专利名称：彩色滤光片制造方法
技术领域：
本发明关于一种彩色滤光片的制造方法，尤指一种适用于液晶显示器的彩色滤光
片的制造方法。
背景技术：
液晶显示器已广为市场所接受，并成为市场的主流技术。液晶显示器的色彩表现 主要取决于其中的彩色滤光片组件，藉由彩色滤光片与薄膜晶体管数组基板搭配，形成具 有红色、绿色、及蓝色的像素，再经由适当的色彩运算组合，使液晶显示器具有丰富的色彩 表现。因此，彩色滤光片为决定液晶显示器色彩表现的关键性零组件。 —般的彩色滤光片制成步骤，如图1及图2所示。首先于基板10上形成一图案化 的遮光层20，如图l(a)所示。接着利用光微显影技术，依序分别形成图案化的红色彩色光 阻层30、绿色彩色光阻层40、及蓝色彩色光阻层50，而红色、绿色、及蓝色彩色光阻层是对 应于预定的像素位置，如图l(b)所示。然后以溅镀方式，于遮光层及各颜色的彩色光阻层 上形成透明导电层60，如图l(c)所示。 然而在溅镀透明导电层60时，常因为基板上存在一些异物微粒70，或是溅镀设备 中存在的异物微粒沾附于基板表面，而使得异物微粒70下方并无沉积透明导电层，而当异 物微粒70脱落后，便于基板的透明导电层60上形成针孔状缺陷80，如图l(d)所示。而在 彩色滤光片与薄膜晶体管数组基板组立后，此缺陷将会形成液晶显示器的亮点或是暗点。
请参见图2，解决上述问题，传统方法是将有缺陷的彩色滤光片基板重工，以避免 浪费玻璃基板。所谓重工是将具有缺陷的彩色滤光片基板，利用化学溶剂将原本已经形成 在玻璃基板上的遮光层、各颜色的彩色光阻层及透明导电层去除，而得到一干净的玻璃基 板，然后再重新进行各个制程步骤。 公知的重工方式虽然可以避免浪费玻璃基板，但是却浪费了许多原本已经制作完 成的制程步骤，例如遮光层及各颜色的彩色光阻层。再者，重工为素基板的过程，需耗费许 多溶剂与时间，既不经济也不环保。因此，公知的作法并不能有效的改善此一问题。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种彩色滤光片的制造方法，并能有效提升彩色滤光 片的良率及降低制造生产成本。 本发明的另一 目的在于提供一种彩色滤光片的制造方法，并能有效改善彩色滤光 片中透明导电层的缺陷。 为达成上述目的，本发明的彩色滤光片的制造方法，包括以下步骤(a)提供一包 括有一遮光层及一彩色光阻层的基板；(b)形成一第一透明导电层于该遮光层及该彩色光 阻层上；(c)检查该第一透明导电层；(cl)清洗已形成有该第一透明导电层的该基板；(d) 形成一第二透明导电层于该基板的该第一透明导电层上；以及(e)形成一图案化支撑层于 该第二透明导电层上。
本发明的彩色滤光片的制造方法，其中步骤(a)的遮光层较佳可为一图案化的遮 光层。 本发明的彩色滤光片的制造方法，其中步骤(a)的彩色光阻层较佳可为一图案化 的彩色光阻层。 本发明的彩色滤光片的制造方法，其中步骤(b)的第一透明导电层材料并无特殊 限制，较佳可为一氧化铟锡层或一氧化铟锌层。 本发明的彩色滤光片的制造方法，其中步骤(b)的第一透明导电层的形成方法并 无特殊限制，较佳可为溅镀法(sputtering)或化学沈积法(CVD)。 本发明的彩色滤光片的制造方法，其中步骤(c)的检查步骤并无特殊限制，较佳 可为一自动光学检查步骤或是人工光学检查步骤，用以检查该第一透明导电层的缺陷。
本发明的彩色滤光片的制造方法，其中步骤(c)的检查步骤较佳可为检查该第一 透明导电层的一缺陷。 本发明的彩色滤光片的制造方法，其中步骤(d)的第二透明导电层的形成方法并 无特殊限制，较佳可为溅镀法(sputtering)或化学沈积法(CVD)。 本发明的彩色滤光片的制造方法，其中步骤(d)的第二透明导电层的材料并无特 殊限制，较佳可为与第一透明导电层的材料相同或不相同。 本发明的彩色滤光片的制造方法，其中步骤(d)的第二透明导电层的材料并无特 殊限制，较佳可为一氧化铟锡层或一氧化铟锌层。
