技术特征：
技术总结
本发明公开了一种移入移出机构，包括连接块、板簧、板簧变形驱动单元及滚轮单元；板簧为二分段式结构，板簧的两个分段之间铰链式连接，板簧的一个分段通过连接块安装在待移动对象上、另一个分段连接滚轮单元；板簧变形驱动单元为板簧上连接所述滚轮单元的分段提供朝向移动承载面变形的驱动力。本发明还公开了一种光刻机工件台移入移出装置，包括底部框架、空气弹簧、气垫装置及上述移入移出机构，多组移入移出机构设置于底部框架的下表面或侧边。本发明移入移出机构的板簧采用铰链结构分段，且板簧变形各受力处共线，可保证受力均衡，防止卡死；移入移出装置成对使用多组移入移出机构，可防止对地面施加过大压力而造成工件台倾覆。
技术研发人员：丛国栋;李志龙;黄亚庆;赵文波
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2017.05.31
技术公布日：2018.12.11