用于掩膜版外观检查的夹具的制作方法
【专利摘要】本实用新型实施例公开了一种用于掩膜版外观检查的夹具，包括支架、设于支架上的框架及固定组件；所述支架两端设有轴孔，所述框架两端凸设有匹配容置于所述轴孔中的转轴，固定组件包括旋转定位盘和固定销，所述旋转定位盘固设于转轴末端并随转轴同步旋转，旋转定位盘的周缘设有第一定位孔，固定销穿过所述第一定位孔并抵于所述支架上以将所述框架固定于预定角度。本实用新型实施例通过在支架和框架支架设置固定组件，以将框架固定于预定角度，从而再无需人工手持掩膜版，大大降低了劳动强度，具有轻松方便、安全高效的效果；此外，通过在框架上平行设置可固定于预定位置以卡持掩膜版的滑杆，从而适用于不同大小的掩膜版，具有适应性强的效果。
【专利说明】用于掩膜版外观检查的夹具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及掩膜版制造【技术领域】，尤其涉及一种用于掩膜版外观检查的夹具。
【背景技术】
[0002]随着显示平板的需求日益强劲和价格连续下降，对显示平板所需的掩膜版的制造也相应提出更高的要求，尤其是大尺寸掩膜版的加工能力，而大尺寸掩膜版在曝光、化学制程完成后需进行外观检查。传统的外观检查是以人工手持进行:带上无尘手套，双手握住光罩两端，对照强光灯检查膜面外观，检查非膜面时手动翻转来检查。
[0003]然而，现有的检查方式存在以下缺陷:(1)大尺寸掩膜版都很重，手持检查的劳动强度很大，甚至无法进行；(2)手工拿版容易产生污染，增加外观缺陷检查的难度；(3)手持掩膜版翻转时，易导致滑落，出现光罩报废。
实用新型内容
[0004]本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种轻松方便、安全高效的用于掩膜版外观检查的夹具。
[0005]为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提出了一种用于掩膜版外观检查的夹具，包括支架、可旋转地设于支架上的框架及固定组件，掩膜版固定于所述框架上；
[0006]其中，所述支架两端设有轴孔，所述框架两端凸设有匹配容置于所述轴孔中的转轴，固定组件包括旋转定位盘和固定销，所述旋转定位盘固设于转轴末端并随转轴同步旋转，旋转定位盘的周缘设有第一定位孔，固定销穿过所述第一定位孔并抵于所述支架上以将所述框架固定于预定角度。
[0007]进一步地，所述第一定位孔为多个等距间隔分布的分度孔，所述固定销为插销，所述支架对应于的旋转定位盘的位置设有一个第二定位孔或者设有多个与所述分度孔一一对应的第二定位孔，所述插销穿过所述分度孔且末端伸入所述第二定位孔中。
[0008]进一步地，所述第一定位孔为螺孔，所述固定销为匹配螺合于所述螺孔内且末端抵于所述支架上的螺钉。
[0009]进一步地，框架上设有与所述转轴平行并可固定于预定位置以卡持掩膜版的滑杆。
[0010]进一步地，滑杆的侧壁上开设有用以卡持掩膜版一侧边的第一卡槽，所述框架与所述第一卡槽相对的内壁上开设有用以卡持掩膜版另一侧边的第二卡槽。
[0011]进一步地，所述滑杆两端设有与所述框架的边框匹配的叉架，叉架上设有第三定位孔，定位销穿过第三定位孔并抵于所述边框上以将所述滑杆固定于预定位置。
[0012]进一步地，所述边框上对应设有多个等距间隔分布的第四定位孔，所述定位销穿过所述第三定位孔且末端伸入所述第四定位孔中；或者，所述第三定位孔为螺孔，所述定位销为匹配螺合于所述螺孔内且末端抵于所述边框的螺栓。
[0013]进一步地，所述转轴和轴孔之间设有轴承。
[0014]进一步地，所述支架上设有照明灯具。
[0015]进一步地，所述支架的四个角部下方分别设有轮架和轮子。
[0016]本实用新型实施例的用于掩膜版外观检查的夹具的有益效果是:通过在支架和框架支架设置固定组件，以将框架固定于预定角度，从而再无需人工手持掩膜版，大大降低了劳动强度，具有轻松方便、安全高效的效果；此外，通过在框架上平行设置可固定于预定位置以卡持掩膜版的滑杆，从而适用于不同大小的掩膜版，具有适应性强的效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是本实用新型实施例的用于掩膜版外观检查的夹具的一状态示意图。
[0018]图2是图1所示的用于掩膜版外观检查的夹具的另一状态示意图。
[0019]图3是图2中4位置的放大示意图。
【具体实施方式】
[0020]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。
[0021]请参考图1至图3，本实用新型实施例提供了一种用于掩膜版100外观检查的夹具，所述夹具包括支架10、可旋转地设于支架10上的框架20及固定组件30，其中，掩膜版100固定于所述框架20上。
[0022]所述支架10两端设有轴孔，所述框架20两端凸设有匹配容置于所述轴孔中的转轴，固定组件30包括旋转定位盘31和固定销32，所述旋转定位盘31固设于转轴末端并随转轴同步旋转，旋转定位盘31的周缘设有第一定位孔310，固定销32穿过所述第一定位孔310并抵于所述支架10上以将所述框架20固定于预定角度。优选地，所述转轴和轴孔之间设有轴承，从而减小了摩擦力，转动更灵活轻便。
[0023]作为一种实施方式，所述第一定位孔310为多个等距间隔分布的分度孔，所述固定销32为插销，所述支架10对应于的旋转定位盘31的位置设有一个第二定位孔或者设有多个与所述分度孔一一对应的第二定位孔，所述插销穿过所述分度孔且末端伸入所述第二定位孔中。
[0024]作为另一种实施方式，所述第一定位孔310为螺孔，所述固定销32为匹配螺合于所述螺孔内且末端抵于所述支架10上的螺钉。优选地，所示螺钉为手拧螺钉，或者螺钉的始端设有捏持部以便进行拧动操作。
