专利名称：一种3d曝光装置的制作方法
技术领域：
本实用新型 涉及精密光刻成像装置，特别是涉及一种3D曝光装置。
背景技术：
目前的曝光装置属于精密光刻成像装置中的，其是采用紫外光照射，使可接受某特定波长可感光的材料，在受到光照射的区域产生形成与菲林上图案完全一致的装置。现有的曝光装置要么就是只有一个曝光台，在曝光台进入曝光区装置内进行曝光时，只能等待其曝光完毕后拉出曝光台取出曝光材料后再一次进行准备材料和抽真空之后再推入曝光区装置内进行曝光。这样的曝光装置的缺点是曝光出产率比较低。还有一种曝光装置是设置上下两个曝光台，其中一个曝光台如上层曝光台推入曝光区内曝光时，另一个曝光台即下层可以做压贴麦拉膜和抽吸真空的准备工作将曝光材料和曝光台准备好，当曝光区内的上层曝光台曝光完毕被拉出后，再将准备好的下层曝光台推入曝光区内进行曝光处理。这样的曝光装置的优点是曝光出产效率提高一倍，但是由于曝光台位于上下层，因此曝光的强度和时间不均匀，需要额外调节曝光时间，而且不能保证曝光的光能量对曝光材料照射的同量一致性。而且上述曝光台都是只能是做普通平面材料的曝光，不能3D的精密曝光处理。
发明内容本实用新型是为了解决现有技术中的不足而完成的，本实用新型的目的是提供结构简单、在可以实现3D精密曝光的同时，保证高效曝光出产率和曝光的光能量对曝光材料照射的同量一致性，保证精密曝光和出产产品质量一致性的一种3D曝光装置。本实用新型的一种3D曝光装置，包括机台和设置在所述机台上的曝光区装置，所述曝光区装置包括壳体和设置在所述壳体内部上方的曝光器，所述曝光区装置两侧分别设置一个可沿同一水平面滑入或滑出所述壳体内的曝光台，所述曝光台包括底板、设置在底板上的玻璃台面、一端铰接于所述底板上的上盖，所述上盖下表面压贴有耐拉膜，所述底板内设置抽真空导管，所述上盖边缘与所述底板边缘密封连接，所述抽真空导管与抽真空装置连接，所述至少一个曝光台内的耐拉膜是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜。本实用新型的一种3D曝光装置还可以是所述两个曝光台内耐拉膜均是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜。所述一个曝光台内的耐拉膜是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜，另一曝光台内的耐拉膜是由聚氯乙烯制成的聚氯乙烯耐拉膜。所述上盖边缘与所述底板边缘分别设置密封圈和密封垫，所述上盖与所述底板盖合，所述密封圈和所述密封垫挤紧在所述上盖与所述底板边缘处，所述密封圈与所述密封垫的表面弹性相抵。所述密封圈为软橡胶密封圈，所述密封垫为软橡胶密封垫。所述上盖与所述底板之间通过铰链连接。[0011 ] 所述上盖边缘设有不锈钢框架。所述曝光器为冷光紫外线灯。所述冷光紫外线灯设置在一聚光反射罩内，所述冷光紫外线灯顶部设置排风扇。所述曝光台与所述壳体之间均设置安全光照明灯。本实用新型的一种3D曝光装置，由于包括机台和设置在所述机台上的曝光区装置，所述曝光区装置包括壳体和设置在所述壳体内部上方的曝光器，所述曝光区装置两侧分别设置一个可沿同一水平面滑入或滑出所述壳体内的曝光台，所述曝光台包括底板、设置在底板上的玻璃台面、一端铰接于所述底板上的上盖，所述上盖下表面压贴有耐拉膜，所述底板内设置抽真空导管，所述上盖边缘与所述底板边缘密封连接，所述抽真空导管与抽真空装置连接，所述至少一个曝光台内的耐拉膜是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜。