具有简化的光学器件、尤其是具有可变的光瞳位置的光扫描显微镜的制作方法

本发明还涉及一种具有光学系统的光扫描显微镜，所述光学系统定义探测光路并且包括以下构件：具有(出射)光瞳平面和(对象侧的)焦点的显微镜物镜，用于产生与显微镜物镜的光瞳平面共轭的光瞳平面的扫描光学器件，能够(在偏转方向方面)可变调节的光束偏转单元，光电的转换器，其中，探测光路依次地成像焦点的至少一个点和转换器的至少一个相应点，其中，光束偏转单元(的反射表面)(在光学上在扫描光学器件与转换器之间地)布置在共轭的光瞳平面中并且在显微镜物镜与扫描光学器件之间光学地具有中间图像。

本发明还涉及同类的光扫描显微镜，其中扫描光学器件以传统方式将来自第一中间图像的光束准直。

按照本发明，光是任何能够通过光学器件操作改变的电磁辐射，尤其包括红外和紫外的辐射。光源为了提供光分布尤其可以包括光波导体和/或光束形成器。它们也可以包括强度调制器。光电转换器尤其可以包括与显微镜物镜的焦点共焦的光阑。偏转单元也称为扫描器。

在现有技术中，这种光扫描显微镜例如由T.R.Corle和G.S.Kino的，，Confocal Scanning Optical Microscopy and Related Imaging Systems"(Academic Press,1996,2.2.7段,附图2.2)已知。在此，扫描光学器件称为“扫描物镜”。它在偏转单元的位置提供了准直的共轭的光瞳平面。扫描光学器件和管状透镜的组合称为转换光学器件。

此外在WO 90/00755 A1中，能够可变调节的第二光束偏转单元布置在另一光瞳平面中，所述光瞳平面借助由凹面镜构成的传输光学器件产生。例如由US 2013/107338 A1已知偏转单元的具有微机电驱动器的相应布置。

偏转单元在(相应的)共轭物镜光瞳中的布置有利地实现了在其它共轭光瞳中提供静止的光束横截面。由此，如在US 2003/230710 A1或者WO 2008/037346 A1中能够以较高的精度处理波前。此外，以此方式使由于光学器件上的晕映导致的边缘光束减弱最小化。

然而，所述的光扫描显微镜的缺点是，由于产生共轭的光瞳平面的扫描光学器件较耗费并且没有光效率，因为其必须补偿不同的成像误差，如场曲和横向色差，以实现较高的成像质量。此外，由于共轭的光瞳平面与扫描光学器件的距离较小，可供偏转单元使用的结构空间较小。

本发明所要解决的技术问题在于，改善本文开头所述类型的显微镜，从而使扫描光学器件能够更简单地设计并且为偏转单元提供更大的结构空间。

该技术问题按本发明通过具有权利要求1所述特征的光扫描显微镜解决。

本发明的有利设计方案在从属权利要求中给出。

按照本发明规定，扫描光学器件通过光束偏转单元(的反射表面)将第二中间图像成像到第一中间图像中或者扫描光学器件通过光束偏转单元(的反射表面)将第一中间图像成像到第二中间图像中，其中，在两种情况下第二中间图像在空间上是弯曲的。因此，与现有技术不同，偏转单元(的反射表面)不再布置在探测光路的准直的区段中，而是布置在探测光路的会聚区段中。在光束偏转单元之后，由于偏转单元的反射表面上的反射存在虚拟的对象。中间图像的空间曲率允许借助相对于传统的准直扫描物镜明显简化的扫描光学器件提供共轭的光瞳平面，尤其是不对场曲进行校准，而整个光学系统具有相同的成像质量。在此，尤其可以取消迄今为了平整所普遍使用的具有负焦距/折射能力的(近场)透镜(W.J.Smith:，，Modern Lens design",McGraw-Hill,1992,第22章,第411页)。这种扫描光学器件的光学特性和质量只需要与作为传统扫描物镜的目镜一致。第二中间图像的曲率半径优选相当于偏转单元与第一中间图像的焦点位置之间的距离。附加地，也可以将横向色差校正按照补偿系统的意义分配给扫描光学器件和管状透镜，这意味着进一步简化扫描光学器件。显微镜可以相宜地设计为，使得扫描光学器件和管状透镜在横向色差方面相互补偿。

