匀胶显影设备异常监控系统的制作方法

本实用新型涉及设备运行条件的监控领域，更具体地，涉及一种用于匀胶显影设备的监控系统。

背景技术：

在晶圆的制造过程中，晶体三极管、二极管、电容、电阻、金属层等多个物理部件是在一个掩膜层上形成的，结合生成薄膜以及去除特定部分，通过光刻工艺过程，最终在晶圆上保留特征图形的部分。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。其中，在涂光刻胶、显影等工序中需要用到匀胶显影设备。

匀胶显影设备在使用过程中，如果光刻胶状态、显影液状态等工作条件出现异常时，设备将无法正常工作，因此，可以设置一套用于监控匀胶显影设备的工作条件的监控系统。

图1示出现有的用于匀胶显影设备的监控系统的示意图。多个传感器120通过信号线连接至匀胶显影设备130上，匀胶显影设备130上安装有起报警提示作用的提示装置140，提示装置140可以是报警灯和嗡鸣器。多个传感器120对应于匀胶显影设备130工作的多个不同工作条件。当上述工作条件出现异常时，提示装置140发出报警提示。

在上述系统中，当任一个工作条件发生异常，设备产生异常报警时，需要操作人员主动去检查是哪一个工作条件发生了异常。同时，在技术人员查找异常原因时，由于没有记录相应的异常报警信息，给异常分析带来诸多不便。

因此，期望对用于匀胶显影设备的监控系统进行进一步优化。

技术实现要素：

鉴于上述问题，本实用新型的目的在于提供一种匀胶显影设备异常监控系统，该监控系统能记录工作条件的异常信息，方便异常分析。

根据本实用新型提供一种匀胶显影设备异常监控系统，该监控系统包括：依次连接的传感器、主控装置以及提示装置，所述传感器用于将工作条件的异常转化为输入信号，所述主控装置包括：传感信号传递模块；微处理器，通过所述传感信号传递模块与所述传感器连接，所述输入信号通过所述传感信号传递模块传至所述微处理器，所述微处理器用于根据所述输入信号得出输出信号；以及存储模块，用于根据所述输入信号记录工作条件的异常信息，所述提示装置用于根据所述输出信号发出提示。

优选地，所述传感器为多个，包括：光刻胶异常检测传感器、显影液异常检测传感器、去边液异常检测传感器、漏液异常检测传感器、废胶桶异常检测传感器以及胶泵异常检测传感器。

优选地，所述传感信号传递模块为第一光耦电路，所述传感器未检测到工作条件的异常，所述输入信号使得所述第一光耦电路断开；所述传感器检测到工作条件的异常，所述输入信号使得所述第一光耦电路导通，所述微处理器得出输出信号。

优选地，所述微处理器通过第二光耦电路与所述提示装置信号连接。

优选地，所述提示装置为报警灯和/或嗡鸣器。

优选地，所述主控装置还包括：实时时钟模块，用于提供实时时钟数据。

优选地，所述异常信息包括：异常的工作条件的类别、异常次数以及异常发生时间。

优选地，所述主控装置还包括：显示模块，用于显示所述异常信息。

优选地，所述主控装置还包括：按键模块，与所述微处理器信号连接，用于提供人机交互，同时用于终止所述提示装置发出的提示。

优选地，所述主控装置还包括：串口通讯模块，将所述主控装置与计算机连接。

根据本实用新型的监控系统，能提示匀胶显影设备的工作条件异常，主控装置包括的存储模块能记录工作条件的异常信息，从而在设备发出异常提示时更方便对异常的分析。

在优选的实施例中，所述传感器为多个，包括：光刻胶异常检测传感器、显影液异常检测传感器、去边液异常检测传感器、漏液异常检测传感器、废胶桶异常检测传感器以及胶泵异常检测传感器。当设备发出异常提示时，能够更准确快速判断出是哪个工作条件发生了异常，方便设备的恢复。

在优选的实施例中，所述微处理器通过第一光耦电路与所述传感器信号连接，所述微处理器通过第二光耦电路与所述提示装置信号连接，利用光耦电路的隔离效果，消除外界信号对微处理器的干扰。

在优选的实施例中，主控装置还包括实时时钟模块，用于提供实时时钟数据。主控装置还包括显示模块，用于显示所述异常信息。异常信息可以包括：异常的工作条件的类别、异常次数以及异常发生时间。当多种条件异常发生时，存储模块逐一记录报警发生时间以及其他异常信息，并且显示在显示模块上。通过显示模块查询历史异常信息，方便异常制品追踪和异常原因分析。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1示出现有的用于匀胶显影设备的监控系统的结构示意图。

图2示出根据本实用新型实施例的匀胶显影设备异常监控系统的结构示意图。

图3示出根据本实用新型实施例的匀胶显影设备异常监控系统的主控装置的内部结构框图。

具体实施方式

以下将参照附图更详细地描述本实用新型。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，可能未示出某些公知的部分。在下文中描述了本实用新型的许多特定的细节，但正如本领域的技术人员能够理解的那样，可以不按照这些特定的细节来实现本实用新型。

图2示出根据本实用新型实施例的匀胶显影设备异常监控系统的结构示意图。该监控系统可用于提示匀胶显影设备的工作条件异常，包括依次信号连接的传感器220、主控装置210以及提示装置240。本实施例中传感器220为多个。另外，监控系统还可以包括计算机250，主控装置210与计算机250信号连接。

