1.一种光阻供应系统,其特征在于,所述光阻供应系统包括:
光阻瓶(100),包括光阻内袋(101)、进气口(102)、出液管(103);
缓冲罐(300);
输入管道(301),所述输入管道(301)与所述光阻瓶(100)的出液管(103)相连;
输出管道(302),所述输出管道(302)位于所述缓冲罐(300)下方;
排气管道(303),所述排气管道(303)位于所述缓冲罐(300)上方;
其中,所述输入管道为U型,所述排气管道(303)与抽气装置相连,所述抽气装置在所述缓冲罐(300)内形成负压。
2.根据权利要求1所述的一种光阻供应系统,其特征在于,所述光阻瓶(100)包括所述光阻内袋(101)、所述进气口(102)、所述出液管(103),所述光阻内袋(101)安装在所述光阻瓶(100)内,所述光阻瓶(100)上方设置有所述进气口(102)、所述出液管(103),通过所述进气口(102)向所述光阻瓶(100)内通惰性气体,挤压所述光阻内袋(101),所述出液管(103)一端在所述光阻内袋(101)内,通过所述出液管(103)将光阻排出。
3.根据权利要求2所述的一种光阻供应系统,其特征在于,所述惰性气体为氮气。
4.根据权利要求1所述的一种光阻供应系统,其特征在于,所述输入管道(301)包括进液部分(311)、弯折部分(321)、出液部分(331),所述进液部分(311)自上而下由所述缓冲罐(300)上顶端通入所述缓冲罐(300)内连接所述弯折部分(321),经所述弯折部分(321)弯折后连接所述出液部分(331),所述出液部分(331)自下而上设置在所述缓冲罐(300)内。
5.根据权利要求4所述的一种光阻供应系统,其特征在于,所述进液部分(311)、所述弯折部分(321)、所述出液部分(331),至少其中之一包括多个弯折部。
6.根据权利要求4所述的一种光阻供应系统,其特征在于,所述进液部分(311)、所述弯折部分(321)、所述出液部分(331),至少其中之一呈螺旋形。
7.根据权利要求1所述的一种光阻供应系统,其特征在于,还包括检测装置、控制处理装置,所述检测装置安装在所述缓冲罐(300)内上顶端面,检测所述缓冲罐(300)内压强,将压强信息反馈给所述控制处理装置,所述控制处理装置连接所述抽气装置,根据所述压强信息控制所述抽气装置以保证负压。
8.根据权利要求7所述的一种光阻供应系统,其特征在于,所述检测装置为气压感应 器。
9.根据权利要求1所述的一种光阻供应系统,其特征在于,所述抽气装置为抽气泵。
10.根据权利要求1所述的一种光阻供应系统,其特征在于,还包括液位计,所述液位计设置于所述缓冲罐(300)内上顶端面。