光源装置、放电灯及其制造方法、以及曝光装置与流程

本发明涉及放电灯、放电灯的制造方法、放电灯的更换方法及点亮方法、具备放电灯的光源装置、具备该光源装置的曝光装置、以及使用曝光装置的器件制造方法。

背景技术：

在用于制造各种器件(液晶显示器件或半导体器件等)的光刻工序中，为了将形成于光罩的图案向涂布有感光材料的基板(玻璃板或半导体晶片等)转印而使用一次曝光型的投影曝光装置及扫描曝光型的投影曝光装置等曝光装置，在这些曝光装置中，存在具备将超高压水银灯等放电灯和聚光镜组合而构成的曝光用光源装置的类型。

在以往的光源装置中，存在如下光源装置：在放电灯的一方的灯座上设置凸缘部及层差部，在设有开口的基座部的表面上载置了该凸缘部的状态下，在该开口内用杆部件等对该层差部向下方施力，由此将该放电灯固定(例如，参照专利文献1)。另外，曝光装置用的放电灯若使用超过预先设定的容许时间，则可能因照度降低而导致曝光性能(析像度等)恶化。因此，在放电灯的累计使用时间经过了其容许时间时，作业者通过手动作业将该放电灯更换为未使用的放电灯。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2007/066947号小册子

技术实现要素：

在曝光装置中使用下的放电灯变为高温，因此在作业者通过手动作业更换放电灯的情况下，需要在放电灯熄灭后、间隔例如30分钟以上的时间后进行作业。因此，曝光装置的停歇时间变长，曝光工序的生产能力(生产率)降低。

另外，最近的扫描曝光型的曝光装置为了提高生产能力，而以曝光用光对光罩的更大面积的照明区域进行照明，并且，为了谋求更高速地对光罩进行扫描，而需要从光源装置供给照度更高的光。为此，考虑例如配置多个放电灯，将来自这些多个放电灯的光合成来使用。但是，在光源装置具有多个放电灯的情况下，由于放电灯的更换频度增加，所以曝光装置的停歇时间进一步变长，担心会抑制生产能力的提高。

根据本发明的第1方案，提供一种光源装置，用于使放电灯发光，该放电灯具有在内部设有用于形成发光部的第1电极及第2电极的玻璃部件、和相对于上述发光部分别设在上述玻璃部件的上述第1电极侧及上述第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，该光源装置具备：保管部，其保管上述放电灯；支承部，其能够装拆地支承上述放电灯的上述第2灯座部件；连结部，其将传递电力的部件能够装拆地连结到支承于上述支承部的上述放电灯的上述第1灯座部件；和搬送部，其在基于上述支承部对上述第2灯座部件的支承及基于上述连结部实现的上述传递电力的部件相对于上述第1灯座部件的连结被解除的状态下，保持着上述第1灯座部件地在上述保管部与上述支承部之间搬送上述放电灯。

根据第2方案，提供一种更换放电灯的更换方法，该放电灯具有形成发光部的玻璃部件、和以夹持该玻璃部件的方式设置的第1灯座部件及第2灯座部件，该更换方法包括：使与上述放电灯的上述第1灯座部件的被连结部面接触并且连结有传递电力的部件的部件从上述被连结部脱离；使上述放电灯的上述第2灯座部件从支承部件能够脱离；和保持着上述放电灯的上述第1灯座部件的包含非平面部的被保持部地将上述放电灯向保管部搬送。

根据第3方案，提供一种点亮放电灯的点亮方法，该放电灯具有形成发光部的玻璃部件、和以夹持该玻璃部件的方式设置的第1灯座部件及第2灯座部件，该点亮方法包括：使连结有传递电力的部件的部件与上述放电灯的上述第1灯座部件的被连结部面接触；通过能够供给电力的支承部件来支承上述放电灯的上述第2灯座部件；和经由上述传递电力的部件及上述支承部件向上述放电灯供给电力来点亮上述放电灯。

根据第4方案，提供一种放电灯，具有：在内部设有用于形成发光部的第1电极及第2电极的玻璃部件；和相对于上述发光部而分别设在上述玻璃部件的第1电极侧及第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，上述第1灯座部件具有：被连结部，其能够与传递电力的部件接触，并且能够与该部件面接触以减小被连结部与该部件的电接触电阻；和被保持部，其包含能够由搬送部保持的非平面部或倾斜部。

根据第5方案，提供一种本发明的方案的放电灯的制造方法，包括：制造在两端连结有导电性部件的上述玻璃部件；制造形成有上述被连结部及上述被保持部的被覆部件；和以覆盖上述玻璃部件的一端侧的上述导电性部件的方式固定上述被覆部件。

根据第6方案，提供一种本发明的方案的放电灯的制造方法，包括：准备在一端设有与上述第1电极或上述第2电极电连接的第1导电性部件的上述玻璃部件；准备形成有上述被连结部及上述被保持部的第2导电性部件；和将上述第2导电性部件与上述玻璃部件的一端侧的上述第1导电性部件连结。

根据第7方案，提供一种曝光装置，具备：本发明的方案的光源装置；通过从上述光源装置的上述放电灯产生的光对光罩进行照明的照明系统；和将上述光罩的图案的像投影到基板上的投影光学系统。

根据第8方案，提供一种器件制造方法，包括：使用本发明的方案的曝光装置在基板上形成感光层的图案；和对形成有上述图案的上述基板进行处理。

附图说明

图1是表示第1实施方式的曝光装置的概略结构的图。

图2的(A)是表示图1中的放电灯的图，(B)是表示图2的(A)的阳极侧的灯座部的放大立体图，(C)是沿着图2的(A)的CC线的剖视图。

图3的(A)是阳极侧的灯座部的从两个方向观察到的图，(B)、(C)、(D)及(E)分别是第1、第2、第3及第4变形例的阳极侧的灯座部的从两个方向观察到的图。

图4的(A)是表示图1中的光源装置的、将一部分切除后的俯视图，(B)是表示图4的(A)的光源装置的、将一部分切除后的侧视图。

图5是表示放电灯的阳极侧灯座部及夹紧机构的立体图。

图6的(A)是表示使滑动部移动的过程中的光源装置的、将一部分切除后的俯视图，(B)是表示图5的(A)的光源装置的、将一部分切除后的侧视图。

图7的(A)是表示将放电灯的阳极侧灯座部夹持的状态的图，(B)是表示解除对灯座部的夹持的状态的图。

图8是表示光源装置的、将一部分切除后的侧视图。

图9的(A)是表示通过灯握持爪来抓持阳极侧灯座部的状态的俯视图，(B)是图9的(A)的侧视图。

图10的(A)是表示使放电灯移动的过程中的光源装置的、将一部分切除后的俯视图，(B)是表示图10的(A)的光源装置的、将一部分切除后的侧视图。

图11是表示灯保管用转盘的定位部的图。

图12是表示制造中的放电灯的、将一部分切除后的分解图。

图13的(A)是表示变形例的阳极侧灯座部的夹紧机构的一部分的俯视图，(B)是图13的(A)的侧视图。

图14的(A)是表示其他变形例的阳极侧灯座部的夹紧机构的、将一部分切除后的侧视图，(B)是表示解除对阳极侧灯座部的夹持的状态的、将一部分切除后的侧视图。

图15是表示解除对阴极侧灯座部的夹持的状态的、将一部分切除后的侧视图。

图16是表示第2实施方式的光源装置的、将一部分切除后的侧视图。

图17是表示将滑动部引出的状态的、将一部分切除后的侧视图。

图18是表示第2实施方式的变形例的光源装置的、将一部分切除后的侧视图。

图19的(A)是表示第3实施方式的放电灯的图，(B)是表示将图19的(A)的阳极侧的灯座部夹持的状态的剖视图。

图20的(A)是表示第3实施方式的光源装置的、将一部分切除后的俯视图，(B)是表示图20的(A)的光源装置的、将一部分切除后的侧视图。

图21是表示将滑动部引出的状态的、将一部分切除后的侧视图。

图22的(A)是表示与阳极侧的灯座部卡合的供电插口及插口保持部的局部放大剖视图，(B)是表示通过插口保持部来抓持供电插口的情形的局部放大剖视图。

图23的(A)是表示用于拆下与灯座部卡合的供电插口的动作的局部放大剖视图，(B)是表示刚要将供电插口拆下之前的状态的局部放大剖视图。

图24是表示刚将与灯座部卡合的供电插口拆下之后的状态的局部放大剖视图。

图25的(A)是表示第3实施方式的光源装置的、将一部分切除后的俯视图，(B)是表示图25的(A)的光源装置的、将一部分切除后的侧视图。

图26的(A)是表示第4实施方式的曝光装置的主要部分的俯视图，(B)是表示更换放电灯的过程中的状态的主要部分的俯视图。

图27是表示第4实施方式的曝光装置的、将一部分切除后的侧视图。

图28是表示第5实施方式的放电灯的图。

图29的(A)是表示第5实施方式的灯更换用的握持机构的剖视图，(B)是图29的(A)的握持机构的从正面观察到的剖视图。

图30的(A)是表示放电灯及灯更换用的装卸部的主要部分的图，(B)是表示刚要通过装卸部抓持阳极侧的灯座部之前的状态的主要部分的图。

图31的(A)是表示通过装卸部抓持阳极侧的灯座部的状态的主要部分的图，(B)是表示通过装卸部将阳极侧的灯座部吊起的状态的主要部分的图。

图32的(A)是表示放电灯的更换方法的一例的流程图，(B)是表示放电灯的制造方法的一例的流程图。

图33是表示电子器件的制造工序的一例的流程图。

具体实施方式

[第1实施方式]

以下，对于本发明的第1实施方式，参照图1～图12进行说明。

图1示出具备本实施方式的光源装置30的曝光装置EX的概略结构。曝光装置EX作为一例是扫描曝光型的投影曝光装置。在图1中，光源装置30具有：由电弧放电型的超高压水银灯构成的放电灯1；保持放电灯1的阴极侧的灯座部26的支承部件33；能够使支承部件33移动的引出部36(参照图4的(B))；进行灯座部26相对于支承部件33的固定及解除的驱动单元34；以包围放电灯1的玻璃管25(灯泡)的方式配置的椭圆镜2(聚光镜)；和曝光时(放电灯1的使用时)收容放电灯1及椭圆镜2等的箱状的灯罩31。在曝光时，放电灯1的玻璃管25内的发光部作为一例配置在椭圆镜2的第1焦点附近。

另外，光源装置30具有：能够可装拆地与放电灯1的阳极侧的灯座部28连结的具有挠性的电缆24；经由支承部件33与放电灯1的阴极侧的灯座部26连结的具有挠性的电缆23；经由电缆23、24向放电灯1供给电力(电流)来使放电灯1发光的电源部20；和更换既已用完的放电灯1的全自动型的更换装置50。更换装置50具有：进行电缆24相对于阳极侧的灯座部28的装拆的夹紧机构52；保管放电灯1的保管部54；在支承部件33与保管部54之间搬送放电灯1的灯搬送系统56；和收容保管部54及灯搬送系统56的箱状的壳体51。

此外，如图4的(B)所示，支承部件33实际上是在上部形成有环带状的凸缘部的大致圆筒状的金属制(导电性)部件。支承部件33经由其凸缘部而被固定在引出部36的中央，引出部36如后所述能够沿着灯罩31的内表面的引导部件41移动地被支承，支承部件33与引出部36电绝缘。另外，在引出部36的底面上设有灯座部26用的驱动单元34。

在图1中，光源装置30具有控制电源部20、驱动单元34及灯搬送系统56等的动作的光源控制系统32。光源控制系统32监控放电灯1的累计使用时间，在其累计使用时间达到预先设定的容许时间时，使更换装置50工作来将该既已用完的放电灯1更换为未使用的放电灯。关于光源装置30的详细结构及动作将在后叙述。

曝光装置EX具备：使用从光源装置30供给的光束选择的曝光用光IL对光罩M进行照明的照明光学系统13；在曝光用光IL下将光罩M的图案的像向涂布有抗蚀剂的由玻璃基板构成的板件P(感光基板)的表面投影的投影光学系统PL；使光罩M移动的光罩载台MST；使板件P移动的基板载台PST；和统括地控制包含光源装置30在内的曝光装置整体的动作的由计算机构成的主控制系统14。

作为一例，曝光装置EX是制造液晶显示器件用的曝光装置，曝光装置EX的主体部(包含光罩载台MST、投影光学系统PL及基板载台PST的部分)设置在处于制造工厂的箱状腔室(未图示)的内部，光源装置30设置在该腔室的室顶RT。光源装置30在放电灯1的累计使用时间达到容许时间时，将该主旨的信息向主控制系统14供给。与之相应地，主控制系统14在被从光源装置30供给表示放电灯1的更换完成的信息之前，使曝光装置EX的曝光动作停止。以下，与投影光学系统PL的光轴AX平行地取Z轴、在与Z轴垂直的平面(在本实施方式中为大致水平面)内与图1的纸面平行地取X轴、与图1的纸面垂直地取Y轴来进行说明。

