照明装置的制作方法

专利名称：照明装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及照明装置，其具有光源单元，该光源单元具有发出照 明光的光源和对上述照明光进行会聚的会聚透镜；和装置主体，该装置 主体保持上述光源单元，并对上述照明光进行导光。
背景技术：
以往，在显微镜的照明装置中，使用在其内部具有卤素灯、氙灯、或水银灯等灯光源的灯箱(lamphouse)(例如，参照日本特开2006-113392 号公报)。所述灯箱连接于照明装置主体的后侧，将灯光源发出的照明光， 供给到设置在照明装置主体内的中继光学系统。发明内容本发明所述的照明装置，是具有如下部分的照明装置光源单元， 其具有发出照明光的光源和会聚所述照明光的会聚透镜；以及装置主体， 其保持该光源单元，并对所述照明光进行导光，其特征在于，所述光源 单元具有散热部件，其保持所述光源，并对该光源产生的热进行散热； 以及透镜框，其保持所述会聚透镜，并且使所述光源相对于所述会聚透 镜的相对位置可变地保持所述散热部件，所述装置主体具有使该装置主 体内与外部连通的连通孔，所述装置主体使所述透镜框插入设置在该连 通孔中地保持所述光源单元。根据本发明，其特征在于，所述透镜框配合在所述连通孔中。 此外，根据本发明，其特征在于，所述透镜框将所述散热部件保持 在其端部，并且在该端部周围的至少一部分使所述散热部件探出，所述装置主体这样保持所述光源单元将所述透镜框插入设置在所述连通孔中，并且使所述散热部件的相对于所述透镜框的探出部与所述连通孔的周边部抵接。此外，根据本发明，其特征在于，所述装置主体将所述探出部螺合 设置地保持在所述连通孔的周边部。此外，根据本发明，其特征在于，所述透镜框具有与所述会聚透镜 的光轴垂直的端面，所述透镜框以所述散热部件可相对于所述端面滑动 的方式保持所述散热部件。此外，根据本发明，其特征在于，所述透镜框具有移动机构，该移 动机构使所述散热部件相对于所述会聚透镜的相对位置在该会聚透镜的 光轴方向上变化。此外，根据本发明，其特征在于，所述透镜框具有与所述会聚透 镜的光轴垂直的端面；和一个以上的可装拆地夹在该端面与所述散热部 件之间的间隔调整部件，所述透镜框以所述散热部件可相对于该间隔调 整部件滑动的方式保持所述散热部件。此外，根据本发明，其特征在于，所述装置主体以所述光源单元可 自由装拆的方式保持所述光源单元。此外，根据本发明，其特征在于，所述光源是半导体发光元件。 此外，根据本发明，其特征在于，所述装置主体具有中继光学系统， 该中继光学系统与所述会聚透镜协同动作来使所述照明光聚焦，以使所 述光源的光源像成像。此外，根据本发明，其特征在于，所述中继光学系统使所述光源像 成像在与所述装置主体光学连接的物镜的光瞳附近。根据本发明，可以促进装置整体的小型化，可以节省载置所必要的 空间。此外，可以抑制因发热引起的光源的劣化，延长光源的使用寿命， 并且可以进行光源相对于会聚透镜的相对位置调整。根据参照附图的优选实施方式的详细说明，可以更好理解本发明的 上述以及其它特征和优点。


图1是表示使用本发明的实施方式1所述照明装置的显微镜的整体结构图。
图2是表示实施方式1所述照明装置的结构的剖视图。 图3是表示实施方式1所述照明装置的结构的剖视图。 图4是表示实施方式1的变形例所述照明装置的结构的剖视图。
图5是表示实施方式1的变形例所述照明装置的结构的剖视图。
图6是表示实施方式2所述照明装置的结构的剖视图。
图7是表示实施方式2所述照明装置的结构的剖视图。
图8是表示实施方式2的变形例1所述照明装置的结构的剖视图。
图9是表示实施方式2的变形例1所述照明装置的结构的剖视图。图10是表示实施方式2的变形例2所述照明装置的结构的剖视图。
具体实施例方式
以下，参照附图，对本发明所述照明装置的优选实施方式详细进行 说明。并且，在附图的记载中，对同一部分标以同一标号进行表示。 实施方式1
