽度Ws为6.5μm，长度Ls为4×(10.6×6.5+147)+6.4＝870μm，分波合波光导波路的长度Lt为450μm，第2出入射部的芯部宽度Wt为16μm。原有的分波光导波路的形状设定成输入直线光导波路的芯部宽度为6.5μm，缩颈部的芯部宽度为3.5μm。入射光离轴0.5μm。
表1表示模拟结果。使用了本发明的1×8光分束器的剩余损耗在波长1.31μm为0.47dB，在1.55μm为0.44dB。这与原有的在直线输入光导波部设置缩颈部的场合相比，剩余损耗变小。此外，对均一性也表示在表1中，使用了本发明的场合的光分束器起伏小0.3dB。由此，通过使用本发明的光导波路，可以做成能够高精度地均一化、损失小的光分束器。
表1区分 本发明参考例输入波长(μm) 剩余损耗(dB) 均一性(dB)剩余损耗(dB) 均一性(dB)1.310.47 0.20 0.92 0.521.550.44 0.48 0.60 0.74用本发明的分波光导波路制作带V型槽的1×4光分束器，评价其光学特性。如图3所示，分波光导波路的结构是配置设有1条V形槽100的入射部102和设有4条V形槽100的出射部104，从1频道输入在最初的分波段使用本发明的分波光导波路110。为了进行比较而制作了使用同一入射部以及出射部、使原有结构的输入光导波路为直线的光分束器。
制造是按以下的顺序进行。在带V形槽的硅晶圆上形成SiO2层，用旋转涂层法使有机锆螯合物成为干燥膜厚100埃来涂敷。干燥后，在其上形成由含氟的聚酰亚胺树脂组成的下部包层(8μm)以及芯层(6.5μm)。其次，在芯层之上涂敷0.5μm厚的含硅的光刻胶，干燥后，通过芯部图案进行曝光及显影。通过该光刻胶图案进行反应性离子刻蚀，形成芯层。剥离光刻胶后，形成上部包层(15μm)而制作了聚酰亚胺光导波路的带V形槽的1×4光分束器。
其次，进行上述1×4光分束器的评价。评价是以把光纤passive安装在V形槽的方式进行，作为光源使用的是波长1.31μm和1.55μm的半导体激光器。
结果，使用了本发明的1×4光分束器的插入损耗在波长1.31μm为7.31dB，均一性为0.41dB，在波长1.55μm为7.19dB，均一性为0.33dB。另一方面，原有结构的1×4光分束器的插入损耗在波长1.31μm为7.87dB，均一性为0.79dB，在波长1.55μm为7.65dB，均一性为0.47dB。通过使用本发明的分波光导波路，就能够得到比原有结构均一性更高且损耗更小的特性。
对其它实施例进行说明。把本发明的1×4光分束器用于1频道输入侧的初段分波。Ws为6.7μm，Wt为16μm，L为1330μm，Lt为450μm，Ls为880μm。作为参考例，假设Wt为6.5μm、Ls为任意长度的480μm的1×4光分束器，进行模拟。
在模拟中使用了2维光束传播法。使入射光离轴0.5μm。表2表示模拟结果。从表2中可知，在本发明的1×4光分束器中，即使在输入偏离0.5μm的场合，4频道输出侧的各频道损耗起伏变小，能够保持均一性。在不采用本发明而任意设定Ls的参考例中起伏大，难以保证均一性。这样，通过使用本发明的分波光导波路，能够做成可高精度地保持均一性、损耗小的光分束器。
表2区分 本发明 参考例输入波长(μm) 剩余损耗(dB) 均一性(dB) 剩余损耗(dB) 均一性(dB)1.31 0.38 0.04 0.50 0.721.55 0.36 0.05 0.50 1.49
本发明的分波光导波路在光分束器以外，还可以用于例如，如马赫-增德尔干涉仪型光导波路等那样，具有分波结构、需要高精度地均等化的光学装置。如图4所示，该马赫-增德尔干涉仪型光导波路200具有2个本发明的光导波路结构，一个为分波光导波路202，另一个为合波光导波路结构。此外，具有不同长度的光导波路220、222。一个光导波路220其一端是分波光导波路202的一个出射光导波路，另一端是合波光导波路204的一个入射光导波路。另一个光导波路222其一端是分波光导波路202的另一个出射光导波路，另一端是合波光导波路204的另一个入射光导波路。
对本发明的其它实施方式的光导波路结构进行说明。图5所示的分波光导波路结构10具有具有A端部12和B端部14的非直线第1光导波路16，具有C端部22和D端部24的非直线第2光导波路26，具有E端部32和F端部34的非直线第3光导波路36，以及把上述第1光导波路16的B端部14连接到第1出入射端部42、把上述第2光导波路26的C端部22以及第3光导波路36的E端部32连接到第2出入射端部44的分波合波光导波路48。分波合波光导波路48的长度T由光强度峰通过第1出入射端部42的离轴位置并通过第2出入射端部44的轴上位置来决定。例如，在连接有光分束器的曲线光导波路和分波光导波路的结构中，通过使用本发明的分波光导波路结构，就能够做成可以高精度地使光的分波比均一化、低损耗的光分束器。
权利要求
