1.一种微型扫描仪,其特征在于:所述微型扫描仪包括:
一基底,其具有一主表面和形成于主表面内的一腔体;
一平衡环组件,其位于所述基底的腔体内,且该平衡环组件包括:
一扫描板,其具有基本平行于所述基底的主表面的一主要表面;
一平衡环,其基本平行于所述基底的主表面且包围所述扫描板;
一第一扭力臂和一第二扭力臂将所述扫描板机械耦合至所述平衡环;以及
一磁体,其装于所述平衡环;以及
一场磁体,其邻近于所述基底且被设置为在所述基底的腔体内产生一不均匀磁场,该不均匀磁场与所述磁体相互作用,以为在所述基底的腔体内的所述平衡环组件形成一平衡位置。
2.如权利要求1所述的微型扫描仪,其特征在于:所述平衡环组件还包括设置于所述扫描板的主要表面上的一反射镜。
3.如权利要求2所述的微型扫描仪,其特征在于:所述反射镜包括沉积于所述扫描板的主要表面上的一铂层。
4.如权利要求1所述的微型扫描仪,其特征在于:所述平衡环组件还包括设置于所述平衡环上的一闭合电路线圈。
5.如权利要求4所述的微型扫描仪,其特征在于:所述平衡环具有一第一面和与第一面彼此相对的一第二面,且所述磁体设置于所述平衡环的所述第一面上。
6.如权利要求5所述的微型扫描仪,其特征在于:所述闭合电路线圈设置于所述平衡环的所述第二面上。
7.如权利要求5所述的微型扫描仪,其特征在于:所述闭合电路线圈设置于所述平衡环的所述第一面上。
8.如权利要求7所述的微型扫描仪,其特征在于:所述闭合电路线圈包围所述磁体。
9.如权利要求7所述的微型扫描仪,其特征在于:所述磁体包围所述闭合电路线圈。
10.如权利要求1所述的微型扫描仪,其特征在于:在所述基底的主表面内的腔体包括位于所述基底内的一通孔,该通孔具有包围所述平衡环组件的一侧壁。
11.如权利要求1所述的微型扫描仪,其特征在于:在所述基底的主表面内的腔体包括位于所述基底内的一凹陷部分,该凹陷部分具有包围所述平衡环组件的一侧壁和与侧壁连接的一底部。
12.如权利要求11所述的微型扫描仪,其特征在于:所述微型扫描仪还包括形成于所述基底的腔体的底部的一基架,且该基架具有与所述扫描板接触的一端部。
13.如权利要求1所述的微型扫描仪,其特征在于:所述磁体包括一环形磁体。
14.如权利要求1所述的微型扫描仪,其特征在于:所述磁体包括沿所述平衡环的一周长离散设置的若干磁体。
15.如权利要求1所述的微型扫描仪,其特征在于:
所述磁体被设置为产生一磁场,该磁场在所述磁体内具有基本垂直于所述基底的主表面的一方向,并且
由所述场磁体产生的位于所述基底的腔体内的不均匀磁场具有垂直于所述基底的主表面的一第一分量和平行于所述基底的主表面的一第二分量。
16.如权利要求15所述的微型扫描仪,其特征在于:
由所述场磁体产生的位于所述基底的腔体内的不均匀磁场的第一分量的方向与由所述磁体在所述磁体内产生的磁场方向相同;并且
位于所述基底的腔体内的不均匀磁场的第一分量在腔体内的一位置处达到一最大强度。
17.如权利要求15所述的微型扫描仪,其特征在于:
由所述场磁体产生的位于所述基底的腔体内的不均匀磁场的第一分量的方向与由所述磁体在所述磁体内产生的磁场方向相反;并且
位于所述基底的腔体内的不均匀磁场的第一分量在腔体内的一位置处达到一最小强度。
18.如权利要求1所述的微型扫描仪,其特征在于:由所述场磁体产生的位于所述基底的腔体内的不均匀磁场具有垂直于所述基底的主表面的一第一分量和平行于所述基底的主表面的一第二分量。
19.如权利要求18所述的微型扫描仪,其特征在于:
所述场磁体的一磁北极较之所述磁体的一磁南极更接近所述磁体的一磁北极;
所述场磁体的一磁南极较之所述磁体的磁北极更接近所述磁体的磁南极;并且
位于所述基底的主表面的腔体内的不均匀磁场的第一分量在腔体内的一位置处达到一最小强度。
20.如权利要求18所述的微型扫描仪,其特征在于:
所述场磁体的一磁北极较之所述磁体的一磁北极更接近所述磁体的一磁南极;
所述场磁体的一磁南极较之所述磁体的磁南极更接近所述磁体的磁北极;
位于所述基底的主表面的腔体内的不均匀磁场的第一分量在腔体内的一位置处达到一最大强度。
21.一种激光投影装置,其特征在于:所述激光投影装置包括:
一微型扫描仪,其包括:
一基底,其具有形成于其内的一腔体;
一扫描板,其具有一主要表面;
一平衡环,其包围所述扫描板;
一扭力臂,其将所述扫描板耦合至所述平衡环;
一磁体,装于所述平衡环;以及
一场磁体,其邻近于所述基底且被设置为产生与所述磁体相互作用的一不均匀磁场,以为在所述基底的腔体内的所述平衡环形成一平衡位置;
一视频信号处理器,其具有用于输出一数字像素色彩和强度信号的一第一输出口和用于输出一数字像素扫描信号的一第二输出口;