从放电灯1射出的光束在通过椭圆镜2收束于第2焦点附近后，从快门(shutter)(未图示)附近通过而成为发散光，并向光路折弯用的镜3入射。镜3也被收容于灯罩31内。由镜3反射的光束从灯罩31的光透射性的窗部件4通过而向干涉滤光片5入射，通过干涉滤光片5仅选择由规定的辉线(例如波长为365nm的i线)构成的曝光用光IL。此外，作为曝光用光IL，除i线以外，也能够使用g线、h线、或其混合光等，或者使用水银灯以外的灯的辉线等。该选择出的曝光用光IL向复眼透镜6(光学积分器)入射，在配置于复眼透镜6的射出面的可变开口光阑(以下称为照明σ光阑)7上形成多个二次光源。从可变σ光阑7通过了的曝光用光IL经由第1中继透镜8向光罩遮帘(可变视野光阑)9入射。光罩遮帘9的配置面与光罩M的图案面实质上共轭，借助驱动装置9a来设定光罩遮帘9的开口形状，由此规定光罩M上的照明区域。另外，载台控制系统15能够借助驱动装置9a来开闭光罩遮帘9，以避免在板件P的步进移动时等不需要的曝光用光照射到板件P上。

从光罩遮帘9通过了的曝光用光IL经由第2中继透镜10、用于使曝光用光IL的光路折弯的镜11、及聚光透镜12对光罩M的图案面的图案区域进行照明。包含干涉滤光片5、复眼透镜6、可变σ光阑7、中继透镜8、10、光罩遮帘9、镜11、及聚光透镜12而构成照明光学系统13。来自光源装置30的光束经由照明光学系统13作为曝光用光IL对光罩M(光罩)的例如沿Y方向细长的照明区域进行照明。光罩M的照明区域内的图案经由投影光学系统PL以投影倍率β(β例如为等倍、放大倍率或缩小倍率)向板件P的一个照射(shot)区域的曝光区域(与照明区域光学上共轭的区域)投影。此外，作为投影光学系统PL，可以使用将多个投影光学系统在例如Y方向上排列两列的复式投影光学系统等。在像这样使用多个投影光学系统的情况下，来自照明光学系统13的曝光用光IL并行地对光罩M的图案面的多个照明区域进行照明。

光罩M被保持在能够在光罩基座(未图示)上沿X方向、Y方向及绕Z轴的旋转方向微动的光罩载台MST的上表面。光罩载台MST的位置通过对固定在光罩载台MST上的移动镜17R照射计测用激光束的激光干涉仪18R来高精度地计测，该计测值被供给到载台控制系统15及主控制系统14。基于该计测值及来自主控制系统14的控制信息，载台控制系统15借助包含线性马达等在内的驱动系统19R来控制光罩载台MST的位置。

另一方面，板件P经由未图示的板件支承座而保持在基板载台PST的上表面，基板载台PST能够沿X方向及Y方向移动地载置在基座部件(未图示)上。基板载台PST的位置通过对固定在基板载台PST上的移动镜17W照射计测用激光束的激光干涉仪18W来高精度地计测，该计测值被供给到载台控制系统15及主控制系统14。基于该计测值及来自主控制系统14的控制信息，载台控制系统15借助包含线性马达等在内的驱动系统19W来控制基板载台PST(板件P)的位置。

在板件P的曝光时，通过步进扫描(step and scan)方式反复进行以下动作：通过基板载台PST使板件P的各照射区域向投影光学系统PL的曝光区域近前移动的动作(步进移动)；和用来自光源装置30的光束经由照明光学系统13对光罩M进行照明、同时使光罩M及板件P相对于投影光学系统PL同步地沿X方向(扫描方向)移动而将光罩M的图案的像曝光到板件P的一个照射区域整面的动作(扫描曝光)。由此，光罩M的图案的像转印到板件P的各照射区域。

此外，为了在该曝光时预先进行对准，例如在基板载台PST的内部设置有用于对形成于光罩M的对准标记的位置进行检测的空间像计测部22，在投影光学系统PL的侧面上，设置有用于对附设于板件P的各照射区域的对准标记的位置进行检测的对准系统21。空间像计测部22及对准系统21的检测信号被供给到对准信号处理系统16，对准信号处理系统16例如对这些检测信号进行处理，求出光罩M的对准信息及板件P的各照射区域的排列信息，将求出的信息供给到主控制系统14。主控制系统14基于这些信息进行光罩M的对准及曝光时的板件P的位置控制。由此，在重合曝光时得到高的重合精度。

接下来，详细说明本实施方式的光源装置30的结构及使用光源装置30的放电灯1的更换动作等。

图2的(A)示出图1中的光源装置30的放电灯1。在图2的(A)中，放电灯1具备：由灯泡部25a及以夹持灯泡部25a的方式固定的大致对称且圆筒状的两个棒状部25b、25c构成的玻璃管25；与一方的棒状部25b的端部连结的阴极侧的灯座部26；和与另一方的朝向外侧作为一例直径阶梯地变小的棒状部25c的端部连结的阳极侧的灯座部28。在该灯泡部25a内相对地固定有用于形成发光部的阳极EL1及阴极EL2，阴极EL2及阳极EL1分别与灯座部26及28电连接。灯座部26及28由电导率及热导率良好的金属(例如黄铜等)形成。灯座部26、玻璃管25及灯座部28沿着将玻璃管25的棒状部25b、25c的中心轴相连且从发光部的中心通过的一条直线配置。与该将棒状部25b、25c的中心轴相连的直线平行的方向是放电灯1的长度方向L。

灯座部26及28基本上作为用于从图1的电源部20经由电缆23及24向阴极EL2及阳极EL1供给电力的电力接收端子而使用。除此以外，灯座部26也作为用于通过支承部件33(参照图4的(B))支承玻璃管25(放电灯1)的被支承部而使用。而且，在灯座部26及28上均形成有用于将从玻璃管25传导来的热量高效地发散的凹凸部(增大表面积的部分)。

另外，在阴极侧的灯座部26上，从棒状部25b向开放端侧依次形成有：外径为棒状部25b的外径的两倍左右的环带状的凸缘部26a(抵接部及长度方向L上的位置的规定部)；外径比棒状部25b的外径稍大的圆柱状的轴部26b(嵌合部或位置的规定部)；外径比轴部26b小的圆柱状的小径部26k；和外径比轴部26b稍小或外形与轴部26b大致相同的圆柱状的固定部26h。在轴部26b与小径部26k的边界部形成有倒角部26e，在固定部26h的开放端侧也形成有倒角部26i。此外，圆柱状的轴部26b的外形也可以是与棒状部25b的外形大致相同的外形。小径部26k是在轴部26b与固定部26h之间，通过在与放电灯1的长度方向L交叉的方向上设置凹部(层差部)26f而形成的。在将放电灯1载置于图4的(B)的支承部件33上时，凸缘部26a与包围支承部件33的中央开口的层差部抵接，成为玻璃管25的发光部在长度方向L(第1方向)上的定位基准，轴部26b与该开口嵌合，成为该发光部在与长度方向L正交的面内的定位基准。

另外，在固定部26h上，由凹部26f形成有被推压面26g。被推压面26g是与长度方向L垂直的平面。图4的(B)的驱动单元34具有：在通过支承部件33支承放电灯1时对灯座部26的固定部26h(被推压面26g)向下方(-Z方向)施力的杆38；使杆38向对固定部26h施力的方向逆时针旋转的拉力螺旋弹簧39；和为了解除基于杆38对灯座部26的固定而使杆38顺时针旋转的例如气缸或电磁缸等驱动部40。当要在支承部件33上固定并支承放电灯1的情况下，只要取消基于驱动部40对杆38的顺时针旋转即可，在要从支承部件33拆下放电灯1时，只要通过驱动部40使杆38顺时针旋转即可。此外，作为驱动单元34，也能够使用国际公开第2007/066947号小册子记载的机构。

在图2的(A)中，作为一例，在灯座部26的轴部26b的表面上，从凸缘部26a到倒角部26e的范围内形成有螺旋状的槽部26d。通过从外部向该槽部26d供给例如冷却用气体，而能够提高放电灯1的冷却效果。此外，槽部26d不是必须要设置的。在情况下，放电灯1中产生的热量会经由灯座部26而流向表面积大而热容量大的支承部件33，因此也能够抑制放电灯1的温度上升。此外，为了提高放电灯1的冷却效果，也可以在图4的(B)的支承部件33的供灯座部26的固定部26h插入的开口内，从送风装置(未图示)输送冷却后的气体。

图2的(C)的是沿着图2的(A)的放电灯1的CC线的剖视图，如该图2的(C)所示，在灯座部26的凸缘部26a上作为一例以90°间隔形成有两处的开口27A、27B(定位部)。与之相应地，在图4的(B)的支承部件33的供凸缘部26a载置的面上，设有两个销(未图示)。在将放电灯1载置于支承部件33时，通过将这两个销插入到凸缘部26a的开口27A、27B中，来进行放电灯1的绕沿着长度方向L的轴的定位。这些开口27A、27B与阳极侧的灯座部28的相对角度被设定为容易将灯座部28与电缆24连结的角度(规定角度)。

此外，阴极侧的灯座部26的形状是任意的。作为灯座部26，也能够使用例如仅具有凸缘部26a及轴部26b、且在轴部26b中形成有能够插入驱动单元34的杆38的前端部的凹部那样的部件。图2的(B)示出图2的(A)的阳极侧的灯座部28。在图2的(A)及(B)中，阳极侧的灯座部28从放电灯1的玻璃管25的棒状部25c侧向开放端侧依次具备：形成有外径与棒状部25c的最大直径大致相同的多个环带状的散热片28j的散热部28i；在形成有多个散热片28j的部分上包含绕通过玻璃管25的中心的直线以大致等角度间隔形成于三处的平坦部28f、28g、28h的被握持部28e(被保持部)；和形成有V字型的两个平面部28b、28c的大致三棱柱状的端子部28a(被连结部)。在被握持部28e的平坦部28f、28g、28h的大致中央，分别设有在通过灯搬送系统56抓持放电灯1时用于供灯搬送系统56的销86a(参照图9的(B))插入的小的孔部h1、h2、h3。

另外，本实施方式的灯座部28通过设在被握持部28e的端部的平面上的多个开口28k内的螺栓(未图示)，而设置在玻璃管25的棒状部25c的端部，且与电连接于阳极EL1的金属制的杆部(未图示)连结。因此，灯座部28能够在放电灯1的使用后拆下，能够在制造新的放电灯1时再次利用拆下的灯座部28。此外，灯座部28也可以通过粘结或熔接等而与玻璃管25一体化。

图5示出将电缆24与阳极侧的灯座部28连结的状态。在图5中，在电缆24的端部上连结有金属制(导电性)的部件(以下称为供电块)66，该部件66形成有与灯座部28的端子部28a的平面部28b、28c角度相同的V字型的槽部66a。另外，供电块66固定在L字型的基准杆67的下端部，在基准杆67上经由连结销P51能够旋转地连结有L字型的驱动杆69，在驱动杆69的下端部经由连结销P52能够旋转地固定有滚轮70。在灯座部28的端子部28a的与平面部28b、28c相反一侧的面(背面)上，形成有能够收纳滚轮70的大小的凹部28d(参照图2的(B))。

在此，在三棱柱状的端子部28a的背面设置凹部28d(凹陷)的原因在于，在通过椭圆镜2对从放电灯1放射的光进行会聚时，尽量避免滚轮70遮挡该会聚后的光。因此，在例如使滚轮70小型化了时，不需要设置凹部28d。另外，在如后所述将供电块66与端子部28a连结时，为了尽量减小作用于放电灯1的应力(增大基准杆67及驱动杆69的挠性)，而且为了减小对由椭圆镜2会聚后的光的遮光量，尽量将基准杆67及驱动杆69形成得薄。另外，在图5中，基准杆67将两个L字型的部件的两端部(另一端部未图示)连结，但基准杆67也可以由一个L字型的部件形成，也可以不为L字型。

包含供电块66、基准杆67及驱动杆69而构成夹紧机构52。基准杆67及驱动杆69的另一端侧，如图4的(B)所示那样分别细长地形成。在将供电块66的槽部66a紧密接触地推压于灯座部28的端子部28a的平面部28b、28c的状态下，将驱动杆69的前端部的滚轮70插入到端子部28a的凹部28d中，使驱动杆69绕连结销P51(支点)逆时针旋转，由此，能够通过杠杆原理以强力将端子部28a稳定地夹入到滚轮70与供电块66之间。在该状态下，由于电缆24的电力(电流)在小电阻下经由供电块66向灯座部28供给，所以电力损失变小。另外，在将电缆24(供电块66)从灯座部28(端子部28a)拆下的情况下，只要使驱动杆69顺时针旋转即可。

在图2的(B)中，灯座部28的端子部28a能够通过V字型的平面部28b、28c来减小与供电块66之间的电阻(接触电阻)，并且由于设有收纳夹紧机构52的滚轮70的凹部28d，所以能够稳定地进行与供电块66的连结。此外，也可以不在驱动杆69的前端部设置滚轮70，而使其前端部的形状为圆弧状，并将该圆弧状的部分推压到该凹部28d中。

另外，阳极侧的灯座部28的端子部28a的形状不限定于图2的(B)的形状，能够是图3的(B)、(C)、(D)、(E)所示的各种形状。此外，图3的(A)将图2的(B)的灯座部28的端子部28a简化示出。另外，在图3的(A)～(E)中，A1～E1分别是端子部的俯视图，A2～E2分别是端子部的侧视图。首先，如图3的(B)的灯座部28A所示，端子部28Aa的截面形状可以是梯形状。该情况下，使图5的夹紧机构52的供电块66的槽部66a与端子部28Aa的相互对称地倾斜的两个平面部28Ab、28Ac接触，并将夹紧机构52的驱动杆69的前端部(或滚轮70。以下相同)推压到该梯形状截面的背面部28Ad(也可以设有用于收纳滚轮70的凹部。以下相同)。

