专利名称：膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于光学平台的隔振系统，尤其是一种膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统。
背景技术：
当前国内外光学平台的隔振方案，概括起来有单气室减振垫、双气室模式空气弹簧、悬挂式隔振器等。它们的共同特点是水平固有频率高，容易引起水平的不良共振。同摆长、固有频率高、磨擦力大，振动传递率高，水平隔振效果差。加工难度高，工艺性能差，成本高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统。
本发明的技术方案为膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统，其中该膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统包括薄膜、下球头式摆杆、一级气室、二级气室、防渗透膜、阻尼液、支撑外壳、中间壳、内壳；下球头式摆杆的上端与光学平台接触，下球头式摆杆的下端与内壳的内底部接触；内壳的外壁与中间壳的内壁之间设置有空腔，空腔由防渗透膜分为上下两层，下层充填阻尼液，上层为一级气室，一级气室的顶端设置有薄膜；支撑外壳与中间壳的外壁之间设置有二级气室。
膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统，是采用超薄膜片气囊，双气室小孔空气阻尼，球头无磨擦摆动，不挥发性高效阻尼液，而共同构成的系统。为光学平台提供超低的固有频率，以避开环境振动引起的共振，从而得到良好的隔振效果。
本方案发明的核心技术是自定心下球头无磨擦摆动和无挥发高效阻尼液配合应用，大大降低了系统水平方向的固有频率，使振动的传递率得到有效改善，水平的隔振效果有了质的提高。采用本结构，不仅隔振效果好，而且工艺简单，制造方便，可以有效降低制造成本。
本方案经中国计量科学研究院测试，固有频率垂直方向0.76Hz，水平方向0.88Hz，静态台面振幅≤1.0μm，20Hz环境条件下的隔振效率垂直99.5％，水平98.0％。
本发明的优点在于本方案采用膜片气囊，双气室小孔空气阻尼，自定心下球头无磨擦摆动，加上无挥发高效阻尼液配合应用，有效克服传统光学平台隔振的不足。
图1为本发明的结构示意图。
附图标记薄膜1、下球头式摆杆2、一级气室3、二级气室4、防渗透膜5、阻尼液6、支撑外壳7。
具体实施例方式
实施例膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统，其中该膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统包括薄膜1、下球头式摆杆2、一级气室3、二级气室4、防渗透膜5、阻尼液6、支撑外壳7、中间壳、内壳；下球头式摆杆2的上端与光学平台接触，下球头式摆杆2的下端与内壳的内底部接触；内壳的外壁与中间壳的内壁之间设置有空腔，空腔由防渗透膜5分为上下两层，下层充填阻尼液6，上层为一级气室3，一级气室3的顶端设置有薄膜1；支撑外壳7与中间壳的外壁之间设置有二级气室4。
权利要求
1.膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统，其特征在于该膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统包括薄膜(1)、下球头式摆杆(2)、一级气室(3)、二级气室(4)、防渗透膜(5)、阻尼液(6)、支撑外壳(7)、中间壳、内壳；下球头式摆杆(2)的上端与光学平台接触，下球头式摆杆(2)的下端与内壳的内底部接触；内壳的外壁与中间壳的内壁之间设置有空腔，空腔由防渗透膜(5)分为上下两层，下层充填阻尼液(6)，上层为一级气室(3)，一级气室(3)的顶端设置有薄膜(1)；支撑外壳(7)与中间壳的外壁之间设置有二级气室(4)。
全文摘要
本发明涉及一种膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统。它包括薄膜、下球头式摆杆、一级气室、二级气室、防渗透膜、阻尼液、支撑外壳、中间壳、内壳；下球头式摆杆的上端与光学平台接触，下球头式摆杆的下端与内壳的内底部接触；内壳的外壁与中间壳的内壁之间设置有空腔，空腔由防渗透膜分为上下两层，下层充填阻尼液，上层为一级气室，一级气室的顶端设置有薄膜；支撑外壳与中间壳的外壁之间设置有二级气室。膜片式无磨擦摆动光学平台隔振系统，是采用超薄膜片气囊，双气室小孔空气阻尼，球头无磨擦摆动，不挥发性高效阻尼液，而共同构成的系统。为光学平台提供超低的固有频率，以避开环境振动引起的共振，从而得到良好的隔振效果。
文档编号F16F9/00GK101029853SQ20071005178
公开日2007年9月5日 申请日期2007年4月4日 优先权日2007年4月4日
发明者刘亦工, 齐豪 申请人:江西连胜实验装备有限公司