一种DMD光刻投影镜头的制作方法

文档序号:11684958阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种DMD光刻投影镜头,其特征在于:从物方起到镜方依次包括:第一双凸镜片、第二弯月镜片、第三镜片组、第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片,所述第三镜片组、第四弯月镜片间设置有光阑;所述第三镜片组和所述第六镜片组分别由一个双凸镜片和一个平凹面镜片胶合而成;所述第一双凸镜片设置在第一镜筒的内腔的前端,所述第二弯月镜片、第三镜片组、光阑、第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片依次设置在第二镜筒的内腔中,所述第一镜筒与第二镜筒螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的DMD光刻投影镜头,其特征在于:所述第二弯月镜片与第三镜片组之间、所述第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片相互之间由隔圈相隔开,所述第二弯月镜片、第三镜片组、光阑、第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片直径相同,所述第二弯月镜片前端、第一双凸镜片前端分别设置有压圈,所述第二弯月镜片由压圈压装在第二镜筒内腔的环口处,所述第一双凸镜片由压圈压装在第一镜筒内腔的环口处。

3.根据权利要求1所述的DMD光刻投影镜头,其特征在于:所述第一镜筒与第二镜筒的侧面分别设置有放气孔。

4.根据权利要求1所述的DMD光刻投影镜头,其特征在于:所第二镜筒在第二弯月镜片、第三镜片组、光阑、第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片的对应位置处分别设置有顶丝及注胶固定孔。

5.根据权利要求1所述的DMD光刻投影镜头,其特征在于:所述第二镜筒的外周套设有外壳。

6.根据权利要求1所述的DMD光刻投影镜头,其特征在于:所述第一镜筒的外周旋塞有齐焦法兰盘。

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