这种布置在激励射线与样本的非线性交互作用时特别有利。在此，样本中的光辐射与在多个光束偏转单元在相应光瞳的传统布置中的强度的二次方的(在双光子激励情况下)或者三次方的(在第三谐波激励或者三光子激励情况下)关联性使得偏转单元不是依次地被成像，导致像场照明中的问题。偏转单元在扫描物镜之前的物理距离以随着横向放大率二次方增加的轴向放大率成像在物镜光瞳中。这导致产生不静止的光瞳，其导致与场相关的激励强度。非线性光学器件(NLO)中的问题可以通过将光束偏转单元布置在非准直光瞳中得以避免，因为由此实现了偏转单元依次地在光有效的装置中的良好成像。在此，荧光探测通常不通过光束偏转单元进行，而是已经在之前在所谓的“非退扫描”光路区段中进行。因为所述装置正好沿与探测方向相同的激励方向作用，所以在这种情况下也能够实现干净的光瞳成像。

第二中间图像优选球形地弯曲或者至少基本上球形地弯曲，尤其具有处于扫描光学器件的一倍焦距与两倍焦距之间的曲率半径。优选地，中间图像的曲率半径与偏转单元(的反射表面中心)与第二中间图像之间的距离相同。

有利地，第二中间图像的曲率中心可以处于光束偏转单元中，尤其是相关的光束偏转单元的反射表面上。

光扫描显微镜可以相宜地包括用于将光分布成像到中间图像、尤其是第二中间图像或者第三中间图像或者其它中间图像中的照明光学器件，和/或用于将中间图像、尤其是第二中间图像或者第三中间图像或者其它中间图像成像在转换器上的探测光学器件。

光学系统尤其可以包括分光器，所述分光器这样布置在照明光路和探测光路中，使得来自焦点的光线朝向光电的转换器从照明光路出射。

相宜地，所述光学系统(在照明光路或探测光路中)在光束偏转单元的背离扫描光学器件的一侧包括准直光学器件。以此方式能够以较少的耗费处理光束并且进行最终的探测。

优选地，光学地在光束偏转单元与光源或者转换器之间尤其作为准直光学器件地布置有(恰好)一个凹面镜，所述凹面镜的曲率中心处于共轭的光瞳平面中。凹面镜消色差地作用。以此方式能够以较少的光学耗费、尤其以较少数量的分界面提供另一共轭的光瞳平面。通过将凹面镜布置为与第一共轭的光瞳距离凹面镜的曲率半径，能够在相同的距离中与场角无关地(通过弯曲的第二中间图像)提供高精确度的成像。

有利地，凹面镜的曲率半径R_H可以是第二中间图像的曲率半径R_ZB的两倍，因此在凹面镜之后(在转换器侧)存在平面波前。以此方式，第二共轭的光瞳处于准直的光路区段中并且两个共轭的光瞳中的光束直径是相同的。

相宜地，凹面镜布置为，使得来自显微镜物镜的焦点(通过第二中间图像的)光束在凹面镜之后彼此平行地、优选也平行于能够使入射到第一偏转单元的光线偏转的平面地延伸，并且相对于凹面镜的中心轴线倾斜。凹面镜与弯曲的中间图像之间的距离A等于中间图像的半径R_H:R_H＝2·R_ZB＝2·A。由此，结合弯曲的第二中间图像能够以较少的耗费实现光学系统的特别高的成像质量。但如果凹面镜的曲率半径R_H与中间图像半径R_ZB的两倍相差了差D，也可以在凹面镜之后存在不等于零的波前曲率。对于凹面镜半径R_H＝2·R_ZB+D，凹面镜与中间图像之间的距离A为A＝R_ZB+D，并且第二偏转单元布置在凹面镜的曲率中心中，也就是与其间隔距离R_H。此外，第一光束偏转单元和第二篇光束偏转单元上的光束半径可以是不同的，例如在成像比例尺不等于1：1时。

然而，凹面镜的曲率半径R_H也可以不等于中间图像的曲率半径R_ZB的两倍。曲率半径为R_H＝A的凹面镜则与弯曲的中间图像相隔距离A/2地布置，因此光线在光轴上(当光束偏转单元处于其中间位置时)准直，并且光线在外部略微发散或者会聚地延伸。