另外，如图3的(C)的灯座部28B所示，端子部28Ba的截面形状也可以为四边形以上的多边形。在图3的(C)的例子中，端子部28Ba的截面形状为大致正五边形状，使供电块66的槽部66a与端子部28Ba的相互对称地倾斜的两个平面部28Bb、28Bc接触，并将驱动杆69的前端部推压到与两个平面部28Bb、28Bc相对的背面部28Bd。

另外，如图3的(D)的灯座部28C所示，端子部28Ca的截面形状也可以为大致正六边形状。在该情况下，使供电块66的槽部66a与端子部28Ca的相互对称地倾斜的两个平面部28Cb、28Cc接触，并将驱动杆69的前端部推压到与两个平面部28Cb、28Cc相对的背面部28Cd。在该情况下，还在端子部28Ca的其他隔着一面配置的三个面28Cf、28Cg、28Ch的中央部，分别设有用于供灯搬送系统56的销86a(参照图9的(B))插入的小的孔部h1、h2、h3。由此，也能够将端子部28Ca兼用作被握持部。

另外，如图3的(E)的灯座部28D所示，端子部28Da的截面形状也可以为大致圆形状。在该情况下，供电块66A的对应的槽为大致圆柱侧面那样的形状。而且，使供电块66A的槽部66a与端子部28Da的一个半面侧接触，并将驱动杆69的前端部推压到设于端子部28Da的另一半面侧的凹部(未图示)。像这样阳极侧的灯座部28的端子部28a的形状是任意的。

此外，在以下参照的图4的(A)及(B)等中，为便于说明，将放电灯1的灯座部26、28的形状简化表示。

接着，图4的(A)是表示图1的光源装置30的灯罩31及壳体51的内部的俯视图，图4的(B)是表示图4的(A)的光源装置30的侧视图。此外，在图4的(A)、(B)及以下参照的图6的(A)、(B)等中，将灯罩31、壳体51、支承放电灯1等的支承部件33、及引出部36等用截面表示。

在图4的(A)及(B)中，灯罩31分为收容放电灯1的下部外壳31A、和收容镜3且在侧面上设置有窗部件4的上部外壳31B。在外壳31A、31B的相邻的面上，设有用于供来自放电灯1的光通过的开口31Ab，在下部外壳31A的+X方向的侧面上，设有用于在放电灯1的更换时供放电灯1等通过的开口部31Aa。在下部外壳31A的+X方向的侧面上设置有更换装置50的壳体51，在壳体51的与开口部31Aa相对的侧面上，设有用于供放电灯1等通过的开口部51a。

在壳体51的+X方向的侧面上，设有放电灯1的搬出及搬入用的窗部51b，窗部51b由门(以下称为灯更换门)45开闭。更换装置50的壳体51与下部外壳31A以位置关系不会偏移的方式通过未图示的连结部件等而连结。在壳体51内的+X方向的端部的窗部51b附近，设置有放电灯1用的保管部54，在壳体51内的上部配置有灯搬送系统56。另外，在壳体51上，虽未图示，但设有进气口及从吸入的外部空气除去灰尘等的过滤器。

另外，在下部外壳31A的Y方向的两个侧面上以相对的方式设有与X方向平行的一对引导部件41，沿着引导部件41能够在X方向上移动地配置有引出部36，在引出部36的中央部经由支承部件33支承放电灯1。此外，作为引导部件41，也可以使用例如伸缩方式(多级式)的引导机构。另外，在引出部36上设置有椭圆镜2，该椭圆镜2以包围放电灯1的方式设有圆形的开口2a(参照图4的(A))，在下部外壳31A的上部，以覆盖与放电灯1的灯座部28连结的夹紧机构52的方式，配置有圆台侧面那样形状的遮光部件42。在遮光部件42的+X方向的侧面上，设有用于在放电灯1的更换时供放电灯1及夹紧机构52通过的开口(未图示)。

另外，更换装置50除上述的阴极侧的灯座部26用的驱动单元34、阳极侧的灯座部28用的夹紧机构52、保管部54、及灯搬送系统56以外，还具有将引出部36从下部外壳31A内通过开口部31Aa、51a而向壳体51侧引出的引出驱动单元60、和进行基于夹紧机构52对灯座部28的夹持及其解除的驱动单元72。该引出驱动单元60如图4的(A)所示，在壳体51内的底面上，比从下部外壳31A的中心通过且与X轴平行的直线在-Y方向侧，具有沿着X方向配置的引导部件61、沿着引导部件61能够在X方向上移动地配置的基台62、将基台62沿着引导部件61在X方向上驱动的例如滚珠丝杠方式、带驱动方式或线性马达方式等的驱动部63、和连结部件43。连结部件43将在基台62的-X方向侧的端部向+Y方向突出且向Z方向突出的前端部62a、和在引出部36的+X方向的端部设于Y方向的中央部的凸的被连结部36c连结。

通过引出驱动单元60的驱动部63使基台62沿着引导部件61向+X方向移动，由此，能够将下部外壳31A内的引出部36移动(引出)至支承于引出部36的放电灯1进入到壳体51内的位置。此外，由于引出部36由引导部件41支承，并且引出部36能够沿着引导部件41在X方向上顺畅地移动，所以引出部36的载荷几乎不会作用于基台62。因此，作为引出驱动单元60，也可以不是使用引导部件61的机构，而使用仅通过例如气缸等使引出部36在X方向上移动的机构。

另外，对放电灯1的灯座部28的夹紧机构52进行驱动的驱动单元72具有：固定于基台62的上表面且沿着相对于X轴稍微(例如15度左右)顺时针地倾斜的方向(以下称为夹紧机构52的退避方向D)(参照图4的(A))配置的引导部件73；经由两个滑块74载置于引导部件73且被载置为能够在退避方向D上移动的平板状的可动台75；相对于基台62在退避方向D上驱动可动台75的气缸或电磁缸等驱动部77；和固定在可动台75的上表面的沿Z方向细长的支承部件65。而且，在可动台75的上表面的-X方向的端部固定有沿Z方向细长的中继部件64，在中继部件64的上部连结有电缆24的另一端，在中继部件64的Z方向的中央部，通过设于引出部36的开口而连结有与支承部件33连结的电缆23的另一端。电缆23、24还经由具有挠性的延长线缆(未图示)与图1的电源部20连接。

图7的(A)示出夹紧机构52及驱动单元72的详细结构。在图7的(A)中，夹紧机构52的基准杆67的+X方向的端部经由短的直线导轨71H，以在与图4的(A)的退避方向D平行的可动方向D1(一轴向)能够微动的方式支承在支承部件65的上端。另外，驱动单元72具有：一端固定在基准杆67的+X方向的端部附近的底部、且将驱动杆69的+X方向的端部向上方牵拉的拉力螺旋弹簧68；以及一端固定在可动台75的上表面、且能够使驱动杆69的+X方向的端部向下方(-Z方向)位移的气缸或电磁缸等驱动部76。驱动部76的一端经由能够旋转的接头76a与可动台75连结。驱动部76的可动件的前端部与驱动杆69的端部经由能够旋转的接头76b而连结。作为一例，接头76a能够使用所谓U形接头(clevis joint)，接头76b能够使用所谓叉形接头(knuckle joint)。

在图7的(A)的状态下，由于驱动部76不对驱动杆69的端部作用有力，所以通过拉力螺旋弹簧68对驱动杆69作用有相对于基准杆67为逆时针的力。由此，设在驱动杆69的-X方向的端部的滚轮70对灯座部28的端子部28a向供电块66侧施力，因此，端子部28a被供电块66和滚轮70稳定地保持。此时，即使可动台75与放电灯1的间隔与目标值偏移，其偏离量也能够通过基准杆67经由直线导轨71H在可动方向D1上移动而抵消。此外，只要能够随同可动台75在X方向上移动，则也可以不设置直线导轨71H。

接着，在解除基于夹紧机构52对端子部28a的夹持的情况下，如图7的(B)所示，通过驱动部76将驱动杆69的端部向下方牵拉，使滚轮70移动到比端子部28a高的位置。此时，驱动杆69的端部的位置向放电灯1接近，但与之相应地，由于驱动部76通过接头76a而稍微旋转，所以不会作用使驱动杆69变形那样的应力。在该状态下，通过图4的(B)的驱动部77使可动台75沿着退避方向D向箭头A2所示的方向移动，由此，能够将夹紧机构52及电缆24从灯座部28分离。

另外，灯搬送系统56具备：从上方握持放电灯1的阳极侧的灯座部28的被握持部28e的三个爪部86；使这些爪部86开闭的握持爪开闭机构85；握持放电灯1并沿上下(Z方向)移动的Z轴驱动机构84；使Z轴驱动机构84绕与Z轴平行的轴回旋的回旋轴83；和将回旋轴83支承于壳体51的顶壁部的支承部82。

图9的(A)是表示通过三个爪部86握持灯座部28的被握持部28e的状态的俯视图，图9的(B)是图9的(A)的侧视图。如图9的(A)所示，在三个爪部86的与被握持部28e相对的面上分别设有小的销86a。而且，在通过灯搬送系统56握持放电灯1时，以使三个爪部86的销86a分别与被握持部28e的平坦部28f、28g、28h的孔部h1、h2、h3相对的方式，对握持爪开闭机构85进行定位。在该状态下，如图9的(B)所示，通过握持爪开闭机构85使三个爪部86向中心方向移动(关闭)，将三个销86a插入到对应的孔部h1、h2、h3中，进而将三个爪部86关闭直至三个爪部86的平面部与对应的平坦部28f、28g、28h接触。此外，三个爪部86分别经由能够在半径方向上位移的弹簧机构(未图示)与握持爪开闭机构85连结，因此不会作用使灯座部28变形那样的应力。

在图4的(A)及(B)中，保管部54具备：能够旋转的转盘79，以同心圆状设有载置既已用完的放电灯1及未使用的放电灯1(以下称为放电灯1N)的多个(图4的(A)中为六个)的开口79a(参照图11)；和使转盘79旋转的驱动部80。开口79a的数量是能够保管于转盘79的放电灯1、1N的个数，该能够保管的放电灯1、1N的个数是任意的。在这些开口79a中插入放电灯1或1N的阴极侧的灯座部26的前端部，放电灯1或1N经由灯座部26的凸缘部26a(参照图1的(A))并通过自重而载置于转盘79。

如图11所示，在转盘79的侧面上，与多个开口79a对应地设有分别在中央具有凹部且截面为半圆状的定位用部件87，在转盘79的侧面方向上，配置有设有能够与定位用部件87的凹部卡合的凸部、且能够在转盘79的半径方向上变形的板簧部88。在使转盘79绕旋转轴79b旋转而定位用部件87与板簧部88(弹性部件)卡合时，使转盘79的旋转停止，由此，能够将开口79a的位置准确地定位于在与灯搬送系统56之间交付放电灯1或1N的位置。此外，虽未图示，以能够将灯的朝向(绕Z轴)定位的方式在开口79a的附近设有与图2的(C)的孔27A、27B嵌合的销等。

以下，接着对在本实施方式的光源装置30中，使用更换装置50更换放电灯1时的动作的一例进行说明。该更换动作由光源控制系统32控制。首先作业者(未图示)如图4的(A)所示，打开更换装置50的壳体51的灯更换门45，将未使用的放电灯1N的灯座部26插入到保管部54的转盘79的开口79a中，经由放电灯1N的灯座部26的凸缘部26a而安装到转盘79上(放电灯的补充)。转盘79在电源断开的状态下，能够手动进行旋转，如参照图11说明那样，通过以使规定的定位用部件87与板簧部88卡合的方式使转盘79旋转，而能够手动地准确地设定转盘79的旋转角。此外，也可以使转盘79电动地旋转来设置灯。

此外，对于放电灯的补充，期望在停止从图1的电源部20供给电力而图4的(B)的下部外壳31A内的放电灯1熄灭的状态下进行。不过，也可以实施避免下部外壳31A内的放电灯1的光向外部漏出这样的措施，使转盘79由绝缘材料形成，由此在放电灯1的点亮中也能够在与转盘79之间进行灯更换。作为一例，在图4的(A)中能够使放电灯1、1N在转盘79中配置(补充)6只，但为了回收既已用完灯，在转盘79中预先留出空位。图4的(A)及(B)示出在灯罩31内放入放电灯1的情况，因此在转盘79中配置有五只放电灯1N。之后，关闭灯更换门45。

然后，能够在任意时刻(例如，板件P的更换时或装置的维护时)将放电灯1更换为放电灯1N。或者也可以是，在放电灯1的累计使用时间达到容许时间时，光源控制系统32向主控制系统14发生该主旨的信息，主控制系统14停止曝光装置EX的曝光动作。光源控制系统32在使从电源部20对放电灯1的电力供给停止而使放电灯1熄灭后，使更换装置50工作而用保管于保管部54的放电灯1N来更换放电灯1。

即，首先在图4的(B)中，将在灯罩31内一体地支承放电灯1及椭圆镜2的引出部36通过引出驱动单元60如箭头A1所示那样引出至+X方向的规定的位置。其结果为，引出部36被引出至图6的(B)所示的位置。此时，与引出部36一起，夹紧机构52、中继部件64及驱动单元72也一体地被引出到+X方向的壳体51的内部。此外，图6的(A)是表示图6的(B)的引出部36及更换装置50的使一部分成为截面的俯视图。另外，在以下参照的图8、图10的(B)等中，为了避免图面复杂，而省略了多个放电灯1N中的一部分的图示。