一激光发射模块,其与所述视频信号处理器的第一输出口耦合且被设置为发射入射到所述微型扫描仪的所述扫描板上的一连续波激光束;以及
一扫描驱动模块,其与所述视频信号处理器的第二输出口耦合且被设置为在所述微型扫描仪的所述平衡环周围产生一变化的磁场,以感应生成一变化的磁偶极子与所述场磁体的不均匀磁场相互作用,由此在所述微型扫描仪的所述平衡环上产生一变化的力矩,
其中,所述微型扫描仪的所述扫描板被设置为响应作用于所述平衡环上的变化的力矩,从而按序以一光栅格式反射所述激光发射模块的连续波激光束。
22.如权利要求21所述的激光投影装置,其特征在于:所述微型扫描仪还包括设置于所述平衡环上的一闭合电路线圈,其中,由所述扫描驱动模块产生的变化的磁场在所述闭合电路线圈中产生一变化的感应电流,从而产生变化的磁偶极子。
23.如权利要求21所述的激光投影装置,其特征在于:所述微型扫描仪的所述磁体包括装于所述平衡环上的一环形磁体。
24.如权利要求21所述的激光投影装置,其特征在于:所述微型扫描仪的所述磁体包括若干沿所述平衡环的一周长离散设置的磁体。
25.如权利要求21所述的激光投影装置,其特征在于:
所述微型扫描仪的所述磁体在所述磁体内产生基本垂直于所述扫描板的一磁场;并且
由所述微型扫描仪的所述场磁体产生的不均匀磁场具有垂直于所述扫描板的一第一分量和平行于所述扫描板的一第二分量。
26.如权利要求25所述的激光投影装置,其特征在于:
由所述微型扫描仪的所述场磁体产生的不均匀磁场的第一分量的方向与由所述磁体在所述磁体内产生的磁场方向相同;并且
位于所述基底的腔体内的不均匀磁场的第一分量在腔体内的一位置处达到一最大强度。
27.如权利要求25所述的激光投影装置,其特征在于:
由所述微型扫描仪的所述场磁体产生的不均匀磁场的第一分量的方向与由所述磁体在所述磁体内产生的磁场方向相反;并且
位于所述基底的腔体内的不均匀磁场的第一分量在腔体内的一位置处达到一最小强度。
28.如权利要求21所述的激光投影装置,其特征在于:由所述微型扫描仪的所述场磁体产生的位于所述基底的腔体内的不均匀磁场具有垂直于所述扫描板的一第一分量和平行于所述扫描板的一第二分量。
29.如权利要求28所述的激光投影装置,其特征在于:
所述微型扫描仪的所述场磁体的一磁北极较之所述磁体的一磁南极更接近所述磁体的一磁北极;
所述微型扫描仪的所述场磁体的一磁南极较之所述磁体的磁北极更接近所述磁体的磁南极;并且
位于所述微型扫描仪的所述基底的腔体内的不均匀磁场的第一分量在腔体内的一位置处达到一最小强度。
30.如权利要求28所述的激光投影装置,其特征在于:
所述微型扫描仪的所述场磁体的一磁北极较之所述磁体的一磁北极更接近所述磁体的一磁南极;
所述微型扫描仪的所述场磁体的一磁南极较之所述磁体的磁南极更接近所述磁体的磁北极;并且
位于所述微型扫描仪的所述基底的腔体内的不均匀磁场的第一分量在腔体内的一位置处达到一最大强度。
31.如权利要求21所述的激光投影装置,其特征在于:所述激光发射模块包括:
一激光驱动器,其与所述视频信号处理器的第一输出口耦合且被设置为产生一模拟驱动信号;以及
一激光模块,其与所述激光驱动器耦合且被设置为响应模拟驱动信号以发射连续波激光束。
32.如权利要求31所述的激光投影装置,其特征在于:所述激光模块包括:
若干激光管,其与所述激光驱动器耦合且被设置为响应模拟驱动信号以产生若干激光束;以及
一光学元件,其被设置为组合所述若干激光束以产生入射到所述微型扫描仪的所述扫描板上的连续波激光束。
33.如权利要求21所述的激光投影装置,其特征在于:所述扫描驱动模块包括:
一扫描驱动器,其与所述视频信号处理器的第二输出口耦合且被设置为产生一模拟电流信号;以及
一扫描感应线圈,其与所述扫描驱动器耦合,该扫描感应线圈设置在所述微型扫描仪的周围且被设置为响应所述扫描驱动器的模拟电流信号以在所述微型扫描仪的所述平衡环的周围产生变化的磁场。
34.如权利要求33所述的激光投影装置,其特征在于:
所述微型扫描仪的所述扫描板具有绕一第一轴振动的一第一共振频率和一第一增幅系数;
所述微型扫描仪的所述平衡环具有绕垂直于第一轴的一第二轴振动的一第二共振频率和一第二增幅系数,第二共振频率不同于第一共振频率;并且
由所述扫描驱动器产生的模拟电流信号具有与第一共振频率发生共振的一第一频率分量和与第二共振频率发生共振的一第二频率分量。
35.如权利要求34所述的激光投影装置,其特征在于:所述微型扫描仪的所述扫描板被设置为反射所述激光发射模块的连续波激光束,响应所述扫描板在第一共振频率下绕第一轴振动,以按序产生一像素行内的若干像素点,并响应所述平衡环在第二共振频率下绕第二轴振动,以产生若干像素行。