优选地，凹面镜、尤其是其反射表面具有环面的形状(圆环面截面的表面形状)，其中，本发明也包括其它形状。由此可以降低由于倾斜入射造成的散光。在此优选地，凹面镜具有第一曲率半径和第二曲率半径，所述第一曲率半径比中间图像的曲率半径的两倍小了因数Cos(入射角)，并且第二曲率半径比中间图像的曲率半径的两倍大了因数Cos(入射角)。优选地，属于第一曲率半径的第一弯曲围绕平行于第一光束偏转单元的旋转轴线的轴线延伸，并且属于第二曲率半径的弯曲垂直于第一弯曲。

本发明的第二方面涉及一种本文开头所述类型的光扫描显微镜，其中，扫描光学器件与现有技术中相同地使来自第一中间图像和焦点的光束准直。其解决了能够相对于光束偏转单元调节共轭的物镜光瞳的位置的技术问题。在此方面，本发明规定，光学地在光束偏转单元与转换器或者光源之间布置有会聚光学器件，所述会聚光学器件将来自光束偏转单元的被准直的光束聚焦到第二中间图像中，其中，扫描光学器件和会聚光学器件能够沿着探测光路的光轴移动。在此，扫描光学器件和会聚光学器件构成有限的传输光学器件。在此，可移动性实现了上述能够与不同的显微镜物镜适配的优点，但是与现有技术中相同地，对场曲和横向色差的校正是相宜的。可以设置用于使扫描光学器件和/或会聚光学器件移动的电驱动器。在此其尤其可以是用于扫描光学器件和会聚光学器件的单独的驱动器。在此，可以设置控制单元，其设置用于相同定向地，尤其是相同远地，尤其是同步或者同时地移动扫描光学器件和会聚光学器件。

以下描述能够用于本发明的所有方面中的有利实施形式。

在优选的实施形式中，在另一个共轭的光瞳平面中，在第一光束偏转单元与转换器之间布置能够可变调节的第二光束偏转单元或者能够可变调节的波前调制器，如在WO 2008/037346 A1中。所述另一个共轭的光瞳平面尤其可以是由凹面镜产生的第二光瞳平面或者第三光瞳平面。第二光束偏转单元可以具有与第一光束偏转单元的旋转轴线不同的旋转轴线。由此可以在样本侧扫描二维场。备选地，第二光束偏转单元的旋转轴线可以平行于第一光束偏转单元的旋转轴线。由此，两个光束偏转单元之一可以用于对光束偏转进行粗调并且另一个用于细调。此外，第一光束偏转单元、可选地还有第二光束偏转单元就能在二维中提供可变的偏转。备选地，在有利的实施形式中，两个光束偏转单元可以分别只围绕正好一个相应的旋转轴线进行调节，尤其通过彼此不同的驱动器或者通过相同的驱动器并且以不同的运行方式进行调节。例如，两个光束偏转单元可以设计为电流计扫描器(亦称“扫描振镜”)，其中只有一个在共振中运行。

例如，两个光束偏转单元中的正好一个可以包括共振镜(“共振扫描器”)。以此方式可以借助共振镜扫描样本上的一条线，其可以借助另一光束偏转单元附加地沿纵向或者横向，或者对于二维可调性沿纵向和横向地进行扫描。

借助波前调制器可以在由其提供的最大调制行程内沿光轴(在z方向上)对样本侧的焦点平面进行调节并且由此在深度中扫描样本。结合可二维变化的第一光束偏转单元实现了测量地点的三维移动并且由此对样本进行三维扫描。作为对焦点沿光轴移动的备选，借助可分辨位置地调节的波前调制器也可以补偿与位置有关的成像误差，它们例如由一个或多个样本特性的局部变化引起。

为此目的，光扫描显微镜可以包括控制单元，其拍摄样本的至少一个图像并且根据至少一个预设的、影响图像的样本特性、尤其是特性在样本中的实际分布并且根据图像确定用于波前调制器的调节值(并且相应地调节波前调制器)。控制单元尤其可以根据图像确定样本特性的测量分布并且这样确定调节值，使得例如借助补偿计算使测量分布与实际分布之间的偏差最小化。