首先，对本发明的实施方式1所述的照明装置进行说明。图1是表 示使用了本实施方式1所述照明装置的显微镜100的主要部分结构图。 如该图所示，显微镜100具有载物台2，其上放置试样I;显微镜主体 4，其通过载物台支架3来支承载物台2;照明装置5，其安装在显微镜 主体4上；物镜转换器(revolver) 6，其设置在照明装置5的前侧(图l 中的左侧)底部；多个物镜7，它们相对于物镜转换器6安装成可自由更 换；镜筒8，其安装在物镜转换器6的正上方处的照明装置5上部；以及 双目镜部9，其设置在镜筒8的前侧。
载物台支架3与调焦手柄3a的转动操作联动地进行升降移动，该调 焦手柄3a突出设置在显微镜主体4的侧面部，试样1和载物台2伴随该 载物台支架3的升降移动，而在观察光轴OA1方向上进行调焦移动来进 行对焦(聚焦)。此外，试样1和载物台2通过未图示的平面驱动机构， 在垂直于观察光轴0A1的平面内自由移动，从而调整试样1上的观察位 置。观察光轴OA1相当于通过物镜转换器6而择一地设置在试样1之上的物镜7的光轴。物镜7与内设在镜筒8内的成像透镜8a协同动作，使通过照明装置 5被如后所述地照亮的试样1的观察像成像。此时，物镜7使从试样1上 的各点发出的观察光成为平行光束向成像透镜8a射出。成像透镜8a使 物镜7所射出的观察光聚焦使观察像成像。该观察像通过内设在镜筒8 内的偏光棱镜8b被导入到双目镜部9内，通过双目镜部9被分割向左右 方向(图1中的与纸面垂直的方向)两个方向后，由显微镜观察者透过 设置在双目镜部9的前端部的一对目镜9a进行目视观察。下面，对本实施方式1所述的作为照明装置主要部分的照明装置5 详细进行说明。如图1所示，照明装置5具有作为光源的LED (发光二极管)ii,其发出照明光；作为会聚透镜(集光p:/X)的聚光透镜(collector lens) 12，其使LED11发出的照明光成为平行光后射出；以及 成像透镜13，其使聚光透镜12射出的照明光聚焦，使作为LED11的共 轭像的一次光源像成像。聚光透镜12使用第一透镜12a和第二透镜12b 构成。此外，照明装置5具有孔径光阑14，其限制成像透镜13所成像 的一次光源像的大小；视场光阑15，其限制通过孔径光阑14后的照明光 的光束直径；中继透镜系统16,其对通过了视场光阑15的照明光进行会 聚，使作为一次光源像的共轭像的二次光源像成像；以及半透明反射镜 (half mirror) 17，其使从中继透镜系统16射出的照明光，沿着观察光轴 0A1朝向物镜7偏转。中继透镜系统16用第一中继透镜16a、以及第二 中继透镜16b构成。并且，从LEDll到半透明反射镜17为止的各光学 元件，以照明光轴OA2作为公共光轴进行配置。孔径光阑14相对于物镜7的光瞳配置在共轭位置，其通过限制一次 光源像的大小，来规定照射到试样1上的照明光的数值孔径(NA)。视 场光阑15相对于物镜7的焦点位置上的试样1配置在共轭位置，视场光 阑15通过限制通过孔径光阑14后的照明光的光束直径，来规定照射到 试样1上的照明光的照射范围。中继透镜系统16使二次光源像成像在与 照明装置5光学连接的物镜7的光瞳上。从而，照明装置5通过物镜7对试样1进行科勒(Koehler)照明。并且，中继透镜系统16不需要使二 次光源像严格地成像在物镜7的光瞳上，只要成像在光瞳附近即可。图2和图3是表示照明装置5的结构的剖视图。图2表示照明装置 5的整体结构；图3放大表示图2所示的区域A内的结构。如这些图所 示，照明装置5具有的各光学元件设置在投光管主体21内。投光管主体 21在底部设置有多个沉孔21a，投光管主体21按每个沉孔21a通过紧固 螺钉CV1螺合设置在显微镜主体4上。此外，投光管主体21在当安装在显微镜主体4上时位于观察光轴 OA1上的底面部和上表面部上，分别设置有开口部21b、 21c。