具有印模结构的印模及其制造方法与流程

文档序号:14723466发布日期:2018-06-18 12:57阅读:来源:国知局
技术特征:

1.具有印模结构的印模,其中所述印模结构至少部分由作为印模材料的有机硅形成。

2.根据权利要求1的印模,其中所述印模材料具有环氧基和/或丙烯酰基。

3.根据权利要求1或2的印模,其中所述印模材料由一种或多种下述提及的材料形成:

-丙烯酸酯有机硅或环氧有机硅,

-多面体低聚倍半硅氧烷(POSS),

-原硅酸四乙酯(TEOS)和/或

-聚(有机)硅氧烷。

4.根据前述权利要求之一的印模,其中通过紫外线辐射或通过热辐射硬化或者能硬化所述印模材料。

5.根据前述权利要求之一的印模,其中所述印模材料在5000纳米至10纳米,优选1000纳米至100纳米,更优选700纳米至200纳米,最优选500纳米至400纳米的波长范围内是透明的。

6.用于形成印模结构的方法,其中所述印模结构至少部分由作为印模材料的有机硅形成。

7.根据权利要求6的方法,其中通过紫外线辐射或通过热辐射硬化所述印模结构的印模材料。

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