特别优选的设计方案是，其中扫描光学器件的一部分或者整个扫描光学器件能够沿着探测光路的光轴移动。它们尤其可以包括用于使扫描光学器件的能移动部分或者整个扫描光学器件移动的电驱动器。通过轴向移动，能够以较少的耗费调节共轭的光瞳相对于第一偏转单元的位置，而迄今扫描物镜的位置只能一次性地调节和固定以校准焦点位置并且由此校准在光束偏转单元上的准直。由此尤其可以补偿例如在更换显微镜物镜时出现的光瞳偏移。在此，共轭的光瞳的轴向位置随着第一偏转单元与物镜光瞳之间的成像比例尺的平方变化。中间图像平面中并且因此还有对象平面中的焦点位置在此在很大程度上保持不变。

扫描光学器件优选设计为，使得其(从第一中间图像向第二中间图像)的成像的放大系数在0.8至1.2之间，尤其在0.9至1.1之间，尤其正好为1。以此方式，第一中间图像的位置并且因此样本侧的焦点平面以较高的精度保持恒定。在扫描光学器件从虚拟对象朝第一中间图像1:1地成像时，焦点最好保持不变(焦点位置的抛物线形延伸)。

有利的实施形式是，显微镜物镜能够沿着光轴移动和/或布置在物镜更换器中，尤其包括用于使显微镜物镜移动和/或用于更换显微镜物镜的电驱动器。由此结合与不同物镜的不同光瞳位置的可适配性在测量中高成像质量保持不变的同时实现了较大灵活性。

优选地，第一光束偏转单元和/或第二光束偏转单元具有微机电系统以调节光束偏转。所述微机电系统可以如US 7,295,726 B1提供围绕两个不同轴线的可旋转性，尤其是这些轴线的(位置固定的)交点的位置在(使来自扫描光学器件的光束偏转的)反射平面内，所述交点尤其布置在探测光路的光轴上。基于MEMS(微机电系统)的扫描器具有明显更小的镜质量并且由此具有能够快速地以任意方式和高精度翻转的优点。例如，其中一个光束偏转单元可以是只能够围绕恰好一条旋转轴线调节的基于MEMS的镜子并且另一个光束偏转单元可以是电流计扫描器(亦称“扫描振镜”)。在此，电流计扫描器也可以共振地运行。

本发明尤其也包括具有光源的光扫描显微镜，所述光源的光线借助布置在探测光路中的分光器通过第一光束偏转单元光学地入射到或者能入射到显微镜物镜中。光源相宜地是激光器。其例如可以是可调谐的激光器。

以下根据实施例进一步阐述本发明。在附图中：

图1示出光扫描显微镜；

图2示出作为扫描物镜的简化的扫描光学器件；

图3示出完整的传输光学器件；

图4示出具有附加的光瞳平面的扩展的传输光学器件并且

图5示出具有有限的传递光学器件的扫描光学器件。

在附图中一致的部件具有相同的附图标记。

图1是光扫描显微镜10(“LSM”)的示意图，所述光扫描显微镜借助控制单元34进行控制。LSM10模块化地由两个具有激光器23的照明模块L、扫描模块S(英语“scanning module”)、探测模块D和具有显微镜物镜21的显微镜单元M组成。显微镜单元M例如具有用于使不同的显微镜物镜21翻入的物镜旋转器。

激光器23的光线在通过光导纤维22和耦合光学器件20、例如形式为准直光学器件输入扫描单元S并且统一之前，可以通过光门24和减弱器25由控制单元34影响。每个激光器23连同所述耦合光学器件直至相应的光导纤维22可以视为相应的光源，其在相关的光导纤维22的端部提供共焦的点状光分布，所述光分布成像在样本P中。

通过主分光器33和在X和Y方向上能够可变调节的光束偏转单元30，激励光线到达显微镜物镜21，所述光束偏转单元具有带MEMS驱动器(未示出)的单个镜子，所述显微镜物镜21将样本P中的光线聚焦到测量地点(未成像)。由样本P散射回的激励光线或者发射的荧光通过显微镜物镜21、管状透镜27和扫描光学器件35经过偏转单元30通过准直光学器件36和主分光器33到达探测模块D。为了探测荧光，主分光器33例如可以设计为二色性的分色器(“主分色器”)，因此散射回的激励光线朝向激光器23出射。