从而，可 以确保对试样1的照明光路和观察光路。此外，在开口部21b的周缘部， 设置有用于可装拆地固定物镜转换器6的滑动燕尾槽，在开口部21c的 周缘部，设置有用于可装拆地固定镜筒8的圆形燕尾槽。另外，投光管主体21在后端部(图2和图3中的右端部)，以照明 光轴OA2作为中轴地形成有连通孔21d，该连通孔21d使投光管主体21 内与外部连通。在连通孔21d的内侧端部(图2和图3中的左侧端部)， 配合设置有成像透镜13，在连通孔21d的外侧端部(图2和图3中的右 侧端部)，配合设置有光源单元22。光源单元22用如下部件构成散热 板23，其保持LEDll，并且对LED11产生的热进行散热；和透镜框24， 其保持聚光透镜12，并且使LEDll相对于聚光透镜12的相对位置可变 地保持散热板23。具体地讲，散热板23隔着基板25保持LED11，并且使LED11的发 光部11a发出、并通过基板25传递来的热，从与LED11相对的背面部(图 2和图3中的右侧面部)散到外部。此外，对于从基板25传递来的热的 一部分，散热板23通过使热散逸到如后所述地连接的投光管主体21和 透镜框24，来进行散热。散热板23和基板25使用铝等热传导率高的材 料形成，并且通过使面之间相互贴紧，提高了热的传递效率。由此，在光源单元22中，可以使发光部lla产生的热散到LED11 之外，并且可以抑制发光部lla的温度上升，可以改善LEDll的使用寿 命。 一般如大家所知，在LED中，与卤素灯等灯光源相比，虽然发热量少，但却会因自身所产生的热而加剧发光部的劣化使得使用寿命縮短。与此相对，在光源单元22中，由于可以通过散热板23—直对LED11产 生的热进行散热，因此，可以抑制发光部lla的劣化，可以延长LEDll 的使用寿命。并且，也可以使散热板23的与LED11相对于的背面部为 肋形状或散热翼片。由此，可以加大散热板23的外部表面积，可以进一 步提高散热板23的散热效果。透镜框24成形为圆筒状，其根据部位的不同而具有不同内径，透镜 框24在照明光轴OA2的方向上，以预定的间隔保持构成聚光透镜12的 第一透镜12a和第二透镜12b。第一透镜12a和第二透镜12b分别配合设 置地固定在透镜框24内。此外，透镜框24具有与照明光轴OA2垂直的 端面24a，散热板23上的LED11的安装面23a与该端面24a抵接。从而， 透镜框24相对于聚光透镜12，将LED11保持在照明光轴OA2方向上的 预定位置，例如，保持在聚光透镜12的焦点面上。并且，所谓端面24a 与照明光轴OA2垂直，并不仅限于严格垂直的情况，也包含大致垂直的 情况。这里，散热板23在面向端面24a的位置上形成有沉孔23b，散热板 23通过贯穿插入在该沉孔23b中的紧固螺钉CV2螺合设置在透镜框24 上。在沉孔23b中，在紧固螺钉CV2的螺纹部与沉孔23b的内壁之间， 设置有预定量的间隙23c。因此，在将紧固螺钉CV2贯穿插入在沉孔23b 中的状态下，散热板23可在该间隙23c的范围内相对于端面24a滑动。 即，散热板23在没有被紧固螺钉CV2完全拧紧的状态下，散热板23相 对于透镜框24的相对位置可在与照明光轴OA2垂直的面内变更。从而， 透镜框24使LED11相对于聚光透镜12的相对位置在与照明光轴OA2 垂直的面内可变地保持散热板23。在光源单元22中，通过这样使LEDll相对于聚光透镜12的相对位 置可以变更，能够简易地进行LEDll相对于聚光透镜12的定心调整(偏 心校正)。此外，关于该定心调整，可以在将光源单元22安装到投光管 主体21之前，针对每个光源单元22个别地进行。因此，当在照明装置5 中进行LEDll的更换的情况下，例如通过更换为预先进行了定心调整的其它光源单元22，则不在投光管主体21上进行定心调整即可容易且迅速 地更换LEDll。
