一种DMD光刻投影镜头的制作方法

本实用新型涉及光刻机镜头技术领域，具体地说涉及一种DMD光刻投影镜头。

背景技术：

DMD数字无掩模光刻系统是成熟的现有技术，新一代基于数字微镜阵列(Digital Micro-mirror Device，DMD)空间光调制器的数字无掩模光刻技术大幅简化了传统光刻掩膜制作工艺的繁琐流程，使得新犁数字光刻掩膜的制作变得简单易控，显著提升了光刻图形的复杂度，并进一步改善了光刻的精度和效率。光刻投影镜头需要将镜头中的每个镜片精确定位，位置精度需要达到微米甚至是亚微米的水平，同时，倾斜偏差度要小于一微米。

目前，现有技术的DMD光刻投影镜头主要存在如下问题：1、物方视野小；2、像方分辨率低，有像差、畸变等；3、镜片之间的空气间隙控制不好；4、镜头中的空气排出性能差，不能满足严格的公差要求；4、同轴度差；5、齐焦调节的调节性不好。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于针对上述现有技术的缺陷，提供一种DMD光刻投影镜头，以克服上述现有技术的缺陷。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种DMD光刻投影镜头，从物方起到镜方依次包括：第一双凸镜片、第二弯月镜片、第三镜片组、第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片，所述第三镜片组、第四弯月镜片间设置有光阑；所述第三镜片组和所述第六镜片组分别由一个双凸镜片和一个平凹面镜片胶合而成；所述第一双凸镜片设置在第一镜筒的内腔的前端，所述第二弯月镜片、第三镜片组、光阑、第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片依次设置在第二镜筒的内腔中，所述第一镜筒与第二镜筒螺纹连接；

作为对上述技术方案的改进，所述第二弯月镜片与第三镜片组之间、所述第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片相互之间由隔圈相隔开，所述第二弯月镜片、第三镜片组、光阑、第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片直径相同，所述第二弯月镜片前端、第一双凸镜片前端分别设置有压圈，所述第二弯月镜片由压圈压装在第二镜筒内腔的环口处，所述第一双凸镜片由压圈压装在第一镜筒内腔的环口处。

作为对上述技术方案的改进，所述第一镜筒与第二镜筒的侧面分别设置有放气孔。

作为对上述技术方案的改进，所第二镜筒在第二弯月镜片、第三镜片组、光阑、第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片的对应位置处分别设置有顶丝及注胶固定孔。

作为对上述技术方案的改进，所述第二镜筒的外周套设有外壳。

作为对上述技术方案的改进，所述第一镜筒的外周旋塞有齐焦法兰盘。

与现有技术相比，本实用新型具有的优点和积极效果是：

本实用新型的DMD光刻投影镜头，在光路上，1、物方视野大，数值孔径小，采用单片大口径正透镜；2、像方后组数值孔径大，分辨率高，采用多组镜片进行结合，有效消除像差、畸变等；3、光阑位于镜头中心附近，采用部分对称结构，有利于消除像差。在结构上，1、所有的隔圈都抵到环口处，为了更好的控制镜片之间的空气间隔；2、后组公差要求严的地方，镜片的口径都做成一样的；3、侧面有放气孔，为了排除镜头中的空气，以满足严格的公差；4、顶偏芯的工艺孔，以及注胶固定孔用来修正敏感镜片的同轴度；5、物方工作距配合DMD斜入射照明要求；6、可调试齐焦法兰盘用于齐焦调节。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的光路示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

如图1和2所示，本实用新型的DMD光刻投影镜头，从物方起到镜方依次包括：第一双凸镜片1、第二弯月镜片2、第三镜片组3、第四弯月镜片4、第五平凸镜片5、第六镜片组6、第七弯月镜片7，所述第三镜片组3、第四弯月镜片4间设置有光阑14；所述第三镜片组3和所述第六镜片6组分别由一个双凸镜片和一个平凹面镜片胶合而成；所述第一双凸镜片1设置在第一镜筒9的内腔的前端，所述第二弯月镜片2、第三镜片组3、光阑14、第四弯月镜片4、第五平凸镜片5、第六镜片组6、第七弯月镜片7依次设置在第二镜筒12的内腔中，所述第一镜筒9与第二镜筒12螺纹连接；

作为对上述技术方案的改进，所述第二弯月镜片2与第三镜片组3之间由隔圈13相隔开、所述第四弯月镜片4、第五平凸镜片5、第六镜片组6、第七弯月镜片7之间依次由隔圈15、16、17相隔开，所述第二弯月镜片2、第三镜片组3、光阑14、第四弯月镜片4、第五平凸镜片5、第六镜片组6、第七弯月镜片7直径相同，所述第二弯月镜片2前端、第一双凸镜片1前端分别设置有压圈8、11，所述第二弯月镜片2由压圈11压装在第二镜筒12内腔的环口处，所述第一双凸镜片1由压圈8压装在第一镜筒9内腔的环口处。

作为对上述技术方案的改进，所述第一镜筒9与第二镜筒12的侧面分别设置有放气孔。

作为对上述技术方案的改进，所第二镜筒2在第二弯月镜片2、第三镜片组3、光阑14、第四弯月镜片4、第五平凸镜片5、第六镜片组6、第七弯月镜片7的对应位置处分别设置有顶丝及注胶固定孔19。

作为对上述技术方案的改进，所述第二镜筒12的外周套设有外壳18。

作为对上述技术方案的改进，所述第一镜筒9的外周旋塞有齐焦法兰盘10。

与现有技术相比，本实用新型具有的优点和积极效果是：

本实用新型的DMD光刻投影镜头，在光路上，1、物方视野大，数值孔径小，采用单片大口径正透镜；2、像方后组数值孔径大，分辨率高，采用多组镜片进行结合，有效消除像差、畸变等；3、光阑位于镜头中心附近，采用部分对称结构，有利于消除像差。在结构上，1、所有的隔圈都抵到环口处，为了更好的控制镜片之间的空气间隔；2、后组公差要求严的地方，镜片的口径都做成一样的；3、侧面有放气孔，为了排除镜头中的空气，以满足严格的公差；4、顶偏芯的工艺孔，以及注胶固定孔用来修正敏感镜片的同轴度；5、物方工作距配合DMD斜入射照明要求；6、可调试齐焦法兰盘用于齐焦调节。