使用时，曝光区装置一侧的曝光台先准备好后推入壳体内进行曝光处理，同时对位于曝光区装置另·外一侧的曝光台进行压贴耐拉膜和抽真空等准备工作，当曝光区装置内的曝光台曝光完成后被拉出，然后将准备好的另一侧的曝光台推入曝光区装置内进行曝光，在其曝光期间，将曝光后的曝光材料取下，然后再进行下一次曝光的准备工作，如此循环操作。同时由于至少一个曝光台耐拉膜是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜，而硅胶耐拉膜是高弹性、高透明而且具有高度抗拉性的耐拉膜，其耐磨耐高温，因此可以曝光3D图像，实现整体曝光装置能够实现3D精密曝光。这样，相对于现有技术而言具有的优点是结构比较简单，在实现精密3D曝光的同时，提高了曝光出产效率，而且由于两个曝光台位于同一水平面上，因此，曝光材料与曝光器之间的距离是固定不变的，因此不需要额外调节曝光时间就可以保证曝光的光能量对曝光材料照射的同量一致性，保证了出产产品的效果和质量的一致性。
图I本实用新型一种3D曝光装置实施例示意图。图号说明I…机台2…曝光区装置3…壳体4…曝光器5…曝光台6…导轨7…聚光反射罩8…排风扇9…底板10···玻璃台面11···上盖12···耐拉膜13…密封圈14…抽真空导管15…抽真空装置16…铰链21…安全光照明灯22…密封垫
具体实施方式
以下结合附图的图I对本实用新型的一种3D曝光装置作进一步详细说明。本实用新型的一种3D曝光装置，请参考图1，包括机台I和设置在所述机台I上的曝光区装置2，所述曝光区装置2包括壳体3和设置在所述壳体3内部上方的曝光器4，所述曝光区装置2两侧分别设置一个可沿同一水平面滑入或滑出所述壳体3内的曝光台5，所述曝光台5包括底板9、设置在底板9上的玻璃台面10、一端铰接于所述底板9上的上盖11，所述上盖11下表面压贴有耐拉膜12，所述底板9内设置抽真空导管14，所述上盖11边缘与所述底板9边缘密封连接，所述抽真空导管14与抽真空装置15连接，所述至少一个曝光台5内的耐拉膜12是由娃胶材料制成的娃胶耐拉膜12。使用时,曝光区装置2 —侧的曝光台5先准备好后推入壳体3内进行曝光处理，同时对位于曝光区装置2另外一侧的曝光台5进行压贴耐拉膜12和抽真空等准备工作，当曝光区装置2内的曝光台5曝光完成后被拉出，然后将准备好的另一侧的曝光台5推入曝光区装置2内进行曝光，在其曝光期间，将曝光后的曝光材料取下，然后再进行下一次曝光的准备工作，如此循环操作。同时由于至少一个曝光台5耐拉膜12是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜12，而硅胶耐拉膜12是超高弹性、高透明而且具有超高抗拉性的耐拉膜12，其可以在抽真空的状态下，完全紧密地包裹住曝光材料的3D面，而聚乙烯耐拉膜是无法实现的，其耐 磨耐高温，因此可以曝光3D图像，从而实现整体曝光装置能够实现3D精密曝光。这样，相对于现有技术而言具有的优点是结构比较简单，在实现精密3D曝光的同时，提高了曝光出产效率，而且由于两个曝光台5位于同一水平面上，因此，曝光材料与曝光器4之间的距离是固定不变的，因此不需要额外调节曝光时间就可以保证曝光的光能量对曝光材料照射的同量一致性，保证了出产产品的效果和质量的一致性。本实用新型的一种3D曝光装置，请参考图1，在前面技术方案的基础上具体可以是所述两个曝光台5内耐拉膜12均是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜12。这样，两边的曝光台5中耐拉膜12都是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜12，可以保证两个曝光台5都可以实现精密3D曝光，提高3D曝光的曝光效率。