[0025]框架20上设有与所述转轴平行并可固定于预定位置以卡持掩膜版100的滑杆21。滑杆21的侧壁上开设有用以卡持掩膜版100 —侧边的第一卡槽，所述框架20与所述第一卡槽相对的内壁上开设有用以卡持掩膜版100另一侧边的第二卡槽。所述滑杆21两端设有与所述框架20的边框匹配的叉架210，叉架210上设有第三定位孔，定位销22穿过第三定位孔并抵于所述边框上以将所述滑杆21固定于预定位置。优选地，所述叉架210呈I形，第三定位孔在对应的两叉件上同轴设置。
[0026]作为一种实施方式，所述框架20的边框上对应设有多个等距间隔分布的第四定位孔23，所述定位销22穿过所述第三定位孔且末端伸入所述第四定位孔23中；作为另一种实施方式，所述第三定位孔为螺孔，所述定位销22为匹配螺合于所述螺孔内且末端抵于所述边框的螺栓。
[0027]优选地，所述支架10上设有照明灯具。相对于传统的照明灯具单独设置，具有随时携带，使用方便的技术效果。灯头为强光灯，且采用金属可挠管固定连接，从而方便根据需要调整照射角度进行检查。
[0028]优选地，所述支架10的四个角部下方分别设有轮架40和轮子50。
[0029]本实用新型实施例的夹具用于在光刻好的掩膜版100进行化学制程、清洗，且放风干箱晾干后的外观检查，使用过程为:
[0030]1、打开照明灯具。
[0031]2、取出定位销22，滑动滑杆21至边框的边缘并穿入定位销22以将滑杆21固定。
[0032]3、取出固定销32，转动边框使其处于竖直状态，再穿入固定销32以将所述框架20固定。
[0033]4、将掩膜版100的一边轻轻放入边框的第二卡槽内，取出定位销22并向下移动滑杆21，使滑杆21的第一卡槽卡住掩膜版100的另一边，再穿入定位销22。
[0034]5、松开固定销32，旋转框架20，使掩膜版100旋转至合适的检查角度后，再将固定销32穿入固定，根据检查角度的需要，本步骤可以重复多次进行，直至掩膜版100检查完成。
[0035]6、重复第3步骤，即取出固定销32，转动边框使其处于竖直状态，再穿入固定销32以将所述框架20固定；重复第2步骤，即取出定位销22，滑动所述滑杆21至边框的边缘并穿入定位销22以将滑杆21固定，最后取走掩膜版100。
[0036]当然本领域技术人员可以理解的是，上述步骤顺序并非固定不变的，根据实际需要可适当调整。
[0037]本实用新型实施例的用于掩膜版100外观检查的夹具的有益效果是:通过在支架10和框架20支架10设置固定组件30，以将框架20固定于预定角度，从而再无需人工手持掩膜版100，大大降低了劳动强度，具有轻松方便、安全高效的效果；此外，通过在框架20上平行设置可固定于预定位置以卡持掩膜版100的滑杆21，从而适用于不同大小的掩膜版100，具有适应性强的效果。
[0038]以上所述是本实用新型的【具体实施方式】，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于:所述夹具包括支架、可旋转地设于支架上的框架及固定组件，掩膜版固定于所述框架上； 其中，所述支架两端设有轴孔，所述框架两端凸设有匹配容置于所述轴孔中的转轴，固定组件包括旋转定位盘和固定销，所述旋转定位盘固设于转轴末端并随转轴同步旋转，旋转定位盘的周缘设有第一定位孔，固定销穿过所述第一定位孔并抵于所述支架上以将所述框架固定于预定角度。
2.如权利要求1所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于:所述第一定位孔为多个等距间隔分布的分度孔，所述固定销为插销，所述支架对应于的旋转定位盘的位置设有一个第二定位孔或者设有多个与所述分度孔一一对应的第二定位孔，所述插销穿过所述分度孔且末端伸入所述第二定位孔中。
3.如权利要求2所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于:所述第一定位孔为螺孔，所述固定销为匹配螺合于所述螺孔内且末端抵于所述支架上的螺钉。
4.如权利要求1所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于:框架上设有与所述转轴平行并可固定于预定位置以卡持掩膜版的滑杆。
5.如权利要求4所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于:滑杆的侧壁上开设有用以卡持掩膜版一侧边的第一卡槽，所述框架与所述第一卡槽相对的内壁上开设有用以卡持掩膜版另一侧边的第二卡槽。
6.如权利要求4所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于:所述滑杆两端设有与所述框架的边框匹配的叉架，叉架上设有第三定位孔，定位销穿过第三定位孔并抵于所述边框上以将所述滑杆固定于预定位置。
7.如权利要求6所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于:所述边框上对应设有多个等距间隔分布的第四定位孔，所述定位销穿过所述第三定位孔且末端伸入所述第四定位孔中；或者，所述第三定位孔为螺孔，所述定位销为匹配螺合于所述螺孔内且末端抵于所述边框的螺栓。
8.如权利要求1所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于:所述转轴和轴孔之间设有轴承。
9.如权利要求1所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于:所述支架上设有照明灯具。
10.如权利要求1至9中任一项所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于:所述支架的四个角部下方分别设有轮架和轮子。
【文档编号】G03F1/84GK204209590SQ201420684942
【公开日】2015年3月18日 申请日期:2014年11月14日 优先权日:2014年11月14日
【发明者】杜武兵, 林伟, 黄国勇 申请人:深圳市路维光电股份有限公司