一般地，由于在LED中发光部的位置存在着个体差(波动)，因此， 在更换了 LED的情况下，需要进行LED相对于聚光透镜的定心调整。 并且，当在聚光透镜固定在投光管主体上的状态下更换LED的情况下， 则需要在投光管主体上进行LED的定心调整。与此相对，在光源单元22 中，由于能够针对每个光源单元22与投光管主体21分开地进行定心调 整，因此，只要更换为例如预先进行了定心调整后的其它光源单元22， 就能够立即更换LEDll，并且可以恢复到定心调整后的状态。
散热板23还被成形为外径比透镜框24的端面24a的外径要大的圆 板状，散热板23在其周缘部从端面24a探出的状态下螺合设置在端面24a 上。因此，光源单元22被如下保持在投光管主体21中透镜框24插入 设置地配合在连通孔21d内，并且散热板23之中的从端面24a探出的探 出部23d与投光管主体21的后端面中的连通孔21d的周边部21e抵接。 从而，光源单元22相对于投光管主体21被保持成在照明光轴OA2方 向和与照明光轴OA2垂直的方向上被定位。
探出部23d在面向周边部21e的位置上形成有沉孔23e，探出部23d 通过贯穿插入在该沉孔23e中的紧固螺钉CV3而螺合设置在周边部21e 上。在沉孔23e中，在紧固螺钉CV3的螺纹部与沉孔23e的内壁之间， 设置有间隙23f，该间隙23f的大小在沉孔23b中的间隙23c以上。从而， 不将探出部23d相对于透镜框24的相对位置的调整范围限制在间隙23c 以下，就可将探出部23d螺合设置在周边部21e上，并且光源单元22被 投光管主体21稳定地保持。
如以上的说明那样，本实施方式1所述的照明装置5具有光源单 元22，其具有发出照明光的作为光源的LEDll、和会聚照明光的作为会 聚透镜的聚光透镜12;以及作为装置主体的投光管主体21，其保持光源 单元22，并对照明光进行导光，光源单元22具有散热板23，其保持 LEDll，并对LED11产生的热进行散热；以及透镜框24，其保持聚光透 镜12，并且使LED11相对于聚光透镜12的相对位置可变地保持散热板23，投光管主体21具有连通孔21d，该连通孔21d使投光管主体21内与 外部连通，投光管主体21将透镜框24插入设置在连通孔21d中地保持 光源单元22。因此，在照明装置5中，可以促进装置整体的小型化，并且可以将 大致整个光源单元22设置在投光管主体21内，可以节省载置所必要的 空间。此外，可以抑制因发热而使LED11劣化，可以延长LEDll的使用 寿命，并且可以进行LED11相对于聚光透镜12的相对位置调整。变形例下面，对本实施方式1所述照明装置的变形例进行说明。图4和图 5是表示作为本变形例所述的照明装置主要部分的照明装置35的结构的 剖视图。图4表示照明装置35的整体结构；图5放大表示图4所示的区 域B内的结构。照明装置35可与上述照明装置5交换地安装在显微镜 100上。如图4和图5所示，照明装置35以照明装置5的结构为基础， 代替投光管主体21和光源单元22而具有投光管主体41和光源单元42。 此外，具有聚光透镜32和成像透镜36，以代替作为投光管主体21具有 的照明光学系统的聚光透镜12、成像透镜13、孔径光阑14、视场光阑 15和中继透镜系统16。聚光透镜32和成像透镜36，将照明光轴OA2作 为公共光轴地配置在投光管主体41内。其它结构与照明装置5相同，对 同一结构部分标以同一标号进行表示。聚光透镜32使LED11发出的照明光成为平行光后射出，成像透镜 36使聚光透镜32所射出的照明光聚焦，使作为LED11的共轭像的光源 像成像。成像透镜36通过半透明反射镜17,使LEDll的光源像成像在 与照明装置35光学连接的物镜7的光瞳上。从而，照明装置35通过物 镜7对试样1进行反射照明。并且，成像透镜36不需要使光源像严格地 成像在物镜7的光瞳上，只要成像在光瞳附近即可。投光管主体41在后端部(图4和图5中的右端部)，以照明光轴OA2 作为中轴地形成有连通孔41d，连通孔41d使投光管主体41内与外部连 通，在连通孔41d内配合设置有光源单元42。