光掩膜承载盒以及光掩膜装置的承载及清洁方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明实施例提供一种光掩膜承载盒用以承载光掩膜装置，光掩膜承载盒包括壳体以及抽气装置。壳体包括容置空间、进气孔以及抽气口，光掩膜装置设置于容置空间内，且进气孔经配置以将清洁气体注入壳体的容置空间内。抽气装置设置于壳体上，以对容置空间进行抽气。本发明实施例更提供一种光掩膜装置的承载及清洁方法。

技术研发人员：刘子汉;林重宏;温志伟
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：2017.12.15
技术公布日：2019.06.25