接着，如参照图7的(B)说明那样，通过驱动单元72的驱动部76将夹紧机构52的驱动杆69向下方牵拉，使以强力将放电灯1的灯座部28的端子部28a推压到供电块66上的滚轮70以连结销P51(支点)为轴旋转，使滚轮70以成为比端子部28a高的位置的方式从端子部28a分离。然后，通过驱动部77(参照图4的(B))，使支承夹紧机构52及驱动部76的可动台75沿着退避方向D向箭头A2所示的方向退避。此时，滚轮70从灯座部28的上方通过。

然后，如图8所示，通过驱动单元34的驱动部40使杆38顺时针旋转，解除对阴极侧的灯座部26的固定部26h的夹持。由此，灯座部26能够从支承部件33拔出。此外，为了避免图面复杂，在以下参照的图10的(B)等中，省略灯座部26用的驱动单元34的图示。此外，也可以在阳极侧灯座部28的夹持解除前进行阴极侧的灯座部26的夹持解除。

接着，使灯搬送系统56的回旋轴83回旋而将握持爪开闭机构85向放电灯1的灯座部28的上方移动。然后，如箭头A3所示，通过灯搬送系统56的Z轴驱动机构84使握持爪开闭机构85下降，握持爪开闭机构85通过将其底面的三个爪部86关闭来握持灯座部28的被握持部28e(参照图9的(B))。然后，如图10的(B)中箭头A5所示那样，通过Z轴驱动机构84使握持着放电灯1的爪部86上升。此时，使放电灯1上升直至放电灯1的阴极侧的灯座部26的下端处于比引出部36的上表面高的位置(即，比椭圆镜2的上表面高的位置)。

然后，如图10的(A)中箭头A6所示，通过回旋轴83使握持着放电灯1的握持爪开闭机构85回旋约180度，使放电灯1向转盘79的上方移动。此时，通过保管部54的驱动部80使转盘79旋转，使转盘79的空着的开口79a移动到握持爪开闭机构85(放电灯1)的下方。在该状态下，使握持爪开闭机构85下降，在放电灯1的灯座部26的前端部收容于开口79a内之后将爪部86打开，由此将既已用完的放电灯1载置于转盘79的位置A7。

然后，使灯搬送系统56的握持爪开闭机构85上升，如箭头A8所示，使转盘79旋转约60度，使处于位置A9的未使用的放电灯1N移动到握持爪开闭机构85之下。然后，再次使握持爪开闭机构85下降，在通过爪部86握持了未使用的放电灯1N的灯座部28的被握持部28e后，使握持爪开闭机构85上升。然后，通过与放电灯1的搬出时相反的动作，如虚线的箭头B1所示，通过回旋轴83使握持爪开闭机构85回旋约180度，如图10的(B)中虚线的箭头B2所示，使握持放电灯1N的握持爪开闭机构85下降，将放电灯1N的阴极侧的灯座部26载置于支承部件33。然后，如图8中虚线的箭头B3所示，使握持爪开闭机构85上升，如图6的(B)所示，通过驱动单元34将阴极侧的灯座部26夹持于支承部件33。

进而，通过图8的驱动部77，如图7的(B)所示，使支承夹紧机构52的可动台75沿着退避方向D向箭头B4所示的方向(接近放电灯1N的方向)移动，使供电块66与放电灯1N的灯座部28的端子部28a抵接。然后，驱动部76将可动部推出(在气缸的情况下，将吸引力逐渐变弱)，由此，通过拉力螺旋弹簧68的力使驱动杆69以连结销P51为中心旋转，滚轮70与端子部28a接触而将端子部28a强力地推压于供电块66。其结果为，能够没有电力损失地对阳极侧的灯座部28供电。此外，也可以在阳极侧灯座部28的夹持后进行阴极侧灯座部26的夹持。

此时，由于放电灯1N的阴极侧的灯座部26通过驱动单元34(参照图6的(B))而固定于支承部件33，所以即使在供电块66的退避方向D上的位置固定的状态下，若供电块66相对于阳极侧的灯座部28的位置发生偏移，则也可能对放电灯1N施加大的力而导致放电灯1N破损。为了防止该情况，在本实施方式中，如图7的(A)所示，供电块66所安装的基准杆67能够通过直线导轨71H在方向D1(相对于放电灯1N在半径方向)上移动，所以能够修正(吸收)该供电块66的定位误差。此外，也可以取代直线导轨71H而能够使可动台75沿方向D1移动。

另外，灯座部28用的夹紧机构52在驱动杆69的旋转方向及回旋方向(绕与Z轴平行的轴的旋转方向)上刚性低，能够通过基准杆67及/或驱动杆69的挠曲来吸收其旋转方向及回旋方向上的定位误差。而且，由于供电块66的与灯座部28的接触面即槽部66a(参照图5)为截面形状不依存于Z方向位置而固定的V型，所以在灯座部28与供电块66之间即使Z方向的位置发生偏移也不会产生问题。

如图6的(B)所示，当基于夹紧机构52实现的供电块66相对于放电灯1N的灯座部28的夹持完成后，通过引出驱动单元60如图4的(B)中虚线的箭头B5所示使基台62向-X方向移动，由此将引出部36返回至下部外壳31A内的原位置。由此，既已用完的放电灯1被更换成未使用的放电灯1N。

接下来，对于本实施方式的放电灯1的制造方法的一例，参照图32的(B)的流程图来进行说明。

首先，在图32的(B)的步骤220中，如图12所示，制造(准备)玻璃部件(灯主体)，该玻璃部件在内部设置有阳极EL1及阴极EL2(参照图2的(A))的玻璃管25的棒状部25b侧设有金属制的棒状的灯座管226(小型灯座部件)，在棒状部25c侧设有金属制的棒状的灯座管228(小型灯座部件)。灯座管228及226分别与阳极EL1及阴极EL2电连接。灯座管228及226分别通过熔接等一体地固定于玻璃管25的封固部。

在下一步骤222中，从图2的(A)的既已用完的放电灯1拆下阴极侧的灯座部26及阳极侧的灯座部28。此外，图12的灯座部26及28的形状与图2的(A)的灯座部26及28相比被简化表示。该情况下，作为一例，在灯座管228的端部中央设有定位用的小的凸部228a，以包围该凸部228a的方式设有多个螺纹孔228b。另外，在圆筒状的灯座部28的内表面的上部中央，形成有能够收容凸部228a的孔部h4，在与螺纹孔228b对应的位置形成有螺栓用的多个开口28k。在开口28k的上部形成有能够收容螺栓BA1的头部的沉孔部。

另外，在灯座管226的端部226a上设有直径小的嵌合部226b，在嵌合部226b的端面上形成有多个螺纹孔226c。另外，在灯座部26的凸缘部26a的上部设有能够与嵌合部226b嵌合的短圆筒状的连结部26p，在凸缘部26a的底面上且与螺纹孔226c对应的位置设有螺栓用的多个开口26q。在开口26q的端部形成有能够收容螺栓BA2的头部的沉孔部。

然后，在步骤224中，以覆盖灯座管228的方式借助多个螺栓BA1来连结灯座部28，借助多个螺栓BA2将灯座部26与灯座管226连结，由此放电灯1完成。此外，在步骤222中，为了将灯座部28及26从既已用完的放电灯1拆下，只要松动各个螺栓BA1及BA2即可。

根据该放电灯1的制造方法，能够再次利用从既已用完的放电灯1拆下的灯座部26、28，因此能够减少形状复杂的灯座部26、28的制造个数，从而能够抑制放电灯1的制造成本。

此外，也可以取代再次利用灯座部26、28(换言之，将灯座部26、28从既已用完的放电灯1拆下)，而例如准备另行制造的灯座部26、28中的至少一方，将其安装于灯主体(灯座管226、228)来构成放电灯1。另外，在再次利用灯座部26、28中的至少一方的情况下，也可以取代再次利用灯座部26、28整体，而仅再次利用灯座部26、28的至少一部分(例如，端子部28a、被握持部28e及散热部28i中的至少一个零件)。

另外，在图12的例子中，在灯座管228的侧面与灯座部28的内表面之间设有空间，能够通过经由与例如电缆24平行地配置的具有挠性的管(未图示)向该空间通入例如高压气体，来高效地进行点亮中的放电灯1的散热(灯冷却)。此外，在灯座管228、226与灯座部28、26结合时，为了防止螺栓松动，也可以同时进行螺栓紧固和耐热粘结剂的注入。

另外，灯座管228、226与灯座部28、26的结合可以不通过螺栓紧固，而使通过焊接等将灯座管228、226和灯座部28、26一体地形成。

此外，在图12的例子中，能够将灯座部26及28双方都拆下，但也可以例如使阴极侧的灯座部26与灯座管226一体地形成。

另外，在不再次利用既已用完的放电灯1的灯座部26、28的情况下，也可以预先将阴极侧的灯座部26及阳极侧的灯座部28分别与灯座管226及228一体地形成。

如上所述，本实施方式的曝光装置EX具备光源装置30。光源装置30是用于使放电灯1发光的光源装置，该放电灯1具有：在内部设有用于形成发光部的阳极EL1(第1电极)及阴极EL2(第2电极)的玻璃管25(玻璃部件)；和相对于该发光部而分别设于玻璃管25的阳极EL1侧及阴极EL2侧的灯座部28(第1灯座部件)及灯座部26(第2灯座部件)。而且，光源装置30具备：保管放电灯1的保管部54；能够装拆地支承放电灯1的灯座部26的支承部件33(支承部)；将连结有电缆24的供电块66(传递电力的部件)能够装拆地与支承于支承部件33的放电灯1的灯座部28连结的夹紧机构52(连结部)；和在基于支承部件33对灯座部26的支承及基于夹紧机构52实现的供电块66相对于灯座部28的连结被解除的状态下，保持灯座部28并将放电灯1在保管部54与支承部件33之间搬送的灯搬送系统56(搬送部)。

根据本实施方式的光源装置30，由于设有能够装拆地将供电块66(电缆24的端部)与放电灯1的灯座部28连结的夹紧机构52，所以在从支承部件33取下既已用完的放电灯1时，在通过夹紧机构52从灯座部28拆下供电块66并将未使用的放电灯1安装于支承部件33时，通过夹紧机构52将供电块66与灯座部28连结，由此能够高效地进行放电灯1的更换。

另外，在既已用完的放电灯1的温度高的情况下，也能够不用等待放电灯1的温度下降地更换放电灯1，因此能够缩短灯更换时间。

另外，光源装置30的夹紧机构52及灯搬送系统56(更换装置50)能够在稍许改造后而后安装于以往的光源装置(通过规定的支承部件支承放电灯的阴极侧的灯座部的装置)。通过在该改造后的光源装置中使用本实施方式的放电灯1，而能够高效地自动地进行放电灯的更换。

另外，本实施方式的夹紧机构52在驱动杆69的端部(滚轮70)与灯座部28的端子部28a接触的作用点附近设有连结销P51(支点)，设置拉力螺旋弹簧68的位置及通过驱动部76将驱动杆69拉入的位置(力点)配置在灯罩31(椭圆镜2)外，因此，能够容易得到用于使用大的空间来夹持灯座部28的大的力。另外，由于将夹紧机构52的驱动单元72配置在灯罩31之外，能够在从灯罩31远离的位置操作夹紧机构52，所以能够在小改造后将夹紧机构52及驱动单元72后安装于以往的光源装置。

另外，本实施方式的放电灯1具有在内部设有用于形成发光部的阳极EL1及阴极EL2的玻璃管25(玻璃部件)、和相对于该发光部分别设在玻璃管25的阳极EL1侧及阴极EL2侧的灯座部28及灯座部26。而且，灯座部28为了能够供连结有电缆24的供电块66(传递电力的部件)接触且减小与供电块66的电接触电阻，而具有设有能够与供电块66面接触的平面部28b、28c的端子部28a(被连结部)、和包含能够由灯搬送系统56(搬送部)保持的非平面部(孔部h1、h2、h3)的被握持部28e(被保持部)。

根据该放电灯1，在使用于本实施方式的光源装置30的情况下，能够通过夹紧机构52(连结部)使与电缆24连结的供电块66容易地与该端子部28a进行面接触，并且能够通过灯搬送系统56保持该被握持部28e并有效地搬送放电灯1。

另外，由于在被握持部28e上设有包含例如用于供爪部86的销86a插入的孔部h1、h2、h3的非平面部，所以能够安全地搬送放电灯1。此外，在被握持部28e上，也可以取代设置非平面部，而设置例如越靠下方而截面积越小的倾斜部。通过用爪部86来握持该倾斜部，也能够安全地搬送放电灯1。

另外，本实施方式的曝光装置EX具备上述的光源装置30、通过从光源装置30的放电灯1产生的光(曝光用光IL)对光罩M进行照明的照明光学系统13(照明系统)、和在曝光用光IL下将光罩M的图案的像投影到板件P(基板)的投影光学系统PL。根据曝光装置EX，能够缩短放电灯1的更换时间，因此能够提高曝光工序的生产能力。

另外，关于本实施方式的放电灯的更换方法，如图32的(A)的流程图所示，包括：步骤202，通过夹紧机构52，使与放电灯1的阳极侧的灯座部28的端子部28a(被连结部)面接触且连结有电缆24的供电块66从端子部28a脱离；步骤204，通过驱动单元34使放电灯1的阴极侧的灯座部26能够从支承部件33脱离(解除对灯座部26的夹持)；和步骤206，通过灯搬送系统56保持放电灯1的灯座部28的包含非平面部的被握持部28e(被保持部)并将放电灯1向保管部54搬送。

