一种气垫式精密隔振光学平台的制作方法

文档序号:12730100阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种气垫式精密隔振光学平台,包括四个支撑柱(1),其特征在于:所述四个支撑柱(1)的上端固定连接支撑板(2),所述支撑柱(1)的底部设有支撑装置(3),所述支撑装置(3)包括调节螺杆(4)、与调节螺杆(4)配合的调节螺母(5)及支撑腿(6),所述调节螺杆(4)的一端与支撑腿(6)固定连接,所述支撑板(2)的中间竖直套装设有升降轴(7),所述升降轴(7)的底部设有调节旋钮(8),所述升降轴(7)与支撑板(2)连接的两侧设有导向套(9),所述导向套(9)的外侧设有定位套(10),所述升降轴(7)的顶端与定位板(11)固定连接,所述定位板(11)的两侧设有定位杆(12),所述定位杆(12)伸出定位板(11)的端部连接载物板(13),所述定位杆(12)的另一端设有定位调节块(14),所述定位调节块(14)的内部设有复位弹簧(1401)和隔振板(1402),所述载物板(13)的两端设有水平检测仪(15),所述载物板(13)由上至下包括顶板(16)、侧板(17)和底板(18),所述顶板(16)上阵列设有了盲孔螺纹(19),所述支撑柱(1)的两侧设有水平位置感应板(20),所述支撑板(2)的底部两侧对称设有两个报警装置(21)。

2.根据权利要求1所述的气垫式精密隔振光学平台,其特征在于:所述定位调节块(14)的外侧设有隔振套(22)。

3.根据权利要求1所述的气垫式精密隔振光学平台,其特征在于:所述水平位置感应板(20)与报警装置(21)通过电线相连。

4.根据权利要求1所述的气垫式精密隔振光学平台,其特征在于:所述支撑柱(1)为圆柱形。

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