直写式光刻机中倾斜式扫描数据的重组方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种重组方法，尤其是一种直写式光刻机中倾斜式扫描数据的重组方法，属于直写式光刻机倾斜式数据处理的技术领域。本发明根据倾斜因子，对倾斜数据进行变换重组，在FGA内利用RAM进行数据存储，实现所需数据的写入与读取，能降低硬件制造成本，提高数据变换重组的速度，从而有效提高曝光分辨率以及生产产能。

技术研发人员：李显杰
受保护的技术使用者：无锡影速半导体科技有限公司
技术研发日：2017.03.07
技术公布日：2017.08.15