掩膜板部件、其掩膜板体矫形方法和掩膜板体曝光方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明实施例提供了一种掩膜板部件、其掩膜板体矫形方法和掩膜板体曝光方法，解决了基于现有掩膜板进行曝光过程后，半成品表面上位于不同位置但具有相同设计的掩膜图案的尺寸不一致的问题。本发明一实施例提供的一种掩膜板部件包括：掩膜板体；形变检测组件，构造为检测所述掩膜板体的形变大小；以及形变矫正组件，构造为对所述掩膜板体的形变进行矫正。

技术研发人员：詹敏
受保护的技术使用者：昆山国显光电有限公司
技术研发日：2017.05.23
技术公布日：2018.12.07