图3示出该主控装置210的内部结构框图。本实施例中，传感器220为多个，包括220a、220b、220c、220d、220e、220f，上述传感器分别对应多种工作条件，例如，传感器220a为光刻胶异常检测传感器，220b为显影液异常检测传感器，220c为去边液异常检测传感器，220d为漏液异常检测传感器，220e为废胶桶异常检测传感器，220f为胶泵异常检测传感器。上述各传感器根据各自对应的工作条件的异常转化为输入信号。上述各种工作条件的异常例如是：光刻胶不足、显影液不足、去边液不足、设备漏液、废胶桶过满、胶泵异常，以上仅为示例，工作条件的选择以及异常情景可依据实际需要设置。通过多个传感器对应多种工作条件，当设备发出异常提示时，能够更准确快速判断出是哪个工作条件发生了异常，方便设备的恢复。

主控装置210包括传感信号传递模块213、微处理器211以及存储模块212。微处理器211通过传感信号传递模块213与各传感器连接，上述输入信号通过传感信号传递模块213传至微处理器211，微处理器211内部预设微处理器的控制方法，根据所述输入信号得出输出信号。微处理器211可以包括系统时钟电路219，用于提供微处理器211系统运行的时钟脉冲。存储模块212与微处理器211信号连接，当上述各传感器中的任一感测到对应工作条件异常时，存储模块212根据对应的输入信号记录工作条件的异常信息。

提示装置240可以安装在匀胶显影设备230上，主控装置210通过连接匀胶显影设备230而与提示装置240信号连接。提示装置可以根据上述为处理器211得出的输出信号发出提示。提示装置240可以是报警灯和/或嗡鸣器，在设备工作条件异常时，能发出提示音和/或亮起报警灯。

根据本实用新型的监控系统，能通过提示装置240提示匀胶显影设备的工作条件异常，主控装置210包括的存储模块212能记录工作条件的异常信息，从而在设备发出异常提示时更方便对异常的分析。

传感信号传递模块213可以是光耦电路，即微处理器211通过第一光耦电路213与多个传感器220a至220f信号连接。利用第一光耦电路213的隔离效果，可以消除外界信号对微处理器211的干扰。传感器220a至220f给出的所述输入信号可以是开关量，监控系统根据开关量的输入信号可分为：正常状态和异常状态。在正常状态中，所述输入信号使得所述第一光耦电路213断开，此时微处理器211未收到输入信号，从而无动作。在异常状态中，所述输入信号使得第一光耦电路213导通，微处理器211收到输入信号并按照内部预设的控制方法得出输出信号，发送至提示装置240，使提示装置240发出异常提示。

微处理器211也可以通过第二光耦电路214与提示装置240信号连接。利用第一光耦电路214的隔离效果，可以消除外界信号对监控系统的干扰。

主控装置210还可以包括实时时钟模块215，用于提供实时时钟数据。则工作条件的异常信息可以包括：异常的工作条件的类别、异常次数以及异常发生的实时时间。

主控装置210还可以包括显示模块216，用于显示上述异常信息。通过上述微处理器211、实时时钟模块215以及显示模块216相配合，当设备的制品发生异常时，可以查询异常发生的类别、时间点等信息，方便异常制品追踪和异常原因分析。另外，对于工程技术人员来说，通过查看历史异常信息，能清楚记录各异常的处理时间，例如是各化学品的换液时间，对同样的异常情况能更快找到处理方法。

主控装置210还可以包括按键模块217，与微处理器211信号连接，其用于提供人机交互，同时用于终止所述提示装置240发出的提示。按键模块217例如包括用于控制显示模块216翻页的按键、终止提示按键等。当工作条件异常时系统发出提示，微处理器211内置的控制方法可以设置提示自锁，操作人员不仅要排除异常条件，还要按下终止提示按键后监控系统才回到正常状态，此时的异常排除记录也可以作为异常信息记录在存储模块212中。

主控装置210还可以包括串口通讯模块218，用于将主控装置210与计算机连接。如图2，本实施例的监控系统还可以包括计算机250，其与主控装置210信号连接。通过在计算机250开发人机交互界面，能实现监控系统更丰富的作用。

微处理器211可以是单片机，例如是STC89C52RC，存储模块212例如是AT24C08，实时时钟模块215例如是DS1302芯片，显示模块216例如是LCD1602显示屏，串口通讯模块218例如是RS485接口。根据上述选型的主控装置210，对微处理器211进行编程，可实现主控装置210对监控、按键处理、异常信息查询、时钟设置、报警提示等功能的支持。对微处理器211的编程例如可以包括主程序、按键处理程序、报警提示程序、时间设置程序以及异常信息查询程序等，其中根据使用情景可以由主程序进入上述的按键处理、报警提示、时间设置以及异常信息查询等程序中，在情景结束后返回至主程序。本实用新型具有多种不同的呈现形式，可以不限于上述方式的选型与编程。

另外，主控装置210与计算机250的信号连接，在计算机250端编制人机交互软件，能更丰富监控系统的功能。例如使用查询方式实时监控所述监控系统是处于正常状态还是异常状态，再例如利用表格软件统计并导出历史异常信息等。

应当说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

依照本实用新型的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本实用新型以及在本实用新型基础上的修改使用。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。