另外还可以是所述一个曝光台5内的耐拉膜12是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜12，另一曝光台5内的耐拉膜12是由聚氯乙烯制成的聚氯乙烯耐拉膜12。这样一个曝光台5是硅胶耐拉膜12，可以实现精密3D曝光，另外一个曝光台5内是聚氯乙烯耐拉膜12，这个曝光台5实现曝光普通平面材料，效率更高，节省能源。本实用新型的一种3D曝光装置，请参考图1，在前面技术方案的基础上可以是所述机台I上设置导轨6，而设置在曝光区装置2两侧的曝光台5分别与所述导轨6滑动连接。这样，两个曝光台5在同一导轨6上左右滑动进而被推入曝光区装置2内或从所述曝光区装置2内被拉出，保证两个曝光台5在曝光区装置2内的水平位置相同，即可以实现双向滑动，结构又简单，而且保证两个曝光台5处于同一水平面上。进一步优选的技术方案为对滑轮，所述机台I上设置一对导轨6或光杆，所述滑轨或滑轮与所述导轨6或光杆滑动连接。设置一对导轨6进一步保证曝光台5滑动的平稳性以及曝光的光能量对曝光材料照射的同量一致性。而曝光台5下部的滑轨或至少一对滑轮实现曝光台5在导轨6上的滑动。比较优选的是所述机台I上设置两根光杆，所述每个曝光台5下部设置四个轴瓦轴套，所述四个轴瓦轴套对称地套设在所述光杆上。这样左右两个曝光台5就可以在光杆上滑动。当然还可以采用其他结构的装置使得曝光台5可以水平地滑入或滑出壳体3内。本实用新型的一种3D曝光装置，请参考图1，在前面技术方案的基础还可以是所述上盖11边缘与所述底板9边缘分别设置密封圈13和密封垫22，所述上盖11与所述底板9盖合，所述密封圈13和所述密封垫22挤紧在所述上盖11与所述底板9边缘处，所述密封圈13与所述密封垫22的表面相抵。这样结构可以实现所述上盖11边缘与所述底板9边缘密封连接。两者的密封连接保证曝光台5内曝光材料准备阶段的抽真空得以实现。设置密封圈13和密封垫22表面弹性相抵，保证两者在上盖11与底板9盖合后弹性挤紧，保证密封效果。更进一步优选的技术方案为所述密封圈13为软橡胶密封圈13，所述密封垫22为软橡胶密封垫22。这样能够保证密封圈13与密封垫22之间的弹性密封，而且密封效果比较好,成本低。本实用新型的一种3D曝光装置，请参考图1，在前面技术方案的基础上还可以是所述上盖11与所述底板9之间通过铰链16连接。这样上盖11可以沿铰链16翻转打开或盖合。当然还可以采用所述上盖11与所述底板9之间通过铰接轴连接的方式实现上盖11与底板9之间的铰接。另外，还可以是所述上盖11边缘设有不锈钢框架。不锈钢框架的优点是不容易氧化，而且不容易生锈。另外，所述曝光器4为冷光紫外线灯。这样，由于使用冷光紫外线灯，在保证曝光效果的同时，避免散发大量的热，进而省掉了现有的一种3D曝光装置中的一整套复杂昂贵的冷却系统，降低一种3D曝光装置的成本，节能降耗，低碳环保。进一步优选的技术方案为所述冷光紫外线灯设置在一聚光反射罩7内，所述冷光紫外线灯上方设置排风扇8。聚光反射罩7与壳体3内部上部内壁固定,所述排风扇8安装在所述壳体顶端。设置聚光反射罩7的作用是将冷光紫外线灯发出的光汇聚并趋于平行光反射至壳体3内对曝光台5上的曝光材料进行照射，缩短曝光时间，提高曝光产出效率。而排风扇8的作用是将冷光紫外线灯散发的热量排走，避免冷光紫外线灯过热。进一步优选的技术方案为所述聚光反射罩7的底端与所述壳体3底部的距离等于或大于所述曝光台5的 高度。当聚光反射罩7的底端与所述壳体3底部的距离等于所述曝光台5的高度时，曝光台5推入壳体后，聚光反射罩7将所有的曝光器散发的光均反射至曝光台5表面，进一步提高曝光效率。