一种光阻供应系统的制作方法

本实用新型涉及液体供应的技术领域，具体涉及一种光阻供应系统。

背景技术：

液晶显示器制造过程中，需要将光阻涂布到玻璃基板上显影蚀刻进行图案化。

图1是现有技术中光阻涂布供应装置的结构示意图，所述光阻涂布供应装置包括光阻瓶100，缓冲罐200，所述光阻瓶100内安装有盛放光阻的光阻内袋101，光阻瓶100上方有进气口102、出液管103，通过进气口102向光阻瓶100内通气体，挤压光阻内袋101，通过出液管103将光阻挤出。缓冲罐200包括输入管道201，输出管道202，输入管道201与出液管103相连，使光阻进入200，输出管道202与涂刻机床喷嘴相连，将光阻涂布到玻璃基板上。

所述光阻内袋101在安装时需要打开，不可避免空气会混入到光阻内袋内，同时出液管103也暴露在空气中，会造成空气混合到出液管103的光阻内，导致光阻中产生气泡。如图2所示，当光阻内袋101使用到后期时，光阻和光阻内袋101内的气体易大量混合被氮气挤压输出。且现有缓冲罐200体积为100毫升，依据机台涂布速度每2分钟通过输入管道201补液一次，补液时间间隔过短，不能将缓冲罐内的光阻的气泡完全排出。

含有气泡的光阻经输出管道202由喷嘴涂布到玻璃基板上，会造成图案的缺失，导致产品的报废或者返工，浪费大量的物力人力。并需要停机进行排泡，浪费光阻，且需工程师大量的时间及精力，造成生产成本的增加。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型提供一种光阻供应系统，在低成本的条件下，保证光阻中的气泡完全排出，提高产品良率及光阻利用率。

本实用新型实施例提供的一种光阻供应系统，其特征在于，所述光阻供应系统包括：光阻瓶，包括光阻内袋，进气口、出液管；缓冲罐；输入管道，所述输入管道与所述光阻瓶的出液管相连；输出管道，所述输出管道位于所述缓冲罐下方；排气管道，所述排气管道位于所述缓冲罐上方；其中，所述输入管道为U型，所述排气管道与抽气装置相连，所述抽气装置在所述缓冲罐内形成负压。

进一步地，所述光阻瓶包括所述光阻内袋、所述进气口、所述出液管，所述光阻内袋安装在所述光阻瓶内，所述光阻瓶上方设置有所述进气口、所述出液管，通过所述进气口向所述光阻瓶内通惰性气体，挤压所述光阻内袋，所述出液管一端在所述光阻内袋内，通过所述出液管将光阻排出。

进一步地，所述惰性气体为氮气。

进一步地，所述输入管道包括进液部分、弯折部分、出液部分，所述进液部分自上而下由所述缓冲罐上顶端通入所述缓冲罐内连接所述弯折部分，经所述弯折部分弯折后连接所述出液部分，所述出液部分自下而上设置在所述缓冲罐内。

进一步地，所述进液部分、所述弯折部分、所述出液部分，至少其中之一包括多个弯折部。

进一步地，所述进液部分、所述弯折部分、所述出液部分，至少其中之一呈螺旋形。

进一步地，还包括检测装置、控制处理装置，所述检测装置安装在所述缓冲罐内上顶端面，检测所述缓冲罐内压强，将压强信息反馈给所述控制处理装置，所述控制处理装置连接所述抽气装置，根据所述压强信息控制所述抽气装置以保证负压。

进一步地，所述检测装置为气压感应器。

进一步地，所述抽气装置为抽气泵。

进一步地，还包括液位计，所述液位计设置于所述缓冲罐内上顶端面。

通过增大缓冲罐的体积，使光阻在缓冲罐中有足够长的静置时间以使气泡排出，使用U型输入管道，使光阻以更小的流速更稳定的状态流入缓冲罐，利于光阻静置排出气泡，同时减小对已静置光阻的冲击影响，增加抽气装置在缓冲罐光阻液面上形成负压，使光阻中的气泡更快更全面从光阻中排出。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其它目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1是现有技术中光阻涂布供应装置的结构示意图；

图2是现有技术中光阻涂布供应装置的另一种状态的结构示意图；

图3是本实用新型的光阻供应系统的结构示意图；

图4是本实用新型的另一种缓冲罐的结构示意图；

图5是本实用新型的又一种缓冲罐的结构示意图；

具体实施方式

以下基于实施例对本实用新型进行描述，但是本实用新型并不仅仅限于这些实施例。在下文对本实用新型的细节描述中，详尽描述了一些特定的细节部分。对本领域技术人员来说没有这些细节部分的描述也可以完全理解本实用新型。

