液罐和光刻胶剥离设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种液罐，所述液罐包括主罐，其中，所述液罐还包括过滤装置，所述过滤装置能够对流入所述主罐内的液体进行过滤。本实用新型还提供一种光刻胶剥离设备。在本实用新型中，所述过滤装置能够对流入所述主罐内的液体进行过滤。当所述液罐用作所述光刻胶剥离设备的剥离液罐时，可以对流入所述主罐内的剥离液进行过滤，从而减少剥离液中的光刻胶和其他杂质的含量，减少抽吸泵堵塞及系统停止运行的发生，同时减少基板上的光刻胶残留，进而提高产品质量。
【专利说明】液罐和光刻胶剥离设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光刻胶的处理，具体地，涉及一种液罐和一种光刻胶剥离设备。
【背景技术】
[0002]TFT (Thin Film Transistor，薄膜场效应晶体管)阵列基板的制作工艺包括清洗、溅射、光刻胶涂布、曝光、显影、刻蚀和光刻胶剥离等步骤。光刻胶剥离是用剥离液来去除基板上的光刻胶。
[0003]如图1所示的是现有的光刻胶剥离设备，剥离液直接注入液罐内，在液罐内经过加热件11加热和循环泵13搅拌之后，通过抽吸泵12抽取，经过过滤器15过滤后对基板2进行喷淋，以去除基板2上面的光刻胶，喷淋之后的剥离液直接流回到液罐内，在一定的时间内循环应用。
[0004]在经过滤器15过滤之前，剥离液中混合有光刻胶等杂质。抽吸泵12抽取所述液罐内的剥离液时，杂质会堵塞抽吸泵12，造成系统停止运行。
[0005]因此，如何减少系统停止运行的发生成为本领域亟待解决的技术问题。
实用新型内容
[0006]本实用新型的目的在于提供一种液罐和一种光刻胶剥离设备，使所述光刻胶剥离设备的抽吸泵不易被堵塞。
[0007]为了实现上述目的，作为本实用新型的一个方面，提供一种液罐，所述液罐包括主罐，其中，所述液罐还包括过滤装置，所述过滤装置能够对流入所述主罐内的液体进行过滤。
[0008]优选地，所述过滤装置包括第一过滤件，该第一过滤件覆盖所述主罐的内腔的截面。
[0009]优选地，所述过滤装置还包括成对设置的过滤辊，在每对所述过滤辊中，一个过滤辊可旋转地安装在所述主罐的一侧，另一个过滤辊可旋转地安装在所述主罐的另一侧，所述第一过滤件的一端缠绕在一个所述过滤辊上，另一端缠绕在另一个所述过滤辊上。
[0010]优选地，所述过滤装置还包括设置在所述第一过滤件下方的第二过滤件，该第二过滤件覆盖所述主罐的内腔的截面。
[0011]优选地，所述液罐还包括能够对经过所述过滤装置过滤的液体进行成分分析的分析装置、指示装置和控制器，所述分析装置和所述指示装置均与所述控制器电连接，所述指示装置包括第一指示灯、第二指示灯和第三指示灯。
[0012]优选地，所述液罐还包括回收罐和设置在所述主罐的罐壁上的出口控制阀，所述出口控制阀与所述控制器电连接，所述回收罐通过所述出口控制阀与所述主罐选择性地连通。
[0013]优选地，所述液罐还包括连接在所述主罐和所述回收罐之间的回收泵，该回收泵与所述控制器电连接。[0014]优选地，所述液罐还包括循环泵，所述循环泵的出口和入口均与所述回收罐连通。
[0015]优选地，所述液罐还包括抽吸泵和第三过滤件，所述抽吸泵与所述回收罐连通，以对所述回收罐内的液体进行抽取，所述第三过滤件设置在所述回收罐的外部，以过滤从所述抽吸泵出口流出的液体。
[0016]作为本实用新型的另一个方面，提供一种光刻胶剥离设备，该光刻胶剥离设备包括液罐，其中，所述液罐为本实用新型所提供的上述液罐。
