技术特征：
技术总结
本发明使用包括两组周期有细微差异且并排放置的光栅作为对准标记，在对准标记上设置光学放大倍率为-1倍的投影系统，当照明光经过照射至一组光栅上并以θ1的出射角衍射，衍射光通过投影系统后以180°的角度翻转又反射回另一组光栅上，由于两组光栅的周期相似，因此从另一组光栅上以很小的出射角θ2(sinθ2＝sinθ1-sinθ3，θ3为正入射至另一组光栅后衍射出的光线的出射角，且θ1与θ3之差很小)衍射出的光线依会在面阵探测器上形成莫尔条纹，并传输至处理单元，计算出对准标记的偏移距离，移动工件台上的硅片从而移动对准标记，直至对准标记的偏移距离为0，则对准完成。这种方法可自参考形成莫尔条纹，无需使用参考光栅，避免了参考光栅带来的漂移误差，提高了对准精度。
技术研发人员：周钰颖;陆海亮
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司
技术研发日：2015.12.31
技术公布日：2017.07.07