探测模块D在探测光学器件38、例如会聚透镜之后具有多个探测通道，所述探测通道分别具有孔光阑31、滤波器28和光电倍增器32作为光电转换器，它们通过分色器29(“附加分色器”)在光谱上分隔开。取代孔光阑31，例如在线形照明装置中也可以使用缝隙光阑(未显示)。探测光学器件38将被准直的光束聚焦到共焦的孔光阑31上。共焦的孔光阑或者缝隙光阑31用于区别不是来自测量位置处的焦点体积的样本光线。因此，光电倍增器32只检测来自焦点体积的光线并且由此定义样本P中的测量地点，由其接收光线并且在探测位置检测光电倍增器32的相应的光敏层。备选地，也可以使用其它由现有技术已知的光敏传感器，如电子雪崩二极管(英语“avalanche diodes”)。

样本P的被共焦照明和拍摄的测量体积可以借助偏转单元30运动经过样本P，以便像素式地拍摄图像，方式为有针对性地旋转偏转单元30的MEMS镜。MEMS镜30的运动和借助光板24或者减弱器25的照明的开关均直接由控制单元34控制。光电倍增器32的数据记录通过控制单元34进行。

显微镜物镜21具有无限远的后焦距，因此除了管状透镜27例如存在准直的光路。在显微镜物镜21内存在其(出射)光瞳平面PE。管状光学器件27产生第一中间图像Zb1，其由扫描光学器件35成像到第二中间图像Zb2中。与光瞳平面PE共轭的光瞳平面PE‘处于光束偏转单元30上。所述光束偏转单元30由此处于探测光路的会聚区段中。准直光学器件36接着向无限远处成像第二中间图像Zb2，因此在主分光器33上只存在准直的光束。在备选的实施形式(未显示)中，在主分光器33上可以存在汇聚的或者发散的光束。处于扫描模式S的耦合光学器件20和探测光学器件29相应地适配。

扫描光学器件35例如借助驱动器能够沿着统一的探测和照明光路的光轴移动。因此，即使在更换显微镜物镜21或者沿轴向移动显微镜物镜21使光瞳平面PE改变时，共轭的光瞳平面PE‘沿轴向在光束偏转单元30上的位置也可以保持不变。

在由分光器39(也称为“NLO分光器”)提供的附加出口处连接有模块N(“NLO探测模块”)，用于在激励时探测非线性相互作用之后的荧光。作为对探测模块D的备选或者补充，可以连接NLO探测模块N并且用于测量。在备选的实施形式(未示出)中，作为对NLO探测模块N的备选或者补充，可以在样本的相反侧上布置具有独自的显微镜物镜的单独的NLO探测模块并且用于探测。

在图2中针对光束偏转单元30的三个不同位置详细地显示了围绕扫描光学器件35的光路，所述扫描光学器件替代了传统的耗费的扫描物镜，方式为其将第一中间图像Zb1成像到第二中间图像Zb2中。扫描光学器件35不具有图像场曲校正并且具有1:1的成像比例尺。根据处于布置在共轭的光瞳平面PE‘中的光束偏转单元30之后的虚拟对象V，可以看出第二中间图像Zb2在空间上是弯曲的。

图3示出完整的传输光学器件，其除了图2中的扫描光学器件35和光束偏转单元30还包括管状光学器件27。从显微镜物镜(在此未显示)的真正光瞳平面PE到第二中间图像Zb2的光路又针对偏转单元30的三个不同位置显示。管状光学器件27将来自光瞳PE的准直的光束聚焦在第一中间图像Zb1中，扫描光学器件35通过布置在共轭的光瞳平面PE‘中的光束偏转单元30将第一中间图像Zb1成像在空间弯曲的第二中间图像Zb2中。

在图4中以三个不同的视图(图4A、4B、4C)示出扩展的传输光学器件，其具有第二共轭的光瞳平面PE“和能够可变调节的第二光束偏转单元30B。所述扩展的传输光学器件例如取代了由文献已知的例如在US 2010/0208319 A1或者WO 90/00755 A1中描述的按照Kessler的远焦传输光学器件(英语“afocal relay optics”)。

第一光束偏转单元30A例如是具有MEMS驱动器的单独的镜子，其能够围绕两个彼此垂直的固定的轴旋转。镜子的位置固定的旋转点在镜子的反射表面内处于传输光学器件的光轴上。第二光束偏转单元30A例如是具有电流计驱动器(亦称“振镜驱动器”)的单独的镜子，也就是只具有一个旋转轴线。其例如可以在共振中运行。备选地，也可以在两个共轭的光瞳平面PE‘和PE“中使用电流计(亦即振镜)的光束偏转单元，其中之一可以使样本中的光线沿x方向运动，并且另一个使光线沿y方向运动。