图1为公知技术的制造过程图；
图2为公知技术的制造及重工流程图；
图3为本发明一较佳实施例的制造过程图；
图4为本发明一较佳实施例的制造流程图。
具体实施例方式
本实施例的彩色滤光片的制造方法，请参见图3及图4。在本实施例中，首先提供 一基板301，基板301的表面上形成有一图案化的遮光层302、一图案化的蓝色彩色光阻层 303、一图案化的绿色彩色光阻层304以及一图案化的红色彩色光阻层305。图案化的遮光 层302配置于上述各彩色光阻层之间，如图3(a)所示。在本实施例中，图案化的遮光层302 可为氧化铬层、氮化铬层与铬层的薄膜组成、或是黑色树脂层，依所选择的材料及制程条件 的不同，遮光层302的厚度通常介于0. 1微米至2. 5微米之间。而各颜色的彩色光阻层的 厚度通常介于0. 5微米至3. 5微米之间。然而，上述的遮光层及彩色光阻层的厚度，可根据 产品的需求而调整，并非指本发明局限于上述的厚度。 图案化遮光层302、图案化的蓝色彩色光阻层303、图案化的绿色彩色光阻层304 以及图案化的红色彩色光阻层305的形成方法可以利用一般的光微显影技术得到。在本 实施例中，首先于基板上形成图案化遮光层302，然后分别涂布负型的彩色光阻材料于基板 上，并搭配曝光及显影制程而分别完成红色、蓝色及绿色的彩色光阻层。从而得到如图3 (a) 所示的包括有遮光层302及红色、蓝色及绿色的彩色光阻层的基板。
接着，于该基板301的该遮光层302及红色、绿色、蓝色的彩色光阻层上形成一第 一透明导电层310，如图3(b)所示。在本实施例中，以溅镀法(sputtering)形成氧化铟锡 层(IT0)的第一透明导电层310，而第一透明导电层310也可为氧化铟锌层(IZO)或氧化锌 铝层(ZAO)等透明的导电层。在本实施例中，第一透明导电层的的厚度可根据产品的需求 而调整，并不受任何限制。然而，在第一透明导电层310的溅镀制程中，若某些基板301上 存在一些异物粒子320 (particle)，则在溅镀过程将会造成异物粒子320下方并没有沈积 第一透明导电层310的现象。或者，在溅镀舱室(sputter chamber)中存在某些异物粒子 320 (particle)，于溅镀过程中异物粒子320也同时沈积于基板301上。或是因为其它原因 而造成第一透明导电层310上发生"针孔"或是其它缺陷(如膜剥落)的现象发生，而这 些缺陷都会造成后续产品的问题。 于形成第一透明导电层310后，检查上述基板上的第一透明导电层。前段所述的 基板上的缺陷，其形成的位置、数量或发生频率常随着制程的环境或是溅镀设备的状况而 定，并非所有的基板上都会包含有如，异物粒子320、针孔或膜剥落等缺陷。因此，检查步骤 的主要目的在于筛选出包含有缺陷的异常基板。此外，光学检查可检查出的缺陷不仅限于 异物粒子320、针孔、或膜剥落等，亦可检查出其它形式的缺陷。 完成检查步骤后，清洗筛选出的异常基板。如图3(c)所示，在清洗步骤中，基板 上的异物微粒320将于清洗过程中脱落，而原本被异物微粒320所覆盖的区域便形成一异 常区330。在本实施例中，清洗的方式是经由一喷嘴将加压过的纯水喷洒于基板上，利用水 压以清除基板上的异物微粒。此外清洗的方式并不限于上述湿式制程，也可利用风刀(air knife)或是利用毛刷滚轮达成相同的目的。然而，因为异物粒子320周围的第一导电层 的结构较弱，在许多状况下，异物粒子320会自然脱落，因此清洗步骤是一选择性的制程步 骤，并非绝对需要。 