光源单元42以光源单元 22的结构为基础，代替透镜框24而具有透镜框44。透镜框44保持聚光透镜32，并且使LEDll相对于聚光透镜32的相对位置可变地保持散热 板23。透镜框44具有与照明光轴OA2垂直的端面44a，使散热板23与 该端面44a抵接，与光源单元22中的透镜框24 —样地保持散热板23。 与光源单元22的情况相同，散热板23的探出部23d抵接地螺合设置在 投光管主体41的后端面中的连通孔41d的周边部41e上。聚光透镜32 配合设置地固定在透镜框44内。以上说明的本变形例所述的照明装置35具有与照明装置5同样的效 果。g卩，在照明装置35中，可以促进装置整体的小型化，并且可以将大 致整个光源单元42设置在投光管主体41内，可以节省载置所必要的空 间。此外，可以抑制因发热而使LED11劣化，可以延长LEDll的使用寿 命，并且可以进行LEDll相对于聚光透镜32的相对位置调整。实施方式2接下来，对本发明的实施方式2所述的照明装置进行说明。在上述 的光源单元22、 42中，各透镜框24、 44以LED11相对于聚光透镜12、 32的相对位置可以在垂直于照明光轴OA2的面内变更的方式保持散热板 23，而在本实施方式2中，以使LEDll的相对位置还可以在照明光轴OA2 的方向上变更的方式保持散热板23。图6和图7是表示作为本实施方式2所述的照明装置主要部分的照 明装置55的结构的剖视图。图6表示照明装置55的整体结构；图7放 大表示图6所示的区域C内的结构。照明装置55可与上述照明装置5、 35交换地安装在显微镜100上。如图6和图7所示，照明装置55以照明装置5的结构为基础，代替 投光管主体21和光源单元22，而具有投光管主体51和光源单元52。投 光管主体51与投光管主体41 一样，在后端部(图6和图7中的右端部)， 以照明光轴OA2作为中轴地形成有连通孔51d，连通孔51d使投光管主 体51内与外部连通，在连通孔51d中配合设置有光源单元52。光源单元 52以光源单元22的结构为基础，代替透镜框24而具有透镜框54。透镜 框54用第一透镜框54a和第二透镜框54b构成，透镜框54保持聚光透 镜12，并且使LED11相对于聚光透镜12的相对位置可变地保持散热板23。具体地讲，第一透镜框54a和第二透镜框54b分别形成为圆筒状， 在第一透镜框54a的后端部外周和第二透镜框54b的中央部内周，分别 形成有螺纹部54c、 54d。第一透镜框54a在内部在照明光轴0A2的方向 上以预定的间隔保持第一透镜12a和第二透镜12b，并且第一透镜框54a 的后端部插入配合在第二透镜框54b内，并通过螺纹部54c、 54d螺合。 第二透镜框54b具有与照明光轴OA2垂直的端面54e，使散热板23与该 端面54e抵接，与光源单元22中的透镜框24同样地保持散热板23。因此，在透镜框54中，通过相对于第二透镜框54b旋入或旋出第一 透镜框54a，能够使散热板23相对于聚光透镜12的相对位置在聚光透镜 12的光轴方向、即照明光轴OA2方向上变化，从而可以使LED11相对 于聚光透镜12的相对位置在照明光轴0A2方向上变化。从而，在光源 单元52中，可以容易地将LEDll的发光部lla对位到聚光透镜12的焦 点面上等期望的位置。在发光部lla对位到聚光透镜12的焦点面上等期望的位置之后，第 一透镜框54a通过紧固螺钉CV4相对于第二透镜框54b固定，该紧固螺 钉CV4螺合插入在形成于第二透镜框54b的侧面上的螺孔54f中。此外， 与光源单元22的情况一样，散热板23的探出部23d抵接地螺合设置在 投光管主体51的后端面中的连通孔51d的周边部51e上。以上说明的本实施方式2所述的照明装置55具有与照明装置5同样 的效果。即，在照明装置55中，可以促进装置整体的小型化，并且可以 将大致整个光源单元52设置在投光管主体51内，可以节省载置所必要 的空间。