[0017]在本实用新型中，所述过滤装置能够对流入所述主罐内的液体进行过滤。当所述液罐用作所述光刻胶剥离设备的剥离液罐时，可以对流入所述主罐内的剥离液进行过滤，从而减少剥离液中的光刻胶和其他杂质的含量，减少抽吸泵堵塞及系统停止运行的发生，同时减少基板上的光刻I父残留，进而提闻广品质量。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
[0019]图1是现有的光刻胶剥离设备结构示意图；
[0020]图2是本实用新型中的光刻胶剥离设备结构示意图。
[0021]附图标记说明
[0022]1:喷淋装置；2:基板；4:主罐；5:过滤装置；501:第一过滤件；502:过滤辊；503:第二过滤件；6:分析装置；7:指示装置；701:第一指示灯；702:第二指示灯；703:第三指示灯；8:回收罐；9:回收泵；11:加热件；12:抽吸泵；13:循环泵；14:第三过滤件；15:过滤器。
【具体实施方式】
[0023]以下结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。
[0024]作为本实用新型的一个方面，如图2所示，提供一种液罐，该液罐包括主罐4，其中，所述液罐还包括过滤装置5，该过滤装置5可以对流入主罐4内的液体进行过滤。
[0025]在本实用新型中，流入主罐4内的剥离液经过过滤装置5过滤后，液体中含有的杂质减少，因此可以对液体进行回收利用，提高液体的利用率。并且，在实际应用中，过滤装置5可以对流入主罐4内的液体进行过滤，所以在重复利用液体时，抽吸泵所抽取的液体已经经过过滤装置5的过滤，所含杂质较少，因此不容易堵塞抽吸泵。
[0026]本实用新型所述液罐可以用于光刻胶剥离装置。即，所述液体可以为剥离液，过滤装置5可以对流入主罐4的剥离液(进行过滤，所以在重复利用剥离液时，抽吸泵所抽取的剥离液已经经过过滤装置5的过滤，所含杂质较少，因此不容易堵塞抽吸泵。
[0027]在本实用新型中，对过滤装置5的具体形式不作限定，只要可以对流入主罐4的液体进行过滤即可。
[0028]作为本实用新型的一种优选实施方式，如图2所示，过滤装置5包括第一过滤件501，第一过滤件501覆盖主罐4的内腔的截面，使得流入主罐4的液体可以全部流经第一过滤件501，以将液体中体积较大的杂质滤除。[0029]第一过滤件501可以为过滤纸，也可以为过滤网或其他具有过滤作用的结构等。
[0030]当过第一滤件501上累积的杂质达到一定数量时，可以对第一过滤件501进行更换。为了便于对第一过滤件501进行更换，可以将第一过滤件501可拆卸地设置在主罐4上。为了进一步便于对过滤件501进行更换，如图2所示，过滤装置5还可以包括成对设置的过滤辊502，在每对过滤辊中，一个过滤辊502可旋转地安装在主罐4的一侧，另一个过滤辊502可旋转地安装在主罐4的另一侧，第一过滤件501的一端缠绕在一个过滤辊502上，另一端缠绕在另一个过滤棍502上。
[0031]应当理解的是，过滤装置5可以包括一对过滤辊502，也可以包括多对过滤辊502。
[0032]具体地，在每对过滤辊中，当其中一个过滤辊502转动时，可以将第一过滤件501上使用过的部分缠绕在该一个过滤辊502上，同时第一过滤件501带动另一个过滤辊502转动，将缠绕在另一个过滤辊502上的第一过滤件501被展开，使得第一过滤件501中未经使用的部分覆盖主罐4的内腔的截面。
[0033]为了便于更换第一过滤件，优选地，可以将过滤辊502设置在主罐4的外部。
[0034]更进一步地，过滤装置5还可以包括设置在第一过滤件501下方的第二过滤件503，第二过滤件503覆盖主罐4的内腔的截面，经过第一过滤件501过滤的液体可以经过第二过滤件503过滤，以进一步减少液体中杂质的含量。应当理解的是，第二过滤件503可以过滤的杂质尺寸比第一过滤件501过滤的杂质尺寸小。利用第一过滤件501可以对液体进行粗过滤，利用第二过滤件503可以对液体进行精过滤，从而使得经过过滤装置5过滤得到的液体中所含的杂质更少。