接着，于上述完成清洗的基板上形成一第二透明导电层340，如图3(d)所示。第二 透明导电层340的材料可为任何透明的导电材料，例如氧化铟锡或氧化铟锌。第二透明导 电层340的材料可不同于第一透明导电层的材料。在本实施例中，利用溅镀法形成氧化铟 锡为第二透明导电层340。形成第二透明导电层340后，原本基板上的异常区330或是其它 缺陷会被第二透明导电层340覆盖，而达成修补异常区330及其它缺陷的功能。第二透明 导电层的厚度及第一透明导电层310会影响最终产品的穿透度。在本实施例中，第二透明 导电层的厚度可根据产品的需求而调整，并不受任何限制。 依产品的需求及设计，可选择性的进行感旋光性间柱(photo spacer)制程，如图 3 (e)所示。其形成方法为先涂布感旋光性间柱材料，再经预烤、曝光、显影及烘烤，最后形成 图案化的支撑体350。然而，若彩色滤光片为一般洒布间隙子的产品，则不需进行感旋光性 间柱(photo spacer)制程。 图4为本实施例的彩色滤光片的制程流程图。在本实施例中，首先依序形成遮 光层及红色、绿色、蓝色等彩色光阻层，然后进行第一透明导电层的镀膜，接着进行一检查 步骤，筛选出异常的基板，然后将异常的基板进行第二透明导电层的镀膜，来修补异常的基 板。因此，本发明可以有效改善在形成透明导电层的制程良率，避免如公知技术中拢长的重 工过程，而达到降低生产成本的目的。 上述实施例仅为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范围自应以申请专利范围所述为准，而非仅限于上述实施例。
权利要求
一种彩色滤光片的制造方法，其特征在于，包括以下步骤(a)提供一包括有一遮光层及一彩色光阻层的基板；(b)形成一第一透明导电层于该遮光层及该彩色光阻层上；(c)检查该第一透明导电层；(c1)清洗已形成该第一透明导电层的该基板；(d)形成一第二透明导电层于该基板的该第一透明导电层上；以及(e)形成一图案化支撑层于该第二透明导电层上。
2. 如权利要求l所述的制造方法，其特征在于，步骤(a)的遮光层为一图案化的遮光层。
3. 如权利要求l所述的制造方法，其特征在于，步骤(a)的彩色光阻层为一图案化的彩色光阻层。
4. 如权利要求l所述的制造方法，其特征在于，步骤(b)的该第一透明导电层为氧化铟锡层。
5. 如权利要求l所述的制造方法，其特征在于，步骤(b)的该第一透明导电层为氧化铟锌层。
6. 如权利要求l所述的制造方法，其特征在于，步骤(b)使用溅镀法以形成该第一透明导电层。
7. 如权利要求l所述的制造方法，其特征在于，步骤(c)为一光学检查步骤，以检查该第一透明导电层的缺陷。
8. 如权利要求l所述的制造方法，其特征在于，步骤(c)为一自动光学检查步骤或一人工光学检查步骤，以检查该第一透明导电层的一缺陷。
9. 如权利要求l所述的制造方法，其特征在于，步骤(d)使用溅镀法以形成该第二透明导电层。
10. 如权利要求l所述的制造方法，其特征在于，步骤(d)的该第二透明导电层为氧化铟锡层。
11. 如权利要求l所述的制造方法，其特征在于，步骤(d)的该第二透明导电层为氧化铟锌层。
全文摘要
本发明有关于一种彩色滤光片的制造方法，其包括以下步骤(a)提供一包括有一遮光层及一彩色光阻层的基板；(b)形成一第一透明导电层于该遮光层及该彩色光阻层上；以及(c)检查该第一透明导电层。
文档编号G02B5/22GK101726782SQ200810201099
公开日2010年6月9日 申请日期2008年10月13日 优先权日2008年10月13日
发明者徐凯祥, 蔡清裕, 陈景忠 申请人:华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司