光学检测系统及方法与流程

文档序号:18689797发布日期:2019-09-17 20:25阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光学检测系统,包括:

多个相机,其可操作以对对象上的多个空间相异区域进行成像;

多个照明源,其输出多个激光脉冲;及

至少一个照明管理器,其可操作以将来自所述多个照明源的照明组合成单个复合输入光束,且此后将来自所述多个照明源的所述照明引导至所述多个空间相异区域,

所述至少一个照明管理器包括:

光束分配器,所述光束分配器配置为接收所述复合输入光束,将所述复合输入光束分离成多个复合输出光束,并将所述多个复合输出光束分别引导至所述多个空间相异区域。

2.如权利要求1所述的光学检测系统,且其中所述光束分配器为时间及空间光束分配器。

3.如权利要求1所述的光学检测系统,且其中所述光束分配器为时间光束分配器。

4.如权利要求1所述的光学检测系统,且其中所述光束分配器为空间光束分配器。

5.如权利要求1所述的光学检测系统,且其中所述光束分配器包括多边镜。

6.如权利要求1所述的光学检测系统,且其中所述光束分配器包括单边镜。

7.如权利要求1所述的光学检测系统,且其中所述多个相机中的至少一个以选通模式操作,所述选通模式受所述多个复合输出光束中的对应的至少一个到达所述多个空间相异区域中的至少一个的时序支配。

8.如权利要求7所述的光学检测系统,且其中所述多个相机中的至少一个以所述选通模式的操作受所述至少一个照明管理器控制。

9.一种光学检测系统,包括:

多个相机,其可操作以对对象上的多个空间相异区域进行成像;

多个照明源,其输出多个激光脉冲;及

至少一个照明管理器,其可操作以将来自所述多个照明源的照明组合成单个复合输入光束,且此后将来自所述多个照明源的所述照明单独地引导至所述多个空间相异区域,

所述至少一个照明管理器包括:

移动镜,所述移动镜配置为接收所述复合输入光束,将多个复合输出光束引导至所述多个空间相异区域。

10.如权利要求9所述的光学检测系统,且其中所述至少一个照明管理器包括多边镜。

11.如权利要求9所述的光学检测系统,且其中所述至少一个照明管理器包括单边镜。

12.如权利要求9所述的光学检测系统,且其中所述多个相机中的至少一个以选通模式操作,所述选通模式受所述多个复合输出光束中的对应的至少一个到达所述多个空间相异区域中的至少一个的时序支配。

13.如权利要求12所述的光学检测系统,且其中所述多个相机中的至少一个以所述选通模式的操作受所述至少一个照明管理器控制。

14.一种光学检测方法,包括:

使用多个相机对对象上的多个空间相异区域进行成像;

使用至少一个照明管理器将来自多个照明源的多个激光脉冲组合成单个复合输入光束;及

使用所述至少一个照明管理器将来自所述多个照明源的照明引导至所述多个空间相异区域上,

所述组合包括:

在光束组合器处接收来自所述多个照明源的多个互不相干的空间集中式激光脉冲;及

使用所述光束组合器提供所述复合输入光束;及

其中,将来自所述多个照明源的照明引导至所述多个空间相异区域上包括:

在光束分配器处接收所述复合输入光束;

将所述复合输入光束分离成多个复合输出光束;以及

使用所述光束分配器将所述多个复合输出光束分别引导至所述多个空间相异区域。

15.如权利要求14所述的光学检测方法,且其还包括:

使所述多个相机中的至少一个以选通模式操作,所述选通模式受所述多个复合输出光束中的对应的至少一个到达所述多个空间相异区域中的至少一个的时序支配。

16.如权利要求15所述的光学检测方法,还包括使用所述至少一个照明管理器控制所述操作。

17.一种光学检测方法,包括:

使用多个相机对对象上的多个空间相异区域进行成像;

使用至少一个照明管理器将来自多个照明源的多个激光脉冲组合成单个复合输入光束;及

使用所述至少一个照明管理器将来自所述多个照明源的照明单独地引导至所述多个空间相异区域,

所述组合包括:

在光束组合器处接收来自所述多个照明源的所述照明;及

使用所述光束组合器提供多个互不相干的空间集中式激光脉冲的单个复合输入光束;及

所述单独地引导包括:

在移动镜处接收多个互不相干的空间集中式激光脉冲的所述单个复合输入光束;及

使用所述移动镜将多个互不相干的空间集中式激光脉冲的多个复合输出光束引导至所述多个空间相异区域。

18.如权利要求17所述的光学检测方法,且其还包括:

使所述多个相机中的至少一个以选通模式操作,所述选通模式受所述多个复合输出光束中的对应的至少一个到达所述多个空间相异区域中的至少一个的时序支配。

19.如权利要求18所述的光学检测方法,还包括使用所述至少一个照明管理器控制所述操作。

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