而当聚光反射罩7的底端与所述壳体3底部的距离大于所述曝光台5的高度时，聚光反射罩7位于曝光条5上方,将光反射至曝光台5上,仅仅有部分外泄,但是外泄率比较低。保证曝光效率。另外还可以是所述曝光台5与所述壳体3之间均设置安全光照明灯21。安全光照明灯21为工作时照明使用。上述仅对本实用新型中的几种具体实施例加以说明，但并不能作为本实用新型的保护范围，凡是依据本实用新型中的设计精神所作出的等效变化或修饰或等比例放大或缩小等，均应认为落入本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种3D曝光装置，其特征在于包括机台和设置在所述机台上的曝光区装置，所述曝光区装置包括壳体和设置在所述壳体内部上方的曝光器，所述曝光区装置两侧分别设置一个可沿同一水平面滑入或滑出所述壳体内的曝光台，所述曝光台包括底板、设置在底板上的玻璃台 面、一端铰接于所述底板上的上盖，所述上盖下表面压贴有耐拉膜，所述底板内设置抽真空导管，所述上盖边缘与所述底板边缘密封连接，所述抽真空导管与抽真空装置连接，所述至少一个曝光台内的耐拉膜是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜。
2.根据权利要求I所述的一种3D曝光装置，其特征在于所述两个曝光台内耐拉膜均是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜。
3.根据权利要求I所述的一种3D曝光装置，其特征在于所述一个曝光台内的耐拉膜是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜，另一曝光台内的耐拉膜是由聚氯乙烯制成的聚氯乙烯耐拉膜。
4.根据权利要求I或2或3所述的一种3D曝光装置，其特征在于所述上盖边缘与所述底板边缘分别设置密封圈和密封垫，所述上盖与所述底板盖合，所述密封圈和所述密封垫挤紧在所述上盖与所述底板边缘处，所述密封圈与所述密封垫的表面弹性相抵。
5.根据权利要求4所述的一种3D曝光装置，其特征在于所述密封圈为软橡胶密封圈，所述密封垫为软橡胶密封垫。
6.根据权利要求I或2或3所述的一种3D曝光装置，其特征在于所述上盖与所述底板之间通过铰链连接。
7.根据权利要求I或2或3所述的一种3D曝光装置，其特征在于所述上盖边缘设有不锈钢框架。
8.根据权利要求I或2或3所述的一种3D曝光装置，其特征在于所述曝光器为冷光紫外线灯。
9.根据权利要求8所述的一种3D曝光装置，其特征在于所述冷光紫外线灯设置在一聚光反射罩内，所述冷光紫外线灯上方设置排风扇。
10.根据权利要求I或2或3所述的一种3D曝光装置，其特征在于所述曝光台与所述壳体之间均设置安全光照明灯。
专利摘要本实用新型公开了一种3D曝光装置，包括机台和设置在机台上的曝光区装置，曝光区装置包括壳体和设置在壳体内部上方的曝光器，曝光区装置两侧分别设置一个可沿同一水平面滑入或滑出壳体内的曝光台，曝光台包括底板、设置在底板上的玻璃台面、一端铰接于底板上的上盖，上盖下表面压贴有耐拉膜，底板内设置抽真空导管，上盖边缘与底板边缘密封连接，抽真空导管与抽真空装置连接，至少一个曝光台内的耐拉膜是由硅胶材料制成的硅胶耐拉膜。本实用新型的一种3D曝光装置结构简单、在可以实现3D精密曝光的同时，保证高效曝光出产率和曝光的光能量对曝光材料照射的同量一致性，保证精密曝光和出产产品质量一致性。
文档编号G03F7/20GK202794850SQ20122048739
公开日2013年3月13日 申请日期2012年9月21日 优先权日2012年9月21日
发明者朱婉平 申请人:深圳市万佳原丝印器材有限公司