根据该更换方法，能够高效地进行放电灯1的搬出。

另外，该更换方法包括：步骤208，通过灯搬送系统56，保持处于保管部54的未使用的放电灯1N的灯座部28的被握持部28e，将放电灯1N搬送至放电灯1N的灯座部26能够由支承部件33支承的位置；步骤210，通过驱动单元34将放电灯210的灯座部26夹持于支承部件33；和步骤212，通过夹紧机构52，使连结有电缆24的供电块66与放电灯1N的灯座部28的端子部28a面接触(使用供电块66来夹持灯座部28)。由此，能够高效地进行未使用的放电灯1N向支承部件33的设置。

另外，本实施方式的放电灯1的点亮方法包括：步骤212，使连结有电缆24的供电块66与放电灯1N的阳极侧的灯座部28的端子部28a(被连结部)面接触；步骤210，通过能够供给电力的支承部件33来支承放电灯1N的灯座部26；和步骤214，经由电缆24及支承部件33向放电灯1N供给电力来点亮放电灯1N。根据该点亮方法，由于端子部28a与供电块66面接触，所以能以小的电力损失点亮放电灯1。之后，在步骤214中使用来自该放电灯1的光并通过曝光装置EX进行曝光。

此外，在上述的实施方式中能够进行以下那样的变形。

首先，在上述的实施方式中，使用电缆24向供电块66供给电力，但作为向供电块66(放电灯1)供给电力的方法，也可以不使用电缆24，而使用基准杆67及供电块66(使其导通)来进行。另外，对于供电块66，也可以不仅供给电力，还能够向放电灯1供给灯座部28的冷却用的压缩空气。

另外，上述的实施方式的供电块66的夹紧机构52如图7的(A)所示，为了防止力从夹紧机构驱动单元72作用于放电灯1，而以能够使基准杆67在放电灯1的半径方向D1上微动的方式具备直线导轨71H。与之相对，也可以如图13的(A)及(B)的变形例的夹紧机构52A所示，在基准杆67的前端部，固定有与供电块66平行地沿Z方向延伸且在下端部具有能够支承供电块66的突部的L字型的引导部件71S，在该引导部件71S与供电块66之间，设有用于使供电块66相对于引导部件71S如箭头A10所示在Z方向上能够微动的直线导轨71V。

根据该变形例的夹紧机构52A，在例如放电灯1的使用中放电灯1热膨胀时，放电灯1的灯座部28能够与供电块66一体地经由直线导轨71V相对于引导部件71S向+Z方向位移，因此，能够减少对放电灯1作用的应力。因此，能够使从光源装置30供给的光束的输出更稳定化。

此外，为了可靠地进行放电灯1的灯座部28的端子部28a与供电块66的接触并减少接触电阻，也可以例如在供电块66的V字型的槽部66a(参照图5)的表面(接触面)上设置多个凹凸的图案(所谓触点)。由此，通过所谓接点追随，即使反复更换放电灯1而导致V字型的槽部66a的表面磨耗，也能够可靠地持续进行灯座部28与供电块66之间的电接触。

另外，图7的(A)的夹紧机构驱动单元72构成为在上下(Z方向)上开闭夹紧机构52的基准杆67及驱动杆69，但也可以构成为在左右(与放电灯1的长度方向垂直的方向)上开闭。由此，在通过驱动部77使夹紧机构52在X方向上移动时，不需要使夹紧机构52的驱动杆69的前端部的滚轮70退避至比灯座部28高的位置。即，仅在夹紧机构52的开闭动作下，夹紧机构52的结构部件不会在放电灯1的上方，因此能够在Z方向上搬送放电灯1。

另外，在上述的实施方式及其变形例中，放电灯1的阴极侧的灯座部26的驱动单元34和图13的(B)所示的灯座部28的夹紧机构52A的夹紧机构驱动单元72具备相互独立的驱动部。与之相对，也可以如图14的(A)所示的变形例那样，使驱动部共用化。

在图14的(A)中，在夹紧机构52A的驱动杆69的+X方向的前端部取代驱动部76而固定有钢丝绳89D的一端部，钢丝绳89D的另一端部经由绕与Y轴平行的轴能够旋转地支承在支承部件65下方的滑轮89C而向+X方向延伸。钢丝绳89D的另一端部经由圆柱状的安装部件89B而固定在线性致动器76的可动杆89A的前端。线性致动器76固定在基台62的上表面，能够在沿着基台62的引导部件61(参照图4的(B))的X方向上驱动可动杆89A。

固定有支承部件65的可动台75A经由滑块74能够沿X方向移动地载置于引导部件73的上表面。在可动台75A的+X方向的端部设有沿X方向长的长孔75Aa，在长孔75Aa内插入有安装部件89B的一部分。另外，在可动台75A的-X方向的端部，沿-X方向延伸地安装有在-X方向的前端具备滚轮89F的悬臂支承的杆89G。另外，对于可动台75A，从基台62的-X方向的端部通过拉力螺旋弹簧89E赋予朝向-X方向的作用力，可动台75在图14的(A)的位置被止挡件(未图示)沿-X方向推压而静止。而且，拉力螺旋弹簧89E被设定成与用于驱动夹紧机构52A的驱动杆69的拉力螺旋弹簧68相比张力大。

而且，コ字型的杆38A的一端部38Aa与放电灯1的阴极侧的灯座部26的固定部26h接触，该端部38Aa由一端固定在支承部件33内的拉力螺旋弹簧39向固定部26h侧施力。包含杆38A及拉力螺旋弹簧39而构成灯座部26的夹紧机构34A。在将放电灯1固定于支承部件33的状态下，杆89G的前端的滚轮89F位于杆38A的端部38Aa与另一个端部38Ab之间。包含钢丝绳89D、滑轮89C、线性致动器76L、可动台75A、拉力螺旋弹簧89E及杆89A等而构成驱动夹紧机构52A及34A的驱动单元72A。

接下来，说明驱动单元72A的动作。图14的(A)示出如图6的(B)所示那样通过引出驱动单元60将支承放电灯1的支承部件33引出到灯罩31外的状态。在该状态下，线性致动器76L的可动杆89A的前端的安装部件89B位于长孔75Aa内的可动范围的-X方向的端部附近。接着，当向+X方向驱动线性致动器76L的可动杆89A时，钢丝绳89D经由滑轮89C被向下方牵引，如图14的(B)所示，夹紧机构52A的驱动杆69的+X方向的端部下降，基于供电块66及滚轮70对灯座部28的夹持被解除。

而且，当向+X方向驱动线性致动器76L的可动杆89A时，可动杆89A的前端的安装部件89B与长孔75Aa的+X方向侧的内表面接触，钢丝绳89D不会被进一步牵引，但取而代之安装部件89B一边牵引可动台75A一边继续向+X方向移动。其结果为，处于可动台75A上的夹紧机构52A及支承部件65作为整体向+X方向移动，夹紧机构52A从放电灯1的上方退避。另外，在可动台75A向+X方向的退避中途、或退避最后，如图15所示，安装于可动台75A的杆89G的前端的滚轮89F与阴极侧的夹紧机构34A的杆38A的另一端部38Ab接触，使杆38A旋转，解除阴极侧的灯座部26相对于支承部件33的夹持。

然后，如图10的(B)所示，通过灯搬送系统56进行放电灯1的更换。在更换了放电灯1后，通过与上述动作相反的动作来夹持阴极侧的灯座部26，通过可动台75A向-X方向的移动，夹紧机构52A的供电块66与放电灯1的灯座部28接触，接着驱动杆69的端部上升而再次通过滚轮70及供电块66夹持灯座部28。

通过像这样使用驱动单元72A，能够使用一个线性致动器76L(驱动部)来进行夹紧机构52A的解除及退避、及夹紧机构34A的解除、以及与这些动作相反的动作。即，能够由一个致动器来控制三个动作，因此能够减少制造成本。此外，致动器的数量也可以为例如两个。

在上述的说明中，牵引夹紧机构52A的驱动杆69的力设定成比使可动台75A向+X方向滑动的力弱，因此，在至牵引驱动杆69结束之前，可动台75A不会向+X方向移动。但是，只要是能够实现上述那样的一系列动作的结构，则可以使用任意机构。

[第2实施方式]

对于第2实施方式参照图16～图18进行说明。本实施方式的光源装置也用于向图1的曝光装置EX的照明光学系统13供给曝光用的照明光而使用。在上述的第1实施方式中，对放电灯1的阳极侧的灯座部28用的夹紧机构进行驱动的驱动单元72由引出驱动单元60的可动台75支承，但在本实施方式中将该驱动单元设于灯罩内。此外，在图16～图18中对与图4的(A)、(B)对应的部分标注相同的附图标记并省略其详细说明。

图16示出本实施方式的光源装置30A。光源装置30A具备：夹持放电灯1的阳极侧的灯座部28的夹紧机构52B、驱动夹紧机构52B的驱动单元72B、放电灯1的保管部54、及灯搬送系统56A。在图16中，在灯罩31的下部外壳31A内的-X方向的端部，经由支承台75C而固定有平板状的基座部件75B，在基座部件75B的上表面经由驱动部76而支承有驱动杆69的一端部，在支承台75C的上表面经由支承部件65而支承有基准杆67A的一端部，在基准杆67A的另一端部的前端固定有供电块66，在驱动杆69的另一端部的前端安装有滚轮70，在上部外壳31B的底部与驱动杆69之间，夹装有将驱动杆69的-X方向的端部提升的拉力螺旋弹簧68。此外，在支承部件65的上表面与基准杆67A的-X方向的端部之间，配置有将基准杆67A能够向-X方向微动地支承的直线导轨71H(在图16中未图示。参照图7的(A))。

在本实施方式中，放电灯1相对于图2的(A)的情况以旋转了180度的角度支承于支承部件33。而且，供电块66与放电灯1的阳极侧的灯座部28的端子部28a的-X方向侧的平面部28b、28c(参照图2的(B))接触，通过松缓驱动部76的力，而驱动杆69借助拉力螺旋弹簧68的力顺时针旋转，驱动杆69的前端的滚轮70对端子部28a的背面向-X方向施力，由此端子部28a被夹持在供电块66与滚轮70之间。包含基准杆67A、驱动杆69及滚轮70而构成夹紧机构52B，包含驱动部76、支承部件65及拉力螺旋弹簧68而构成夹紧机构52B用的驱动单元72B。

另外，在基座部件75B的上表面上固定有中继部件64A，一端与供电块66连结的电缆24的另一端与中继部件64A的上部连结，一端与支承部件33连结的具有挠性且长度有余裕的电缆(未图示)的另一端与中继部件64A的下部连结，电缆24等经由延长线缆(未图示)与电源部(未图示)连接。而且，在下部外壳31A内且处于放电灯1的上方的遮光部件42A上，在+X方向的端部设有供放电灯1通过的开口(未图示)，在-X方向的端部设有用于配置夹紧机构52B的开口(未图示)。另外，将放电灯1的阴极侧的灯座部26夹持于支承部件33的驱动单元34(参照图4的(B))与第1实施方式相同，因此在图16等中省略该驱动单元34的图示。

另外，在更换装置50A的壳体51内设置有引出驱动单元60A，其包含引导部件61、基台62A、将基台62A的向Z方向突出的前端部62Aa和引出部36连结的连结部件43、及驱动部63。而且，在壳体51内设置有灯搬送系统56A，其包含设置于底面的细长的支承部件90A、固定于支承部件90A的上端的沿X方向长的X轴引导部件90B、能够沿X方向移动地支承于X轴引导部件90B的X轴驱动机构90X、支承于X轴驱动机构90X的Z轴驱动机构84、设于Z轴驱动机构84的下端的握持爪开闭机构85、和设于握持爪开闭机构85的多个爪部86。在壳体51内也设置有放电灯1的保管部54。包含引出驱动单元60A、灯搬送系统56A及保管部54而构成更换装置50A。其他结构与图4的(B)的光源装置相同。

在本实施方式中，在更换放电灯1的情况下，首先，如图17所示，通过驱动单元72B的驱动部76向箭头A21所示的方向拉下夹紧机构52B的驱动杆69的端部，使驱动杆69的前端部的滚轮70从阳极侧的灯座部28分离。然后，引出驱动单元60A将引出部36向+X方向引出至壳体51内的规定位置。接着，如箭头A23所示，灯搬送系统56A的握持爪开闭机构85及爪部86沿-Z方向下降而握持阳极侧的灯座部28，通过驱动单元(未图示)解除阴极侧的灯座部26的夹持。此外，也可以在爪部86握持灯座部28前解除灯座部26的夹持。然后，如箭头A24所示，握持爪开闭机构85上升，使放电灯1的阴极侧的灯座部26移动至比椭圆镜2高的位置。

然后，X轴驱动机构90X如箭头A25所示，沿着X轴引导部件90B向+X方向移动，使握持爪开闭机构85向保管部54的转盘79的上方的位置A27移动。接着，如箭头A26所示，握持爪开闭机构85下降，将放电灯1载置于转盘79的空着的开口。接着，握持爪开闭机构85暂时上升，转盘79旋转而将未使用的放电灯1N移动到握持爪开闭机构85的下方后，握持爪开闭机构85再次下降并在握持未使用的放电灯1N后上升。

然后，通过与搬出放电灯1时相反的动作，将放电灯1N设置于支承部件33，通过引出驱动单元60A将引出部36返回到下部外壳31A内。然后，如图16所示，通过驱动单元72B驱动夹紧机构52B来夹持放电灯1N的阳极侧的灯座部28，由此放电灯1的更换完成。