[0035]具体地，第二过滤件503可以为过滤纸，也可以为过滤网或其他具有过滤作用的过滤件。在本实用新型中，对第二过滤件503的安装形式并不做具体限定，例如，可以采用与安装第一过滤件501相似的方式安装第二过滤件503。
[0036]经过第一过滤件501的过滤后，液体中的杂质的含量已经少于经第一过滤件501过滤前杂质的含量，第二过滤件503可以具有简单的安装形式，优选地，如图2所示，可以将第二过滤件503直接设置在主罐4内。
[0037]为了判断液体的成分(主要是杂质含量)，更进一步地，所述液罐还可以包括分析装置6，该分析装置6可以对经过过滤装置5过滤的液体进行成分分析。可以根据成分分析结果判断过滤后的液体能否重复利用。例如当所述液体为剥离液时，可以使用能够被重复利用的液体对基板2进行光刻胶剥离，而将不能够被重复利用的液体排出主罐4进行再处理。
[0038]分析装置6可以具有入口和出口，作为本实用新型的一种实施方式，分析装置6的入口和出口均与主罐4连通，在主罐4中采集的经过滤装置5过滤后的液体样品通过分析装置6的入口流入该分析装置6 ;进行成分分析后的液体样品通过分析装置6的出口流回主罐4。作为本实用新型的另一种实施方式，仅将分析装置6的入口与主罐4连通，在主罐4中采集的液体样品经过分析装置6的入口流入该分析装置，经分析判断出过滤后的液体样品的成分后，通过分析装置6的出口将液体样品排出分析装置6。
[0039]在本实用新型中，对分析装置6的具体形式并没有特殊限制，只要可以判断主罐4内经过滤装置5过滤后得到的液体的成分即可。例如，分析装置6中可以设置有多种试剂，与不同成分的液体接触反应后，所述试剂可以显示出不同的颜色。[0040]为了便于操作者判断过滤后的液体的成分，进一步优选地，所述液罐还可以包括指示装置7和控制器，分析装置6和指示装置7均与所述控制器电连接，所述控制器可以根据分析装置6的分析结果控制指示装置7进行相应的指示，并且根据分析结果对过滤后的液体进行相应的处理。
[0041]具体地，指示装置7的指示信号可以是光信号、声音信号或其他具有指示作用的信号，相对应的，指示装置7的结构可以包括发光源、发声器或其他能够产生指示信号的元件。
[0042]优选地，如图2所示，指示装置7可以包括第一指示灯701和第二指示灯702，当所述控制器根据分析装置6的分析结果判断过滤后的液体的成分在可用范围内时，所述控制器控制第一指示灯701发光，当所述控制器根据分析装置6的分析结果判断过滤后的液体的成分在不可用范围内时，所述控制器控制第二指示灯702发光。为了便于操作者判断，第一指示灯701和第二指示灯702可以发出不同颜色的指示灯光。例如，第一指示灯701可以发出绿色的指示灯光，而第二指示灯702可以发出红色的指示灯光。
[0043]可以理解的是，第一指示灯701和第二指示灯702均由所述控制器进行控制，所述控制器可以为PLC (可编程逻辑控制器)。可以由所述控制器预先设置所述可用范围和所述不可用范围。“可用范围”是指过滤后的液体中所含的杂质较少，即便重新利用，液体中的杂质也不会堵塞抽吸泵，亦不会在基板上产生较多残留。“不可用范围”是指过滤后的液体中所含的杂质较多，不可以重新利用。
[0044]当经过过滤的液体中的杂质的含量小于临界范围时，可以判定经过过滤的液体的成分在所述“可用范围内”；当经过过滤的液体中的杂质的含量大于预定临界范围时，可以判定经过过滤的液体的成分在所述“不可用范围内”。