此外，可以抑制因发热而使LEDll劣化，延长LEDll的使用寿 命，并且可以进行LEDll相对于聚光透镜12的相对位置调整。另外， 在照明装置55中，由于LED11相对于聚光透镜12在照明光轴0A2方向 上的相对位置可进行调整，因此，比起照明装置5的情况，可以更严格 地进行发光部lla相对于聚光透镜12在照明光轴OA2方向上的对位，能 够比照明装置5准确地将二次光源像成像在物镜7的光瞳上。从而，可 以始终良好地对试样1进行科勒照明，而不受物镜7或发光部lla的位置的波动的影响。 变形例1
下面，对本实施方式2所述的照明装置的变形例1进行说明。图8
和图9是表示作为本变形例1所述的照明装置主要部分的照明装置65的 结构的剖视图。图8表示照明装置65的整体结构；图9放大表示图8所 示的区域D内的结构。照明装置65可与上述照明装置5、 35、 55交换地 安装在显微镜100上。如图8和图9所示，照明装置55以照明装置35 的结构为基础，代替光源单元42而具有光源单元62。光源单元62配合 设置在连通孔41d内，光源单元62以光源单元42的结构为基础，代替 透镜框44而具有透镜框64。透镜框64用第一透镜框64a和第二透镜框 64b构成，透镜框64保持聚光透镜32，并且使LED11相对于聚光透镜 32的相对位置可变地保持散热板23。
具体地讲，第一透镜框64a和第二透镜框64b分别形成为圆筒状， 在第一透镜框64a的后端部外周和第二透镜框64b的中央部内周，分别 形成有螺纹部64c、 64d。第一透镜框64a在内部保持聚光透镜32，并且 第一透镜框64a的后端部插入配合在第二透镜框64b内，并通过螺纹部 64c、 64d螺合。第二透镜框64b具有与照明光轴OA2垂直的端面64e， 使散热板23与该端面64e抵接，与光源单元42中的透镜框44同样地保 持散热板23。
因此，在透镜框64中，通过相对于第二透镜框64b旋入或旋出第一 透镜框64a，能够使散热板23相对于聚光透镜32的相对位置在聚光透镜 32的光轴方向、即照明光轴OA2方向上变化，能够使LED11相对于聚 光透镜32的相对位置在照明光轴OA2方向上变化。从而，在光源单元 62中，能够容易地将LED11的发光部lla对位到聚光透镜32的焦点面 上等期望的位置。
当发光部11a对位到聚光透镜32的焦点面上等期望的位置之后，第 一透镜框64a通过紧固螺钉CV4相对于第二透镜框64b固定，该紧固螺 钉CV4螺合插入在形成于第二透镜框64b的侧面上的螺孔64f中。此外， 与光源单元42的情况一样，散热板23的探出部23d抵接地螺合设置在投光管主体41的后端面中的连通孔41d的周边部41e上。以上说明的本变形例1所述的照明装置65具有与照明装置35同样 的效果。即，在照明装置65中，可以促进装置整体的小型化，并且可以 将大致整个光源单元62设置在投光管主体41内，可以节省载置所必要 的空间。此外，可以抑制因发热而使LED11劣化，可以延长LEDll的使 用寿命，并且可以进行LED11相对于聚光透镜32的相对位置调整。此 外，在照明装置65中，由于LED11相对于聚光透镜32在照明光轴OA2 方向上的相对位置可以调整，因此，比起照明装置35的情况，可以更严 格地进行发光部lla相对于聚光透镜32在照明光轴OA2方向上的对位， 能够比照明装置35准确地将二次光源像成像在物镜7的光瞳上。从而， 可以始终良好地对试样1进行不均很少的均匀的照明，而不受物镜7或 发光部lla的位置的波动的影响。 变形例2接下来，对本实施方式2所述的照明装置的变形例2进行说明。图 10是表示作为本变形例2所述的照明装置主要部分的照明装置75的部分 结构的剖视图。照明装置75可与上述照明装置5、 35、 55、 65交换地安 装在显微镜100上。