1.一种光导波路结构，具有具有A端部和B端部的第1光导波路，具有C端部和D端部的第2光导波路，具有E端部和F端部的第3光导波路，以及把所述第1光导波路的B端部连接到第1出入射端部、把所述第2光导波路的C端部以及第3光导波路的E端部连接到第2出入射端部的分波合波光导波路，其特征在于决定所述第1光导波路以及分波合波光导波路的长度使得光强度峰在所述第1光导波路的A端部通过离轴位置，在所述分波合波光导波路的第2出入射端部通过轴上。
2.根据权利要求1所述的光导波路结构，其特征在于决定所述第1光导波路以及分波合波光导波路的长度使得所使用的波长之中波长最短的光强度峰位置在所述第1光导波路的A端部通过离轴位置，在所述分波合波光导波路的第2出入射端部通过轴上。
3.根据权利要求1所述的光导波路结构，其特征在于在使所述第1光导波路的芯部宽度为Ws、长度为Ls、所述分波合波光导波路的长度为Lt、所述第2出入射端部的芯部宽度为Wt，Lt＝450μmWt＝16μm芯部和包层的折射率差＝0.4％时，Ls＝N(10.6Ws+147)+6.4(N＝1、2、3、...)。
4.根据权利要求1所述的光导波路结构，其特征在于所述光导波路结构起分波光导波路的作用。
5.根据权利要求1所述的光导波路结构，其特征在于所述光导波路结构起合波光导波路的作用。
6.根据权利要求1所述的光导波路结构，其特征在于所述光导波路结构是树脂制光导波路。
7.根据权利要求1所述的光导波路结构，其特征在于所述光导波路结构包含带V形槽的光导波路基板。
8.根据权利要求1所述的光导波路结构，其特征在于决定所述第1光导波路以及分波合波光导波路的长度使得所述光强度峰对于第1波长以及第2波长在所述第1光导波路的A端部通过离轴位置，在所述分波合波光导波路的第2出入射端部通过轴上。
9.根据权利要求1所述的光导波路结构，其特征在于所述第1光导波路的芯部宽度比所述第2以及第3光导波路的芯部宽度更宽。
10.根据权利要求1所述的光导波路结构，其特征在于在使所述第1光导波路的芯部宽度为Ws、长度为Ls、所述分波合波光导波路的长度为Lt、所述第2出入射端部的芯部宽度为Wt，Lt＝450μm芯部和包层的折射率差＝0.4％时，Ls＝N(10.6Ws+147)-12.6Wt+208(N＝1、2、3、...)。
11.根据权利要求1所述的光导波路结构，其特征在于在使所述第1光导波路的芯部宽度为Ws、长度为Ls、所述分波合波光导波路的长度为Lt、所述第2出入射端部的芯部宽度为Wt，芯部和包层的折射率差＝0.4％时，L＝N(10.6Ws+147)-12.6Wt+658(N＝1、2、3、...)，其中，L＝Ls+Lt。
12.根据权利要求1所述的光导波路结构，其特征在于在使所述第1光导波路的芯部宽度为Ws、长度为Ls、所述分波合波光导波路的长度为Lt、所述第2出入射端部的芯部宽度为Wt，Lt＝450μmWt＝16μm芯部和包层的折射率差＝0.4％时，Ls＝N(32.5Ws2-415Ws+1540)+6.4(N＝1、2、3、...)。
13.根据权利要求1所述的光导波路结构，其特征在于在使所述第1光导波路的芯部宽度为Ws、长度为Ls、所述分波合波光导波路的长度为Lt、所述第2出入射端部的芯部宽度为Wt，Lt＝450μm芯部和包层的折射率差＝0.4％时，Ls＝N(32.5Ws2-415Ws+1540)-12.6Wt+208(N＝1、2、3、...)。
14.根据权利要求1所述的光导波路结构，其特征在于在使所述第1光导波路的芯部宽度为Ws、长度为Ls、所述分波合波光导波路的长度为Lt、所述第2出入射端部的芯部宽度为Wt，芯部和包层的折射率差＝0.4％时，L＝N(32.5Ws2-415Ws+1540)-12.6Wt+658(N＝1、2、3、...)，其中，L＝Ls+Lt。
15.一种光导波路结构，其特征在于，具有具有A端部12和B端部14的非直线第1光导波路16，具有C端部22和D端部24的非直线第2光导波路26，具有E端部32和F端部34的非直线第3光导波路36，以及把所述第1光导波路16的B端部14连接到第1出入射端部42、把所述第2光导波路26的C端部22以及第3光导波路36的E端部32连接到第2出入射端部44的分波合波光导波路48，决定所述分波合波光导波路48的长度使得光强度峰通过所述第1出入射端部42的离轴位置，并且光强度峰通过所述第2出入射端部44的轴上位置。
全文摘要
一种光导波路结构，具有具有A端部和B端部的第1光导波路，具有C端部和D端部的第2光导波路，具有E端部和F端部的第3光导波路，以及把上述第1光导波路的B端部连接到第1出入射端部、把上述第2光导波路的C端部以及第3光导波路的E端部连接到第2出入射端部的分波合波光导波路，其特征在于决定上述第1光导波路以及分波合波光导波路的长度使得光强度峰在上述第1光导波路的A端部通过离轴位置，在上述分波合波光导波路的第2出入射端部通过轴上。
文档编号G02B6/12GK1748163SQ20048000342
公开日2006年3月15日 申请日期2004年5月13日 优先权日2003年5月16日
发明者山本礼, 宫寺信生 申请人:日立化成工业株式会社