[0045]下面介绍如何确定所述“可用范围”和所述“不可用范围”。例如，取同样重量的可正常使用的液体和不可正常使用的液体，并分别检测两种液体中所含杂质的重量，将可正常使用的液体中杂质的含量与不可正常使用的液体中杂质的含量之间的范围即为临界范围，用以划分可用范围和不可用范围。换言之，若检测出100克可正常使用的液体和100克不可正常使用的液体中所含杂质分别为5克和10克，那么，临界范围即为:5%?10% (含端点)。
[0046]应当理解的是，所述“可正常使用的液体”是指在一定周期内不会发生光刻胶残留的液体，相对地，所述“不可正常使用的液体”是指在一定周期内会发生光刻胶残留的液体。
[0047]需要指出的是，所述“周期”是指液体连续使用的时间或液体循环使用的次数，优选地，液体连续使用2400分钟或液体循环使用5000次(当所述液体为剥离液时，液体循环使用5000次是指对5000个基板进行光刻胶剥离)，换言之，所述“可正常使用的液液”是指连续使用2400分钟或循环使用5000次基本不会发生在基板上光刻胶残留的液体，所述“不可正常使用的液体”是指连续使用2400分钟或循环使用5000次会发生在基板上光刻胶残留的液体。而上述“基本不会发生”是指在光刻胶剥离完成后，难免会出现涂有大面积光刻胶的基板仍残留少量光刻胶，只要不影响基板的使用即可。
[0048]实际应用中，通过分析装置6检测经过过滤装置5过滤后的液体中杂质的比例，并将该比例输出至所述控制器，所述控制器内部处理单元判断上述剥离也中杂质的比例所处的范围(包括可用范围和不可用范围)，并向指示装置7输出相应的判断信号，指示装置7根据该信号给出相应的指示，并且从而判定经过过滤装置5过滤的液体能否继续使用。
[0049]更进一步地，指示装置7还可以包括第三指示灯703，所述控制器根据分析装置6的分析结果判断过滤后的液体的成分在可用范围与不可用范围之间(即，所述临界范围)时，所述控制器控制第三指示灯703发光。为了便于观察，第三指示灯703可以发出颜色不同于第一指示灯701和第二指示灯702的灯光。例如，第一指示灯701可以发出绿光，第二指示灯702可以发出红光，第三指示灯可以发出黄光。
[0050]可以利用处于可用范围与不可用范围之间的液体对光刻胶较多的基板进行处理，以提高液体的使用率。
[0051]更进一步地，所述液罐还可以包括设置在主罐4的罐壁上的出口控制阀，所述出口控制阀与所述控制器电连接，当所述控制器根据分析装置6的分析结果判断过滤后的液体处于不可用范围内时，所述控制器控制所述出口控制阀开启，以将主罐4内的液体排出。为了便于液体的排出，优选地，所述出口控制阀可以设置在主罐4的底壁上。容易理解的是，此处的出口控制阀为电磁阀。
[0052]更进一步地，如图2所示，所述液罐还可以包括回收罐8，当所述控制器根据分析装置6的分析结果判断过滤后的液体为可用时，所述过滤后的液体可以流入回收罐8以再次使用。
[0053]应当理解的是，可以在回收罐8上设置入口和出口。当回收罐8内没有可以使用的液体时，可以通过所述入口从外界向回收罐8内注入未经使用的液体；当液罐停止运行或对回收罐8进行清洗时，可以通过所述出口将回收罐8内的液体(剥离液或其他清洗液体)排出回收罐8。
[0054]在本实用新型中，对主罐4中的在可用范围内的液体进入回收罐8的方式并没有特殊的限定。例如，可以利用导管将主罐和回收罐连通，并在导管中设置开关阀，当控制器根据分析装置的分析结果判定液体在可用范围内时，控制开关阀打开，使在可用范围内的液体从主罐流向回收罐。