根据本实施方式，阳极侧的灯座部28的夹紧机构52B的驱动单元72B不具有滑动机构，因此作为整体而光源装置30A的结构简化，能够减少制造成本。另外，与向阳极侧的灯座部28供电的供电块66相连的电缆24不会被引出，因此能够将由引出驱动单元60A驱动的部分的结构简化。

另外，本实施方式的灯搬送系统56A使用X轴驱动机构90X及Z轴驱动机构84以直动方式驱动握持爪开闭机构85，因此，即使在转盘79上沿着圆周接近地配置放电灯1、1N，也能够容易地进行握持爪开闭机构85与转盘79之间的定位。

在本实施方式中，能够进行以下变形。

首先，也可以取代本实施方式的灯搬送系统56A而使用第1实施方式的灯搬送系统56或多轴机器手等。

另外，也可以取代灯搬送系统56A，而如图18的变形例的光源装置30B所示，具备回旋型的灯搬送系统56B。

在图18中，灯搬送系统56B具备：设置于壳体51内的底面的细长的支承部件90C；固定于支承部件90C的上端的回旋驱动部90D；通过回旋驱动部90D绕与Z轴平行的轴回旋的回旋部90E；固定于回旋部90E的两端且分别能够沿Z方向移动的Z轴驱动机构84A、84B；设于Z轴驱动机构84A、84B的下端部的握持爪开闭机构85A、85B；和通过握持爪开闭机构85A、85B而分别开闭的多个爪部86A、86B。在灯搬送系统56B中进行放电灯1的搬送的情况下，作为一例，通过一个握持爪开闭机构85A经由爪部86A抓持既已用完的放电灯1的灯座部28，并通过另一个握持爪开闭机构85B经由爪部86B抓持转盘79的未使用的放电灯1N的灯座部28。

而且，在经由Z轴驱动机构84A、84B使放电灯1、1N上升后，通过回旋驱动部90D使回旋部90E旋转180度之后，经由Z轴驱动机构84A、84B使放电灯1、1N下降，由此能够在支承部件33与转盘79之间高速地更换放电灯1、1N。在本实施方式中，由于在壳体51内支承于支承部件33的放电灯1的斜上方没有夹紧机构52B，所以即使通过回旋部90E的旋转而握持爪开闭机构85A的爪部86A(或握持爪开闭机构85B的爪部86B)向顺时针或逆顺时针中的某一方向旋转也不担心会与夹紧机构52B接触。

[第3实施方式]

对于第3实施方式参照图19的(A)～图25的(B)进行说明。本实施方式的光源装置也用于对图1的曝光装置EX的照明光学系统13供给曝光用的照明光而使用。本实施方式的放电灯的阳极侧的灯座部的形状及该灯座部的夹紧机构的结构与上述实施方式不同。此外，在图19的(A)～图25的(B)中对与图2的(A)及图4的(A)、(B)及图16对应的部分标注相同的附图标记并省略其详细说明。

图19的(A)示出本实施方式的放电灯1A。在图19的(A)中，放电灯1A具备：由灯泡部25Aa及以夹持灯泡部25Aa的方式固定的圆筒状的两个棒状部25Ab、25Ac构成的玻璃管25A；与一个棒状部25Ab的端部连结的阴极侧的灯座部126；和与另一个棒状部25Ac的端部连结的阳极侧的灯座部128。灯座部128、126分别与灯泡部25Aa内的阳极及阴极(未图示)电连接。灯座部126及128是电导率及热导率良好的金属制。

另外，在阴极侧的灯座部126上，从棒状部25Ab向开放端侧依次形成有：直径比棒状部25Ab大的圆筒状的连接部126k；外径为棒状部25Ab的外径的两倍左右的环带状的凸缘部126a；外径比棒状部25Ab的外径稍大的圆柱状的轴部126b；外径比轴部126b小的圆柱状的小径部126f；外径比轴部126b稍小或与轴部126b为大致相同外形的圆柱状的固定部126h；倒角部126i；和直径比小径部126f小的顶端部126j。在将放电灯1A载置于后述的图20的(B)的支承部件33时，凸缘部126a与包围支承部件33的中央开口的层差部抵接。另外，固定部126h能够通过图4的(B)的驱动单元34而夹持于图20的(B)的支承部件33。此外，在图20的(B)中省略了驱动单元34的图示。

另外，阳极侧的灯座部128从放电灯1A的玻璃管25A的棒状部25Ac侧向开放端侧依次具备：外径比棒状部25Ac的直径稍大的圆筒状的连接部128k；外径与棒状部25Ac的直径大致相同的圆筒状的中间部128m；形成有多个环带状的散热片128j的散热部128i；和端子部128a。端子部128a朝向前端部依次具有：直径逐渐变小的圆锥侧面状的凸的连结部128b；直径比连接部128k小的圆柱状的轴部128c；直径逐渐变小后再次变大的凹部e1；直径与轴部128c大致相同的圆柱状的顶端部128d；和倒角部e2。

如图19的(B)所示，在本实施方式中，为了将电缆24能够装拆地与阳极侧的灯座部128连结，而使用将多个圆筒状部件组合构成的部件(以下称为供电插口)152。在图19的(B)中，供电插口152具有：形成有形状与灯座部128的连结部128b相同的凹的接触面153a的环带状的连结部153；固定于连结部153的上部的圆筒状的外筒部154；形成有与外筒部154的前端的凸缘部154a抵接的层差部155a且下端配置在连结部153与外筒部154之间的圆筒状的按钮开关部155；和夹装在连结部153与按钮开关部155之间的压缩螺旋弹簧156。连结部153、外筒部154及内筒部155是电导率及热导率良好的金属制。

连结部153通过例如螺栓(未图示)等固定于外筒部154的底面，在外筒部154的外表面形成有凹部154b，电缆24的端部与外筒部154的外表面连结。另外，连结部153具有：与灯座部128的轴部128c及顶端部128d松缓地嵌合的内表面153b；和设有分别配置有球体(球轴承)157的多个开口h4(参照图24)的保持架部153c。在按钮开关部155的下端的凹部中形成有用于防止球体157逃到外侧的锥部155b，在该凹部的上表面上形成有能够与灯座部128的顶端部128d接触的小的凹部155d。

在图19的(B)的状态下，保持于连结部153的保持架部153c中的多个球体157收纳于端子部128a的凹部e1内，通过压缩螺旋弹簧156从按钮开关部155向连结部153侧作用着作用力，连结部153的接触面153a被推压于端子部128a的连结部128b。此时，向电缆24供给的电力(电流)经由外筒部154及连结部153以小电阻(接触电阻)向灯座部128供给。

另外，在图19的(B)的供电插口152中，作为一例，构成为在外筒部154上形成有通气孔154c，能够经由设于电缆24内的送风管(未图示)从外部向通气孔154c供给冷却后的空气。该空气向连结部153与外筒部154之间的空间供给，能够高效地冷却灯座部128。此外，能够省略供给该冷却后的空气的机构，在该情况下，不需要设置通气孔154c。关于进行供电插口152从灯座部128的拆下及向灯座部128安装的机构，将在后叙述。

图20的(A)是表示本实施方式的光源装置30C的、将一部分切除后的俯视图，图20的(B)是图20的(A)的将一部分切除后的侧视图。在图20的(B)中，在固定于下部外壳31A内的引出部36的支承部件33上设置有放电灯1A的阴极侧的灯座部126的凸缘部126a，固定部126h通过驱动单元34(参照图4的(B))而夹持于支承部件33。另外，在引出部36的+X方向的端部的上表面固定有中继部件64，在中继部件64的前端部连结有电缆24的一端，电缆24的另一端经由供电插口152与放电灯1A的阳极侧的灯座部128连结。另外，与支承部件33连结的电缆(未图示)也与中继部件64连结。

另外，在壳体51内设置有：将引出部36向壳体51侧引出的引出驱动单元60A；保管放电灯1A及未使用的放电灯1A(以下称为放电灯1AN)的保管部54；灯搬送系统56C；及进行供电插口152相对于放电灯1A的灯座部128的装拆的机构(以下称为供电插口更换用的驱动单元)72C。包含引出驱动单元60A、保管部54、灯搬送系统56C及驱动单元72C而构成光源装置30C的更换装置50C。如图20的(A)及(B)所示，灯搬送系统56C具有：在底面相对于引导部件61设置在-Y方向侧的细长的支承部件90A；固定于支承部件90A的上端的沿X方向长的X轴引导部件90B；能够沿X方向移动地支承于X轴引导部件90B的X轴驱动机构90X；支承于X轴驱动机构90X的Z轴驱动机构84B；和设于Z轴驱动机构84B的下端且握持放电灯1A的阳极侧的灯座部128的握持部162。

另外，供电插口更换用的驱动单元72C具有：在底面相对于引导部件61设置在+Y方向侧的细长的支承部件90F；以能够绕与Z轴平行的轴在大致30度的范围内旋转的方式与支承部件90F的上端连结的回旋部90G；设于回旋部90G的前端的收纳部90R内的Z轴驱动机构84A；和设于Z轴驱动机构84A的下端且进行供电插口152相对于放电灯1A的灯座部128的装拆的部件(以下称为握持部)160。

在本实施方式中，在进行放电灯1A的更换的情况下，与第1实施方式同样地，如图21中箭头A31所示，引出驱动单元60A将支承放电灯1A的引出部36引出至壳体51内的规定位置。接着，在引出的放电灯1A的上空待机的驱动单元72C的握持部160下降而将供电插口152从放电灯1A的灯座部128拆下并仅提升供电插口152。

接着，如图25的(A)中箭头A38所示，使回旋部90G回旋约30度并使保持着供电插口152的握持部160从放电灯1A的上方退避。然后，在灯搬送系统56C中，如箭头A36所示使X轴驱动机构90X向放电灯1A的上方移动。然后，如图25的(B)所示，通过Z轴驱动机构84B使握持部162下降到放电灯1A的灯座部128，通过握持部162保持例如灯座部128的顶端部128d(参照图19的(A))。然后，如箭头A37所示，在将放电灯1A提升得比椭圆镜2高后，与图17的例子同样地，使用灯搬送系统56C将放电灯1A设置于保管部54，并从保管部54将未使用的放电灯1AN载置于支承部件33。然后，通过驱动单元72C将供电插口152安装到放电灯1AN的灯座部128，通过引出驱动单元60A将引出部36返回到下部外壳31A内，由此放电灯1A的更换完成。

接着，对于本实施方式的图21的驱动单元72C的握持部160的结构等，参照图22的(A)～图24进行说明。

如图22的(A)所示，驱动单元72C的固定于Z轴驱动机构84A的下端的握持部160具有：固定于Z轴驱动机构84A且具有绕与Z轴平行的轴以大致等角度间隔配置的三个腕部164a、164b、164c(164c未图示)的第1连杆部164；固定于第1连杆部164的中央底面且在中央以等角度间隔形成有三处开口166a、并能够沿Z方向驱动的活塞部165；和一端部分别设置于开口166a中的大致T字型的三个第2连杆部167A、167B、167C(167C未图示)。而且，握持部160具有：经由能够旋转的支点E1等与三个腕部164a、164b、164c连结、且经由能够旋转的支点E4等与三个第2连杆部167A、167B、167C连结的三个臂部169A、169B、169C(169C未图示)；和经由能够旋转的支点E2等与三个腕部164a、164b、164c连结且经由能够旋转的支点E3等与三个第2连杆部167A、167B、167C连结的三个第3连杆部168A、168B、168C(168C未图示)。此外，以下，将绕与Z轴平行的轴以大致等角度间隔配置的三个臂部169A、169B、169C等简称为臂部169A、169B等。

在通过握持部160从放电灯1A的灯座部128拆下供电插口152的情况下，如图22的(B)所示，使握持部160下降，臂部169A、169B的前端的凸部在与供电插口152的外筒部154的凹部154b相对的位置停止握持部160的下降。接着，如图23的(A)中箭头A32所示，当压下中央的活塞部165时，通过由第1连杆部164、第2连杆部167A、167B及第3连杆部168A、168B构成的连杆机构的动作，臂部169A、169B的前端向内侧移动，其前端的凸部卡挂于外筒部154的凹部154b。

接着，如图23的(B)中箭头A33所示，当活塞部165将供电插口152的按钮开关部155按下时，供电插口152内的球体157沿着按钮开关部155的锥部155b(参照图24)向外侧移动，对灯座部128的端子部128a的夹持被解除。此时，由于握持部160的上述连杆机构为所谓肘式(toggle)机构，所以即使活塞部165大幅向下方移动，臂部169A、169B的位置也大致不会变化。因此，能够边通过三个臂部169A、169B支承供电插口152、边解除基于供电插口152对灯座部128的夹持。因此，不会对放电灯1A作用向下推压的力。

然后，如图24中箭头A35所示，对驱动单元72C的Z轴驱动机构84A进行驱动，使保持着供电插口152的握持部160上升，由此能够从放电灯1A的灯座部128向上方拆离供电插口152。另外，通过与上述动作相反的动作，能够将供电插口152安装到灯座部128。

此外，在本实施方式中，能够进行以下的变形。

首先，在本实施方式的供电插口更换用的驱动单元72C中，如图20的(B)所示设有旋回部90G，但也可以不设置旋回部90G，而使Z轴驱动机构84A及握持部160沿着X轴移动。该情况下，在将引出部36(放电灯1A)引出到下部外壳31A外时暂时使引出部36停止，并通过Z轴驱动机构84A使握持部160下降，在通过握持部160将供电插口152从放电灯1A拆下后，使保持着供电插口152的握持部160上升。然后，再次通过引出驱动单元60A将引出部36向+X方向引出后，通过灯搬送系统56C更换放电灯1A。在该情况下，不需要在驱动单元72C中设置回旋部90G，因此能够减少驱动单元72C的制造成本。