如图10所示，照明装置75以照明装置5的结构为 基础，代替投光管主体21和光源单元22，而具有投光管主体71和光源 单元72。投光管主体71与投光管主体21—样，在后端部(图IO中的右 端部)，以照明光轴OA2作为中轴地形成有连通孔71d，连通孔71d使投 光管主体71内与外部连通。光源单元72以光源单元22的结构为基础， 具有透镜框74，透镜框74用透镜框24、以及作为间隔调整部件的一个 以上的垫圈74a构成，透镜框74配合设置在连通孔71d内。透镜框74 保持聚光透镜12，并且使LEDll相对于聚光透镜12的相对位置可变地 保持散热板23。具体地讲，透镜框74的一个以上的成形为环带状的作为平行平板的 垫圈74a，夹在透镜框24的端面24a与散热板23之间，并且使散热板 23与该一个以上的垫圈74a中的、面向散热板23的垫圈74a的端面74b 抵接。并且，通过利用贯穿插入在沉孔23b中的紧固螺钉CV2隔着垫圈74a螺合设置散热板23 ，透镜框74以垫圈74a可装拆的方式保持垫圈74a， 并且以散热板23可相对于垫圈74a滑动的方式保持散热板23。
因此，在透镜框74中，通过变更夹在透镜框24的端面24a与散热 板23之间的垫圈74a的夹入数量，可以使散热板23相对于聚光透镜12 的相对位置在聚光透镜12的光轴方向、即照明光轴OA2方向上变化， 可以使LED11相对于聚光透镜12的相对位置在照明光轴OA2方向上变 化。从而，在光源单元72中，能够容易地将LEDll的发光部lla对位到 聚光透镜12的焦点面上等期望的位置。此外，在光源单元72中，与光 源单元22 —样，通过使散热板23相对于聚光透镜12的相对位置、即 LED11的相对位置在垂直于照明光轴OA2的面内移动，能够简易地进行 LED11的定心调整。
当LED11相对于聚光透镜12对位到期望的位置之后，散热板23和 垫圈74a通过紧固螺钉CV2相对于透镜框24固定。此外，与光源单元 22的情况一样，散热板23的探出部23d抵接地螺合设置在投光管主体 71的后端面中的连通孔71d的周边部71e上。并且，在投光管主体71的 后端部的连通孔71d的周围设置有空隙71f，空隙71f用于在配合设置光 源单元72时避免垫圈74a与投光管主体71的接触。
以上说明的本变形例2所述的照明装置75具有与照明装置5同样的 效果。即，在照明装置75中，可以促进装置整体的小型化，并且可以将 大致整个光源单元72设置在投光管主体71内，可以节省载置所必要的 空间。此夕卜，可以抑制因发热而使LED11劣化，可以延长LEDll的使用 寿命，并且可以进行LED11相对于聚光透镜12的相对位置调整。而且， 在照明装置75中，由于LED11相对于聚光透镜12在照明光轴OA2方向 上的相对位置可以调整，因此，比起照明装置5的情况，可以更严格地 进行发光部lla相对于聚光透镜12在照明光轴OA2方向上的对位，能够 比照明装置5准确地将二次光源像成像在物镜7的光瞳上。从而，可以 始终良好地对试样1进行科勒照明，而不受物镜7或发光部lla的位置 的波动的影响。
至此为止，已将实施本发明的最好方式，作为实施方式1和2进行了说明，但本发明并不仅限于上述实施方式1和2，只要在不脱离本发明 的主旨的范围内，就可以进行种种变形。例如，在上述实施方式1和2 中，通过用紧固螺钉CV3将散热板23螺合设置在投光管主体21、 41、 51或71上，来将光源单元22、 42、 52、 62、 72固定在投光管主体21、 41、 51或71上。但并不仅限于螺合设置散热板23，也可以相对于投光 管主体21、 41、 51或71来固定透镜框24、 44、 54、 64、 74。在此情况 下，例如，相对于各透镜框24、 44、 54、 64、 74的侧面部，在投光管主 体21、 41、 51或71上设置螺孔，可通过螺合插入在该螺孔内的紧固螺 钉，来固定透镜框24、 44、 54、 64、 74。