[0055]作为本实用新型的一种优选实施方式，所述液罐还可以包括连接在主罐4和回收罐8之间的回收泵9，具体地，为了更方便地进行液体的抽取，如图2所示，回收泵9的入口可以设置在靠近主罐4的底壁的位置，回收泵9与所述控制器电连接，当所述控制器根据分析装置6的分析结果判断过滤后的液体处于可用范围内时，所述控制器控制回收泵9开启，主罐4内过滤后的液体由回收泵9抽取至回收罐8以再次使用。
[0056]更进一步地，但所述液体为剥离液时，所述液罐还可以包括加热件11，具体地，如图2所示，加热件11设置在回收罐8内，以对回收罐8的液体进行加热。可以根据具体的剥离工艺来设定加热温度。
[0057]在本实用新型中，对加热件11的具体结构和数量不作限定，为了加快加热速度，如图2所示，可以设置多个加热件11。
[0058]更进一步地，所述液罐还可以包括循环泵13，优选地，如图2所示，循环泵13的出口和入口均可以与回收罐8连通，循环泵13的入口靠近加热件11，循环泵13的出口远离加热件11，使得回收罐8中的液体的温度较高的部分经循环泵13抽取后回到回收罐8的上方，与液体中温度较低的部分混合，从而使得液体的温度更加均匀。
[0059]更进一步地,所述液罐还可以包括抽吸泵12,具体地,如图2所示,抽吸泵12与回收罐8连通，以对回收罐8内的液体进行抽取。抽吸泵12将回收罐8内的液体抽出后送入喷淋装置I中，以对基板2进行喷淋。由于回收罐8内的液体的成分均在可用范围内，因此抽吸泵12不容易被堵塞。
[0060]抽吸泵12抽出的液体可以直接使用，也可以经过过滤或其他处理后再使用，优选地，如图2所示，所述液罐还可以包括第三过滤件14，第三过滤件14设置回收罐8的外部，以过滤从抽吸泵12的出口流出的液体。应当理解的是，抽吸泵12所抽出的液体为经过两次过滤后的液体或未经使用的液体，所含杂质少于第一次过滤之前和第二次过滤之前的液体中所含杂质，因此，第三过滤件14可以过滤的杂质尺寸比第二过滤件503过滤的杂质尺寸小。
[0061]下面结合图2来说明本实用新型中一种优选实施方式的工作流程。图2中所示的是一种光刻胶剥离装置，所述液体为剥离液。
[0062]如图2所示，回收罐8内没有可以使用的液体时，将未经使用的液体注入回收罐8内，设置于回收罐8内的加热件11对回收罐8内的液体加热，同时循环泵13抽取回收罐8内的液体后排放回回收罐8内，使得液体的温度更加均匀，同时，抽吸泵12将回收罐8内的液体抽出并经过第三过滤件14过滤以滤除部分杂质,过滤后的液体开始对基板2进行光刻胶剥离。
[0063]光刻胶剥离完成后，基板2上的杂质随使用后的液体一起流入主罐4内，经过第一过滤件501的第一次过滤后，部分杂质被滤除，第二过滤件503对经过第一过滤件501过滤后的液体进行第二次过滤，从而过滤除比第一次更多的杂质。过滤完成后，少量液体样品由分析装置6的入口流入分析装置6以进行成分分析，并在成分分析结束后由分析装置6的出口流出以不再使用。所述控制器根据预先设置的可用范围和不可用范围对分析装置6的分析结果进行判断，当判断所述液体样品处于可用范围内时，所述控制器控制第一指示灯701发出绿光，同时控制回收泵9开启，回收泵9将过滤后的液体抽取至回收罐8内；当判断所述液体样品处于不可用范围内时，所述控制器控制第二指示灯702发出红光，同时控制所述出口控制阀打开，以使得液体流出主罐4 ;当判断所述液体样品处于可用范围与不可用范围之间时，所述控制器控制第三指示灯703发出黄光，同时控制回收泵9开启，回收泵9将过滤后的液体抽取至回收罐8内。通过回收泵9泵送至回收罐8内的液体在回收罐8内的处理过程与未经使用直接放入回收罐8内的液体的处理过程相同，这里不再赘述。经过加热的液体经抽吸泵12抽取，并经第三过滤件14过滤后进入喷淋装置I对基板2进行喷淋。上述过程即为液体在所述液罐内的一次循环。
