专利名称：加固型光阻墙光罩的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种光罩，尤其涉及一种加固型光阻墙光罩。
背景技术：
目前所使用的光阻墙光罩，显影后各光阻墙单元被分开，在硬烤后常常会发生光阻墙分层或从玻璃上脱落的现象，严重影响产品的质量和使用寿命。
发明内容为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种加固型光阻墙光罩，使用该光阻墙光罩所得到的光阻墙可有效增加光阻墙的胶合面积及结果承载力，从而改善分层或脱落现象发生，延长其使用寿命。本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是一种加固型光阻墙光罩， 包括若干组呈规律排列的光阻墙光罩单元，所述每组光阻墙光罩单元包括一正多边形通孔和若干个三角形通孔，所述正多边形通孔位于所述光阻墙光罩单元的中心，所述若干个三角形通孔分别设于所述正多边形通孔的边外，且所述三角形通孔的面积远远小于所述正多边形通孔的面积；所述相邻的每两组光阻墙光罩单元之间分别设有若干个间隔孔，该若干个间隔孔呈直线排列且不相邻。这样，在每个光阻墙光罩单元里的正多边形通孔外加设小三角形通孔，利用该光罩所得到的光阻墙，其对应小三角形处可起到加固作用，并且可优化显影硬烤后光阻的内应力分布，提高光阻墙的结构承载力，增加胶合面积，减少分层的风险，延长使用寿命；另在每组光阻墙光罩单元之间的切割道中间增加间隔孔作为连接，可使显影后各光阻墙单元之间成为一个整体，改善烘烤后光阻墙从玻璃脱落现象。作为本实用新型的进一步改进，所述每组光阻墙光罩单元的正多边形通孔为正八边形通孔，所述若干个三角形通孔为四个等腰直角三角形通孔，该四个等腰直角三角形通孔分别间隔对称设于所述正八边形通孔的互不相邻的两组相对边外，且所述等腰直角三角形通孔的斜边靠近所述正八边形通孔。作为本实用新型的进一步改进，所述每组光阻墙光罩单元内的四个等腰直角三角形通孔的斜边与所述与其邻近的正八边形通孔的一边平行，且所述四个等腰直角三角形通孔的两直角边分别与所述与其斜边邻近的正八边形通孔的一边的两邻边分别共线。作为本实用新型的进一步改进，所述若干个间隔孔为等大的长方形通孔，且其较长的边分别与该若干个间隔孔所在直线平行。本实用新型的有益效果是通过改变每个光阻墙光罩单元里的正方向通孔改为正多边形通孔并在其外加设小三角形通孔，利用该光罩所得到的光阻墙，其对应小三角形处可起到加固作用，并且可优化显影硬烤后光阻的内应力分布，提高光阻墙的结构承载力，增加胶合面积，减少分层的风险，延长使用寿命；另在每组光阻墙光罩单元之间的切割道中间增加间隔孔作为连接，可使显影后各光阻墙单元之间成为一个整体，改善烘烤后光阻墙从玻璃脱落现象。
图1为本实用新型结构示意图；图2为本实用新型所述光阻墙光罩局部放大结构示意图；图3为本实用新型所述一组光阻墙光罩单元放大结构示意图。
具体实施方式
一种加固型光阻墙光罩，包括若干组呈规律排列的光阻墙光罩单元1，所述每组光阻墙光罩单元包括一正多边形通孔2和若干个三角形通孔3，所述正多边形通孔位于所述光阻墙光罩单元的中心，所述若干个三角形通孔分别设于所述正多边形通孔的边外，且所述三角形通孔的面积远远小于所述正多边形通孔的面积；所述相邻的每两组光阻墙光罩单元之间分别设有若干个间隔孔4，该若干个间隔孔呈直线排列且不相邻。这样，在每个光阻墙光罩单元里的正多边形通孔外加设小三角形通孔，利用该光罩所得到的光阻墙，其对应小三角形处可起到加固作用，并且可优化显影硬烤后光阻的内应力分布，提高光阻墙的结构承载力，增加胶合面积，减少分层的风险，延长使用寿命；另在每组光阻墙光罩单元之间的切割道中间增加间隔孔作为连接，可使显影后各光阻墙单元之间成为一个整体，改善烘烤后光阻墙从玻璃脱落现象。上述每组光阻墙光罩单元的正多边形通孔为正八边形通孔，所述若干个三角形通孔为四个等腰直角三角形通孔，该四个等腰直角三角形通孔分别间隔对称设于所述正八边形通孔的互不相邻的两组相对边外，且所述等腰直角三角形通孔的斜边靠近所述正八边形通孑L。上述每组光阻墙光罩单元内的四个等腰直角三角形通孔的斜边与所述与其邻近的正八边形通孔的一边平行，且所述四个等腰直角三角形通孔的两直角边分别与所述与其斜边邻近的正八边形通孔的一边的两邻边分别共线。上述若干个间隔孔为等大的长方形通孔，且其较长的边分别与该若干个间隔孔所在直线平行。
权利要求1.一种加固型光阻墙光罩，包括若干组呈规律排列的光阻墙光罩单元(1)，其特征在于所述每组光阻墙光罩单元包括一正多边形通孔(2)和若干个三角形通孔(3)，所述正多边形通孔位于所述光阻墙光罩单元的中心，所述若干个三角形通孔分别设于所述正多边形通孔的边外，且所述三角形通孔的面积远远小于所述正多边形通孔的面积；所述相邻的每两组光阻墙光罩单元之间分别设有若干个间隔孔(4)，该若干个间隔孔呈直线排列且不相邻。
2.根据权利要求1所述的加固型光阻墙光罩，其特征在于所述每组光阻墙光罩单元的正多边形通孔为正八边形通孔，所述若干个三角形通孔为四个等腰直角三角形通孔，该四个等腰直角三角形通孔分别间隔对称设于所述正八边形通孔的互不相邻的两组相对边外，且所述等腰直角三角形通孔的斜边靠近所述正八边形通孔。
3.根据权利要求2所述的加固型光阻墙光罩，其特征在于所述每组光阻墙光罩单元内的四个等腰直角三角形通孔的斜边与所述与其邻近的正八边形通孔的一边平行，且所述四个等腰直角三角形通孔的两直角边分别与所述与其斜边邻近的正八边形通孔的一边的两邻边分别共线。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的加固型光阻墙光罩，其特征在于所述若干个间隔孔为等大的长方形通孔，且其较长的边分别与该若干个间隔孔所在直线平行。
专利摘要本实用新型公开了一种加固型光阻墙光罩，包括若干组呈规律排列的光阻墙光罩单元1，所述每组光阻墙光罩单元包括一正多边形通孔2和若干个三角形通孔3，所述正多边形通孔位于所述光阻墙光罩单元的中心，所述若干个三角形通孔分别设于所述正多边形通孔的边外，且所述三角形通孔的面积远远小于所述正多边形通孔的面积；所述相邻的每两组光阻墙光罩单元之间分别设有若干个间隔孔4，该若干个间隔孔呈直线排列且不相邻。使用该光阻墙光罩所得到的光阻墙可有效增加光阻墙的胶合面积及结果承载力，从而改善分层或脱落现象发生，延长其使用寿命。
文档编号G03F1/14GK201955618SQ20112001850
公开日2011年8月31日 申请日期2011年1月20日 优先权日2011年1月20日
发明者吕军, 王海平, 蔡棒, 邵长治 申请人:昆山西钛微电子科技有限公司