附加的光瞳平面PE“通过准直光学器件36提供，其例如设计为环面的凹面镜并且光学地布置在第一光束偏转单元30A与第二光束偏转单元30B之间。凹面镜的第一曲率中心在第一共轭的光瞳平面PE‘中处于第一光束偏转单元30A的反射表面上(凹面镜与共轭的光瞳PE‘之间的距离R)并且凹面镜的对应曲率半径是第二中间图像Zb2的曲率半径的两倍。由此，一方面(以相同的距离R)在第二共轭的光瞳PE“中与各场角无关地存在第一共轭的光瞳平面PE‘的完美的平面成像，另一方面光束在第二共轭的光瞳PE“中准直，因此在该处存在平面波前。由此，在探测光路之后的走向中能够简单地处理光束。在备选的实施形式(未显示)中，凹面镜与第二中间图像的曲率半径可以彼此不同，因此在第二光瞳PE“中存在非平面波前。

因为凹面镜36在光线垂直入射时会将第一共轭的光瞳PE‘成像到其自身上，所以其垂直于第二光束偏转单元30B作用的平面地倾斜。通过倾斜地入射到凹面镜上，凹面镜产生散光，这通过环面的形状被最大程度地补偿。为此目的，沿着y轴的曲率半径相对于第二中间图像Zb2的曲率半径减小了因数cos(入射角)并且沿着x轴的曲率半径相对于第二中间图像Zb2的曲率半径增大了相同的因数。

取代第二光束偏转单元30B，可以在第二共轭的光瞳平面PE“中或者优选在第三共轭的光瞳平面(未示出)中布置波前调制器30B。

作为对环面形状的备选，凹面镜36可以具有球形形状，其中第一和第二曲率中心相同。由此可以在凹面镜36的远离扫描光学器件35的一侧上布置柱状光学器件41，例如形式为较弱的圆柱透镜，用于补偿由于倾斜入射到凹面镜36上形成的散光。优选地，柱状光学器件41可以布置在第二光束偏转单元30B的远离扫描光学器件35的一侧上，也就是在所谓的“退扫描”光路区段中。在环面形的凹面镜36中可以取消柱状光学器件41。

如果第一光束偏转单元是二维的，也就是为了偏转能够在x方向和y方向上调节，则准直光学器件例如可以是简单的透镜。

最后，图5示出备选的传输光学器件。在布置于共轭的光瞳平面PE‘中的光束偏转单元30的区域内，光束如现有技术地被准直。扫描光学器件35和设置在光束偏转单元30之后的会聚光学器件37构成有限的传输光学器件，其将第一中间图像Zb1成像到第二中间图像Zb2中。在进一步的走向中设置准直光学器件36，因此在主分光器33上例如存在准直的光束。在其它实施形式(未示出)中，例如可以在其它的会聚光学器件之后才设置多个主分光器。

为了在更换或者移动显微镜物镜21时与光瞳的移动适配，扫描光学器件35和会聚光学器件37可沿轴向移动。两个光学器件35/37的移动可以借助控制单元例如总是相同定向地并且相同远地，可选地也同步地进行。

光束偏转单元在非准直的光路区段中的所述布置可以用于其它应用，例如用于样本的光学处理或者用于偏转光束，所述光束借助光束形成光学器件，例如空间光调制器(英语“Spatial Light Modulator”；SLM)产生，例如是贝塞尔光束或者马提扼光束。

在备选的实施形式(未示出)中，对象侧的焦点可以具有不同于点状的形状。其例如可以是线形的。

附图标记清单

10 光扫描显微镜

20 耦合光学器件

21 显微镜物镜

22 光导纤维

23 激光器

24 光板或光门

25 衰减器

26 激光耦合器

27 管状透镜

28 滤波器

29 分色器

30 光束偏转单元

31 光阑

32 光电倍增器

33 主分光器

34 控制单元

35 扫描光学器件

36 准直光学器件

37 会聚光学器件

38 探测光学器件

39 NLO分光器

40 NLO探测器

41 柱状光学器件

D 探测模块

L 照明模块

M 显微镜单元

N NLO探测模块

P 样本

PE (‘/“)(共轭的)光瞳平面

R 距离

S 扫描模块

V 虚拟对象

Zb1/2 中间图像平面