技术特征：
技术总结
描述了一种用于制造偏振器设备的方法。所述方法包括：形成图案化抗蚀剂结构，所述图案化抗蚀剂结构具有线，所述线带有一个顶表面和两个或更多个侧表面；在所述图案化抗蚀剂结构上沉积导电材料，其中所述导电材料提供在所述顶表面和所述两个或更多个侧表面上，并且其中形成层结构；以及蚀刻所述层结构以从所述线的所述顶表面移除所述导电材料，以在所述两个或更多个侧表面处形成所述导电材料的导电线。
技术研发人员：凯文·卡宁厄姆;克里斯多弗·本彻
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2016.10.12
技术公布日：2019.05.24