此外，本领域普通技术人员应当理解，在此提供的附图都是为了说明的目的，并且附图不一定是按比例绘制的。

除非上下文明确要求，否则整个说明书和权利要求书中的“包括”、“包含”等类似词语应当解释为包含的含义而不是排他或穷举的含义；也就是说，是“包括但不限于”的含义。

在本实用新型的描述中，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

图3是本实用新型的光阻供应系统的结构示意图。所述光阻供应系统包括光阻瓶100、缓冲罐300、输入管道301、输出管道302、排气管道303。

所述光阻瓶100包括光阻内袋101、进气口102、出液管103，所述光阻内袋101安装在所述光阻瓶100内，所述光阻瓶100上方设置有所述进气口102、所述出液管103，所述出液管103一端在所述光阻内袋101内，通过所述进气口102向所述光阻瓶100内通气体，挤压所述光阻内袋101，通过所述出液管103将光阻排出。

所述气体为惰性气体。

所述惰性气体为氮气。

所述输入管道301与所述光阻瓶100的出液管103相连，所述输出管道302位于所述缓冲罐300下方，所述输出管道302与涂刻机床喷嘴相连，将光阻涂布到玻璃基板上，所述排气管道303位于所述缓冲罐300上方，所述排气管303与抽气装置(图中未示出)相连。

所述输入管道301为U型，包括进液部分311、弯折部分321、出液部分331，所述进液部分311自上而下由所述缓冲罐300上顶端通入所述缓冲罐300内连接所述弯折部分321，经所述弯折部分321弯折后连接所述出液部分331，所述出液部分331自下而上设置所述缓冲罐内。光阻通过所述输入管道301自上而下进入所述缓冲罐300沿所述输入管道301的U型路径流动后，自下向上流入所述缓冲罐300。与图2中的现有技术输入管道201使光阻直接至下而上流入所述缓冲罐200的区别在于，光阻在所述输入管道301内有更长的流动行程，其流动速度会逐渐减小，会以更小的流速更稳定的状态流入所述缓冲罐300，减小对已静置光阻的冲击影响。

所述排气管303与抽气装置相连，所述抽气装置抽气，在所述缓冲罐300光阻液面上形成负压，使光阻中的气泡更快更全面从光阻中排出。

还可以包括检测装置(图中未示出)、控制处理装置(图中未示出)，所述检测装置安装在所述缓冲罐300内上顶端面，检测所述缓冲罐300光阻液面压强，将压强信息反馈给所述控制处理装置，所述控制处理装置连接所述抽气装置，根据所述压强信息控制所述抽气装置以保证负压。

所述抽气装置为抽气泵。

所述检测装置为气压感应器。

还可以包括液位计(图中未示出)，所述液位计设置于所述缓冲罐300内上顶端面，检测所述光阻液面，使光阻液面与所述缓冲罐上顶端面存在空隙。

所述缓冲罐300体积不小于1500毫升。缓冲罐300体积的增加，使光阻可以在所述缓冲罐300内静置更长的时间，使光阻内的气泡能够充分的析出。

图4是本实用新型的另一种缓冲罐的结构示意图，所述输入管道301为U型，包括进液部分311、弯折部分321、出液部分331，所述进液部分311、弯折部分321和出液部分331中，至少其中之一包括多个弯折部，光阻经过所述弯折部受到缓冲，光阻会以更小的流速更稳定的状态流入所述缓冲罐，减小对已静置光阻的冲击影响。

图5是本实用新型又一种缓冲罐的结构示意图，所述输入管道301为U型，包括进液部分311、弯折部分321、出液部分331，所述进液部分311、弯折部分321和出液部分331中，至少其中之一且呈螺旋形，光阻在所述输入管道301内流动有更长的流动行程，且会对光阻的充分的缓冲，使其更稳定的流入所述缓冲罐300，减小对已静置光阻的冲击影响。

本实用新型通过增大缓冲罐的体积，使光阻在缓冲罐中有足够长的静置时间以使气泡排出，使用U型输入管道，使光阻以更小的流速更稳定的状态流入缓冲罐，利于光阻静置排出气泡，同时减小对已静置光阻的冲击影响，增加抽气装置在缓冲罐光阻液面上形成负压，使光阻中的气泡更快更全面从光阻中排出。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并不用于限制本实用新型，对于本领域技术人员而言，本实用新型可以有各种改动和变化。凡在本实用新型的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。