[0064]上述实施方案中，使用后的液体流入主罐4内，经过第一过滤件501和第二过滤件503过滤出部分杂质，过滤后的液体由分析装置6进行成分分析，所述控制器根据所述成分分析结果控制液体进行相应的使用，减少液体中杂质的含量，从而减少抽吸泵12堵塞的发生，同时提闻液体的利用率，减少基板2上的光刻I父残留，进而提闻广品质量。
[0065]虽然上文中以处理剥离液为例描述了本实用新型所提供的液罐的工作过程及原理，但是本领域技术人员应当理解的是，本实用新型所提供的液罐也可以用于处理其他液体。例如，所述液罐可以用于处理工业废水等。
[0066]作为本实用新型的另一方面，提供一种光刻胶剥离设备，该光刻胶剥离设备包括液罐，其中，所述液罐为本实用新型所提供的液罐，所述液罐内的液体为剥离液，该剥离液通过所述光刻胶剥离设备的喷淋装置对基板进行喷淋，从而实现光刻胶的剥离。
[0067]在所述光刻胶剥离设备中，所述液罐能够对剥离液进行过滤，减少剥离液中杂质的含量，因而减少系统停止运行的发生，并且能够根据剥离液的成分对剥离液进行相应的使用，延长剥离液的使用周期，同时减少基板上的光刻胶残留，从而提高产品质量。
[0068]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种液罐，所述液罐包括主罐，其特征在于，所述液罐还包括过滤装置，所述过滤装置能够对流入所述主罐内的液体进行过滤。
2.根据权利要求1所述的液罐，其特征在于，所述过滤装置包括第一过滤件，该第一过滤件覆盖所述主罐的内腔的截面。
3.根据权利要求2所述的液罐，其特征在于，所述过滤装置还包括成对设置的过滤辊，在每对所述过滤辊中，一个过滤辊可旋转地安装在所述主罐的一侧，另一个过滤辊可旋转地安装在所述主罐的另一侧，所述第一过滤件的一端缠绕在一个所述过滤辊上，另一端缠绕在另一个所述过滤辊上。
4.根据权利要求2所述的液罐，其特征在于，所述过滤装置还包括设置在所述第一过滤件下方的第二过滤件，该第二过滤件覆盖所述主罐的内腔的截面。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的液罐，其特征在于，所述液罐还包括能够对经过所述过滤装置过滤的液体进行成分分析的分析装置、指示装置和控制器，所述分析装置和所述指示装置均与所述控制器电连接，所述指示装置包括第一指示灯、第二指示灯和第三指示灯。
6.根据权利要求5所述的液罐，其特征在于，所述液罐还包括回收罐和设置在所述主罐的罐壁上的出口控制阀，所述出口控制阀与所述控制器电连接，所述回收罐通过所述出口控制阀与所述主罐选择性地连通。
7.根据权利要求6所述的液罐，其特征在于，所述液罐还包括连接在所述主罐和所述回收罐之间的回收泵，该回收泵与所述控制器电连接。
8.根据权利要求6所述的液罐，其特征在于，所述液罐还包括循环泵，所述循环泵的出口和入口均与所述回收罐连通。
9.根据权利要求6所述的液罐，其特征在于，所述液罐还包括抽吸泵和第三过滤件，所述抽吸泵与所述回收罐连通，以对所述回收罐内的液体进行抽取，所述第三过滤件设置在所述回收罐的外部，以过滤从所述抽吸泵出口流出的液体。
10.一种光刻胶剥离设备，该光刻胶剥离设备包括液罐，其特征在于，所述液罐为权利要求I至9中任意一项所述的液罐。
【文档编号】G03F7/42GK203786466SQ201420003851
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2014年1月3日 优先权日:2014年1月3日
【发明者】孙文昌 申请人:北京京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司