另外，在图20的(B)中，也可以沿着灯搬送系统56C的X轴引导部件90B，连同握持部162用的Z轴驱动机构84B一起，能够沿X方向移动地支承握持部160用的Z轴驱动机构84A。在该结构中，通过握持部160拆下放电灯1A的供电插口152后，在使握持部160沿着Z轴驱动机构84B移动到-X方向的端部后，能够使握持部162向放电灯1A的上方移动来更换放电灯1A。因此，不需要如上述变形例那样使引出部36(引出驱动单元60A)在两处停止。由此，作为引出驱动单元60A的驱动部63，能够使用例如气缸等。

此外，作为放电灯1A的制造方法，能够使用与上述放电灯1相同的制造方法。即，分别准备灯主体(玻璃部件)和灯座部126、128，能够通过将它们相互连结来构成放电灯1A。此时灯座部126、128可以例如以将从既已用完的放电灯1A拆下的灯座部再次利用的方式准备。另外，在再次利用灯座部126、128中的至少一方的情况下，能够取代再次利用灯座部126、128整体，而仅再次利用灯座部126、128的至少一部分(例如，端子部128a及散热部128i中的至少一个零件)。

[第4实施方式]

对于第4实施方式参照图26的(A)～图27进行说明。本实施方式的光源装置也用于向曝光装置的照明光学系统供给曝光用的照明光而使用。本实施方式的光源装置具备多个(作为一例为三个)灯罩，将从多个灯罩内的放电灯射出的光合成而向曝光装置的照明光学系统供给。此外，在图26的(A)～图30中对与图1及图4的(A)、(B)对应的部分标注相同的附图标记并省略其详细说明。

图26的(A)及(B)分别是表示本实施方式的曝光装置EXA的俯视图，图27是表示曝光装置EXA的、将一部分切除后的侧视图。在图26的(A)中，曝光装置EXA的照明光学系统及曝光主体部(从图1的曝光装置EX除去光源装置30后的部分)配置于箱状的腔室92内。曝光装置EXA具备光源装置30D。光源装置30D具备：以放射状设置于腔室92的室顶RT的第1、第2及第3灯罩29A、29B、29C；将从设置于室顶RT的灯罩29A、29B、29C射出的光束合成而向下层的照明光学系统(未图示)供给的合成部93；更换灯罩29A～29C内的既已用完的放电灯1的更换装置50D；和保管放电灯1及未使用的放电灯1N的保管部54。保管部54由罩(未图示)覆盖。

灯罩29A～29C分别具有收容图4的(B)的使用时的放电灯1及椭圆镜2的下部外壳31A、以及配置有镜3及窗部件4的上部外壳31B(参照图27)。此外，在图26的(A)、(B)中，仅图示出灯罩29A～29C中的下部外壳31A。在灯罩29A～29C的使用时的放电灯1的阳极侧的灯座部28上，分别通过图4的(B)的夹紧机构52而连结有电缆24的供电块66。

另外，更换装置50D具备：分别与灯罩29A、29B、29C接近地配置的壳体51A、51B、51C；和分别配置在壳体51A～51C内且将对应的灯罩29A～29C内的支承放电灯1的引出部36向壳体51A～51C内引出的图4的(B)的引出驱动单元60。壳体51A～51C的高度与下部外壳31A的高度大致相同(参照图27)，在壳体51A～51C的上表面设有开闭式的罩(未图示)。另外，更换装置50D具备：分别配置于壳体51A～51C内、且解除基于夹紧机构52对被引出的放电灯1的阳极侧的灯座部28的夹持的图4的(B)的驱动单元72C；分别配置于壳体51A～51C内、且解除对被引出的放电灯1的阴极侧的灯座部26的夹持的图4的(B)的驱动单元34；和对支承于被引出到壳体51A～51C的引出部36(支承部件33)上的既已用完的放电灯1进行更换的灯搬送系统56D。

另外，灯搬送系统56D具备：与室顶RT的壳体51C接近地设置的支柱90H；支承于支柱90H且沿Y方向延伸的Y轴驱动部90I；通过Y轴驱动部90I沿Y方向驱动的回旋驱动部90D；通过回旋驱动部90D绕与Z轴平行的轴回旋的回旋部90E；固定于回旋部90E的两端的Z轴驱动机构84A及84B；与Z轴驱动机构84A及84B的下端连结的握持爪开闭机构85A及85B；和通过握持爪开闭机构85A及85B而开闭的多个爪部86A及86B。Y轴驱动部90I通过例如滚珠丝杠方式或线性马达方式等将回旋驱动部90D沿Y方向驱动。像这样灯搬送系统56D具备两个握持爪开闭机构85A、85B，因此能够同时握持两只放电灯1(或未使用的放电灯1N)。此外，为了调整放电灯1、1N的旋转角，也可以在Z轴驱动机构84A、84B与握持爪开闭机构85A、85B之间设置旋转轴(未图示)。

另外，如图27所示，光源装置30D具备：设置于腔室92的侧面的升降机95；和在升降机95内在接近一层的位置P7与接近室顶RT的位置P6之间升降的升降部94。在升降部94的上表面设置有保管部54(驱动部80及转盘79)。

在本实施方式中，在更换例如灯罩29B、29C内的放电灯1的情况下，如图26的(A)所示，将支承放电灯1的引出部36引出到壳体51B、51C内。然后，作为一例，通过灯搬送系统56D的一个握持爪开闭机构85A及爪部86A来握持处于保管部54的未使用的放电灯1N，使握持爪开闭机构85A上升。然后，如图26的(B)中虚线所示，使灯搬送系统56D的回旋部90E向壳体51B的上方移动，通过另一个握持爪开闭机构85B及爪部86B来握持壳体51B内的放电灯1N，并将由一个握持爪开闭机构85A及爪部86A保持的放电灯1N设置到壳体51B的引出部36(支承部件33)。此时的夹紧机构52对放电灯1的灯座部28的解除等动作与第1实施方式相同。

然后，如图26的(B)中实线所示，使灯搬送系统56D的回旋部90E向壳体51C的上方移动，通过一个握持爪开闭机构85A及爪部86A来握持壳体51C内的放电灯1，使握持爪开闭机构85A、85B上升，使回旋部90E向保管部54的上方移动，将由爪部86A、86B握持的两只既已用完的放电灯1载置到保管部54的转盘79。然后，通过一个握持爪开闭机构85A及爪部86A来握持转盘79的未使用的放电灯1N，使回旋部90E向壳体51C的上方移动，将放电灯1载置于壳体51内的引出部36后，使壳体51B、51C内的引出部36返回到灯罩29B、29C的下部外壳31A内，由此，灯罩29B、29C内的放电灯1向未使用的放电灯1N的更换完成。对于灯罩29A内的放电灯1的更换也能够同样地进行。

另外，在处于保管部54的转盘79的既已用完的放电灯1变多时，如图27所示，通过升降机95将保管部54向一层的位置P7移动。然后，作业者打开升降机95的一层的灯更换门45A，回收转盘79的既已用完的放电灯1，并补充未使用的放电灯1N。然后，通过升降机95将保管部54移动至接近室顶RT的位置P6，由此能够进行光源装置30D内的多个放电灯1的更换。

根据本实施方式，作业者能够对多个灯罩29A～29C在一处进行放电灯的补充及回收，因此效率高。另外，由于具备一对握持爪开闭机构85A、85B及爪部86A、86B，所以即使回旋部90E沿着Y轴驱动部90I的行动距离变长，也能够在短时间内进行放电灯的更换。

另外，仅将引出驱动单元60及夹紧机构52用的驱动单元72C安装于与各灯罩29A～29C对应地配置的壳体51A～51C内即可，因此能够减小腔室92的室顶RT的设置面积，对于狭窄的室顶RT也能够容易地设置光源装置30D。

此外，为了进一步缩短放电灯的更换时间，也可以增加保管放电灯的转盘79的数量、灯搬送系统56D的数量来缩短灯更换时间。

另外，也可以分开地配置放电灯补充用的转盘和回收用的转盘。

另外，以横穿多个灯罩29A～29C上方的方式配置的Y轴驱动部90I(灯搬送系统56D的行动轴)也可以通过多个支柱而安装于室顶RT，并以悬垂于与腔室92分离地配置的例如工厂的顶壁部的方式被支承。另外，灯罩29A～29C也可以汇总地设于从腔室92分离的部位。

[第5实施方式]

对于第5实施方式参照图28～图31的(B)进行说明。在上述实施方式中，在将放电灯1、1A的阴极侧的灯座部26、126定位于支承部件33而固定的状态下，通过灯搬送系统56、56C等的爪部86或握持部160等来握持阳极侧的灯座部28、128，但在放电灯1、1A的形状精度低的情况下，担心通过爪部86或握持部160等无法握持灯座部28、128。在放电灯1、1A的形状精度低的情况下，为了能够通过爪部86或握持部160等机器手来握持灯座部28、128，需要对机器手赋予顺从(compliance)功能(灵活性)。因此，在本实施方式中，提供针对与放电灯的位置关系而具有灵活性的放电灯的握持机构、及具有适于用这样的握持机构握持的形状的灯座的放电灯。该放电灯及握持机构分别能够使用于例如图4的(B)的光源装置30中的放电灯1及灯搬送系统56。此外，在图28～图31的(B)中对与图19的(A)及(B)对应的部分标注相同的附图标记并省略其详细说明。

图28示出本实施方式的放电灯1B。在图28中，放电灯1B具备玻璃管25A、与玻璃管25A的一个棒状部25Ab的端部连结的阴极侧的灯座部126、和与玻璃管25A的另一个棒状部25Ac的端部连结的阳极侧的灯座部128A。灯座部128A、126分别与玻璃管25A的灯泡部25Aa内的阳极及阴极(未图示)电连接。灯座部126及128A是电导率及热导率良好的金属制。

另外，在阳极侧的灯座部128A上，从放电灯1B的棒状部25Ac侧向开放端侧依次形成有：外径比棒状部25Ac的直径稍大的圆筒状的连接部128Ak；外径与棒状部25Ac的直径大致相同的圆筒状的中间部128Am；形成有多个环带状的散热片128Aj的散热部128Ai；具有比散热片128Aj的半径稍大的半径的作为球体的一部分的球带部128Ae(被保持部或被握持部)；和形状与图2的(A)的端子部128a相同的端子部128Aa。球带部128Ae为将其球体的沿着放电灯1B的长度方向的两端部对称地以与其长度方向垂直的面切除而得到的形状。球带128Ae的高度(放电灯1B的长度)被设定为该球体的半径的2/3左右。灯座部128A由热导率及电导率良好的金属(例如黄铜)一体地形成。此外，也可以将单独制造的各部分(球带部128Ae、端子部128Aa)连结来形成灯座部128A。

图29的(A)是表示作为本实施方式的握持机构的装卸部85D的、将一部分切除后的俯视图，图29的(B)是将图29的(A)的一部分切除后的主视图。此外，图29的(A)也是沿着图29的(B)的AA线的剖视图。另外，在图29的(A)、(B)中，沿着被支承的放电灯1B的长度取Z轴、在与Z轴垂直的面内的正交的方向上取X轴及Y轴来进行说明。另外，也将绕与X轴、Y轴及Z轴平行的轴的旋转方向分别称为θx、θy及θz方向。另外，如图29的(B)所示，本实施方式的装卸部85D作为一例能够取代握持爪开闭机构85而安装于图4的(B)的灯搬送系统56的Z轴驱动机构84。

在图29的(A)、(B)中，装卸部85D具备X方向及Y方向的顺从机构(具有灵活性的机构)。

装卸部85D具有：固定于Z轴驱动机构84的底面的以长方体向下方打开的箱形状的筐体172；和固定于筐体172的下端、外形与筐体172相同且高度比其低的矩形框状的框部件173a。框部件173a的厚度(XY面内的宽度)在整周(除角部以外)范围内相同，其厚度比筐体172的侧面部的厚度大。

另外，在框部件173a的底面上固定有在中央部开设圆形孔的矩形平板状的下板173b。下板173b由例如金属(不锈钢等)形成。另外，在框部件173a的上表面且在筐体172的内部，与筐体172的内表面以微小间隙配置有俯视下为矩形且厚度薄的、在中央部开设有圆形孔的平板状的上板177。上板177由例如合成树脂(塑料等)形成。上板177的孔径与下板173b的孔径大致相等。

在筐体172的内部的顶壁与上板177的上表面之间，以压缩状态安装有多个压缩螺旋弹簧180，上板177被从上方以规定的力按压于框部件173a。另外，在压缩螺旋弹簧180中设有引导棒181。

装卸部85D在下端部经由圆板状的安装部件175而具有多个(例如三支)沿Z方向延伸的指部86D，通过安装部件175内的开闭装置(未图示)，能够在俯视下以放射状同步地(以相同速度、相同距离)开闭多个指部86D。

在安装部件175的上表面，沿上下方向(Z方向)延伸地安装有圆筒部件174。圆筒部件174可以是圆柱状的部件。在圆筒部件174的Z方向的中间位置设有俯视下为矩形的凸缘部174a。圆筒部件174(凸缘部174a)由例如金属(铝合金等)形成。圆筒部件174的隔着凸缘部174a的圆筒状的部分的直径比下板173b及上板177的孔径小，凸缘部174a的外形的宽度比下板173b及上板177的孔径大。以上板177和下板173b从上下夹着圆筒部件174的矩形的凸缘部174a的方式，将圆筒部件174的圆筒部穿插于上板177和下板173b的孔中。圆筒部件174的上下的端部为直径比中间的圆筒部大的头部174b及连结部174c。