此外，在上述实施方式1和2中，照明装置3、 35、 55、 65、 75作 为对试样1进行反射照明的装置进行了说明，但并不仅限于反射照明， 也可以是进行透射照明的装置。此外，照明装置3、 35、 55、 65、 75作 为安装使用在显微镜100上的装置进行了说明，但并不仅限于显微镜， 也可以安装在半导体检查装置或FPD (Flat Panel Display:平板显示器) 检查装置等各种检查装置中进行使用。并且，本发明并不仅限于上述实 施方式，在不脱离本发明的范围内，可以进行种种变形和修正。本专利申请，系根据2007年6月21日在日本提出的日本专利申请 第2007—164205号所主张的权利，在此结合其内容作为参照。
权利要求
1.一种照明装置，其具有光源单元，其具有发出照明光的光源和会聚所述照明光的会聚透镜；以及装置主体，其保持该光源单元，并对所述照明光进行导光，其特征在于，所述光源单元具有散热部件，其保持所述光源，并对该光源产生的热进行散热；以及透镜框，其保持所述会聚透镜，并且使所述光源相对于所述会聚透镜的相对位置可变地保持所述散热部件，所述装置主体具有使该装置主体内与外部连通的连通孔，所述装置主体使所述透镜框插入设置在该连通孔中地保持所述光源单元。
2. 如权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述透镜框配合在所述连通孔中。
3. 如权利要求1或2所述的照明装置，其特征在于， 所述透镜框将所述散热部件保持在其端部，并且在该端部周围的至少一部分使所述散热部件探出，所述装置主体这样保持所述光源单元将所述透镜框插入设置在所述连通孔中，并且使所述散热部件的相对于所述透镜框的探出部与所述 连通孔的周边部抵接。
4. 如权利要求3所述的照明装置，其特征在于，所述装置主体将所述探出部螺合设置地保持在所述连通孔的周边部。
5. 如权利要求1至4中的任一项所述的照明装置，其特征在于， 所述透镜框具有与所述会聚透镜的光轴垂直的端面，所述透镜框以所述散热部件可相对于所述端面滑动的方式保持所述散热部件。
6. 如权利要求1至5中的任一项所述的照明装置，其特征在于， 所述透镜框具有移动机构，该移动机构使所述散热部件相对于所述会聚透镜的相对位置在该会聚透镜的光轴方向上变化。
7. 如权利要求1至4中的任一项所述的照明装置，其特征在于，所述透镜框具有与所述会聚透镜的光轴垂直的端面；和一个以上 的可装拆地夹在该端面与所述散热部件之间的间隔调整部件，所述透镜 框以所述散热部件可相对于该间隔调整部件滑动的方式保持所述散热部 件。
8. 如权利要求1至7中的任一项所述的照明装置，其特征在于， 所述装置主体以所述光源单元可自由装拆的方式保持所述光源单元。
9. 如权利要求1至8中的任一项所述的照明装置，其特征在于， 所述光源是半导体发光元件。
10. 如权利要求1至9中的任一项所述的照明装置，其特征在于， 所述装置主体具有中继光学系统，该中继光学系统与所述会聚透镜协同动作来使所述照明光聚焦，以使所述光源的光源像成像。
11. 如权利要求10所述的照明装置，其特征在于， 所述中继光学系统使所述光源像成像在与所述装置主体光学连接的物镜的光瞳附近。
全文摘要
本发明提供一种照明装置，其具有光源单元，其具有发出照明光的LED和会聚照明光的聚光透镜；以及投光管主体，其保持光源单元，并对照明光进行导光，光源单元具有散热板，其保持LED，并对LED产生的热进行散热；以及透镜框，其保持聚光透镜，并且使LED相对于聚光透镜的相对位置可变地保持散热板，投光管主体具有使投光管主体内与外部连通的连通孔，投光管主体使透镜框插入设置在连通孔中地保持光源单元。
文档编号G02B21/06GK101329444SQ20081012568
公开日2008年12月24日 申请日期2008年6月20日 优先权日2007年6月21日
发明者殿冈雅仁 申请人:奥林巴斯株式会社