凸缘部174a的厚度(Z方向的宽度)比框部件173a的厚度(Z方向的宽度)薄。因此，在上板177与下板173b之间存在能够供凸缘部174a沿Z方向位移的间隙。包含凸缘部174a的圆筒部件174可以是安装部件175的一部分，也可以在圆筒部件174的底部安装使指部86D开闭的致动器等。

另外，如图29的(A)所示，在上板177与下板173b之间，以内含凸缘部174a的方式，配置有俯视下为矩形且Z方向的厚度比框部件173a的厚度小、与凸缘部174a的厚度大致相等的小型矩形的框状部件(以下称为小型框状部件)173c。小型框状部件173c的长度(相对边中的长边(Y方向)的长度)比框部件173a的一方的相对且平行的内表面间的长度(Y方向的内尺寸)稍短，小型框状部件173c的宽度(相对边中的短边(X方向)的长度)比框部件173a的另一方的相对且平行的内表面间的长度(X方向的内尺寸)设定得充分短。另外，小型框状部件173c的矩形孔的X方向上的宽度(X方向的内尺寸)比凸缘部174a的X方向上的长度稍长，小型框状部件173c的矩形孔的Y方向上的长度(Y方向的内尺寸)比凸缘部174a的Y方向上的长度设定得充分长。因此，凸缘部174a(即，圆筒部件174)能够与小型框状部件173c一起(凸缘部174a推压小型框状部件173c)在X方向上移动，凸缘部174a能够沿着小型框状部件173c的内壁面在Y方向上移动。另外，凸缘部174a通过小型框状部件173c的X方向的内壁和Y方向的外壁而被限制θz方向的旋转。

另外，在圆筒部件174的比上板177靠上的部分上，如图29的(B)所示，经由以放射状配置的三根以上的棒状部件178而安装有拉力螺旋弹簧179的一端。拉力螺旋弹簧179的另一端在筐体172的顶壁、且比拉力螺旋弹簧179的一端侧的安装位置靠外侧(俯视下以圆筒部件174为中心靠半径方向的外侧)，以放射状在稍微伸长的状态下安装。因此，对圆筒部件174以放射状施加向斜上方牵引的力，通过与相反方向伸长的拉力螺旋弹簧179的力的平衡，而停留在中心位置。此时，以在经由安装部件175安装于圆筒部件174的指部86D没有握持任何东西的状态下，克服安装部件175及指部86D的自重而凸缘部174a的上表面与上板177轻轻接触的方式，确定拉力螺旋弹簧179的强度和安装角度。另外，此时，将压缩螺旋弹簧180的力确定为通过多个压缩螺旋弹簧180的力而使上板177不会被向上方提升的程度。

其结果为，抑制通过拉力螺旋弹簧179而吊起的圆筒部件174(即，安装部件175及指部86D)因凸缘部174a与合成树脂制的上板177之间的摩擦阻力而振动，并且通过低摩擦系数而防止水平方向的移动受到阻碍。

指部86D的内侧以沿着图28的放电灯1B的灯座部128的球带部128Ae的表面的(能够嵌合的)曲率形成为凹状。在安装部件175的底面的多个指部86D的根基部分的中央，固定有圆柱状的引导块176，以使从引导块176的前端到设于指部86D的凹部的曲率中心为止的Z方向的距离与从放电灯1B的灯座部128的前端到球带部128Ae的中心为止的Z方向(放电灯1B的长度方向)的距离大致相同的方式，调整引导块176的Z方向的高度。因此，在引导块176与放电灯1B的灯座部128A的前端接触的状态下，只要关闭指部86D，则指部86D的凹部与放电灯1B的球带部128Ae嵌合，能够可靠地握持放电灯1B。此外，也能够省略引导块176。

接下来，详细说明通过本实施方式的放电灯1B及装卸部85D，自动地握持相对于装卸部85D在六个自由度方向(X、Y、Z方向及θx、θy、θz方向)上偏移地放置的放电灯1B的动作。

如图30的(A)所示，假设放电灯1B的阳极侧的灯座部128A例如从设计上的交付位置向θy方向倾斜，在+X方向上偏移。装卸部85D通过未图示的针对X方向及Y方向的驱动机构(例如图4的(B)的旋回轴83)，而向放电灯1B的上方的X方向及Y方向的目标位置移动。接着，安装部件175打开多个指部86D(使其成为开状态)，通过Z轴驱动机构84使指部86D逐渐下降至放电灯1B的握持位置。然后，在放电灯1B的灯座部128A的前端部与设于安装部件175的中央部的引导块176接触的高度，装卸部85D停止下降，指部86D开始闭动作。

此时，在放电灯1B的Z方向长度比成为目标的长度长的情况下，在引导块176与灯座部128A接触后装卸部85D仍继续下降。此时，以引导块176不会将放电灯1B向下方(-Z方向)按压的方式，凸缘部174a克服多个压缩螺旋弹簧180的力而向上方(+Z方向)推压上板177。其结果为，不会在放电灯1B上施加大的力。另一方面，在放电灯1B的Z方向的长度比成为目标的长度短的情况下，指部86D的凹部的曲率中心的位置与灯座部128A的球带部128Ae的中心位置在Z方向上偏移。当在该状态下关闭指部86D时，设于指部86D的凹部的下方的缘会与球带部128Ae的比Z方向的中心靠下方的部位接触。然后，当进而关闭指部86D时，与上板177接触的凸缘部174a能够克服拉力螺旋弹簧179的力而以与下板173b之间的间隙的量向下方移动，因此，指部86D能够在球带部128Ae的具有曲率的表面被引导而向下方移动，以使指部86D的凹部与球带部128Ae的表面嵌合的方式，指部86D与球带部128Ae紧密接触。

其中，通过设于指部86D的凹部对球带部128Ae进行夹持，发挥向心作用，而能够使指部86D以凸缘部174a与下板173b之间的间隙的量向下方移动。除此以外，在装卸部85D中，考虑到放电灯1B短时的情况，可以通过Z轴驱动机构84使装卸部85D与作为目标的高度相比始终向-Z方向移动，在引导块176与灯座部128A的前端接触之后进行指部86D的闭动作。

当指部86D进行闭动作时，如图30的(B)所示，灯座部128A倾斜，因此+X方向侧的指部86D与-X方向侧的指部86D相比先与灯座部128A接触，但若以-X方向侧的指部86D也与灯座部128A接触的方式，使指部86D同步地关闭，则如图31的(A)所示，因+X方向侧的指部86D从灯座部128A受到的反力，在装卸部85D上施加有将整体向+X方向按压的力。其结果为，因拉力螺旋弹簧179的力的平衡、及凸缘部174a与上板177的摩擦而保持着平衡的圆筒部件174，克服拉力螺旋弹簧179的平衡力及凸缘部174a与上板177的摩擦力而容易向+X方向移动，且通过三根指部86D可靠地握持灯座部128A的球带部128Ae。此时，即使灯座部128A在θx、θy、θz方向上倾斜，即使球带部128Ae的球面位移，其形状也不会变化，因此，指部86D即使没有旋转方向的顺从功能也能够可靠地握持灯座部128A。

并且，如图31的(B)所示，若指部86D握持放电灯1B的灯座部128A而要驱动Z轴驱动机构84、通过装卸部85D将放电灯1B提升，则会通过拉力螺旋弹簧179向斜上方施力，与上板177接触的凸缘部174a因放电灯1B的重量而向下方移动，凸缘部174a与下板173b接触。由于下板173b与凸缘部174a之间的摩擦系数较大，所以指部86D克服因拉力螺旋弹簧179的力的平衡而产生的定心力而保持在+X方向上偏移的位置地(顺从关闭的状态下)上升。其结果为，通过将装卸部85D向X方向及/或Y方向移动，无论放电灯1B的形状误差如何，均能够将放电灯1B移动到成为目标的位置(例如图4的(B)的保管部54的转盘79的上方)，从而能够将放电灯1B更换成未使用的放电灯。

此外，在上述实施方式中，具有在对指部86D施加有向上的大的力的情况下，凸缘部174a将被压缩螺旋弹簧180向下方推压的上板177上推、而将该大的力向上方释放的功能(缓冲功能)。像这样指部86D向Z方向释放的机构不限于这种机构，也可以在Z轴驱动机构84上设置将装卸部85D整体向Z方向驱动的机构。

另外，在上述实施方式中，仅对阳极侧的灯座部128A的供指部86D握持的部位(球带部128Ae)进行了说明，为了使图4的(B)的电缆24的端部的供电块66与例如图28的端子部128Aa连结，只要使端子部128Aa的形状为图2的(A)的端子部28a或图3的(B)～(E)的端子部28Aa～28Da等的形状即可。

此外，作为放电灯1B的制造方法，能够使用与上述的放电灯1、1A相同的制造方法。即，分别准备灯主体(玻璃部件)和灯座部126、128A，能够通过将它们相互连结来构成放电灯1B。此时可以将灯座部126、128A准备成：例如对从既已用完的放电灯1B拆下的灯座部进行再次利用。另外，在再次利用灯座部126、128A中的至少一方的情况下，也可以取代再次利用灯座部126、128A整体而仅再次利用灯座部126、128A的至少一部分(例如，端子部128Aa、球带部128Ae及散热部128Ai中的至少一个零件)。

此外，上述的各实施方式的更换装置50等以全自动方式进行放电灯1、1A、1B等的更换，但也可以仅使用例如夹紧机构52及驱动单元72，以手动操作进行引出部36的引出及基于灯搬送系统56等对放电灯1、1A、1B的搬送中的一部分操作。

另外，在上述的各实施方式的更换装置中，按转盘79的各开口79a来更换灯(即，配置(补充)未使用灯，回收既已用完灯)，但也可以例如，将转盘79设为相对于驱动部80能够装拆，在转盘79的开口79a中配置(插入)了灯的状态下，与转盘79一起更换灯。该情况下，可以将转盘79用作灯的搬送用载体。

使用上述的各实施方式的曝光装置或利用这些曝光装置的曝光方法，在基板(板件P)上形成规定的图案(电路图案、电极图案等)，由此能够制造液晶显示元件等液晶器件。以下，参照图33的步骤S401～S404，对该制造方法的一例进行说明。

在图33的步骤S401(图案形成工序)中，首先，执行在曝光对象的基板上涂布抗蚀剂来准备感光基板(板件P)的涂布工序、使用上述曝光装置将液晶显示元件用的光罩的图案转印曝光到该感光基板上的曝光工序、及将该感光基板显影的显影工序。通过包含该涂布工序、曝光工序及显影工序的光刻工序，在该基板上形成有规定的抗蚀图案。接着该光刻工序，经由将该抗蚀图案作为加工用光罩的蚀刻工序及抗蚀剂剥离工序等，在该基板上形成有包含大量电极等的规定图案。该光刻工序等根据板件P上的层数而执行多次。

在其下一步骤S402(彩色滤光片形成工序)中，通过将与红R、绿G、蓝B对应的三个微小的滤光片的组以大量排列成矩阵状，或将红R、绿G、蓝B这三个带状的多个过滤片的组沿水平扫描线方向排列而形成彩色滤光片。在其下一步骤S403(单元组装工序)中，向例如在步骤S401中得到的具有规定图案的基板与在步骤S402中得到的彩色滤光片之间注入液晶，来制造液晶面板(液晶单元)。

在之后的步骤S404(组件组装工序)中，在这样组装成的液晶面板(液晶单元)上安装用于进行显示动作的电路及背光源等部件，作为液晶显示元件而完成。根据上述的液晶显示元件的制造方法，能够在曝光装置中高效地进行放电灯的更换，因此得到高生产能力。

此外，本发明不限定于对液晶显示元件的制造工艺的适用，例如，也能够广泛地适用于等离子体显示器等显示器装置的制造工艺、摄像元件(CCD等)、微机械、MEMS(Microelectromechanical Systems：微机电系统)、将陶瓷晶片等用作基板的薄膜磁头、及半导体元件等各种器件的制造工艺。

此外，上述实施方式的光源装置除上述的步进扫描方式的扫描曝光型的投影曝光装置(扫描机等)以外，也能够适用于步进重复方式的投影曝光装置(步进机等)的曝光用光源。另外，上述实施方式的光源装置还能够适用于不使用投影光学系统的接近(proximity)方式或接触方式的曝光装置的光源装置或曝光装置以外的设备的光源。

像这样本发明不限定于上述实施方式，能够在不脱离本发明的要旨的范围内取得各种结构。

另外，援用本申请记载的上述公报、各国际公开小册子、美国专利或美国专利申请公开说明书中的公开内容并将其作为本说明书的记载的一部分。另外，将包含说明书、权利要求书、附图及说明书摘要在内的2014年3月28日提出的日本专利申请第2014-070609号的全部公开内容原封不变地引用而组入到本申请。

附图标记说明

EX…曝光装置，M…光罩，P…板件，PL…投影光学系统，1…放电灯，1N…未使用的放电灯，2…椭圆镜，13…照明光学系统，20…电源部，23、24…电缆，25…玻璃管，25a…灯泡部，26…阴极侧的灯座部，28…阳极侧的灯座部，28a…端子部，28e…被握持部，30…光源装置，31…灯罩，32…光源控制系统，33…支承部件，36…引出部，50…更换装置，52…夹紧机构，54…保管部，56…灯搬送系统，60…引出驱动单元，72…夹紧机构的驱动单元。